JP7373301B2 - 弾性波デバイス、フィルタおよびマルチプレクサ - Google Patents
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Description
図3(a)から図5(b)は、実施例1に係る弾性波デバイスの製造方法を示す断面図である。図3(a)に示すように、基板20b上に基板20aを例えば表面活性化法を用い常温接合する。基板20bがタンタル酸リチウム基板またはニオブ酸リチウム基板の場合、結晶内の分極方向を揃える分極処理は行わなくてもよい。
図6は、比較例1に係る弾性波デバイスの断面図である。図6に示すように、比較例1の弾性波デバイスでは、基板20に基板20bは設けられていない。その他の構成は実施例1と同じである。
図7は実施例1の変形例1に係る弾性波デバイスの断面図である。図7に示すように、基板20上に基板10が搭載されている。基板20は基板20b上に基板20aが接合されている。基板20a上に弾性波素子22、配線24および環状金属層32が設けられている。基板20を貫通するビア配線16が設けられている。基板20の下面に端子18が設けられている。圧電基板10b上に支持基板10aが接合されている。圧電基板10bの下面に弾性波素子12および配線14が設けられている。バンプ28は配線14および24に接合する。基板10を囲むように封止部30が設けられている。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。
図8(a)は,実施例1の変形例2に係る弾性波デバイスの断面図、図8(b)は、平面図である。図8(b)では、封止部30aを図示している。図8(a)および図8(b)に示すように、基板10と20の平面形状はほぼ同じである。基板10と20の周縁の基板10と20との間に封止部30aが設けられている。封止部30aは、例えば銅層等の金属層であり、弾性波素子12および22を空隙26に封止する。バンプ28と封止部30aが接続層として機能する。その他の構成は実施例1と同じであり、説明を省略する。実施例1の変形例2のように、バンプ28に加えまたは代わりに封止部30aが接続層として機能してもよい。実施例1の変形例2では、熱応力による封止部30aの剥がれ等の劣化を抑制できる。
10b 圧電基板
12、22 弾性波素子
14、24 配線
16a、16b ビア配線
17a-17c 金属層
18 端子
20 基板
26 空隙
28a、28c バンプ
30 封止部
32 環状金属層
36 リッド
50 送信フィルタ
52 受信フィルタ
Claims (12)
- 第1面を有する第1基板と、
前記第1基板の前記第1面とは反対の面に直接的または間接的に接合され、前記第1基板の線膨張係数より小さい線膨張係数を有し、前記第1基板より厚い第2基板と、
前記第1面上に設けられ、前記第1面と空隙を挟み対向する第2面を有し、前記第1基板の線膨張係数より前記第2基板の線膨張係数に近い線膨張係数を有する第3基板と、
前記第3基板の前記第2面とは反対の面に直接的または間接的に接合され、前記第3基板の線膨張係数より大きくかつ前記第3基板の線膨張係数より前記第1基板の線膨張係数に近い線膨張係数を有し、前記第3基板より薄い第4基板と、
前記第1面と前記第2面の少なくとも一方に設けられた弾性波素子と、
前記第1面と前記第2面とを接続する接続層と、
を備える弾性波デバイス。 - 前記接続層はバンプである請求項1に記載の弾性波デバイス。
- 前記接続層は前記空隙を封止する封止部である請求項1に記載の弾性波デバイス。
- 前記第1基板および前記第4基板は圧電基板であり、
前記弾性波素子は前記第1面に設けられ、
前記弾性波素子は複数の電極指を有する一対の櫛型電極を備え、
前記第2基板の前記複数の電極指が配列される方向における線膨張係数は前記方向における前記第1基板の線膨張係数より小さく、
前記方向における前記第3基板の線膨張係数は前記方向における前記第4基板の前記方向の線膨張係数より小さい請求項1から3のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。 - 第1面を有する第1基板と、
前記第1基板の前記第1面とは反対の面に直接的または間接的に接合され、前記第1基板の線膨張係数と異なる線膨張係数を有する第2基板と、
前記第1面上に設けられ、前記第1面と空隙を挟み対向する第2面を有し、前記第1基板の線膨張係数より前記第2基板の線膨張係数に近い線膨張係数を有する第3基板と、
前記第3基板の前記第2面とは反対の面に直接的または間接的に接合され、前記第3基板の線膨張係数より前記第1基板の線膨張係数に近い線膨張係数を有する第4基板と、
前記第1面と前記第2面の少なくとも一方に設けられた弾性波素子と、
前記第1面と前記第2面とを接続し、前記空隙を封止する封止部である接続層と、
を備える弾性波デバイス。 - 前記第1基板および前記第4基板は圧電基板であり、
前記弾性波素子は前記第1面に設けられ、
前記弾性波素子は複数の電極指を有する一対の櫛型電極を備え、
前記第2基板の前記複数の電極指が配列される方向における線膨張係数は前記方向における前記第1基板の線膨張係数より小さく、
前記方向における前記第3基板の線膨張係数は前記方向における前記第4基板の前記方向の線膨張係数より小さい請求項5に記載の弾性波デバイス。 - 前記第1基板は前記第2基板より薄く、
前記第4基板は前記第3基板より薄い請求項6に記載の弾性波デバイス。 - 前記第1基板および前記第4基板はタンタル酸リチウム基板またはニオブ酸リチウム基板である請求項4、6および7のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
- 前記弾性波素子は、前記第2面に設けられた圧電薄膜共振器を含む請求項4、6、7および8のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
- 前記第1基板と前記第4基板とは同じ材料を主成分とし、
前記第2基板と前記第3基板とは同じ材料を主成分とする請求項1から9のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。 - 前記第1基板の厚さをT1、前記第2基板の厚さをT2、前記第3基板の厚さをT3、前記第4基板の厚さをT4とし、T1/T2=R1、T4/T3=R2としたとき、|R1-R2|/|R1+R2|は0.1以下である請求項1から10のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
- 請求項1から11のいずれか一項に記載の弾性波デバイスを含むフィルタ。
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