JP2020184652A - 電子デバイス、フィルタおよびマルチプレクサ - Google Patents
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Abstract
Description
図4(a)から図4(d)は、実施例1に係る弾性波デバイスの製造方法を示す断面図である。図4(a)に示すように、支持基板10aの上面に圧電基板10bの下面を例えば表面活性化法を用い常温接合する。支持基板10aと圧電基板10bとは数nmのアモルファス層等を介し直接接合されていてもよいし、接着剤等により接合されていてもよい。支持基板10aと圧電基板10bとの間に絶縁層が設けられていてもよい。圧電基板10bに開口19aおよび19bを例えばエッチング法を用い形成する。開口19a内の支持基板10aの上面に例えばレーザ光を照射しビア19cを形成する。
図8は、比較例1に係る弾性波デバイスのバンプ付近の断面図である。比較例1では、絶縁層62および緩衝層60が設けられていない。矢印56のように、バンプ28に荷重が加わると、バンプ28直下の金属層17が変形し、圧電基板10bに応力が加わる。圧電基板10bは脆いため圧電基板10bにクラック54が形成される。バンプ28に加わる荷重は例えば図4(d)において、基板20を基板10上にフリップチップ実装するときに加わる。
図9(a)は、実施例1の変形例1におけるバンプ付近の断面図、図9(b)および図9(c)は、平面図である。図9(b)は、主に配線15cおよび15dを図示し、図9(c)は、主に配線14cおよび14dを図示している。
図10(a)および図10(b)は、実施例1の変形例2に係る弾性波デバイスのバンプ付近の平面図である。図10(a)および図10(b)に示すように、緩衝層60の平面形状は円形である。その他の構成は実施例1およびその変形例1と同じであり説明を省略する。緩衝層60の平面形状は実施例1およびその変形例1のように四角形状等の多角形状でもよし、実施例1の変形例2のように円形状でもよい。
図11は、実施例1の変形例3に係る弾性波デバイスの基板10の平面図である。図11に示すように、基板10上に弾性波素子12および配線14が設けられている。弾性波素子12は弾性表面波共振器でありIDT40および反射器42を備えている。弾性波素子12は直列共振器S1からS5および並列共振器P1からP3を含む。配線14はパッドPin、Pout、PgおよびPrを含む。パッドPin、PoutおよびPgはそれぞれ入力端子、出力端子およびグランド端子に接続されている。Prは基板20に接続されるパッドである。直列共振器S1からS5はパッドPinとPoutとの間に直列に接続され、並列共振器P1からP3はパッドPinとPoutとの間に並列に接続されている。
図13(a)および図13(b)は、実施例1の変形例4に係る弾性波デバイスの断面図および平面図である。図13(b)は、基板10、20、環状金属層34、35、緩衝層60aおよび封止部30aを図示している。
10b 圧電基板
12、22 弾性波素子
14、15、24 配線
16 ビア配線
17 金属層
18 端子
20 基板
26 空隙
28 バンプ
30、30a 封止部
32、34,35 環状金属層
36 リッド
50 送信フィルタ
52 受信フィルタ
60、60a 緩衝層
Claims (11)
- 支持基板と前記支持基板上に直接的または間接的に接合された基板とを備える第1基板と、
前記支持基板上の前記基板が設けられていない領域に設けられ、前記基板の側面に接する第1金属層と、
前記第1金属層上に設けられ、前記第1金属層よりヤング率の小さい緩衝層と、
前記緩衝層上に設けられた第2金属層と、
前記基板上に空隙を介して設けられた第2基板と、
前記第2基板と前記第2金属層とを接続し、平面視において前記第1金属層および前記緩衝層と重なる接続層と、
前記基板上および前記第2基板下の少なくとも一方に設けられた機能部と、
を備える電子デバイス。 - 前記緩衝層は樹脂からなる絶縁体である請求項1に記載の電子デバイス。
- 前記接続層は、金または銅を主成分とする請求項1または2に記載の電子デバイス。
- 前記第1金属層上に接触し、平面視において前記緩衝層の外まで延伸する第3金属層を備える請求項1から3のいずれか一項に記載の電子デバイス。
- 前記第2金属層と前記第3金属層とは、平面視において前記緩衝層と重ならない領域で接触する請求項4に記載の電子デバイス。
- 前記第2金属層と前記第3金属層とは接触せず、異なる電位が加わる請求項4に記載の電子デバイス。
- 前記支持基板を貫通し、前記第1金属層に接触するビア配線を備え、
前記接続層はバンプであり、
前記第1金属層は、平面視において前記基板に囲まれて設けられている請求項1から6のいずれか一項に記載の電子デバイス。 - 前記接続層は、前記機能部を囲み前記機能部を前記空隙内に封止する封止部であり、
前記第1金属層は、前記機能部を囲む環状金属層である請求項1から6のいずれか一項に記載の電子デバイス。 - 前記基板は、タンタル酸リチウム基板またはニオブ酸リチウム基板であり、
前記機能部は、前記基板上に設けられた弾性波素子を含む請求項1から8のいずれか一項に記載の電子デバイス。 - 請求項1から9のいずれか一項に記載の電子デバイスを含むフィルタ。
- 請求項10に記載のフィルタを含むマルチプレクサ。
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