JP7454920B2 - 加工装置 - Google Patents
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- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 12
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 12
- 230000004323 axial length Effects 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
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- Auxiliary Devices For Machine Tools (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
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Description
本発明の実施形態1に係る加工装置100を図面に基づいて説明する。図1は、実施形態1に係る加工装置100の構成例を示す斜視図である。図2は、実施形態1に係る加工装置100における切削ユニット10の一部の構成例を示す分解斜視図である。図3は、実施形態1に係る加工装置100における切削ユニット10の要部を示す斜視図である。図4は、実施形態1に係る加工装置100における切削ユニット10の要部を示す正面図である。
本発明の実施形態2に係る加工装置100を図面に基づいて説明する。図5は、実施形態2に係る加工装置100における切削ユニット30の一部の構成例を示す分解斜視図である。図5は、実施形態1と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
本発明の実施形態3に係る加工装置100を図面に基づいて説明する。図6は、実施形態2に係る加工装置100における切削ユニット50の一部の構成例を示す分解斜視図である。図6は、実施形態1及び実施形態2と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
11 スピンドルハウジング
12 スピンドル
13,33 マウント
13-1,33-1,53-1 ボス部
13-2,33-2,53-2 フランジ部
13-3,33-3,53-3 円筒部
13-4,33-4,53-4 装着穴
14,34,54 切削ブレード
14-1 基台
14-2 切り刃
14-3,34-3,54-3,55-1 挿入穴
15 ブレードカバー
15-1 ちょうつがい
15-2 対向部
21-1,21-2,25-1,25-2 磁石
23-1,43,63-1,65-1 支持面
23-2 環状凹部
24-1,44-1,64-1 裏面
24-2,44-2,64-2,65-2 表面
53 固定フランジ
55 押さえフランジ
63-3 環状凹部
65-3 環状凸部
100 加工装置
Claims (2)
- スピンドルを回転可能に保持するスピンドルハウジングと、該スピンドルの先端に固定されるマウントと、該マウントに固定される切削ブレードと、該スピンドルハウジングに取り付けられ該切削ブレードを覆うブレードカバーとを備える加工装置であって、
該マウントは、
前後方向に伸長する円柱状のボス部と、
該ボス部の該スピンドルハウジング側から径方向外向きに突出し、該切削ブレードを支持する支持面と、を含み、
該切削ブレードは、
該ボス部に挿入される挿入穴を中央に有し、
該切削ブレードの表面に磁石が設けられており、
該ブレードカバーは、
該切削ブレードの裏面側を該マウントに装着した状態で該切削ブレードの表面側に対向する対向部を備え、
該対向部において、該切削ブレードの表面に設けられた磁石に対向する位置に、該切削ブレードの表面に設けられた磁石と同極が該スピンドルハウジング側に向けられた磁石が設けられており、
該対向部と、切削ブレードの表面と、は、該対向部に設けられた磁石と該切削ブレードの表面に設けられた磁石とにより、同極の磁場が付与され反発する力で該マウントに切削ブレードが押しつけられ保持されることを特徴とする、加工装置。 - 加工装置であって、
回転軸となるスピンドルと、該スピンドルに固定される固定フランジと、切削ブレードと、該切削ブレードを該固定フランジとの間に挟持する押さえフランジと、少なくとも該切削ブレードの一部を覆うブレードカバーと、を備え、
該固定フランジは、
前後方向に伸長する円柱状のボス部と、
該ボス部の該スピンドルハウジング側から径方向外向きに突出し、該切削ブレードを支持する支持面と、を含み、
該押さえフランジは、
該ボス部に装着され該支持面との間に切削ブレードを挟持し、
該押さえフランジの表面に磁石が設けられており、
該ブレードカバーは、
該押さえフランジと対向する対向部とを含み、
該対向部において、該押さえフランジの表面に設けられた磁石に対向する位置に、該押さえフランジの表面に設けられた磁石と同極が該スピンドルハウジング側に向けられた磁石が設けられており、
該対向部と、該押さえフランジと、は、該対向部に設けられた磁石と該押さえフランジの表面に設けられた磁石とにより、同極の磁場が付与され反発する力で切削ブレードを該固定フランジに押しつけることを特徴とする、加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019128684A JP7454920B2 (ja) | 2019-07-10 | 2019-07-10 | 加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019128684A JP7454920B2 (ja) | 2019-07-10 | 2019-07-10 | 加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021013965A JP2021013965A (ja) | 2021-02-12 |
JP7454920B2 true JP7454920B2 (ja) | 2024-03-25 |
Family
ID=74532010
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019128684A Active JP7454920B2 (ja) | 2019-07-10 | 2019-07-10 | 加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7454920B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013086189A (ja) | 2011-10-13 | 2013-05-13 | Disco Corp | ブレード着脱補助治具 |
JP2013146797A (ja) | 2012-01-17 | 2013-08-01 | Disco Corp | 切削装置 |
JP2015160273A (ja) | 2014-02-27 | 2015-09-07 | 株式会社ディスコ | ブレードカバー |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0569767B1 (de) * | 1992-05-13 | 1996-01-03 | SCHOBER GmbH Werkzeug- und Maschinenbau | Messerhalter |
-
2019
- 2019-07-10 JP JP2019128684A patent/JP7454920B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013086189A (ja) | 2011-10-13 | 2013-05-13 | Disco Corp | ブレード着脱補助治具 |
JP2013146797A (ja) | 2012-01-17 | 2013-08-01 | Disco Corp | 切削装置 |
JP2015160273A (ja) | 2014-02-27 | 2015-09-07 | 株式会社ディスコ | ブレードカバー |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021013965A (ja) | 2021-02-12 |
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