JP6830329B2 - 検査装置、および検査方法 - Google Patents
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 38
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 10
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 136
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 126
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 5
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 3
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Description
Claims (4)
- 被検査物に照射された光に基づいて前記被検査物を検査するための検査装置であって、
当該検査装置が、
前記被検査物に光を照射する落射照明と、
前記被検査物に光を照射する側射照明と、
前記被検査物に向かって側方から光を照射する側方照明と、
前記落射照明と前記側射照明との少なくとも一方から照射された際に前記被検査物により反射した光に基づいて前記被検査物を撮像する撮像装置と、
前記撮像装置に備えられ、前記側方照明を反射する反射鏡と、
前記被検査物と前記側方照明との間に配設され、スリットが形成された第1遮光体と、
前記被検査物と前記反射鏡との間に配設され、スリットが形成された第2遮光体と、を備え、
前記撮像装置が、前記落射照明と前記側射照明との両方から照射された際に、前記被検査物により反射した光に基づく前記被検査物の撮像である全照射撮像と、前記側射照明から照射されず、前記落射照明から照射された際に、前記被検査物により反射した光に基づく前記被検査物の撮像である落射照射撮像と、前記落射照明から照射されず、前記側射照明から照射された際に、前記被検査物により反射した光に基づく前記被検査物の撮像である側射照射撮像とのうちの少なくとも2つの撮像が、前記撮像装置により実行され、
さらに、前記側方照明から前記第1遮光体のスリットの間より前記被検査物に光を照射し前記第2遮光体のスリットの間から前記反射鏡に入射し前記撮像装置に入射した光に基づく前記被検査物の撮像である側方撮像が、前記撮像装置により実行されることを特徴とする検査装置。 - 前記撮像装置が、
前記全照射撮像と前記落射照射撮像と前記側射照射撮像との全ての撮像を行うことを特徴とする請求項1に記載の検査装置。 - 前記撮像装置が、前記全照射撮像と前記落射照射撮像と前記側射照射撮像とのうちの1の撮像と、前記全照射撮像と前記落射照射撮像と前記側射照射撮像とのうちの前記1の撮像と別の撮像とを行う際に、前記1の撮像時のシャッタースピードと前記別の撮像時のシャッタースピードとを変更することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の検査装置。
- 被検査物に光を照射する落射照明と、前記被検査物に光を照射する側射照明と、前記被検査物に向かって側方から光を照射する側方照明と、前記落射照明と前記側射照明との少なくとも一方から照射された際に前記被検査物により反射した光に基づいて前記被検査物を撮像する撮像装置と、前記撮像装置に備えられ、前記側方照明を反射する反射鏡と、前記被検査物と前記側方照明との間に配設され、スリットが形成された第1遮光体と、前記被検査物と前記反射鏡との間に配設され、スリットが形成された第2遮光体と、を備えた検査装置を用いて、前記被検査物を検査する検査方法であって、当該検査方法が、前記落射照明と前記側射照明との両方から照射された際に、前記被検査物により反射した光に基づく前記被検査物の撮像である全照射撮像と、前記側射照明から照射されず、前記落射照明から照射された際に、前記被検査物により反射した光に基づく前記被検査物の撮像である落射照射撮像と、前記落射照明から照射されず、前記側射照明から照射された際に、前記被検査物により反射した光に基づく前記被検査物の撮像である側射照射撮像とのうちの少なくとも2つの撮像が、前記撮像装置により行われる第1撮像工程と、さらに、前記側方照明から前記第1遮光体のスリットの間より前記被検査物に光を照射し前記第2遮光体のスリットの間から前記反射鏡に入射し前記撮像装置に入射した光に基づく前記被検査物の撮像である側方撮像が、前記撮像装置により行われる第2撮像工程と、前記撮像工程において行われた前記少なくとも3つの撮像により得られる画像に基づいて、前記被検査物を検査する検査工程とを含むことを特徴とする検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016165228A JP6830329B2 (ja) | 2016-08-26 | 2016-08-26 | 検査装置、および検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016165228A JP6830329B2 (ja) | 2016-08-26 | 2016-08-26 | 検査装置、および検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018031709A JP2018031709A (ja) | 2018-03-01 |
JP6830329B2 true JP6830329B2 (ja) | 2021-02-17 |
Family
ID=61303155
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016165228A Active JP6830329B2 (ja) | 2016-08-26 | 2016-08-26 | 検査装置、および検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6830329B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7286584B2 (ja) * | 2020-03-30 | 2023-06-05 | ヤマハ発動機株式会社 | 実装機 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4826750B2 (ja) * | 2005-04-08 | 2011-11-30 | オムロン株式会社 | 欠陥検査方法およびその方法を用いた欠陥検査装置 |
JP2008082900A (ja) * | 2006-09-27 | 2008-04-10 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 外観検査装置 |
JP2008085252A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-10 | Renesas Technology Corp | 半導体集積回路装置の製造方法 |
JP5806808B2 (ja) * | 2010-08-18 | 2015-11-10 | 倉敷紡績株式会社 | 撮像光学検査装置 |
US10184898B2 (en) * | 2014-06-30 | 2019-01-22 | Fuji Corporation | Detection device |
-
2016
- 2016-08-26 JP JP2016165228A patent/JP6830329B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018031709A (ja) | 2018-03-01 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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