JP2012198330A - 光学部材及びその製造方法 - Google Patents
光学部材及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012198330A JP2012198330A JP2011061404A JP2011061404A JP2012198330A JP 2012198330 A JP2012198330 A JP 2012198330A JP 2011061404 A JP2011061404 A JP 2011061404A JP 2011061404 A JP2011061404 A JP 2011061404A JP 2012198330 A JP2012198330 A JP 2012198330A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical member
- aluminum
- dielectric layer
- degrees
- vapor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
- G02B1/11—Anti-reflection coatings
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29D—PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
- B29D11/00—Producing optical elements, e.g. lenses or prisms
- B29D11/00009—Production of simple or compound lenses
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
- G02B1/11—Anti-reflection coatings
- G02B1/118—Anti-reflection coatings having sub-optical wavelength surface structures designed to provide an enhanced transmittance, e.g. moth-eye structures
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
- G02B1/12—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements by surface treatment, e.g. by irradiation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Ophthalmology & Optometry (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】少なくとも一部に曲面を有する基材と、該基材上に、アルミニウム単体、及びアルミニウムを含む化合物の少なくともいずれかを気相成膜した層を水熱処理して最表面に凹凸構造を有してなり、前記基材と前記凹凸構造の間に、気相成膜により形成された誘電体層を有する光学部材である。
【選択図】なし
Description
例えば、特許文献1には、基材と、前記基材上に設けられた薄膜層により支持され、該薄膜層上に設けられた微細な凹凸を有する反射防止膜と、を備えた光学部材であって、前記微細な凹凸は、アルミナを主成分とする板状結晶によって形成されており、前記薄膜層は、ジルコニア、シリカ、チタニア、及び酸化亜鉛から選ばれた少なくとも1種を含有する酸化物からなる光学部材が提案されている。
しかし、この提案では、微細な凹凸の形成方法が液相成膜(ゾルゲル法)であるため、従来レンズに用いられていた酸化物薄膜積層方法との親和性が低い。また、基材上に薄膜を形成する工程が増加している。更に、膜密着性、凹面等の液が溜まり易い構造への塗布性が悪いという問題があった。
<1> 少なくとも一部に曲面を有する基材と、該基材上に、アルミニウム単体、及びアルミニウムを含む化合物の少なくともいずれかを気相成膜した層を水熱処理して最表面に凹凸構造を有してなり、
前記基材と前記凹凸構造の間に、気相成膜により形成された誘電体層を有することを特徴とする光学部材である。
<2> アルミニウム単体、及びアルミニウムを含む化合物の少なくともいずれかを気相成膜した層が、アルミニウム及びアルミナの少なくともいずれかからなる前記<1>に記載の光学部材である。
<3> 水熱処理が60℃以上沸騰温度以下の温水及び60℃以上沸騰温度以下のアルカリ水溶液のいずれかに浸漬する処理である前記<1>から<2>のいずれかに記載の光学部材である。
<4> 水熱処理が水蒸気にさらす処理である前記<1>から<2>のいずれかに記載の光学部材である。
<5> 凹凸構造における凸部の平均高さが5nm〜1,000nmである前記<1>から<4>のいずれかに記載の光学部材である。
<6> 気相成膜されたアルミニウムからなる最表層の水熱処理前の平均厚みが100nm以下である前記<2>から<5>のいずれかに記載の光学部材である。
<7> 気相成膜されたアルミナからなる最表層の水熱処理前の平均厚みが150nm以下である前記<2>から<5>のいずれかに記載の光学部材である。
<8> 誘電体層が2層以上からなる誘電体多層膜である前記<1>から<7>のいずれかに記載の光学部材である。
<9> 基材が、曲率を有するレンズである前記<1>から<8>のいずれかに記載の光学部材である。
<10> 少なくとも一部に曲面を有する基材上に、気相成膜により誘電体層を形成する誘電体層形成工程と、
前記誘電体層上にアルミニウム単体、及びアルミニウムを含む化合物の少なくともいずれかを気相成膜により最表層を形成する最表層形成工程と、
最表層を水熱処理して凹凸構造を形成する水熱処理工程と、
を含むことを特徴とする光学部材の製造方法である。
<11> 誘電体層形成工程及び最表層形成工程の気相成膜を、真空状態を維持したまま連続で行う前記<10>に記載の光学部材の製造方法である。
本発明の光学部材は、少なくとも一部に曲面を有する基材と、該基材上に、アルミニウム単体、及びアルミニウムを含む化合物の少なくともいずれかを気相成膜した層を水熱処理して最表面に凹凸構造を有してなり、誘電体層、更に必要に応じてその他の部材を有してなる。
前記少なくとも一部に曲面を有する基材における基材としては、その材料、大きさ、構造などについては特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、前記基材の材料としては、例えば透明ガラス基板、樹脂成型体、合成樹脂性シート、フィルム、セラミック板、金属などが挙げられる。
前記透明ガラス基板としては、例えば、白板ガラス、青板ガラス、グリーンガラス、シリカコート青板ガラスなどが挙げられる。また、ガラス内部に微粒子を分散させたような高屈折率ガラス、光拡散ガラスについて用いることもできる。
前記樹脂成型体、合成樹脂製シート、及びフィルムの材質としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリカーボネート、ポリエーテルスルホン、ポリエステル、アクリル樹脂、塩化ビニル樹脂、芳香族ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド、ポリイミド、FRP(繊維強化プラスチック)、TAC(トリアセチルセルロース)、シクロオレフィンポリマー(日本ゼオン社製ゼオノア、ゼオネックス)などが挙げられる。
前記少なくとも一部に曲面を有する基材の大きさ及び構造としては、特に制限はなく、用いる用途などに応じて適宜選定することができる。
前記曲面は、基材の少なくとも一部であればよく、基材全体として二次元あるいは三次元の曲面を有するものであってもよい。
前記アルミニウムを含む化合物としては、アルミニウム酸化物、アルミニウム酸化物に酸素欠損が生じた化合物などが挙げられる。
前記アルミニウム単体、及びアルミニウムを含む化合物の少なくともいずれかを気相成膜する方法としては、特に制限はなく、目的に応じて公知のものの中から適宜選択することができるが、例えば、真空蒸着法があり、大きく分けると化学蒸着法と物理蒸着法などが挙げられ、該化学蒸着法としては、例えば、プラズマCVD法、レーザーCVD法、熱CVD法、ガスソースCVD法などが挙げられる。前記物理蒸着法としては、例えばスパッタリング法、電子線ビーム蒸着法、抵抗加熱蒸着、分子線エピタキシー法などが挙げられる。これらの中でも、電子線ビーム蒸着法が特に好ましい。
また、常圧気相成膜、例えば、常圧CVD法による成膜でも可能である。
前記気相成膜によれば、従来レンズの反射防止に用いられていた誘電体層の気相成膜法との親和性が高く、膜厚制御性、膜密着、また凹面等の複雑な基材形状にも容易に形成できるというメリットがある。
前記凹凸構造は、前記基材上に、アルミニウム及びアルミナの少なくともいずれかを気相成膜した最表層を水熱処理して形成される。
前記水熱処理としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、(1)60℃以上沸騰温度以下の温水(沸騰水も含む)に浸漬する方法、(2)60℃以上沸騰温度以下のアルカリ水溶液に浸漬する方法、(3)水蒸気にさらす方法、などが挙げられる。
前記基材上に形成したアルミニウム及びアルミナの少なくともいずれかを気相成膜した最表層を水熱処理することにより、最表層が解膠作用等を受け、アルミニウム及びアルミナともに最表層がベーマイト(水和酸化アルミニウム、Al2O3(H2O))に転化される。このベーマイト層はごくわずかに水もしくは水溶液に溶ける作用を持っていて、溶ける際に水がベーマイト層を引っ張る力が働く(キャビテーション効果)。この力が全体にある程度均等に発生するため、平均100nm程度のピッチで全体に微細凹凸が形成される。
前記(2)の60℃以上沸騰温度以下のアルカリ水溶液におけるアルカリとしては、例えば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、トリエタノールアミン等のアミン系溶液、アンモニアなどが挙げられる。これらの中でも、アミン系の溶液を用いることが好ましく、トリエタノールアミンはキレート反応により、溶出したアルミニウムをガラス基板上に最析出する現象を防ぐ効果を持っているために特に好ましい。前記アルカリ水溶液の温度は、60℃〜100℃が好ましい。アルカリ水溶液の浸漬時間は、1秒間〜30分間程度であり、10秒間〜10分間程度が最も好ましい。
前記(3)の水熱処理としては、水蒸気にさらす処理が好ましい。前記水蒸気にさらす処理の処理時間は、1分間〜24時間程度である。
前記凹凸構造における凸部の平均高さは、例えば、断面構造のSEM観察像により測定することができる。
前記誘電体層は、前記基材と前記凹凸構造の間に、気相成膜により形成された膜である。
前記誘電体層は、基材上に気相成膜により形成され、屈折率及び材質については特に制限はない。例えば、基材と凹凸構造の中間の屈折率を選択することで反射防止効果をより向上させたり、SiO2等の水を通しにくい性質を持つ誘電体層を形成することで水熱処理時の基材などに与える影響を緩和するなどの効果を発揮させるために用いることができる。
前記誘電体層の成膜方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、真空蒸着法(電子線ビーム蒸着法・抵抗加熱蒸着法)、スパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビーム法、イオンアシスト法、レーザーアブレーション法等の物理的気相成長(PVD)法、熱CVD法、光CVD法、プラズマCVD法等の化学的気相成長(CVD)法、などが挙げられる。これらの中でも、物理的気相成長(PVD)法が好ましく、従来から誘電体層反射防止構造に使用されることが多い方法としてスパッタリング法と真空蒸着法が特に好ましい。
前記誘電体多層膜は、前記基材上に形成され、互いに屈折率の異なる誘電体層を複数層積層してなり、高屈折率の誘電体層と低屈折率の誘電体層とを交互に複数層積層することが好ましいが、2種以上に限定されず、それ以上の種類であっても構わない。
前記積層数は、2層〜20層が好ましく、2層〜12層がより好ましく、4層〜10層が更に好ましく、6層〜8層が特に好ましい。前記積層数が、20層を超えると、多層蒸着により生産効率性が低下し、本発明の目的及び効果を達成できなくなることがある。
なお、前記誘電体層の材料においては、原子比についても特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、成膜時に雰囲気ガス濃度を変えることにより、原子比を調整することができる。
また、複数元素の化合物(例えばSiO2−TiO2等)から調製したターゲット材料を用いることもできる。
前記スパッタリングとしては、成膜レートの高いDCスパッタリング法が好ましい。なお、DCスパッタリング法においては、導電性が高い材料を用いることが好ましい。また、前記スパッタリングにより多層成膜する方法としては、例えば、(1)1つのチャンバで複数のターゲットから交互又は順番に成膜する1チャンバ法と、(2)複数のチャンバで連続的に成膜するマルチチャンバ法とがある。これらの中でも、生産性及び材料コンタミネーションを防ぐ点から、マルチチャンバ法が特に好ましい。
前記真空蒸着法は、熱抵抗加熱と電子線ビーム蒸着があるが、電子線ビーム蒸着が高融点の酸化物も容易に飛ばせることから特に好ましい。
前記誘電体層の厚みとしては、反射防止のためには光学波長オーダーで、λ/16〜λの厚みが好ましく、λ/8〜3λ/4がより好ましく、λ/6〜3λ/8が更に好ましい。
本発明の光学部材の製造方法は、誘電体層形成工程と、最表層形成工程と、水熱処理工程とを含み、更に必要に応じてその他の工程を含んでなる。
前記誘電体層形成工程は、少なくとも一部に曲面を有する基材上に、気相成膜により誘電体層を形成する工程である。
前記電子線ビーム蒸着法の条件としては、材料、ハース、装置の選択によって異なり一概には規定できないが、真空度3×10−6Torr程度以下まで真空を引き、150℃程度に基板加熱をしながら蒸着を行うと、膜密着がより強固になるので好ましい。
前記最表層形成工程は、前記誘電体層上にアルミニウム単体、及びアルミニウムを含む化合物の少なくともいずれかを気相成膜により最表層を形成する工程である
前記気相成膜としては、前記誘電体層形成工程と同様の方法を用いることができる。
前記水熱処理工程は、気相成膜で形成した最表層を水熱処理して凹凸構造を形成する工程である。
前記水熱処理としては、上述したように、(1)60℃以上沸騰温度以下の温水に浸漬する方法、(2)60℃以上沸騰温度以下のアルカリ水溶液に浸漬する方法、(3)水蒸気にさらす方法、などが挙げられる。
分光測定機(日立製作所製、U−4000)で350nm〜800nmまでの透過率と反射率を入射角度5度、12度、30度、及び45度について測定し、透過スペクトル及び反射スペクトルを求めた。偏光は偏光子により無偏光になるように調整して測定を行った。
分光エリプソメトリー(ウーラム社製、VASE)により、屈折率分布を測定した。
光学部材の構造は、電界放射型走査電子顕微鏡(FE−SEM、日立製作所製、S−4300)を用いて観察した。
また、光学部材の断面構造を、断面SEM(FE−SEM、日立製作所製、S−4300)を用いて観察した。
<光学部材の作製>
基材として、図1に示す凹メニスカスレンズ(材質S−TIH6、オハラ株式会社製)を用いた。この凹メニスカスレンズとしてはd線の屈折率が1.805のガラスを使用した。
次に、凹メニスカスレンズを純水で超音波洗浄(45kHz、3分間)を行い、スピンドライヤーと150℃ベークで乾燥を行った。
次に、酸化アルミニウムを、水晶振動子を参考にして、厚みが58nmになるように電子線ビーム蒸着を行った。
次に、アルミニウム金属を厚みが5nmとなるように蒸着を行った。
以上により、両面に酸化アルミニウム上にアルミニウムが蒸着された凹メニスカスレンズを得た。
この沸騰水の中に、両面に酸化アルミニウム上にアルミニウムが蒸着された凹メニスカスレンズを投入した。アルミニウム光沢が10秒ほどで透明になることが確認された。
沸騰水に20秒つけたレンズを取り出し、N2ブローで水分を飛ばした後にスピンドライヤーと100℃ベークで乾燥を行った。
以上により、実施例1の光学部材としての反射防止機能が施された凹メニスカスレンズを作製した。
実施例1において、酸化アルミニウムを厚み58nmに蒸着した代わりに、SiO2を厚み53nmに蒸着した以外は、実施例1と同様にして、実施例2の光学部材を作製した。
得られた光学部材の分光反射率を図5に示した。測定では、表面と裏面の両面からの反射率を測定した。図5中に、5度、12度、30度、及び45度の入射角度における反射率を示した。また、表2に5度、12度、30度、及び45度の入射角度における380nm〜780nmの平均反射率を示した。
実施例2において、水熱処理として沸騰水中に20秒を、沸騰水中で5分間に変えた以外は、実施例2と同様にして、実施例3の光学部材を作製した。この実施例3の光学部材は、実施例2と同等の性能を有していた。
実施例3において、SiO2を30nm蒸着し、アルミニウムを厚み10nmに蒸着し、水熱処理として沸騰水中で5分間行った以外は、実施例3と同様にして、実施例4の光学部材を作製した。
得られた光学部材の5度、12度、30度、及び45度の入射角度における380nm〜780nmの平均反射率を表3に示す。
実施例2において、水熱処理として沸騰水中に20秒浸漬を、オートクレーブ処理により2気圧121℃の水中に20秒浸漬した以外は、実施例2と同様にして、実施例5の光学部材を作製した。
実施例2において、水熱処理として沸騰水中で20秒浸漬を、100℃の加熱水蒸気で30分間処理した以外は、実施例2と同様にして、実施例6の光学部材を作製した。
実施例2において、水熱処理として沸騰水中で20秒浸漬を、100℃のアルカリ水溶液(0.5質量%トリエタノールアミン)中で5分間処理した以外は、実施例2と同様にして、実施例7の光学部材を作製した。
得られた光学部材の5度、12度、30度、及び45度の入射角度における380nm〜780nmの平均反射率を表4に示す。
実施例2において、アルミニウムを厚み5nmに蒸着する代わりにアルミニウムを厚み120nmに蒸着し、沸騰水処理時間を10分間行った以外は、実施例2と同様にして、実施例8の光学部材を作製した。
得られた光学部材の5度、12度、30度、及び45度の入射角度における380nm〜780nmの平均反射率を表5に示す。
実施例2において、アルミニウムを厚み5nmに蒸着する代わりに酸化アルミニウムを厚み160nmに蒸着し、沸騰水処理時間を10分間行った以外は、実施例2と同様にして、実施例9の光学部材を作製した。
得られた光学部材の5度、12度、30度、及び45度の入射角度における380nm〜780nmの平均反射率を表6に示す。
実施例2において、基材としてプラスチック凹メニスカスレンズ(ZEONEX 480R、屈折率1.525)を用い、SiO2を厚みが30nm蒸着し、アルミニウムを厚みが10nm蒸着し、60℃の水中で5分間水熱処理した以外は、実施例2と同様にして、実施例10の光学部材を作製した。実施例10では、ベーマイト単体と比較して、シリカ層が形成されていることにより、水熱処理のプラスチック基材に与える影響が低減されていると考えられる。
得られた光学部材の5度、12度、30度、及び45度の入射角度における380nm〜780nmの平均反射率を表7に示す。
凹メニスカスレンズの凹面が蒸着される配置で、EB蒸着装置(アルバック社製、EBX−8)に設置を行った。200℃に加熱した状態で、真空度2.0×10−6Torrまで真空引きした。
まず、SiO2を、水晶振動子を参考にして、厚みが24nmになるように電子線ビーム蒸着を行った。次に、ターゲットを切り替えてTiO2を、水晶振動子を参考にして、厚みが16nmになるように電子線ビーム蒸着を行った。
更に、アルミニウム金属を厚みが5nmとなるように蒸着を行った。この後の処理は、実施例1と同様にして、実施例11の光学部材を作製した。
得られた光学部材の分光反射率を図6に示した。測定では、表面と裏面の両面からの反射率を測定した。図6中に、5度、12度、30度、及び45度の入射角度における反射率を示した。また、表8に5度、12度、30度、及び45度の入射角度における380nm〜780nmの平均反射率を示した。
−光学部材の作製−
実施例11において、基材として凹メニスカスレンズを、凹レンズ(材質S−TIH6、オハラ株式会社製)に代えた以外は、実施例11と同様にして、実施例12の光学部材を作製した。
−光学部材の作製−
実施例11において、基材として凹メニスカスレンズを、凸レンズ(材質S−TIH6、オハラ株式会社製)に代えた以外は、実施例11と同様にして、実施例13の光学部材を作製した。
−光学部材の作製−
実施例2において、最表層である第2層をAlからAl2O3に代えた以外は、実施例2と同様にして、実施例14の光学部材を作製した。
−光学部材の作製−
実施例11において、最表層である第3層をAlからAl2O3に代えた以外は、実施例11と同様にして、実施例15の光学部材を作製した。
−光学部材の作製−
実施例11において、第1層にAl2O3を厚み60nm、第2層にSiO2を厚み3nm、最表層のアルミニウム厚みを15nmとして、水熱処理時間を20秒でなく1分間とした以外は、実施例11と同様にして、実施例16の光学部材を作製した。また、表9に5度、12度、30度、及び45度の入射角度における380nm〜780nmの平均反射率を示した。
−光学部材の作製−
実施例16において、水熱処理時間を1分間でなく5分間行った以外は、実施例16と同様にして、実施例17の光学部材を作製した。
得られた光学部材は、下層に酸化アルミニウムが存在し、実施例16と水熱処理時間を変化させたにもかかわらず、同様の光学特性が得られた。誘電体層(SiO2層)の耐透湿性及び耐透水性の効果により水熱処理に対する安定性が得られることが分かった。
−光学部材の作製−
実施例1において、各層の形成をEB蒸着(非連続)で行った以外は、実施例1と同様にして、実施例18の光学部材を作製した。
−光学部材の作製−
実施例2において、各層の形成をEB蒸着(非連続)で行った以外は、実施例2と同様にして、実施例19の光学部材を作製した。
−光学部材の作製−
実施例11において、各層の形成をEB蒸着(非連続)で行った以外は、実施例11と同様にして、実施例20の光学部材を作製した。
−光学部材の作製−
実施例1において、酸化アルミニウムを厚み58nmに蒸着する代わりに、酸化アルミニウムを厚み39nm、酸化ジルコニウムを厚み9nm、SiO2を厚み15nmにそれぞれ蒸着した以外は、実施例1と同様にして、実施例21の光学部材を作製した。
得られた光学部材の5度、12度、30度、及び45度の入射角度における380nm〜780nmの平均反射率を表10に示す。
−光学部材の作製−
実施例21において、水熱処理として沸騰水中で20秒を、沸騰水中で5分間処理した以外は、実施例21と同様にして、実施例22の光学部材を作製した。
得られた光学部材は、実施例21と同等の光学特性が得られた。このことから、下層に酸化アルミニウム層があっても、誘電体層の耐透湿性及び耐透水性の効果により水熱処理に対する安定性が得られることが分かった。
−光学部材の作製−
実施例1において、酸化アルミニウムを厚み58nmに蒸着する代わりに、SiO2を厚み20nm、酸化ジルコニウムを厚み17nm、SiO2を厚み19nmに、ぞれぞれ蒸着した以外は、実施例1と同様にして、実施例23の光学部材を作製した。
得られた光学部材の5度、12度、30度、及び45度の入射角度における380nm〜780nmの平均反射率を表11に示す。
−光学部材の作製−
実施例1において、凹メニスカスレンズにアルミニウム蒸着膜を形成しない以外は、実施例1と同様にして、比較例1の光学部材を作製した。
−光学部材の作製−
比較例2として、基材として平面ガラス(材質S−TIH6、オハラ株式会社製)を用い、特許第4182236号公報の実施例2を再現した光学部材を作製した。
−光学部材の作製−
比較例3として、基材として凹メニスカスレンズを用い、特許第4182236号公報の実施例2を再現した光学部材を作製した。
このレンズは、凸部においてレンズ縁の方が中央部より膜厚が厚くなる現象が見られ、レンズの各部位によって反射率が異なるという現象が見られた。このような現象は、「第35回光学シンポジウム講演予稿集p67のFig2」に記載されている。
得られたレンズについて、実施例1と同様にして380nm〜780nmの平均反射率の測定を行った。その結果、5度入射光の反射率と45度入射光の反射率が大きく異なることが分かった。
−光学部材の作製−
実施例2において、誘電体層であるSiO2の蒸着を行わずに、アルミニウム5nmの蒸着のみを行った以外は、実施例2と同様にして、比較例4の光学部材を作製した。
得られた光学部材は、反射防止効果が十分得られなかった。
真空蒸着については真空を破ってサンプルをセットする時点から、蒸着が終了し、サンプルを取り出すまでの時間を測定した。この間、真空度が目標に達成するまでの待ち時間がほとんどであった。水熱処理については、サンプルの治具への準備を開始時間として、サンプルの乾燥終了を終了時間として計測した。
Claims (11)
- 少なくとも一部に曲面を有する基材と、該基材上に、アルミニウム単体、及びアルミニウムを含む化合物の少なくともいずれかを気相成膜した層を水熱処理して最表面に凹凸構造を有してなり、
前記基材と前記凹凸構造の間に、気相成膜により形成された誘電体層を有することを特徴とする光学部材。 - アルミニウム単体、及びアルミニウムを含む化合物の少なくともいずれかを気相成膜した層が、アルミニウム及びアルミナの少なくともいずれかからなる請求項1に記載の光学部材。
- 水熱処理が60℃以上沸騰温度以下の温水及び60℃以上沸騰温度以下のアルカリ水溶液のいずれかに浸漬する処理である請求項1から2のいずれかに記載の光学部材。
- 水熱処理が水蒸気にさらす処理である請求項1から2のいずれかに記載の光学部材。
- 凹凸構造における凸部の平均高さが5nm〜1,000nmである請求項1から4のいずれかに記載の光学部材。
- 気相成膜されたアルミニウムからなる最表層の水熱処理前の平均厚みが100nm以下である請求項2から5のいずれかに記載の光学部材。
- 気相成膜されたアルミナからなる最表層の水熱処理前の平均厚みが150nm以下である請求項2から5のいずれかに記載の光学部材。
- 誘電体層が2層以上からなる誘電体多層膜である請求項1から7のいずれかに記載の光学部材。
- 基材が、曲率を有するレンズである請求項1から8のいずれかに記載の光学部材。
- 少なくとも一部に曲面を有する基材上に、気相成膜により誘電体層を形成する誘電体層形成工程と、
前記誘電体層上にアルミニウム単体、及びアルミニウムを含む化合物の少なくともいずれかを気相成膜により最表層を形成する最表層形成工程と、
最表層を水熱処理して凹凸構造を形成する水熱処理工程と、
を含むことを特徴とする光学部材の製造方法。 - 誘電体層形成工程及び最表層形成工程の気相成膜を、真空状態を維持したまま連続で行う請求項10に記載の光学部材の製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011061404A JP5647924B2 (ja) | 2011-03-18 | 2011-03-18 | 光学部材の製造方法 |
CN2011800692609A CN103443662A (zh) | 2011-03-18 | 2011-12-15 | 光学部件及其制造方法 |
EP11861466.8A EP2687875B1 (en) | 2011-03-18 | 2011-12-15 | Method for producing optical member |
PCT/JP2011/079017 WO2012127744A1 (ja) | 2011-03-18 | 2011-12-15 | 光学部材及びその製造方法 |
US14/028,992 US9459379B2 (en) | 2011-03-18 | 2013-09-17 | Optical member and method for producing same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011061404A JP5647924B2 (ja) | 2011-03-18 | 2011-03-18 | 光学部材の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012198330A true JP2012198330A (ja) | 2012-10-18 |
JP5647924B2 JP5647924B2 (ja) | 2015-01-07 |
Family
ID=46878932
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011061404A Active JP5647924B2 (ja) | 2011-03-18 | 2011-03-18 | 光学部材の製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9459379B2 (ja) |
EP (1) | EP2687875B1 (ja) |
JP (1) | JP5647924B2 (ja) |
CN (1) | CN103443662A (ja) |
WO (1) | WO2012127744A1 (ja) |
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014122961A (ja) * | 2012-12-20 | 2014-07-03 | Canon Inc | 反射防止膜を有する光学素子、光学系および光学機器 |
WO2015030246A1 (ja) * | 2013-08-30 | 2015-03-05 | Hoya株式会社 | 眼鏡レンズ |
JP2015059977A (ja) * | 2013-09-17 | 2015-03-30 | 富士フイルム株式会社 | 透明微細凹凸構造体の製造方法 |
JP2015114381A (ja) * | 2013-12-09 | 2015-06-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 反射防止機能を有する部材およびその製造方法 |
WO2015146016A1 (ja) * | 2014-03-24 | 2015-10-01 | 富士フイルム株式会社 | 反射防止機能付きレンズの製造方法 |
WO2016031133A1 (ja) * | 2014-08-27 | 2016-03-03 | 富士フイルム株式会社 | 反射防止膜を備えた光学部材およびその製造方法 |
WO2016060003A1 (ja) * | 2014-10-15 | 2016-04-21 | 富士フイルム株式会社 | 光学素子および光学素子の製造方法 |
JP2016071230A (ja) * | 2014-09-30 | 2016-05-09 | 富士フイルム株式会社 | 光学素子および光学素子の製造方法 |
WO2016170727A1 (ja) * | 2015-04-20 | 2016-10-27 | 富士フイルム株式会社 | 構造物の製造方法 |
JPWO2016159290A1 (ja) * | 2015-03-31 | 2017-08-03 | 富士フイルム株式会社 | 反射防止膜及びその製造方法 |
JP2017151200A (ja) * | 2016-02-23 | 2017-08-31 | コニカミノルタ株式会社 | 反射防止体の製造方法 |
JPWO2016136262A1 (ja) * | 2015-02-27 | 2017-11-30 | 富士フイルム株式会社 | 反射防止膜およびその製造方法、並びに光学部材 |
JPWO2016136261A1 (ja) * | 2015-02-27 | 2017-12-14 | 富士フイルム株式会社 | 反射防止膜および光学部材 |
JP2018533762A (ja) * | 2016-03-09 | 2018-11-15 | エルジー・ケム・リミテッド | 反射防止フィルム |
JP2020523642A (ja) * | 2017-06-16 | 2020-08-06 | コーニング インコーポレイテッド | 高反射鏡のための銀コーティング積層体の反射帯域幅の拡大 |
JP7055494B1 (ja) | 2021-02-08 | 2022-04-18 | 東海光学株式会社 | 光学製品の製造方法 |
JP2023015187A (ja) * | 2021-02-08 | 2023-01-31 | 東海光学株式会社 | 光学製品 |
WO2023047948A1 (ja) * | 2021-09-24 | 2023-03-30 | 東海光学株式会社 | 光学製品及び光学製品の製造方法 |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014081522A (ja) * | 2012-10-17 | 2014-05-08 | Fujifilm Corp | 反射防止膜を備えた光学部材およびその製造方法 |
JP6189612B2 (ja) * | 2012-10-17 | 2017-08-30 | 富士フイルム株式会社 | 反射防止膜を備えた光学部材およびその製造方法 |
WO2016031167A1 (ja) | 2014-08-25 | 2016-03-03 | 富士フイルム株式会社 | 反射防止膜および反射防止膜を備えた光学部材 |
WO2016068423A1 (ko) * | 2014-11-01 | 2016-05-06 | 삼성에스디아이 주식회사 | 플렉시블 디스플레이 장치 |
CN105236756A (zh) * | 2015-09-21 | 2016-01-13 | 海南大学 | 减反射玻璃及其制备方法 |
CN109196388A (zh) * | 2017-03-13 | 2019-01-11 | 京东方科技集团股份有限公司 | 抗反射涂层、触控基板、显示装置和制造抗反射涂层的方法 |
JP2018159884A (ja) * | 2017-03-23 | 2018-10-11 | 三好興業株式会社 | 半透明レンズ、サングラス及び半透明レンズの製造方法 |
JP6918208B2 (ja) * | 2018-03-29 | 2021-08-11 | 富士フイルム株式会社 | 反射防止膜および光学部材 |
WO2019208366A1 (ja) * | 2018-04-26 | 2019-10-31 | 富士フイルム株式会社 | 光学薄膜、光学素子、光学系および光学薄膜の製造方法 |
CN108642447A (zh) * | 2018-05-08 | 2018-10-12 | 北京汉能光伏投资有限公司 | 一种曲面镀膜板及其制备方法和包含其的太阳能组件 |
CN113985504B (zh) * | 2021-12-27 | 2022-04-26 | 诚瑞光学(苏州)有限公司 | 光学镜片 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006259711A (ja) * | 2005-02-18 | 2006-09-28 | Canon Inc | 光学用透明部材及びそれを用いた光学系 |
JP4182236B2 (ja) * | 2004-02-23 | 2008-11-19 | キヤノン株式会社 | 光学部材および光学部材の製造方法 |
JP2009217049A (ja) * | 2008-03-11 | 2009-09-24 | Hoya Corp | 顕微鏡対物レンズおよび顕微鏡 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4190321A (en) | 1977-02-18 | 1980-02-26 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Microstructured transmission and reflectance modifying coating |
US6896981B2 (en) * | 2001-07-24 | 2005-05-24 | Bridgestone Corporation | Transparent conductive film and touch panel |
CN100414321C (zh) * | 2005-02-18 | 2008-08-27 | 佳能株式会社 | 光学透明部件和使用该光学透明部件的光学*** |
JP2006297681A (ja) * | 2005-04-19 | 2006-11-02 | Japan Vilene Co Ltd | 透明性材料及びその製造方法 |
JP2007213780A (ja) * | 2006-01-11 | 2007-08-23 | Pentax Corp | 反射防止膜を有する光学素子 |
TW200746123A (en) | 2006-01-11 | 2007-12-16 | Pentax Corp | Optical element having anti-reflection coating |
JP4639241B2 (ja) * | 2007-02-20 | 2011-02-23 | キヤノン株式会社 | 光学用部材、それを用いた光学系及び光学用部材の製造方法 |
JP5279344B2 (ja) * | 2007-06-06 | 2013-09-04 | キヤノン株式会社 | 光学素子の製造方法 |
JP5213424B2 (ja) * | 2007-12-10 | 2013-06-19 | キヤノン株式会社 | 光学系及びそれを有する光学機器 |
-
2011
- 2011-03-18 JP JP2011061404A patent/JP5647924B2/ja active Active
- 2011-12-15 WO PCT/JP2011/079017 patent/WO2012127744A1/ja active Application Filing
- 2011-12-15 CN CN2011800692609A patent/CN103443662A/zh active Pending
- 2011-12-15 EP EP11861466.8A patent/EP2687875B1/en not_active Not-in-force
-
2013
- 2013-09-17 US US14/028,992 patent/US9459379B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4182236B2 (ja) * | 2004-02-23 | 2008-11-19 | キヤノン株式会社 | 光学部材および光学部材の製造方法 |
JP2006259711A (ja) * | 2005-02-18 | 2006-09-28 | Canon Inc | 光学用透明部材及びそれを用いた光学系 |
JP2009217049A (ja) * | 2008-03-11 | 2009-09-24 | Hoya Corp | 顕微鏡対物レンズおよび顕微鏡 |
Cited By (39)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014122961A (ja) * | 2012-12-20 | 2014-07-03 | Canon Inc | 反射防止膜を有する光学素子、光学系および光学機器 |
AU2014312744B2 (en) * | 2013-08-30 | 2017-06-22 | Hoya Corporation | Spectacle lens |
WO2015030246A1 (ja) * | 2013-08-30 | 2015-03-05 | Hoya株式会社 | 眼鏡レンズ |
JP2015049339A (ja) * | 2013-08-30 | 2015-03-16 | Hoya株式会社 | 眼鏡レンズ |
JP2015059977A (ja) * | 2013-09-17 | 2015-03-30 | 富士フイルム株式会社 | 透明微細凹凸構造体の製造方法 |
JP2015114381A (ja) * | 2013-12-09 | 2015-06-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 反射防止機能を有する部材およびその製造方法 |
US10196302B2 (en) | 2014-03-24 | 2019-02-05 | Fujifilm Corporation | Method for manufacturing antireflection function-equipped lens |
JP2015184403A (ja) * | 2014-03-24 | 2015-10-22 | 富士フイルム株式会社 | 反射防止機能付きレンズの製造方法 |
WO2015146016A1 (ja) * | 2014-03-24 | 2015-10-01 | 富士フイルム株式会社 | 反射防止機能付きレンズの製造方法 |
JPWO2016031133A1 (ja) * | 2014-08-27 | 2017-06-08 | 富士フイルム株式会社 | 反射防止膜を備えた光学部材およびその製造方法 |
WO2016031133A1 (ja) * | 2014-08-27 | 2016-03-03 | 富士フイルム株式会社 | 反射防止膜を備えた光学部材およびその製造方法 |
JP2016071230A (ja) * | 2014-09-30 | 2016-05-09 | 富士フイルム株式会社 | 光学素子および光学素子の製造方法 |
WO2016060003A1 (ja) * | 2014-10-15 | 2016-04-21 | 富士フイルム株式会社 | 光学素子および光学素子の製造方法 |
US10564323B2 (en) | 2015-02-27 | 2020-02-18 | Fujifilm Corporation | Antireflection film and method of producing the same, and optical member |
JPWO2016136262A1 (ja) * | 2015-02-27 | 2017-11-30 | 富士フイルム株式会社 | 反射防止膜およびその製造方法、並びに光学部材 |
JPWO2016136261A1 (ja) * | 2015-02-27 | 2017-12-14 | 富士フイルム株式会社 | 反射防止膜および光学部材 |
US10518501B2 (en) | 2015-02-27 | 2019-12-31 | Fujifilm Corporation | Antireflection film and optical member |
JPWO2016159290A1 (ja) * | 2015-03-31 | 2017-08-03 | 富士フイルム株式会社 | 反射防止膜及びその製造方法 |
US10520648B2 (en) | 2015-03-31 | 2019-12-31 | Fujifilm Corporation | Antireflection film and method of producing the same |
US10025006B2 (en) | 2015-04-20 | 2018-07-17 | Fujifilm Corporation | Method of manufacturing structure |
WO2016170727A1 (ja) * | 2015-04-20 | 2016-10-27 | 富士フイルム株式会社 | 構造物の製造方法 |
JPWO2016170727A1 (ja) * | 2015-04-20 | 2018-02-01 | 富士フイルム株式会社 | 構造物の製造方法 |
JP2017151200A (ja) * | 2016-02-23 | 2017-08-31 | コニカミノルタ株式会社 | 反射防止体の製造方法 |
US10895667B2 (en) | 2016-03-09 | 2021-01-19 | Lg Chem, Ltd. | Antireflection film |
US11262481B2 (en) | 2016-03-09 | 2022-03-01 | Lg Chem, Ltd. | Anti-reflective film |
US10627547B2 (en) | 2016-03-09 | 2020-04-21 | Lg Chem, Ltd. | Anti-reflective film |
US11275199B2 (en) | 2016-03-09 | 2022-03-15 | Lg Chem, Ltd. | Anti-reflective film |
US10802178B2 (en) | 2016-03-09 | 2020-10-13 | Lg Chem, Ltd. | Anti-reflective film |
JP2018533762A (ja) * | 2016-03-09 | 2018-11-15 | エルジー・ケム・リミテッド | 反射防止フィルム |
US10983252B2 (en) | 2016-03-09 | 2021-04-20 | Lg Chem, Ltd. | Anti-reflective film |
US10222510B2 (en) | 2016-03-09 | 2019-03-05 | Lg Chem, Ltd | Anti-reflective film |
JP2020523642A (ja) * | 2017-06-16 | 2020-08-06 | コーニング インコーポレイテッド | 高反射鏡のための銀コーティング積層体の反射帯域幅の拡大 |
JP7280198B2 (ja) | 2017-06-16 | 2023-05-23 | コーニング インコーポレイテッド | 高反射鏡のための銀コーティング積層体の反射帯域幅の拡大 |
JP7055494B1 (ja) | 2021-02-08 | 2022-04-18 | 東海光学株式会社 | 光学製品の製造方法 |
WO2022168457A1 (ja) | 2021-02-08 | 2022-08-11 | 東海光学株式会社 | 光学製品及び光学製品の製造方法 |
JP2022121208A (ja) * | 2021-02-08 | 2022-08-19 | 東海光学株式会社 | 光学製品の製造方法 |
JP2023015187A (ja) * | 2021-02-08 | 2023-01-31 | 東海光学株式会社 | 光学製品 |
JP7274799B2 (ja) | 2021-02-08 | 2023-05-17 | 東海光学株式会社 | 光学製品 |
WO2023047948A1 (ja) * | 2021-09-24 | 2023-03-30 | 東海光学株式会社 | 光学製品及び光学製品の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2687875A1 (en) | 2014-01-22 |
WO2012127744A1 (ja) | 2012-09-27 |
US9459379B2 (en) | 2016-10-04 |
US20140016204A1 (en) | 2014-01-16 |
JP5647924B2 (ja) | 2015-01-07 |
CN103443662A (zh) | 2013-12-11 |
EP2687875B1 (en) | 2016-11-30 |
EP2687875A4 (en) | 2014-11-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5647924B2 (ja) | 光学部材の製造方法 | |
JP5622468B2 (ja) | レンズの製造方法及びレンズ | |
JP3808917B2 (ja) | 薄膜の製造方法及び薄膜 | |
JP2010102157A (ja) | 光学物品およびその製造方法 | |
JP2011013654A (ja) | 多層反射防止層およびその製造方法、プラスチックレンズ | |
JP2011039218A (ja) | 光学物品の製造方法 | |
JP2021523412A (ja) | 曲面フイルムおよびその製造方法 | |
CN106997064B (zh) | 光学元件及其制作方法 | |
JP3387204B2 (ja) | 偏光板、偏光板の製造方法および液晶表示装置 | |
JP5698902B2 (ja) | 光学物品およびその製造方法 | |
JP6313941B2 (ja) | 眼鏡レンズ | |
JP2010140008A (ja) | 光学物品およびその製造方法 | |
JP2010237637A (ja) | 光学物品およびその製造方法 | |
JP2006267372A (ja) | プラスチック製光学部品、およびこれを用いた光学ユニット | |
JP2009217018A (ja) | 光学物品及び光学物品の製造方法 | |
US11091830B2 (en) | Moth-eye transfer mold, method of manufacturing moth-eye transfer mold, and method of transferring moth-eye structure | |
JP7041424B2 (ja) | 薄膜の形成方法及び光学素子 | |
JP2013182091A (ja) | 反射防止膜及びその形成方法 | |
TWI588517B (zh) | 光學元件 | |
JP7065995B2 (ja) | 反射防止膜の製造方法、および微細凹凸構造の形成方法 | |
JP2010072636A (ja) | 光学物品およびその製造方法 | |
JP2019066600A (ja) | プラスチックレンズ及びその製造方法 | |
JP2011017949A (ja) | 光学物品の製造方法およびその方法により製造された光学物品 | |
JP2012141474A (ja) | プラスチック製光学素子の反射防止膜及びプラスチック製光学素子 | |
JP2011150267A (ja) | 光学物品およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130628 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140204 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140325 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141007 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141016 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141104 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141110 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5647924 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |