JP2020523642A - 高反射鏡のための銀コーティング積層体の反射帯域幅の拡大 - Google Patents
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Abstract
Description
バリア層46の厚さは、100nm〜50μmとすることができる。いくつかの実施形態では、バリア層46の厚さは500nm〜10μmである。他の実施形態では、バリア層46の厚さは1μm〜5μmである。バリア層46の厚さを決定するための1つの基準は、物品が塩霧試験に耐えなければならない時間数である。塩霧試験の持続時間が長いほど、厚いバリア層46が必要となる。いくつかの実施形態では、24時間の塩霧試験に関して、バリア層46にとって10μmの厚さが十分なものとなり得る。多くの用途では、バリア層46が厚すぎると、温度変化に伴う完成部品の歪みの原因となるが、動作温度は典型的には仕様中に与えられているため、歪みを防止できるようにバリア層46の厚さを調整できる。バリア層46と基板14との熱膨張係数の差は、光学的な像、パワー、及び不規則性が、温度の変化(ΔT)と共に変化する原因となる。いくつかの実施形態では、バリア層46を十分に厚くすることにより、バリア層46は、大きくかつ不規則なものである、基板の山部分と谷部分との間のいずれのばらつきを、被覆する又は平滑化する。このようなばらつきの平滑化は、表面品質を最適化するための表面の研磨を支援する。表面品質は、表面全体の接着の促進、及び上述の山部分と谷部分との間のばらつきによって引き起こされ得る局所的な欠陥部位の最小化において重要である。
第1の反射金属層22及び/又は第2の反射金属層54に関して、厚さは、最適な反射特性を提供するために十分なものでなければならない。第1の反射金属層22及び/又は第2の反射金属層54が薄すぎると、フィルムが不連続及び/又は透過性となり、また厚すぎると耐久性が問題となり得る。いくつかの実施形態では、第1の反射金属層22及び/又は第2の反射金属層54の厚さは、5nm〜350nm、75nm〜350nm、1nm〜250nm、1nm〜100nm、1nm〜30nm、又は5nm〜50nmであってよい。他の実施形態では、第1の反射金属層22及び/又は第2の反射金属層54の厚さは80nm〜150nmであってよい。更に他の実施形態では、第1の反射金属層22及び/又は第2の反射金属層54の厚さは90nm〜120nmであってよい。第1の反射層22及び第2の反射層54の両方を一体として積層構造内で使用する場合、第2の反射層54は、ある程度の反射を提供できるよう十分に厚く、かつ下方に位置決めされた第1の反射層22の反射特性に光がアクセスできるよう十分に薄くなければならない(5nm〜10nm)。いくつかの実施形態では、第2の反射層54の厚さは、5nm〜10nm又は5nm〜20nmとすることができる。
(1)銀の堆積に使用されるプロセスに応じて、最適な反射率を得るために、銀層の最小厚さを150nmとしてよい。いくつかの実施形態では、第1の反射層22及び/又は第2の反射層54は、135nm〜175nmの銀層厚さを有してよい。
第1の界面層18、第2の界面層26、第3の界面層50、及び第4の界面層58の厚さは、各界面層にどのような材料が使用されるかを含む複数の因子に依存する。例えば、該層が第1の界面層18、第2の界面層26、第3の界面層50、及び第4の界面層58のいずれであるか、並びに該層が鏡の前面(反射層の表面)又は背面(反射層がその上に堆積される層)のいずれにあるかである。Ni、Cr、及びTi材料を界面層として使用する場合、数Å程度のごく薄い材料の層が使用される。前面鏡に関して、反射層の上の界面層、即ち第2以上の界面層は、接着を促進できるよう十分厚いものの、反射されたいずれの放射も吸収しないよう十分に薄いものとする必要がある。一般に、第1の界面層の厚さは2Å〜250Å(0.2nm〜25nm)である。例えばNi及びCrである金属界面層では、厚さは2Å〜<25Å(0.2nm〜<2.5nm)である。いくつかの実施形態では、金属製の第1の界面層の厚さは、2Å〜10Å(0.2nm〜1nm)である。金属酸化物又は硫化物、例えばAl2O3又はZnSを第1の界面層として使用する場合、厚さは25Å超(>2.5nm)である。他の実施形態では、第1の界面層は、厚さ50Å〜250Å(5nm〜25nm)の金属酸化物又は硫化物である。更に他の実施形態では、第1の界面層の厚さは10nm〜20nmである。
複数の調質層30の厚さは、例えば塩霧及び多湿試験といった必要な試験を通過するために必要な保護を最適化すると同時に、必要なスペクトル性能を達成するために必要とされる、最適化に依存する。これらの層の厚さは、用途及び使用される材料に大きく依存して変化し得る。
銀は、例えば塩、酸、及び硫黄化合物といった、雰囲気中に存在し得る様々な物質と反応し得る。よく知られた例として、Ag0と硫黄含有化合物との反応による黒色の硫化銀(Ag2S)の形成である銀変色、並びにAg0と大気中のハロゲン含有物質(最も一般的なのは恐らくNaCl及びHClである)との反応による銀腐食が挙げられる(T. E. Graedel, Corrosion Mechanisms for Silver Exposed to the Atmosphere, J. Electrochemical Society Vol. 139, No. 7, pages 1963‐1969 (1992)、及びD. Liang et al, Effects of Sodium Chloride Particles, Ozone, UV, and Relative Humidity on Atmospheric Corrosion of Silver, J. Electrochemical Society Vol. 157, No. 4, pages C146‐C156 (2010))。腐食及び変色はいずれも、大気中の湿気及びオゾンの存在によって加速され得る。
アルミニウム合金、シリカ、溶融シリカ、Fドープ溶融シリカ、マグネシウム合金及びチタン合金からなる群から選択される基板14を提供するステップ(ステップ104);
基板14を、10nm未満の粗度まで研磨するステップ(ステップ108);
厚さ10nm〜100μmのバリア層46を基板14の表面に適用するステップ(ステップ112);
厚さ0.2nm〜50nmの第1の界面層18をバリア層46の上に適用するステップであって、上記厚さは界面層の材料に依存する、ステップ(ステップ116);
厚さ100nm〜300nmの第1の反射層22を第1の界面層18の上に適用するステップ(ステップ120);
厚さ0.2nm〜50nmの第2の界面層26を第1の反射層22の上に適用するステップ(ステップ124);
低屈折率材料と高屈折率材料との組み合わせを含む複数の調質層30を適用するステップであって、上記高屈折率材料はHfO2であり、複数の調質層30の厚さは、上記低屈折率材料及び上記高屈折率材料に依存する、ステップ(ステップ128);並びに
保護層42を複数の調質層30の上に適用することによって、AOI=45°において、335nm〜1000nmの波長範囲にわたって少なくとも90%の反射率を有する高反射鏡10を形成するステップ(ステップ132)
を含む。
図3に示すように、基板14はその上側が第1の反射層22aに連結されてよく、第1の反射層22aはその上側が第1の界面層18bに連結されてよく、第1の界面層18bはその上側が第2の界面層26bに連結されてよく、第2の界面層26bはその上側が第2の反射層54に連結されてよく、第2の反射層54はその上側が第3の界面層50aに連結されてよく、第3の界面層50aはその上側が複数の調質層30に連結されてよく、複数の調質層30はその最上層の上側が保護層42に連結されてよい。図9A〜9Bはそれぞれ、300nm〜1000nmにおいて92%超の平均反射率を有するHfO2‐YbF3調質層を備えたAl‐Ag積層体に関する、波長に対する%反射率、及び300nm〜8000nmにおいて92%超の平均反射率を有するHfO2‐YbF3調質層を備えたAl‐Ag積層体に関する、波長に対する%反射率を示すグラフである。
いくつかの実施形態では、基板14はその上側がバリア層46に連結されてよく、バリア層46はその上側が第1の界面層18に連結されてよく、第1の界面層18はその上側が第1の反射層22に連結されてよく、第1の反射層22はその上側が第2の界面層26に連結されてよく、第2の界面層26はその上側が複数の調質層30に連結されてよく、複数の調質層30はその最上層の上側が保護層42に連結されてよい。
いくつかの実施形態では、基板14はその上側がバリア層46に連結されてよく、バリア層46はその上側が第1の界面層18aに連結されてよく、第1の界面層18aはその上側が第1の反射層22aに連結されてよく、第1の反射層はその上側が第2の界面層26aに連結されてよく、第2の界面層26aはその上側が第3の界面層50に連結されてよく、第3の界面層50はその上側が第2の反射層54に連結されてよく、第2の反射層はその上側が第4の界面層58に連結されてよく、第4の界面層58はその上側が複数の調質層30に連結されてよく、複数の調質層30はその最上層の上側が保護層42に連結されてよい。
いくつかの実施形態では、基板14はその上側が第1の反射層22aに連結されてよく、第1の反射層22aはその上側がバリア層46に連結されてよく、バリア層46はその上側が第1の界面層18cに連結されてよく、第1の界面層18cはその上側が第2の反射層54に連結されてよく、第2の反射層54はその上側が第2の界面層26cに連結されてよく、第2の界面層26cはその上側が複数の調質層30に連結されてよく、複数の調質層30はその最上層の上側が保護層42に連結されてよい。
実施形態Aは、0.300μm〜15μmの波長範囲で使用するための高反射鏡であり、上記高反射鏡は:基板;第1の界面層;反射層;第2の界面層;低屈折率材料と高屈折率材料との組み合わせを含み、上記高屈折率材料はHfO2を含む、複数の調質層;並びに保護層を含む。上記高反射鏡は、AOI=45°において、335nm〜1000nmの波長範囲にわたって少なくとも90%の反射率を有する。
0.300μm〜15μmの波長範囲で使用するための高反射鏡であって、
上記高反射鏡は:
基板;
第1の界面層;
反射層;
第2の界面層;
低屈折率材料と高屈折率材料との組み合わせを含み、上記高屈折率材料はHfO2を含む、複数の調質層;並びに
保護層
を備え、
上記高反射鏡は、入射角(AOI)=45°において、335nm〜1000nmの波長範囲にわたって少なくとも90%の反射率を有する、高反射鏡。
上記高反射鏡は、AOI=45°において、340nm〜400nmの波長範囲にわたって少なくとも90%の反射率を有する、実施形態1に記載の高反射鏡。
バリア層を更に備え、
上記バリア層は、耐腐食層、耐摩耗層、応力調整層、又はこれらの組み合わせを含む、実施形態1又は2に記載の高反射鏡。
上記バリア層は、Si3N4、SiOxNy、SiO2、CrN、NiCrN、Cr、NiCr、Ni、ダイヤモンド様炭素(DLC)、又はこれらの組み合わせを含む上記耐腐食層である、実施形態3に記載の高反射鏡。
上記バリア層は、Si3N4、SiOxNy、SiO2、AlOxNy、AlN、YbF3、YbFxOy、ダイヤモンド様炭素(DLC)、又はこれらの組み合わせを含む上記耐摩耗層である、実施形態3に記載の高反射鏡。
上記バリア層は、Si3N4、SiOxNy、SiO2、Nb2O5、Ta2O5、TiO2、フッ化物、金属、金属酸化物、又はこれらの組み合わせを含む上記応力調整層である、実施形態3に記載の高反射鏡。
上記基板は、溶融シリカ、シリカ、Fドープ溶融シリカ、6061‐Al合金、アルミニウム合金、マグネシウム合金、チタン合金、又はこれらの組み合わせを含む、実施形態1〜6のいずれか1つに記載の高反射鏡。
上記低屈折率材料はYbFOを含み、上記高屈折率材料はHfO2を含む、実施形態1〜7のいずれか1つに記載の高反射鏡。
上記バリア層は約10nm〜約50μmの厚さを有する、実施形態3〜8のいずれか1つに記載の高反射鏡。
上記第1の界面層は0.2nm〜50nmの厚さを有し、Al2O3、TiO2、Bi2O3、ZnS、MgF2、AlF3、Ni、モネル(Ni‐Cu)、Ti、Pt、又はこれらの組み合わせを含む、実施形態1〜9のいずれか1つに記載の高反射鏡。
上記第2の界面層は0.2nm〜50nmの厚さを有し、Nb2O5、TiO2、Ta2O5、Bi2O3、ZnS、Al2O3、又はこれらの組み合わせを含む、実施形態1〜10のいずれか1つに記載の高反射鏡。
上記低屈折率材料は5nm〜75nmの厚さを有し、上記高屈折率材料は5nm〜75nmの厚さを有する、実施形態1〜11のいずれか1つに記載の高反射鏡。
上記低屈折率材料は25nm〜60nmの厚さを有し、上記高屈折率材料は25nm〜60nmの厚さを有する、実施形態1〜12のいずれか1つに記載の高反射鏡。
0.300μm〜15μmの波長範囲で使用するための高反射鏡を作製するための方法であって、
上記方法は:
基板を提供するステップ;
上記基板を、粗度10nm未満まで研磨するステップ;
厚さ0.2nm〜25nmの第1の界面層を上記バリア層の上に適用するステップであって、上記厚さは上記第1の界面層に依存する、ステップ;
厚さ75nm〜300nmの反射層を上記第1の界面層の上に適用するステップ;
厚さ5nm〜20nmの第2の界面層を適用するステップであって、上記厚さは上記第1の界面層に依存する、ステップ;
低屈折率材料と高屈折率材料との組み合わせを含む複数の調質層を適用するステップであって、上記高屈折率材料はHfO2であり、上記調質層の厚さは、上記低屈折率材料及び上記高屈折率材料に依存する、ステップ;並びに
保護層を上記調質層の上に適用するステップ
を含む、方法。
厚さl0nm〜50μmのバリア層を上記基板の表面に適用するステップを更に含む、実施形態14に記載の方法。
上記バリア層は、耐腐食層、耐摩耗層、応力調整層、又はこれらの組み合わせを含む、実施形態15に記載の方法。
上記バリア層は、Si3N4、SiOxNy、SiO2、CrN、NiCrN、Cr、NiCr、Ni、ダイヤモンド様炭素(DLC)、又はこれらの組み合わせを含む上記耐腐食層である、実施形態16に記載の方法。
上記バリア層は、Si3N4、SiOxNy、SiO2、AlOxNy、AlN、YbF3、YbFxOy、ダイヤモンド様炭素(DLC)、又はこれらの組み合わせを含む上記耐摩耗層である、実施形態16に記載の方法。
上記バリア層は、Si3N4、SiOxNy、SiO2、Nb2O5、フッ化物、金属、又はこれらの組み合わせを含む上記応力調整層である、実施形態16に記載の方法。
上記低屈折率材料は5nm〜75nmの厚さを有し、上記高屈折率材料は5nm〜75nmの厚さを有する、実施形態14〜19のいずれか1つに記載の方法。
14 基板
18、18a、18b、18c 第1の界面層
26、26a、26b、26c 第2の界面層
22、22a 第1の反射層、第1の反射金属層
30 調質層
38 高屈折率材料
42 保護層
46 バリア層
50、50a 第3の界面層
54 第2の反射層、第2の反射金属層
58 第4の界面層
Claims (5)
- 0.300μm〜15μmの波長範囲で使用するための高反射鏡(10)であって、
前記高反射鏡(10)は:
基板(14);
第1の界面層(18);
反射層(22);
第2の界面層(26);
低屈折率材料と高屈折率材料との組み合わせを含み、前記高屈折率材料はHfO2を含む、複数の調質層(30);並びに
保護層(42)
を備え、
前記高反射鏡(10)は、入射角(AOI)=45°において、335nm〜1000nmの波長範囲にわたって少なくとも90%の反射率を有する、高反射鏡(10)。 - 前記高反射鏡(10)は、AOI=45°において、340nm〜400nmの波長範囲にわたって少なくとも90%の反射率を有する、請求項1に記載の高反射鏡(10)。
- バリア層(46)を更に備え、
前記バリア層(46)は、耐腐食層、耐摩耗層、応力調整層、又はこれらの組み合わせを含む、請求項1、2、又は5に記載の高反射鏡(10)。 - 前記バリア層(46)は、Si3N4、SiOxNy、SiO2、CrN、NiCrN、Cr、NiCr、Ni、ダイヤモンド様炭素(DLC)、又はこれらの組み合わせを含む前記耐腐食層又は前記耐摩耗層である、請求項3に記載の高反射鏡(10)。
- 前記第1の界面層(18)は0.2nm〜50nmの厚さを有し、Al2O3、TiO2、ZnS、MgF2、AlF3、Ni、モネル(Ni‐Cu)、Ti、Pt、又はこれらの組み合わせを含む、請求項1に記載の高反射鏡(10)。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201762520833P | 2017-06-16 | 2017-06-16 | |
US62/520,833 | 2017-06-16 | ||
PCT/US2018/037609 WO2018232162A1 (en) | 2017-06-16 | 2018-06-14 | Extending the reflection bandwidth of silver coating stacks for highly reflective mirrors |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020523642A true JP2020523642A (ja) | 2020-08-06 |
JP2020523642A5 JP2020523642A5 (ja) | 2021-07-26 |
JP7280198B2 JP7280198B2 (ja) | 2023-05-23 |
Family
ID=62817099
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019569377A Active JP7280198B2 (ja) | 2017-06-16 | 2018-06-14 | 高反射鏡のための銀コーティング積層体の反射帯域幅の拡大 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11143800B2 (ja) |
EP (1) | EP3639069A1 (ja) |
JP (1) | JP7280198B2 (ja) |
WO (1) | WO2018232162A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018075881A1 (en) * | 2016-10-21 | 2018-04-26 | Gentex Corporation | Antireflection coatings |
CN110221368B (zh) * | 2019-05-31 | 2020-11-17 | 西安工业大学 | 单元素多层红外高反膜及其制备方法 |
US11899227B2 (en) | 2019-07-31 | 2024-02-13 | Ningbo Radi-Cool Advanced Energy Technologies Co., Ltd. | Solar reflecting film and preparation method thereof |
EP3771930A1 (en) * | 2019-07-31 | 2021-02-03 | Ningbo Radi-Cool Advanced Energy Technologies Co., Ltd. | Solar reflecting film and preparation method thereof |
SG11202113245YA (en) * | 2019-09-13 | 2021-12-30 | Showa Denko Kk | Laminate and method for producing same |
CN111733390A (zh) * | 2019-12-30 | 2020-10-02 | 宁波瑞凌新能源科技有限公司 | 一种用于双反射层膜中的复合阻隔材料及其应用 |
CN111312069A (zh) * | 2020-04-03 | 2020-06-19 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种背光板、其制备方法以及背光模组 |
CN113151783B (zh) * | 2021-03-02 | 2022-04-19 | 中国电器科学研究院股份有限公司 | 一种组合型反射膜及其制备方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006010930A (ja) * | 2003-06-27 | 2006-01-12 | Asahi Glass Co Ltd | 高反射鏡 |
US20060141272A1 (en) * | 2004-11-23 | 2006-06-29 | The Regents Of The University Of California | Durable silver mirror with ultra-violet thru far infra-red reflection |
CN101806927A (zh) * | 2010-02-25 | 2010-08-18 | 海洋王照明科技股份有限公司 | 一种高反膜及其制备方法 |
JP2012198330A (ja) * | 2011-03-18 | 2012-10-18 | Fujifilm Corp | 光学部材及びその製造方法 |
WO2016054126A1 (en) * | 2014-10-03 | 2016-04-07 | Corning Incorporated | Mirror substrates with highly finishable corrosion-resistant coating |
WO2016066562A1 (de) * | 2014-10-27 | 2016-05-06 | Almeco Gmbh | Temperatur- und korrosionsstabiler oberflächenreflektor |
DE102015103494A1 (de) * | 2015-03-10 | 2016-09-15 | Friedrich-Schiller-Universität Jena | Verfahren zur Herstellung eines Reflektorelements und Reflektorelement |
US20170139085A1 (en) * | 2014-06-20 | 2017-05-18 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Optical Element Comprising a Reflective Coating |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5525199A (en) | 1991-11-13 | 1996-06-11 | Optical Corporation Of America | Low pressure reactive magnetron sputtering apparatus and method |
US6128126A (en) | 1993-04-15 | 2000-10-03 | Balzers Aktiengesellschaft | High-reflection silver mirror |
CH685138A5 (de) | 1993-04-15 | 1995-03-31 | Balzers Hochvakuum | Hochreflektierender Silberspiegel. |
JPH11311704A (ja) * | 1998-02-26 | 1999-11-09 | Nikon Corp | 紫外光用ミラー |
US6695458B2 (en) | 2000-09-12 | 2004-02-24 | Canon Kabushiki Kaisha | High-reflectance silver mirror and reflecting optical element |
JP2003270725A (ja) * | 2002-03-14 | 2003-09-25 | Sony Corp | 投影用スクリーン及びその製造方法 |
US7678459B2 (en) * | 2004-09-21 | 2010-03-16 | Guardian Industries Corp. | First surface mirror with silicon-metal oxide nucleation layer |
TWI282434B (en) * | 2005-06-15 | 2007-06-11 | Asia Optical Co Inc | Film layer structure of optical lens |
US7242843B2 (en) | 2005-06-30 | 2007-07-10 | Corning Incorporated | Extended lifetime excimer laser optics |
US7342716B2 (en) * | 2005-10-11 | 2008-03-11 | Cardinal Cg Company | Multiple cavity low-emissivity coatings |
JP5229075B2 (ja) * | 2008-07-28 | 2013-07-03 | 日本電気硝子株式会社 | 広帯域反射鏡 |
WO2012008587A1 (ja) * | 2010-07-16 | 2012-01-19 | 旭硝子株式会社 | 赤外線反射基板および合わせガラス |
WO2012067924A1 (en) * | 2010-11-18 | 2012-05-24 | Corning Incorporated | Enhanced, protected silver coatings on aluminum for optical mirror and method of making same |
HUE054328T2 (hu) * | 2013-02-20 | 2021-09-28 | Saint Gobain | Üveglap hõsugárzást visszaverõ bevonattal |
US9488760B2 (en) * | 2013-02-28 | 2016-11-08 | Corning Incorporated | Enhanced, durable silver coating stacks for highly reflective mirrors |
US20150285958A1 (en) * | 2014-04-02 | 2015-10-08 | Corning Incorporated | Lightweight reflecting optics |
US9971073B2 (en) | 2014-04-14 | 2018-05-15 | Corning Incorporated | Enhanced performance metallic based optical mirror substrates |
-
2018
- 2018-06-06 US US16/001,280 patent/US11143800B2/en active Active
- 2018-06-14 WO PCT/US2018/037609 patent/WO2018232162A1/en active Application Filing
- 2018-06-14 JP JP2019569377A patent/JP7280198B2/ja active Active
- 2018-06-14 EP EP18737483.0A patent/EP3639069A1/en active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006010930A (ja) * | 2003-06-27 | 2006-01-12 | Asahi Glass Co Ltd | 高反射鏡 |
US20060141272A1 (en) * | 2004-11-23 | 2006-06-29 | The Regents Of The University Of California | Durable silver mirror with ultra-violet thru far infra-red reflection |
CN101806927A (zh) * | 2010-02-25 | 2010-08-18 | 海洋王照明科技股份有限公司 | 一种高反膜及其制备方法 |
JP2012198330A (ja) * | 2011-03-18 | 2012-10-18 | Fujifilm Corp | 光学部材及びその製造方法 |
US20170139085A1 (en) * | 2014-06-20 | 2017-05-18 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Optical Element Comprising a Reflective Coating |
WO2016054126A1 (en) * | 2014-10-03 | 2016-04-07 | Corning Incorporated | Mirror substrates with highly finishable corrosion-resistant coating |
WO2016066562A1 (de) * | 2014-10-27 | 2016-05-06 | Almeco Gmbh | Temperatur- und korrosionsstabiler oberflächenreflektor |
DE102015103494A1 (de) * | 2015-03-10 | 2016-09-15 | Friedrich-Schiller-Universität Jena | Verfahren zur Herstellung eines Reflektorelements und Reflektorelement |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20180364402A1 (en) | 2018-12-20 |
WO2018232162A1 (en) | 2018-12-20 |
JP7280198B2 (ja) | 2023-05-23 |
US11143800B2 (en) | 2021-10-12 |
WO2018232162A8 (en) | 2019-06-27 |
EP3639069A1 (en) | 2020-04-22 |
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