JP7340348B2 - 弾性波デバイス、フィルタおよびマルチプレクサ - Google Patents
弾性波デバイス、フィルタおよびマルチプレクサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP7340348B2 JP7340348B2 JP2019076622A JP2019076622A JP7340348B2 JP 7340348 B2 JP7340348 B2 JP 7340348B2 JP 2019076622 A JP2019076622 A JP 2019076622A JP 2019076622 A JP2019076622 A JP 2019076622A JP 7340348 B2 JP7340348 B2 JP 7340348B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- metal layer
- piezoelectric substrate
- support substrate
- interface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
図3(a)から図4(d)は、実施例1に係る弾性波デバイスの製造方法を示す断面図である。図3(a)に示すように、支持基板10aの上面に圧電基板10bの下面を例えば表面活性化法を用い常温接合する。支持基板10aと圧電基板10bとは数nmのアモルファス層等を介し直接接合されていてもよいし、絶縁層を介し間接的に接合されていてもよい。
図5(a)から図5(d)は、実施例1において界面60を粗面とする方法例1を示す断面図である。図5(a)に示すように、図3(a)の工程を行った後、エッチング法を用い圧電基板10bに開口15を形成する。支持基板10aの上面の算術平均粗さRaは例えば10nm以下である。このとき、支持基板10aの上面もエッチングされる。例えば支持基板10aの上面は圧電基板10bの厚さの5%から50%程度エッチングされる。例えば圧電基板10bおよび支持基板10aがそれぞれタンタル酸リチウム基板およびサファイア基板のとき、圧電基板10bの厚さを0.6μmとすると支持基板10aの上面は約0.3μmエッチングされ、圧電基板10bの厚さを10μmとすると支持基板10aの上面は約3μmエッチングされる。
図6(a)および図6(b)は、実施例1において界面60を粗面とする方法例2を示す断面図である。図6(a)に示すように、図5(a)の工程後、圧電基板10b上および開口15内にマスク層62を形成する。マスク層62は開口15内の支持基板10aの上面がほぼ全て露出する開口63を有する。図6(b)に示すように、サンドブラスト法を用い開口63内の支持基板10aの上面を粗面化する。マスク層62を除去する。これにより、支持基板10aの上面に複数の凹部25aおよび複数の凸部25bが形成される。その後、図5(d)の工程を行う。粗面とする方法例2では、不規則な凹部25aおよび凸部25bを形成できる。
図7(a)および図8(d)は、実施例1において界面60を粗面とする方法例3を示す断面図である。図7(a)に示すように、図5(a)の工程後、圧電基板10b上および開口15内にマスク層64を形成する。マスク層64は例えば金属層である。図7(b)に示すように、マスク層64上に開口63を有するマスク層62を形成する。マスク層62は例えばフォトレジストである。マスク層62をマスクにマスク層64をエッチングしマスク層64に開口63を形成する。
図9(a)から図10(b)は、実施例1において界面60を粗面とする方法例4を示す断面図である。図9(a)に示すように、図3(a)において、上面が粗面の支持基板10aを準備する。支持基板10aの上面には凹部25aおよび凸部25bが形成されている。
図11(a)に示すように、比較例1では、金属層17と支持基板10aとの界面60および金属層17と圧電基板10bとの界面61は平坦面である。図11(b)に示すように、基板20を実装する工程等の熱処理工程において熱応力が加わると界面60において金属層17が支持基板10aから剥がれ、空隙54が形成されることがある。
図11(c)に示すように、金属層17と支持基板10aとの密着性を改善するため、界面60および61を粗面とする。図11(d)に示すように、これにより、熱処理工程において金属層17が支持基板10aから剥がれることを抑制できる。しかし、圧電基板10bにクラック56が形成されることがある。
図12(a)および図12(b)は、実施例1における金属層付近の断面図である。図12(a)に示すように、実施例1では、金属層17と支持基板10aとの界面60は粗面であり、金属層17と圧電基板10bとの界面61は平坦面である。図12(b)に示すように、熱処理工程において、界面60が粗面であるため、比較例1のような金属層17の剥がれを抑制できる。また、金属層17と圧電基板10bとの界面61が平坦面である。このため、金属層17と圧電基板10bとの密着性が低い。矢印57のように熱応力が加わると、界面61において金属層17と圧電基板10bとがずれる。このため、圧電基板10bに加わる応力が緩和される。よって、比較例2のようなクラック56を抑制できる。
10b 圧電基板
12、22 弾性波素子
14、24 配線
15 開口
16 ビア配線
17、17a 金属層
17b、34 環状金属層
18 端子
20 基板
25a 凹部
25b 凸部
26 空隙
28 バンプ
30 封止部
32 密着層
36 リッド
50 送信フィルタ
52 受信フィルタ
60、61 界面
Claims (9)
- 支持基板と、
前記支持基板上に直接または間接的に接合された圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられた弾性波素子と、
前記支持基板上の前記圧電基板が設けられていない領域に設けられ前記支持基板と前記圧電基板の側面とに接し、前記支持基板との間の界面の表面粗さは前記圧電基板の側面との界面の表面粗さより大きい金属層と、
を備え、
前記金属層の線膨張係数は前記圧電基板の線膨張係数より大きく、前記圧電基板の線膨張係数は前記支持基板の線膨張係数より大きく、
前記支持基板のビッカース硬さは前記圧電基板のビッカース硬さより大きく、
前記金属層の断面を見たとき、前記圧電基板と前記金属層との界面は、前記金属層の幅が前記支持基板側に向かって狭くなるように傾斜する弾性波デバイス。 - サファイア基板である支持基板と、
前記支持基板上に直接または間接的に接合され、タンタル酸リチウム基板である圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられた弾性波素子と、
前記支持基板上の前記圧電基板が設けられていない領域に設けられ前記支持基板と前記圧電基板の側面とに接し、前記支持基板との間の界面の表面粗さは前記圧電基板の側面との界面の表面粗さより大きく、銅層である金属層と、
を備え、
前記金属層の断面を見たとき、前記圧電基板と前記金属層との界面は、前記金属層の幅が前記支持基板側に向かって狭くなるように傾斜する弾性波デバイス。 - 前記圧電基板は、タンタル酸リチウム基板であり、前記支持基板はサファイア基板であり、前記金属層は銅層である請求項1に記載の弾性波デバイス。
- 前記金属層の前記支持基板と反対の面と前記圧電基板と前記金属層との界面との内角は80°以下かつ30°以上である請求項1から3のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
- 前記金属層は、前記弾性波素子を囲むように設けられた環状金属層を含む請求項1から4のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
- 前記圧電基板上に前記圧電基板と空隙を挟み搭載されたチップと、
前記チップを囲み前記環状金属層と接合し、前記弾性波素子を前記空隙に封止する封止部と、
を備える請求項5に記載の弾性波デバイス。 - 前記支持基板を貫通するビア配線を備え、
前記金属層は、前記ビア配線と接続し、周囲を前記圧電基板の側面に囲まれる請求項1から6のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。 - 請求項1から7のいずれか一項に記載の弾性波デバイスを含むフィルタ。
- 請求項8に記載のフィルタを含むマルチプレクサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019076622A JP7340348B2 (ja) | 2019-04-12 | 2019-04-12 | 弾性波デバイス、フィルタおよびマルチプレクサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019076622A JP7340348B2 (ja) | 2019-04-12 | 2019-04-12 | 弾性波デバイス、フィルタおよびマルチプレクサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020174332A JP2020174332A (ja) | 2020-10-22 |
JP7340348B2 true JP7340348B2 (ja) | 2023-09-07 |
Family
ID=72831872
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019076622A Active JP7340348B2 (ja) | 2019-04-12 | 2019-04-12 | 弾性波デバイス、フィルタおよびマルチプレクサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7340348B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117897910A (zh) * | 2021-09-08 | 2024-04-16 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013520830A (ja) | 2010-02-25 | 2013-06-06 | エスピーティーエス テクノロジーズ リミティド | ビア及びエッチングされた構造におけるコンフォーマル絶縁層の形成方法及びパターン形成方法 |
JP2016100729A (ja) | 2014-11-20 | 2016-05-30 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイスの製造方法 |
JP2016208413A (ja) | 2015-04-27 | 2016-12-08 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス |
JP2017147708A (ja) | 2016-02-19 | 2017-08-24 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス |
JP2017169139A (ja) | 2016-03-17 | 2017-09-21 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス |
WO2017212742A1 (ja) | 2016-06-09 | 2017-12-14 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
JP2018085490A (ja) | 2016-11-25 | 2018-05-31 | 太陽誘電株式会社 | 電子部品およびその製造方法 |
JP2019021998A (ja) | 2017-07-12 | 2019-02-07 | 太陽誘電株式会社 | 電子部品 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005130341A (ja) * | 2003-10-27 | 2005-05-19 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電部品及びその製造方法、通信装置 |
JP2017208629A (ja) * | 2016-05-17 | 2017-11-24 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
-
2019
- 2019-04-12 JP JP2019076622A patent/JP7340348B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013520830A (ja) | 2010-02-25 | 2013-06-06 | エスピーティーエス テクノロジーズ リミティド | ビア及びエッチングされた構造におけるコンフォーマル絶縁層の形成方法及びパターン形成方法 |
JP2016100729A (ja) | 2014-11-20 | 2016-05-30 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイスの製造方法 |
JP2016208413A (ja) | 2015-04-27 | 2016-12-08 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス |
JP2017147708A (ja) | 2016-02-19 | 2017-08-24 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス |
JP2017169139A (ja) | 2016-03-17 | 2017-09-21 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス |
WO2017212742A1 (ja) | 2016-06-09 | 2017-12-14 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
JP2018085490A (ja) | 2016-11-25 | 2018-05-31 | 太陽誘電株式会社 | 電子部品およびその製造方法 |
JP2019021998A (ja) | 2017-07-12 | 2019-02-07 | 太陽誘電株式会社 | 電子部品 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020174332A (ja) | 2020-10-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6509147B2 (ja) | 電子デバイス | |
JP6556663B2 (ja) | 弾性波デバイス | |
JP4460612B2 (ja) | 弾性表面波デバイス及びその製造方法 | |
US9831850B2 (en) | Acoustic wave device with a piezoelectric substrate that is not located in some regions | |
JP2018207144A (ja) | 弾性波デバイス | |
KR102062185B1 (ko) | 전자 부품 및 그 제조 방법 | |
JP7370146B2 (ja) | 弾性波デバイス、フィルタおよびマルチプレクサ | |
JP6653646B2 (ja) | 電子部品およびその製造方法 | |
JP2019021998A (ja) | 電子部品 | |
JP7340344B2 (ja) | 弾性波デバイス、フィルタおよびマルチプレクサ | |
JP7340348B2 (ja) | 弾性波デバイス、フィルタおよびマルチプレクサ | |
JP7347955B2 (ja) | 弾性波デバイスおよびその製造方法、フィルタおよびマルチプレクサ | |
JP7426196B2 (ja) | 弾性波デバイスおよびその製造方法、フィルタ及びマルチプレクサ | |
JP2016201780A (ja) | 弾性波デバイス | |
US20220416757A1 (en) | Acoustic wave device, filter and multiplexer | |
JP2020191597A (ja) | 弾性波デバイスおよびその製造方法 | |
JP7373301B2 (ja) | 弾性波デバイス、フィルタおよびマルチプレクサ | |
JP7406341B2 (ja) | 電子部品、フィルタおよびマルチプレクサ | |
JP7406331B2 (ja) | 電子デバイス、モジュールおよびウエハ | |
JP2019036784A (ja) | 電子部品およびその製造方法 | |
JP7480462B2 (ja) | 圧電デバイスおよびその製造方法 | |
JP2021034746A (ja) | 電子デバイスおよびその製造方法、フィルタ並びにマルチプレクサ | |
JP7397611B2 (ja) | 電子デバイス | |
US20230223916A1 (en) | Acoustic wave device | |
JP2022167077A (ja) | 電子部品 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220323 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230215 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230307 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230427 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230801 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230828 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7340348 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |