JP2020523642A5 - - Google Patents
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- ０．３００μｍ〜１５μｍの波長範囲で使用するための高反射鏡（１０）であって、
前記高反射鏡（１０）は：
基板（１４）；
第１の界面層（１８）；
反射層（２２）；
第２の界面層（２６）；
低屈折率材料と高屈折率材料との組み合わせを含み、前記高屈折率材料はＨｆＯ２を含む、複数の調質層（３０）；並びに
保護層（４２）
を備え、
前記高反射鏡（１０）は、入射角（ＡＯＩ）＝４５°において、３３５ｎｍ〜１０００ｎｍの波長範囲にわたって少なくとも９０％の反射率を有する、高反射鏡（１０）。 - 前記高反射鏡（１０）は、ＡＯＩ＝４５°において、３４０ｎｍ〜４００ｎｍの波長範囲にわたって少なくとも９０％の反射率を有する、請求項１に記載の高反射鏡（１０）。
- 前記第１の界面層（１８）は０．２ｎｍ〜５０ｎｍの厚さを有し、Ａｌ２Ｏ３、ＴｉＯ２、ＺｎＳ、ＭｇＦ２、ＡｌＦ３、Ｎｉ、モネル（Ｎｉ‐Ｃｕ）、Ｔｉ、Ｐｔ、又はこれらの組み合わせを含む、請求項１に記載の高反射鏡（１０）。
- バリア層（４６）を更に備え、
前記バリア層（４６）は、耐腐食層、耐摩耗層、応力調整層、又はこれらの組み合わせを含む、請求項１から３のいずれか１項に記載の高反射鏡（１０）。 - 前記バリア層（４６）は、Ｓｉ３Ｎ４、ＳｉＯｘＮｙ、ＳｉＯ２、ＣｒＮ、ＮｉＣｒＮ、Ｃｒ、ＮｉＣｒ、Ｎｉ、ダイヤモンド様炭素（ＤＬＣ）、又はこれらの組み合わせを含む前記耐腐食層、もしくはＳｉ ３ Ｎ ４ 、ＳｉＯ ｘ Ｎ ｙ 、ＳｉＯ ２ 、ＡｌＯ ｘ Ｎ ｙ 、ＡｌＮ、ＹｂＦ ３ 、ＹｂＦ ｘ Ｏ ｙ 、ダイヤモンド様炭素（ＤＬＣ）、又はこれらの組み合わせを含む前記耐摩耗層である、請求項４に記載の高反射鏡（１０）。
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