JP2020047314A - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】FeNANDにおける消去パフォーマンスを向上する。【解決手段】実施形態の半導体記憶装置は、ストリングと、ビット線と、ウェル線と、シーケンサとを含む。ストリングは、第1選択トランジスタと、第2選択トランジスタと、第1選択トランジスタと第2選択トランジスタとの間に直列接続され、記憶層に強誘電体を用いた複数のメモリセルトランジスタとを含む。ビット線及びウェル線は、それぞれ前記第1及び第2選択トランジスタに接続される。シーケンサは、ストリングを選択した消去動作後の消去ベリファイ動作中の第1時刻において、メモリセルトランジスタのゲートに第1電圧Vevfyを印加し、第1選択トランジスタのゲートに第1電圧よりも低い第2電圧Vsgrpを印加し、第2選択トランジスタのゲートに第1電圧よりも低い第3電圧Vsgrpを印加し、ビット線に第4電圧Vblを印加し、ウェル線に第4電圧よりも高い第5電圧Vsrcを印加する。【選択図】図12
Description
実施形態は、半導体記憶装置に関する。
データを不揮発に記憶することが可能なNAND型フラッシュメモリが知られている。
FeNANDにおける消去パフォーマンスを向上する。
実施形態の半導体記憶装置は、ストリングと、ビット線と、ウェル線と、シーケンサとを含む。ストリングは、第1選択トランジスタと、第2選択トランジスタと、第1選択トランジスタと第2選択トランジスタとの間に直列接続され、記憶層に強誘電体を用いた複数のメモリセルトランジスタとを含む。ビット線は、第1選択トランジスタに接続される。ウェル線は、第2選択トランジスタに接続される。シーケンサは、ストリングを選択した消去動作後の消去ベリファイ動作中の第1時刻において、メモリセルトランジスタのゲートに第1電圧を印加し、第1選択トランジスタのゲートに第1電圧よりも低い第2電圧を印加し、第2選択トランジスタのゲートに第1電圧よりも低い第3電圧を印加し、ビット線に第4電圧を印加し、ソース線に第4電圧よりも高い第5電圧を印加する。
以下に、実施形態について図面を参照して説明する。各実施形態は、発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示している。図面は模式的又は概念的なものであり、各図面の寸法及び比率等は必ずしも現実のものと同一とは限らない。本発明の技術思想は、構成要素の形状、構造、配置等によって特定されるものではない。
尚、以下の説明において、略同一の機能及び構成を有する構成要素については、同一符号を付す。参照符号を構成する文字の後の数字は、同じ文字を含んだ参照符号によって参照され、且つ同様の構成を有する要素同士を区別するために使用される。同じ文字を含んだ参照符号で示される要素を相互に区別する必要がない場合、これらの要素はそれぞれ文字のみを含んだ参照符号により参照される。
[1]第1実施形態
以下に、第1実施形態に係る半導体記憶装置について説明する。第1実施形態に係る半導体記憶装置は、記憶層に強誘電体を用いたNAND型フラッシュメモリ(FeNAND:Ferroelectric NAND flash memory)である。
以下に、第1実施形態に係る半導体記憶装置について説明する。第1実施形態に係る半導体記憶装置は、記憶層に強誘電体を用いたNAND型フラッシュメモリ(FeNAND:Ferroelectric NAND flash memory)である。
[1−1]半導体記憶装置1の構成
[1−1−1]半導体記憶装置1の全体構成
図1は、第1実施形態に係る半導体記憶装置1の構成例を示している。半導体記憶装置1は、例えば外部のメモリコントローラ2によって制御される。
[1−1−1]半導体記憶装置1の全体構成
図1は、第1実施形態に係る半導体記憶装置1の構成例を示している。半導体記憶装置1は、例えば外部のメモリコントローラ2によって制御される。
図1に示すように、半導体記憶装置1は、例えばメモリセルアレイ10、コマンドレジスタ11、アドレスレジスタ12、シーケンサ13、ドライバモジュール14、ロウデコーダモジュール15、及びセンスアンプモジュール16を備えている。
メモリセルアレイ10は、複数のブロックBLK0〜BLKn(nは1以上の整数)を含んでいる。ブロックBLKは、データを不揮発に記憶することが可能な複数のメモリセルの集合であり、例えばデータの消去単位として使用される。
また、メモリセルアレイ10には、複数のビット線及び複数のワード線が設けられる。各メモリセルは、例えば1本のビット線と1本のワード線とに関連付けられている。メモリセルアレイ10の詳細な構成については後述する。
コマンドレジスタ11は、半導体記憶装置1がメモリコントローラ2から受信したコマンドCMDを保持する。コマンドCMDは、例えばシーケンサ13に読み出し動作、書き込み動作、消去動作等を実行させる命令を含んでいる。
アドレスレジスタ12は、半導体記憶装置1がメモリコントローラ2から受信したアドレス情報ADDを保持する。アドレス情報ADDは、例えばブロックアドレスBA、ページアドレスPA、カラムアドレスCA等を含んでいる。例えば、ブロックアドレスBA、ページアドレスPA、及びカラムアドレスCAは、それぞれブロックBLK、ワード線、及びビット線の選択に使用される。
シーケンサ13は、半導体記憶装置1全体の動作を制御する。例えば、シーケンサ13は、コマンドレジスタ11に保持されたコマンドCMDに基づいてドライバモジュール14、ロウデコーダモジュール15、及びセンスアンプモジュール16等を制御して、読み出し動作、書き込み動作、消去動作等を実行する。
ドライバモジュール14は、読み出し動作、書き込み動作、消去動作等で使用される電圧を生成し、生成した電圧を例えばメモリセルアレイ10、ロウデコーダモジュール15、及びセンスアンプモジュール16に供給する。例えば、ドライバモジュール14は、アドレスレジスタ12に保持されたページアドレスPAに基づいて選択されたワード線に対応する信号線に、生成した電圧を印加する。
ロウデコーダモジュール15は、アドレスレジスタ12に保持されたブロックアドレスBAに基づいて、対応するメモリセルアレイ10内の1つのブロックBLKを選択する。そして、ロウデコーダモジュール15は、例えば選択されたワード線に対応する信号線に印加された電圧を、選択されたブロックBLK内の選択されたワード線に転送する。
センスアンプモジュール16は、書き込み動作において、メモリコントローラ2から受信した書き込みデータDATに応じて、各ビット線に所望の電圧を印加する。また、センスアンプモジュール16は、読み出し動作において、ビット線の電圧に基づいてメモリセルに記憶されたデータを判定し、判定結果を読み出しデータDATとしてメモリコントローラ2に転送する。
半導体記憶装置1とメモリコントローラ2との間の通信は、例えばNANDインターフェイス規格をサポートしている。例えば、半導体記憶装置1とメモリコントローラ2との間の通信では、コマンドラッチイネーブル信号CLE、アドレスラッチイネーブル信号ALE、ライトイネーブル信号WEn、リードイネーブル信号REn、レディビジー信号RBn、及び入出力信号I/Oが使用される。
コマンドラッチイネーブル信号CLEは、半導体記憶装置1が受信した入出力信号I/OがコマンドCMDであることを示す信号である。アドレスラッチイネーブル信号ALEは、半導体記憶装置1が受信した信号I/Oがアドレス情報ADDであることを示す信号である。ライトイネーブル信号WEnは、入出力信号I/Oの入力を半導体記憶装置1に命令する信号である。リードイネーブル信号REnは、入出力信号I/Oの出力を半導体記憶装置1に命令する信号である。
レディビジー信号RBnは、半導体記憶装置1がメモリコントローラ2からの命令を受け付けるレディ状態であるか命令を受け付けないビジー状態であるかを、メモリコントローラ2に通知する信号である。入出力信号I/Oは、例えば8ビット幅の信号であり、コマンドCMD、アドレス情報ADD、データDAT等を含み得る。
以上で説明した半導体記憶装置1及びメモリコントローラ2は、それらの組み合わせにより1つの半導体装置を構成しても良い。このような半導体装置としては、例えばSDTMカードのようなメモリカードや、SSD(solid state drive)等が挙げられる。
[1−1−2]メモリセルアレイ10の回路構成
図2は、第1実施形態に係る半導体記憶装置1の備えるメモリセルアレイ10の回路構成の一例であり、メモリセルアレイ10に含まれた複数のブロックBLKのうち1つのブロックBLKを抽出して示している。
図2は、第1実施形態に係る半導体記憶装置1の備えるメモリセルアレイ10の回路構成の一例であり、メモリセルアレイ10に含まれた複数のブロックBLKのうち1つのブロックBLKを抽出して示している。
図2に示すように、ブロックBLKは、例えば4つのストリングユニットSU0〜SU3を含んでいる。各ストリングユニットSUは、複数のNANDストリングNSを含んでいる。
複数のNANDストリングNSは、それぞれビット線BL0〜BLm(mは1以上の整数)に関連付けられている。各NANDストリングNSは、例えばメモリセルトランジスタMT0〜MT7、ダミートランジスタDT、並びに選択トランジスタST1及びST2を含んでいる。
メモリセルトランジスタMT及びダミートランジスタDTの各々は、ゲートとチャネルとの間に強誘電体が用いられたブロック絶縁膜を含んでいる。メモリセルトランジスタMTはデータを不揮発に保持し、ダミートランジスタDTはデータの記憶に使用されない。選択トランジスタST1及びST2のそれぞれは、各種動作時におけるストリングユニットSUの選択に使用される。
各NANDストリングNSにおいて、選択トランジスタST1のドレインは、関連付けられたビット線BLに接続される。選択トランジスタST1のソースは、ダミートランジスタDTのドレインに接続される。ダミートランジスタDTのソースは、直列に接続されたメモリセルトランジスタMT0〜MT7の一端に接続される。直列に接続されたメモリセルトランジスタMT0〜MT7の他端は、選択トランジスタST2のドレインに接続される。
同一のブロックBLKにおいて、選択トランジスタST2のソースは、ソース線CELSRCとウェル線CPWELLとのそれぞれに共通接続される。ストリングユニットSU0〜SU3内の選択トランジスタST1のゲートは、それぞれ選択ゲート線SGD0〜SGD3に共通接続される。メモリセルトランジスタMT0〜MT7のゲートは、それぞれワード線WL0〜WL7に共通接続される。ダミートランジスタDTのゲートは、ダミーワード線DWLに共通接続される。選択トランジスタST2のゲートは、選択ゲート線SGSに共通接続される。
以上で説明したメモリセルアレイ10の回路構成において、同じカラムアドレスCAが割り当てられた複数のNANDストリングNSは、複数のブロックBLK間で同じビット線BLに共通接続される。ソース線CELSRCは、例えば複数のブロックBLK間で共通接続される。ウェル線CPWELLは、例えば複数のブロックBLK間で共通接続される。
1つのストリングユニットSU内で共通のワード線WLに接続された複数のメモリセルトランジスタMTの集合は、例えばセルユニットCUと称される。例えば、それぞれが1ビットデータを記憶するメモリセルトランジスタMTを含むセルユニットCUの記憶容量が、「1ページデータ」として定義される。セルユニットCUは、メモリセルトランジスタMTが記憶するデータのビット数に応じて、2ページデータ以上の記憶容量を有し得る。
尚、第1実施形態に係る半導体記憶装置1が備えるメモリセルアレイ10の回路構成は、以上で説明した構成に限定されない。例えば、各NANDストリングNSが含むメモリセルトランジスタMT、ダミートランジスタDT、並びに選択トランジスタST1及びST2の個数は、それぞれ任意の個数に設計され得る。各ブロックBLKが含むストリングユニットSUの個数は、任意の個数に設計され得る。ダミートランジスタDTは、選択トランジスタST2とメモリセルトランジスタMT0との間に設けられても良いし、直列接続されたメモリセルトランジスタMT間に挿入されても良い。
[1−1−3]メモリセルアレイ10の構造
図3は、第1実施形態に係る半導体記憶装置1の備えるメモリセルアレイ10の断面構造の一例であり、1つのブロックBLKに対応する構造体を抽出して示している。
図3は、第1実施形態に係る半導体記憶装置1の備えるメモリセルアレイ10の断面構造の一例であり、1つのブロックBLKに対応する構造体を抽出して示している。
以下で参照される断面図では、図を見易くするために、絶縁層(層間絶縁膜)、配線、コンタクト等の構成要素が適宜省略されている。また、以下で参照される断面図において、X方向は、ビット線BLの延伸方向に対応している。Y方向は、ワード線WLの延伸方向に対応している。Z方向は、半導体記憶装置1が形成される半導体基板の表面に対する鉛直方向に対応している。
図3に示すように、メモリセルアレイ10が形成される領域には、例えばP型ウェル領域20、絶縁体層21、4層の導電体層22、9層の導電体層23、4層の導電体層24、複数のメモリピラーMP、導電体層25、26及び28、並びにコンタクト27及び29が含まれている。
P型ウェル領域20は、半導体基板の表面近傍に設けられる。P型ウェル領域20は、互いに離れて配置されたn+不純物拡散領域及びp+不純物拡散領域を含んでいる。n+不純物拡散領域及びp+不純物拡散領域の各々は、P型ウェル領域20の表面近傍に設けられる。
P型ウェル領域20上には、絶縁体層21が設けられる。絶縁体層21上には、互いに離れて積層された4層の導電体層22が設けられる。最上層の導電体層22の上方には、互いに離れて積層された9層の導電体層23が設けられる。導電体層23の上方には、互いに離れて積層された4層の導電体層24が設けられる。最上層の導電体層24の上方には、導電体層25が設けられる。
導電体層22は、XY平面に沿って広がった構造を有し、選択ゲート線SGSとして使用される。導電体層23は、XY平面に沿って広がった構造を有し、9層の導電体層23は、下層から順に、それぞれワード線WL0〜WL7並びにダミーワード線DWLとして使用される。導電体層24は、Y方向に沿って延伸した構造を有し、選択ゲート線SGDとして使用される。導電体層25は、X方向に延伸した構造を有し、ビット線BLとして使用される。図示せぬ領域において、複数の導電体層25は、Y方向に配列している。
複数のメモリピラーMPの各々は、絶縁体層21、4層の導電体層22、9層の導電体層23、4層の導電体層24のそれぞれを貫通(通過)している。1本のメモリピラーMPは、1本のNANDストリングNSに対応している。ストリングユニットSU0〜SU3にそれぞれ対応する複数のメモリピラーMPが貫通する導電体層24は、各配線層において互いに分離されている。本例において、ストリングユニットSUは、Y方向に並ぶ複数のNANDストリングNSの集合によって形成される。
また、複数のメモリピラーMPの各々は、例えば半導体膜30、及び強誘電体膜31を含んでいる。半導体膜30は、例えばZ方向に沿って延伸した柱状に形成される。半導体膜30の側面は、強誘電体膜31によって覆われている。
図4は、図3のIV−IV線に沿った断面図であり、導電体層23を含む層におけるメモリピラーMPの断面構造の一例を示している。
図4に示すように、導電体層23を含む層において、例えば半導体膜30は、メモリピラーMPの中央部に設けられる。強誘電体膜31は、半導体膜30の側面を囲っている。導電体層23は、強誘電体膜31の側面を囲っている。尚、半導体膜30の内部には、絶縁体膜が埋め込まれても良い。
図3に戻り、半導体膜30の下部は、P型ウェル領域20に接触している。半導体膜30の上部は、導電体層25に接触している。同じカラムアドレスに対応するメモリピラーMP内の半導体膜30は、同じ導電体層25に電気的に接続される。尚、半導体膜30の上部と導電体層25との間は、コンタクトや配線等を介して電気的に接続されても良い。
半導体膜30は、例えばノンドープのポリシリコンであり、NANDストリングNSの電流経路として機能する。強誘電体膜31は、ブロック絶縁膜として機能すると共に、導電体層23に印加される電圧の大きさに応じて電気分極の向きを変化させ得る。
導電体層26は、例えば最上層の導電体層24と導電体層25との間の配線層に配置され、ソース線CELSRCとして使用される。ソース線CELSRCは、P型ウェル領域20を介してメモリピラーMPに電圧を印加するための配線である。導電体層26は、コンタクト27を介してn+不純物拡散領域NPに電気的に接続される。
導電体層28は、例えば最上層の導電体層24と導電体層25との間の配線層に配置され、ウェル線CPWELLとして使用される。ウェル線CPWELLは、P型ウェル領域20を介してメモリピラーMPに電圧を印加するための配線である。導電体層28は、コンタクト29を介してp+不純物拡散領域PPに電気的に接続される。
以上で説明したメモリセルアレイ10の構造では、例えばメモリピラーMPと導電体層22とが交差する部分が、選択トランジスタST2として機能する。メモリピラーMPと導電体層23とが交差する部分が、メモリセルトランジスタMT又はダミートランジスタDTとして機能する。メモリピラーMPと導電体層24とが交差する部分が、選択トランジスタST1として機能する。
最下層の導電体層22と絶縁体層21とは、n+不純物拡散領域NPの近傍まで形成されている。これにより、選択トランジスタST2がオン状態とされた場合に、メモリセルトランジスタMT0及びn+不純物拡散領域NPとの間が、P型ウェル領域20の表面近傍に形成されたチャネルによって電気的に接続される。
尚、以上で説明したメモリセルアレイ10の構造はあくまで一例であり、適宜変更され得る。例えば、導電体層23の個数は、ワード線WL及びダミーワード線DWLの本数に基づいて設計される。選択ゲート線SGSとして使用される導電体層22の層数は、任意の層数に設計され得る。選択ゲート線SGDとして使用される導電体層24の層数は、任意の層数に設計され得る。
[1−1−4]メモリセルトランジスタMTについて
強誘電体を用いたメモリセルトランジスタMTでは、データの記憶に分極が使用される。具体的には、例えばワード線WLに電圧が印加された場合、強誘電体膜31内に電界が発生する。すると、当該電界の影響を受けた強誘電体膜34の内部では、結晶格子内に配置されたイオンの位置が変化し、分極が発生する。
強誘電体を用いたメモリセルトランジスタMTでは、データの記憶に分極が使用される。具体的には、例えばワード線WLに電圧が印加された場合、強誘電体膜31内に電界が発生する。すると、当該電界の影響を受けた強誘電体膜34の内部では、結晶格子内に配置されたイオンの位置が変化し、分極が発生する。
分極の程度を示す分極量は、例えば強誘電体膜31と半導体膜30との接面において強誘電体膜31に発生する、単位面積当たりの表面電荷量で定義される。強誘電体膜31に接する半導体膜30上には、分極量に応じて、当該表面電荷量を相殺し得る量の電子が発生する。
メモリセルトランジスタMTの閾値電圧は、ワード線WLに印加される電圧の大きさとその印加の履歴とに応じて変更され得る。例えば、ワード線WLに印加される電圧が所定の電圧Vc未満ある場合、強誘電体膜31は、電圧の印加が停止された後に、電圧が印加される前の状態に戻る。
一方で、ワード線WLに印加される電圧が所定の電圧Vc以上である場合、強誘電体膜31は、電圧の印加が停止された後も一定量分極した状態を維持する。その結果、ワード線WLと半導体膜30との間が、あたかも分極量に応じた大きさの電圧が印加されているような状態となり、メモリセルトランジスタMTの閾値電圧が低下する。
第1実施形態に係る半導体記憶装置1では、以上のように、分極量に応じてメモリセルトランジスタMTの閾値電圧が変更されることによって、複数ビットのデータがメモリセルトランジスタMTに記憶される。
図5は、第1実施形態に係る半導体記憶装置1におけるメモリセルトランジスタMTの閾値分布、読み出し電圧、及びベリファイ電圧の一例を示している。図5に示す閾値分布の縦軸はメモリセルトランジスタMTの個数に対応し、横軸はメモリセルトランジスタMTの閾値電圧Vthに対応している。
図5に示すように、第1実施形態に係る半導体記憶装置1では、メモリセルトランジスタMTの閾値電圧が、“ER”状態、“A”状態、“B”状態、及び“C”状態のうちいずれか一つの状態をとり得る。
“ER”状態は、メモリセルトランジスタMTの消去状態に対応している。“A”状態、“B”状態、及び“C”状態のそれぞれは、メモリセルトランジスタMTにデータが書き込まれた状態に対応している。
強誘電体膜31の分極量は、“ER”状態、“A”状態、“B”状態、“C”状態の順に大きくなり、メモリセルトランジスタMTの閾値電圧は、“ER”状態、“A”状態、“B”状態、“C”状態の順に小さくなる。
隣り合う閾値分布の間には、それぞれ読み出し動作で使用される読み出し電圧が設定される。
具体的には、“ER”状態と“A”状態との間に、読み出し電圧ARが設定される。ゲートに読み出し電圧ARが印加されたメモリセルトランジスタMTは、閾値電圧が“C”状態、“B”状態、又は“A”状態に分布している場合にオン状態になり、“ER”状態に分布している場合にオフ状態になる。
“A”状態と“B”状態との間に、読み出し電圧BRが設定される。ゲートに読み出し電圧BRが印加されたメモリセルトランジスタMTは、閾値電圧が“C”状態又は“B”状態に含まれる場合にオン状態になり、“A”状態又は“ER”状態に含まれる場合にオフ状態になる。
“B”状態と“C”状態との間に、読み出し電圧CRが設定される。ゲートに読み出し電圧CRが印加されたメモリセルトランジスタMTは、閾値電圧が“C”状態に含まれる場合にオン状態になり、“B”状態、“A”状態又は“ER”状態に含まれる場合にオフ状態になる。
また、“ER”状態における最大の閾値電圧よりも高い電圧に、読み出しパス電圧Vreadが設定される。ゲートに読み出しパス電圧Vreadが印加されたメモリセルトランジスタMTは、記憶するデータに依らずにオン状態になる。
さらに、隣り合う閾値分布の間には、それぞれ書き込み動作で使用されるベリファイ電圧が設定される。
具体的には、“A”状態、“B”状態、及び“C”状態に対応して、それぞれベリファイ電圧AV、BV及びCVが設定される。
ベリファイ電圧AVは、“ER”状態と“A”状態との間、且つ“A”状態の近傍に設定される。ベリファイ電圧BVは、“A”状態と“B”状態との間、且つ“B”状態の近傍に設定される。ベリファイ電圧CVは、“B”状態と“C”状態との間、且つ“C”状態の近傍に設定される。つまり、例えばベリファイ電圧AV、BV及びCVは、それぞれ読み出し電圧AR、BR及びCRよりも低い電圧に設定される。
書き込み動作において半導体記憶装置1は、あるデータを記憶させるメモリセルトランジスタMTの閾値電圧が当該データに対応するベリファイ電圧を下回ったことを検知すると、当該メモリセルトランジスタMTのプログラムを完了する。
以上で説明された4種類のメモリセルトランジスタMTの閾値分布には、それぞれ異なる2ビットデータが割り当てられる。以下に、閾値分布に対するデータの割り付けの一例を羅列する。
“ER”レベル:“11(上位ビット/下位ビット)”データ
“A”レベル:“01”データ
“B”レベル:“00”データ
“C”レベル:“10”データ
このようなデータの割り付けが適用された場合、下位ビットで構成される1ページデータ(下位ページデータ)は、読み出し電圧BRを用いた読み出し動作によって確定する。上位ビットで構成される1ページデータ(上位ページデータ)は、読み出し電圧CR及びARのそれぞれを用いた読み出し動作によって確定する。
“A”レベル:“01”データ
“B”レベル:“00”データ
“C”レベル:“10”データ
このようなデータの割り付けが適用された場合、下位ビットで構成される1ページデータ(下位ページデータ)は、読み出し電圧BRを用いた読み出し動作によって確定する。上位ビットで構成される1ページデータ(上位ページデータ)は、読み出し電圧CR及びARのそれぞれを用いた読み出し動作によって確定する。
つまり、下位ページデータ及び上位ページデータは、それぞれ1種類及び2種類の読み出し電圧を用いた読み出し動作によって確定する。このようなデータの割り付けは、例えば“1−2コード”と称される。本明細書では、メモリセルトランジスタMTのデータの割り付けに“1−2コード”が適用された場合を例に説明する。
[1−1−5]ロウデコーダモジュール15の回路構成
図6は、第1実施形態に係る半導体記憶装置1の備えるロウデコーダモジュール15の回路構成の一例を示し、ドライバモジュール14とメモリセルアレイ10との間の配線も併せて示している。
図6は、第1実施形態に係る半導体記憶装置1の備えるロウデコーダモジュール15の回路構成の一例を示し、ドライバモジュール14とメモリセルアレイ10との間の配線も併せて示している。
図6に示すように、ドライバモジュール14は、複数の信号線によってロウデコーダモジュール15に接続される。また、ドライバモジュール14は、メモリセルアレイ10に設けられたソース線CELSRC及びウェル線CPWELLとのそれぞれに対して電圧を印加することが出来る。
ロウデコーダモジュール15は、例えばロウデコーダRD0〜RDnを含んでいる。ロウデコーダRD0〜RDnは、それぞれブロックBLK0〜BLKnに関連付けられている。
以下に、ブロックBLK0に対応するロウデコーダRD0に着目して、ロウデコーダRDの詳細な回路構成について説明する。尚、その他のロウデコーダRDの回路構成は、ロウデコーダRD0と同様であるため、説明を省略する。
ロウデコーダRDは、例えばブロックデコーダBD並びにトランジスタTR0〜TR16を含んでいる。
ブロックデコーダBDは、ブロックアドレスをデコードして、デコード結果に基づいて転送ゲート線TG及びbTGとのそれぞれに所定の電圧を印加する。転送ゲート線TGは、トランジスタTR0〜TR13のそれぞれのゲートに共通接続される。転送ゲート線TGには、転送ゲート線TGの反転信号が入力され、転送ゲート線bTGは、トランジスタTR14〜TR18のそれぞれのゲートに共通接続される。
トランジスタTR0〜TR18のそれぞれは、高耐圧のnチャネルMOSトランジスタである。トランジスタTRは、ドライバモジュール14から配線された信号線と、ブロックBLK0に設けられた配線との間に接続される。
具体的には、トランジスタTR0のドレインは、信号線SGSDに接続される。トランジスタTR0のソースは、ブロックBLK0の選択ゲート線SGSに接続される。
トランジスタTR1〜TR8のそれぞれのドレインは、それぞれ信号線CG0〜CG7に接続される。トランジスタTR1〜TR8のそれぞれのソースは、ブロックBLK0に対応するワード線WL0〜WL7のそれぞれの一端にそれぞれ接続される。
トランジスタTR9のドレインは、信号線CGDに接続される。トランジスタTR9のソースは、ブロックBLK0に対応するダミーワード線DWLの一端に接続される。
トランジスタTR10〜TR13のそれぞれのドレインは、それぞれ信号線SGDD0〜SGDD3に接続される。トランジスタTR10〜TR13のそれぞれのソースは、それぞれ選択ゲート線SGD0〜SGD3に接続される。
トランジスタTR14のドレインは、信号線USGSに接続される。トランジスタTR14のソースは、選択ゲート線SGSに接続される。
トランジスタTR15〜TR18のそれぞれのドレインは、信号線USGDに共通接続される。トランジスタTR15〜TR18のそれぞれのソースは、それぞれ選択ゲート線SGD0〜SGD3に接続される。
以上の構成により、ロウデコーダモジュール15は、各種動作を実行するブロックBLKを選択することが出来る。
具体的には、各種動作時において、選択されたブロックBLKに対応するブロックデコーダBDは、“H”レベル及び“L”レベルの電圧をそれぞれ転送ゲート線TG及びbTGに印加し、非選択のブロックBLKに対応するブロックデコーダBDは、“L”レベル及び“H”レベルの電圧をそれぞれ転送ゲート線TG及びbTGに印加する。
本明細書において、“H”レベルは、NMOSトランジスタがオン状態になり、PMOSトランジスタがオフ状態になる電圧に対応している。“L”レベルは、NMOSトランジスタがオフ状態になり、PMOSトランジスタがオン状態になる電圧に対応している。
例えば、ブロックBLK0が選択された場合、ロウデコーダRD0において、トランジスタTR0〜TR13がオン状態になり、トランジスタTR14〜TR18がオフ状態になる。一方で、その他のロウデコーダRDにおいて、トランジスタTR0〜TR13がオフ状態になり、トランジスタTR14〜TR18がオン状態になる。
この場合、ブロックBLK0に設けられた各種配線と、対応する信号線との間の電流経路が形成され、他のブロックBLK(非選択のブロックBLK)に設けられた各種配線と、対応する信号線との間の電流経路が遮断される。また、非選択のブロックBLKに対応する選択ゲート線SGD及びSGSには、それぞれ信号線USGD及びUSGSを介した電圧が印加される。
その結果、ドライバモジュール14によって各信号線に印加された電圧が、ロウデコーダRD0を介して、選択されたブロックBLK0に設けられた各種配線に印加される。ロウデコーダモジュール15は、その他のブロックBLKが選択された場合についても同様に動作することが可能である。
尚、以上で説明したロウデコーダモジュール15の回路構成はあくまで一例であり、これに限定されない。例えば、ロウデコーダモジュール15が含むトランジスタTRの個数は、各ブロックBLKに設けられる配線の本数に基づいた個数に設計され得る。
[1−1−6]センスアンプモジュール16の回路構成
図7は、第1実施形態に係る半導体記憶装置1の備えるセンスアンプモジュール16の回路構成の一例を示している。
図7は、第1実施形態に係る半導体記憶装置1の備えるセンスアンプモジュール16の回路構成の一例を示している。
図7に示すように、センスアンプモジュール16は、例えばセンスアンプユニットSAU0〜SAUmを含んでいる。センスアンプユニットSAU0〜SAUmは、それぞれビット線BL0〜BLmにそれぞれ関連付けられている。
各センスアンプユニットSAUは、例えばセンスアンプ部SA、並びにラッチ回路SDL、ADL、BDL及びXDLを含んでいる。センスアンプ部SA、並びにラッチ回路SDL、ADL、BDL及びXDLは、互いにデータを送受信可能なように接続される。
センスアンプ部SAは、例えば読み出し動作において、対応するビット線BLの電圧に基づいて、読み出しデータが“0”であるか“1”であるかを判定する。言い換えると、センスアンプ部SAは、対応するビット線BLに読み出されたデータをセンスして、選択されたメモリセルの記憶するデータを判定する。
ラッチ回路SDL、ADL、BDL及びXDLのそれぞれは、読み出しデータや書き込みデータ等を一時的に保持する。ラッチ回路XDLは、図示されない入出力回路に接続され、センスアンプユニットSAUと入出力回路との間のデータの入出力に使用され得る。
ラッチ回路XDLは、半導体記憶装置1のキャッシュメモリとして機能することも出来る。例えば、半導体記憶装置1は、ラッチ回路SDL、ADL及びBDLが使用中であったとしても、ラッチ回路XDLが空いていればレディ状態になることが可能である。
(センスアンプ部SAの回路構成例)
図8は、第1実施形態に係る半導体記憶装置1の備えるセンスアンプモジュール16に含まれたセンスアンプ部SAの回路構成の一例を示している。
図8は、第1実施形態に係る半導体記憶装置1の備えるセンスアンプモジュール16に含まれたセンスアンプ部SAの回路構成の一例を示している。
図8に示すように、センスアンプ部SAは、例えばトランジスタQ1、Q2、Q3、Q4及びQ7、並びにキャパシタCPを含んでいる。トランジスタQ1、Q2及びQ3の各々は、NMOSトランジスタである。トランジスタQ4は、高耐圧のNMOSトランジスタである。トランジスタQ7は、PMOSトランジスタである。
トランジスタQ1は、ノードND1とノードND2との間に接続される。トランジスタQ1のゲートには、制御信号φ1が入力される。トランジスタQ2は、ノードSENとノードND2との間に接続される。トランジスタQ2のゲートには、制御信号XXLが入力される。
トランジスタQ3は、ノードND2とノードSASRCとの間に接続される。トランジスタQ3のゲートは、ノードND1に接続される。トランジスタQ4は、ノードND1とビット線BLとの間に接続される。トランジスタQ4のゲートには、制御信号BLSが入力される。
トランジスタQ7は、電源電圧VDDSAが印加される電源ノードと、ノードND1との間に接続される。キャパシタCPの一端は、ノードSENに接続される。キャパシタCPの他端には、クロックCLKが入力される。ビット線BLとソース線CELSRCとの間には、NANDストリングNSが接続される。
以上のように、センスアンプ部SAにおいて、トランジスタQ1及びQ2は、ビット線BL及びノードSEN間においてカスコード接続されている。トランジスタQ4は、例えばメモリセルトランジスタMTの消去時にビット線BLとノードND1とを電気的に遮断するために設けられている。
また、センスアンプ部SAにおいて、ノードSENは、メモリセルトランジスタMTから読み出したデータの論理に応じて、キャパシタCPを充放電するセンスノードである。トランジスタQ1、Q2、Q3、Q4及びQ7のそれぞれのゲートに入力される制御信号は、例えばシーケンサ13によって制御される。
(センスアンプユニットSAUの回路構成例)
図9は、第1実施形態に係る半導体記憶装置1の備えるセンスアンプモジュール16に含まれたセンスアンプユニットSAUの回路構成の一例を示している。図9に示された回路構成において、図8を用いて説明したトランジスタと機能的に同じトランジスタには、同一符号が付されている。
図9は、第1実施形態に係る半導体記憶装置1の備えるセンスアンプモジュール16に含まれたセンスアンプユニットSAUの回路構成の一例を示している。図9に示された回路構成において、図8を用いて説明したトランジスタと機能的に同じトランジスタには、同一符号が付されている。
図9に示すように、センスアンプユニットSAUは、例えばトランジスタQ1〜Q15、キャパシタCP、並びにラッチ部LPを含んでいる。トランジスタQ5、Q6、Q8〜Q13、及びQ15の各々は、NMOSトランジスタである。トランジスタQ14は、PMOSトランジスタである。
トランジスタQ1は、ノードND1とノードND2との間に接続される。トランジスタQ1のゲートには、制御信号BLCが入力される。トランジスタQ2は、ノードSENとノードND2との間に接続される。トランジスタQ2のゲートには、制御信号XXLが入力される。
トランジスタQ3は、ノードND2とノードND3との間に接続される。トランジスタQ3のゲートは、ノードND1に接続される。トランジスタQ4は、ノードND1とビット線BLとの間に接続される。トランジスタQ4のゲートには、制御信号BLSが入力される。
トランジスタQ5は、ノードND1とノードND3との間に接続される。トランジスタQ5のゲートには、制御信号GRSが入力される。トランジスタQ6は、ノードND3とノードSASRCとの間に接続される。トランジスタQ6のゲートは、ノードINVに接続される。
トランジスタQ7及びQ8は、電源電圧VDDが印加される電源ノードと、ノードND2との間に直列接続される。トランジスタQ7のゲートは、ノードINVに接続される。トランジスタQ8のゲートには、制御信号BLXが入力される。
トランジスタQ9は、バスLBUSとノードSENとの間に接続される。トランジスタQ9のゲートには、制御信号BLQが入力される。キャパシタCPの一端は、ノードSENに接続される。キャパシタCPの他端には、クロックCLKが入力される。
トランジスタQ10及びQ11は、バスLBUSとキャパシタCPの他端との間に直列接続される。トランジスタQ10のゲートには、制御信号STBが入力される。トランジスタQ11のゲートは、ノードSENに接続される。
トランジスタQ12は、バスLBUSとラッチ部LPの入力ノード(ノードINV)との間に接続される。トランジスタQ12のゲートには、制御信号STIが入力される。トランジスタQ13は、バスLBUSとラッチ部LPの出力ノード(ノードLAT)との間に接続される。トランジスタQ13のゲートには、制御信号STLが入力される。
トランジスタQ14は、電源電圧VDDが印加される電源ノードとバスLBUSとの間に接続される。トランジスタQ14のゲートには、制御信号LPCnが入力される。トランジスタQ15は、バスLBUSと接地ノードとの間に接続される。トランジスタQ15のゲートには、制御信号LDCが入力される。
以上で説明したセンスアンプユニットSAUの回路構成において、トランジスタQ1〜Q11及びクロックCLKの組が、センスアンプ部SAに対応している。トランジスタQ12及びQ13並びにラッチ部LPの組が、ラッチ回路SDLに対応している。
尚、図9に示されたセンスアンプユニットSAUの回路構成では、ラッチ回路ADL、BDL及びXDLの図示が省略されている。ラッチ回路ADL、BDL及びXDLのそれぞれの回路構成は、例えばラッチ回路SDLと同様であり、バスLBUSに接続される。そして、ラッチ回路ADL、BDL及びXDLのそれぞれは、ラッチ回路SDLと異なる制御信号によって制御され、ラッチ部LPのノードは、ラッチ回路間で独立している。
また、以上で説明したセンスアンプユニットSAUの回路構成において、トランジスタQ5は、メモリセルトランジスタMTへのデータ書き込み時にビット線BLから流れる電流を、トランジスタQ1及びQ2を介さずにノードND3に流すために設けられている。
トランジスタQ7及びQ8は、電源電圧VDDが印加される電源ノードとノードND2との間にカスコード接続されている。トランジスタQ10及びQ11は、バスLBUSとキャパシタCPの他端との間にカスコード接続されている。
トランジスタQ14及びQ15は、電源電圧VDDが印加される電源ノードと接地ノードとの間にカスコード接続されている。トランジスタQ14及びQ15は、読み出し動作におけるロックアウト時に、ラッチ部LPのラッチデータの論理を強制的に反転させるロックアウト制御部として動作し得る。
図9に示された制御信号BLC及びXXLは、それぞれ図8に示された制御信号φ1及びφ2に対応している。トランジスタQ1、Q2、Q4、Q5、Q8〜Q10、及びQ12〜Q15のそれぞれのゲートに入力される制御信号は、例えばシーケンサ13によって制御される。
尚、以上で説明したセンスアンプモジュール16の回路構成はあくまで一例であり、これに限定されない。例えば、センスアンプユニットSAU16の回路構成は、メモリセルトランジスタMTが記憶するデータのセンス方式に基づいて適宜変更され得る。
[1−2]動作
第1実施形態に係る半導体記憶装置1は、メモリセルトランジスタMTを介した電流をソース線CELSRCからセンスアンプユニットSAUに向かって流すことによって、メモリセルトランジスタMTに記憶されたデータを読み出す。
第1実施形態に係る半導体記憶装置1は、メモリセルトランジスタMTを介した電流をソース線CELSRCからセンスアンプユニットSAUに向かって流すことによって、メモリセルトランジスタMTに記憶されたデータを読み出す。
以下に、図8及び図9で説明したセンスアンプモジュール16の回路構成にそれぞれ基づいた読み出し動作の一例と、当該読み出し動作を用いた消去ベリファイ動作の一例とについて順に説明する。
[1−2−1]読み出し動作
(センスアンプ部SAの動作例)
まず、第1実施形態に係る半導体記憶装置1の読み出し動作における、図8を用いて説明したセンスアンプ部SAの動作の一例について説明する。
(センスアンプ部SAの動作例)
まず、第1実施形態に係る半導体記憶装置1の読み出し動作における、図8を用いて説明したセンスアンプ部SAの動作の一例について説明する。
図10に示すように、時刻t1においてシーケンサ13は、まず制御信号φ1を“H”レベルにして、制御信号φ2を“L”レベルにする。例えば、制御信号φ1の電圧は、ノードSASRCの電圧+トランジスタQ1の閾値電圧+オーバードライブ電圧Vov(例えば0.2V程度)に設定される。これにより、ノードND2の電圧変動が抑制され、トランジスタQ1のドレインバイアス依存性が抑制される。また、時刻t1において、選択ゲート線SGS及びSGDには、“H”レベルの電圧が印加される。
その後、時刻t2においてシーケンサ13は、NANDストリングNSの一端側のソース線CELSTCの電圧をVDDSAまで上昇させる。このとき、メモリセルトランジスタMTの保持するデータが“1”である場合、メモリセルトランジスタMTはオン状態であるため、ビット線BLの電圧低下が抑制される(図10の実線部分)。一方で、メモリセルトランジスタMTの保持するデータが“0”である場合、メモリセルトランジスタMTはオフ状態であるため、ビット線BLの電圧が大きく低下する(図10の破線部分)。
時刻t2においても、制御信号φ1の電圧、すなわちトランジスタQ1のゲート電圧は、ノードSASRCの電圧+トランジスタQ1の閾値電圧+オーバードライブ電圧Vovに設定されている。このため、トランジスタQ1がオン状態である一方で、ノードND2の電圧は、ノードSASRCの電圧+オーバードライブ電圧Vovにクランプされる。つまり、ノードND2の電圧は、トランジスタQ1のドレイン電圧(ノードND1の電圧)と同じ、或いは若干低い電圧になる。
また、時刻t2においてノードND1の電圧は、ビット線BLを流れるセル電流に応じた電圧に変化する。ノードND2の電圧がノードSASRCの電圧よりも高く、且つノードND1の電圧がトランジスタQ3のゲートに印加されるため、トランジスタQ3はダイオード接続された状態で動作する。
その結果、ソース線CELSRCから、NANDストリングNSとビット線BLとを経由して流れる電流は、トランジスタQ4、Q1及びQ3の順に経由してノードSASRCに流れ込む。時刻t2からしばらく時間が経過すると、ビット線BLの電圧と、トランジスタQ1及びQ3間のノードND2の電位とが安定する。
それから、時刻t3においてシーケンサ13は、トランジスタQ1及びQ4をオフ状態にして、制御信号φ2の電圧を時刻t1における制御信号φ1と同じ電圧にする。具体的には、制御信号φ2の電圧が、ノードSASRCの電圧+トランジスタQ2の閾値電圧+オーバードライブ電圧Vovに設定される。
これにより、ノードND2の電圧は、時刻t1のときと同じ電圧に維持される。一方で、ノードND1は、トランジスタQ1及びQ4がオフ状態になることによってハイインピーダンス状態になり、ノードND1の電圧は、時刻t3以前の電圧に維持される。
時刻t3において、制御信号φ2の電圧が、時刻t1における制御信号φ1と同じ電圧に制御されることによって、ノードND2の電圧も維持される。つまり、ノードND1とノードND2に接続されたトランジスタQ3は、時刻t3以降もセル電流と同じ電流を流し、ノードSENからはコピーされたセル電流が、トランジスタQ2及びQ3を経由してノードSASRCに流れる。
時刻t3の時点で、ビット線BLの電圧は、NANDストリングNS内の読み出し対象のメモリセルトランジスタMTが保持するデータに基づいて異なっている。このため、時刻t3以降にノードSENからノードSASRCに流れる電流も異なり、流れた電流量に応じてノードSENの電位が決定される。
それから、センスアンプ部SAは、このノードSENの電圧をセンスすることによって、読み出し対象のメモリセルトランジスタMTが“0”データを保持するか“1”データを保持するかを判定する。
尚、時刻t3においてシーケンサ13は、トランジスタQ1及びQ2のオンオフを切り替える前後でノードND1及びND2の電位がそれぞれ変化しないように、制御信号φ1及びφ2を制御する。これにより、トランジスタQ1及びQ2のオンオフが切り替わったとしても、トランジスタQ3のドレイン−ソース間を流れる電流量はほぼ同じになる。
以上のように、第1実施形態に係る半導体記憶装置1においてセンスアンプ部SAは、メモリセルトランジスタMTに記憶されたデータを判定することが出来る。このような読み出し動作は、例えばDSA(Diode sense ABL)方式と称される。
(センスアンプユニットSAUの動作例)
次に、第1実施形態に係る半導体記憶装置1の読み出し動作における、図9を用いて説明したセンスアンプユニットSAUの動作の一例について説明する。
次に、第1実施形態に係る半導体記憶装置1の読み出し動作における、図9を用いて説明したセンスアンプユニットSAUの動作の一例について説明する。
図11は、第1実施形態に係る半導体記憶装置1の読み出し動作におけるセンスアンプユニットSAUの動作の一例を示している。
図11に示された一例は、有効なデータを読み出した後にロックアウト動作が実行され、上位ページデータが読み出される場合の動作に対応している。また、当該読み出し動作では、読み出し電圧CR及びARの順に読み出しが実行され、図11に示された期間は、読み出し電圧CRを用いた読み出しの期間が抽出されている。
尚、IDSA(“C”状態)、IDSA(“A”/“B”状態)、及びIDSA(“ER”状態)のそれぞれの波形は、それぞれメモリセルトランジスタMTの“ER”状態、“A”/“B”状態、及び“C”状態を読み出す際に、ダイオード接続されたトランジスタQ3のドレイン−ソース間を流れる電流の波形を示している。その他の信号波形は、電圧波形に対応している。図示された(“ER”状態)、(“A”/“B”状態)、(“C”状態)に対応する波形のそれぞれでは、対応する配線若しくはノードの電圧が示されている。
図11に示すように、読み出し動作の開始時においてシーケンサ13は、ノードINVの電圧を“L”レベル(INV=0)にセットし、ドライバモジュール14は、ソース線CELSRCにVsrcを印加する。その後、シーケンサ13は、制御信号BLS、BLC及びBLXの電圧を、それぞれVblx、Vblc及びVblxまで上昇させる。すると、ビット線BLの電圧が、ソース線CERSRCに印加された電圧と、トランジスタQ7、Q8、Q1及びQ4を経由した電圧とに基づいて、例えばVbl1まで上昇する。
それから、時刻t11においてシーケンサ13は、ノードINVの電圧を“L”レベルから“H”レベル(INV=1)にリセットする。すると、ソース線CELSRCからNANDストリングNS、トランジスタQ4、Q1、Q3及びQ6を順に経由してノードSASRCに電流が流れ込み、やがてビット線BL及びノードND2の電圧が安定化する。
このとき、ビット線BL及びノードND2のそれぞれの電圧は、図10を用いて説明したように、NANDストリングNS内の読み出し対象セルのデータ論理に応じた電圧になる。例えば、“ER”状態に対応するビット線BLの電圧と、“ER”状態に対応するビット線BLの電圧とのそれぞれは、Vsasrcに下降する。“C”状態に対応するビット線BLの電圧は、Vsasrc+Vovに下降する。また、ノードSENは、トランジスタQ9、Q14を介して所望の電圧まで充電される。
時刻t12においてシーケンサ13は、制御信号BLS、BLC及びBLXのそれぞれを“L”レベルの電圧に変化させ、制御信号XXLの電圧をVxxlに上昇させる。すると、トランジスタQ4、Q1及びQ8がオフ状態になり、ビット線BLがフローティング状態になる。また、コピーされたセル電流が、トランジスタQ2、Q3及びQ6を経由して、ノードSENからノードSASRCに流れ込む。
これにより、ノードSENの電圧は、トランジスタQ3によりコピーされたセル電流により放電される。具体的には、メモリセルトランジスタMTが“C”状態にある場合、図11の実線で示されたようにノードSENの電圧は大きく低下し、“ER”、“A”、“B”状態である場合、図11の破線で示されたようにノードSENの電圧はほとんど放電されない。それから、時刻t13と時刻t14との間においてシーケンサ13は、制御信号STBをアサートすることによって、ノードSENの電圧に応じた論理データをラッチ部LPにラッチさせる。
対応するメモリセルトランジスタMTが“C”状態である場合、シーケンサ13は、当該データを保持させるラッチ回路に“1”データを保持させる。そして、例えばシーケンサ13は、対応するセンスアンプユニットSAUにおいてロックアウト動作を実行する。
具体的には、制御信号STI、STL、LPCn及びLDCを制御して、例えばラッチ回路SDLにおけるノードINVの電圧を“L”レベルに固定する。これにより、続く読み出し電圧ARを用いた読み出しにおいて、“C”状態であることが確定しているメモリセルトランジスタMTに接続されたビット線BLに流れる電流量が抑制される。
以上のように、第1実施形態に係る半導体記憶装置1においてセンスアンプユニットSAUは、メモリセルトランジスタMTに記憶されたデータを判定することが出来る。尚、本明細書では、データの判定にDSA(Diode sense ABL)方式が適用される場合を例示したが、データの判定方法にはABL(All Bit Line)方式が適用されても良い。
いずれの方式を採用しても、第1実施形態に係る半導体記憶装置1において、センスアンプモジュール16は、ビット線BLから流れる電流量に応じて、メモリセルトランジスタMTに記憶されたデータを読み出すことが出来る。
尚、以上で説明した読み出し動作では、シーケンサ13がデータが確定したメモリセルトランジスタMTに対応するビット線BLに対してロックアウト動作を実行する場合について例示したが、ロックアウト動作は実行されなくても良い。第1実施形態に係る半導体記憶装置1の読み出し動作においてロックアウト動作が実行されるか否かは、任意に設定変更され得る。
[1−2−2]消去ベリファイ動作
第1実施形態に係る半導体記憶装置1は、消去動作を実行した後に、消去ベリファイ動作を実行する。消去動作は、メモリセルトランジスタMTの閾値電圧を、書き込み後の状態から“ER”状態に遷移させる動作である。消去ベリファイ動作は、消去動作によってメモリセルトランジスタMTの閾値電圧が“ER”状態に分布しているかどうかを確認する読み出し動作である。
第1実施形態に係る半導体記憶装置1は、消去動作を実行した後に、消去ベリファイ動作を実行する。消去動作は、メモリセルトランジスタMTの閾値電圧を、書き込み後の状態から“ER”状態に遷移させる動作である。消去ベリファイ動作は、消去動作によってメモリセルトランジスタMTの閾値電圧が“ER”状態に分布しているかどうかを確認する読み出し動作である。
そして、第1実施形態に係る半導体記憶装置1は、ホール伝導を用いた読み出し動作によって、ブロックBLK単位の消去ベリファイ動作や、ストリングユニットSU単位の消去ベリファイ動作を実行し得る。つまり、消去ベリファイ動作において、選択トランジスタST1及びST2、メモリセルトランジスタMT、並びにダミートランジスタDTのそれぞれは、PMOSトランジスタとして動作する。
以下に、第1実施形態に係る半導体記憶装置1におけるブロックBLK単位の消去ベリファイ動作と、ストリングユニットSU単位の消去ベリファイ動作とのそれぞれについて順に説明する。
(ブロックBLK単位の消去ベリファイ動作)
図12は、第1実施形態に係る半導体記憶装置1の備えるメモリセルアレイ10の回路図であり、ブロックBLK単位の消去ベリファイ動作において使用される電圧の一例を示している。
図12は、第1実施形態に係る半導体記憶装置1の備えるメモリセルアレイ10の回路図であり、ブロックBLK単位の消去ベリファイ動作において使用される電圧の一例を示している。
尚、以下で消去ベリファイ動作の説明に使用される回路図では、消去対象であるブロックBLKにおけるストリングユニットSU及びNANDストリングNSと、消去対象外のブロックBLKにおけるストリングユニットSU及びNANDストリングNSが適宜抽出されている。
以下の説明では、消去対象である選択されたブロックBLKのことを選択ブロックBLKselと称し、消去対象外である非選択のブロックBLKのことを非選択ブロックBLKuselと称する。また、以下の説明では、メモリセルトランジスタMT0〜MT7のそれぞれの閾値電圧が、“ER”状態に含まれるものと仮定する。
図12に示すように、第1実施形態におけるブロックBLK単位の消去ベリファイ動作において、センスアンプユニットSAUはビット線BLにVblを印加し、ドライバモジュール14はウェル線CPWELLにVsrcを印加する。ここで、消去ベリファイ動作では、ウェル線CPWELLの電圧が、ビット線BLの電圧よりも高い状態に制御される。
そして、選択ブロックBLKselにおいて、ドライバモジュール14及びロウデコーダモジュール15は、選択ゲート線SGDにVsgrpを印加し、ワード線WL0〜WL7のそれぞれにVevfyを印加し、ダミーワード線にVrpを印加し、選択ゲート線SGSにVsgrpを印加する。この動作は、選択ブロックBLKsel内の各ストリングユニットSUで同じである。すなわち、選択ブロックBLKselにおいて、選択ゲート線SGD0〜SGD3のそれぞれには、Vsgrpが印加される。
Vevfyは、消去ベリファイ電圧であり、“ER”状態と“A”状態との間の電圧である。つまり、Vevfyがゲートに印加されたメモリセルトランジスタMTがオン状態になった場合、そのメモリセルトランジスタMTの閾値電圧は“ER”状態に分布していることを示している。Vsgrpは、Vsrcよりも低く、且つVevfyよりも低い電圧である。Vrpは、Vsrcよりも低く、且つVevfyよりも低い電圧である。
ゲートにVsgrpが印加された選択トランジスタST1及びST2と、ゲートにVrpが印加されたダミートランジスタDTのそれぞれは、オン状態になり、ゲートにVevfyが印加されたワード線WL0〜WL7のそれぞれは、閾値電圧に応じてオン状態又はオフ状態になる。
一方で、非選択ブロックBLKuselにおいて、ドライバモジュール14及びロウデコーダモジュール15は、各選択ゲート線SGDにVblを印加し、選択ゲート線SGSにVsrcを印加する。ゲートにVblが印加された選択トランジスタST1は、ビット線BLの電圧がVblであることから、オフ状態になる。この動作は、非選択ブロックBLKusel内の各ストリングユニットSUで同じでありる。すなわち、非選択ブロックBLKuselにおいて、選択ゲート線SGD0〜SGD3のそれぞれには、Vblが印加される。
ゲートにVsrcが印加された選択トランジスタST2は、ウェル線CPWELLの電圧がVsrcであることからオフ状態になる。従って、非選択ブロックBLKuselにおいて、選択トランジスタST1及びST2間に接続されたメモリセルトランジスタMT及びダミートランジスタDTのそれぞれのチャネルは、フローティング状態になる。
以上のように電圧が印加されると、選択ブロックBLKsel内のNANDストリングNSでは、ホール伝導によって、ウェル線CPWELLからビット線BLに向かって電流が流れ得る。一方で、非選択ブロックBLKusel内のNANDストリングNSでは、ホール伝導によって、ウェル線CPWELLからビット線BLに向かって電流が流れない。
その結果、第1実施形態に係る半導体記憶装置1は、選択ブロックBLKsel内のNANDストリングNSに含まれたメモリセルトランジスタMTの閾値電圧が消去状態(“ER”状態)になっているかどうかを確認し得る。
具体的には、ホール伝導を用いた消去ベリファイ動作では、Vevfyよりも閾値電圧が低いメモリセルトランジスタMTはオフ状態になり、Vevfy以上の閾値電圧を有するメモリセルトランジスタMTはオン状態になる。
例えば、消去ベリファイ動作において、全てのメモリセルトランジスタMTがオン状態になったNANDストリングNSでは、NANDストリングNSを介した電流がウェル線CPWELLからビット線BLに流れる。一方で、オフ状態のメモリセルトランジスタMTを含むNANDストリングNSでは、NANDストリングNSを介した電流がウェル線CPWELLからビット線BLに流れない。
以上のことから、第1実施形態に係る半導体記憶装置1は、全てのメモリセルトランジスタMTがオン状態になったNANDストリングNSが接続されているビット線BLには、ビット線BLとソース線CELSRCとの間の電流が流れるため、当該ビット線BLに対応するNANDストリングNSの消去ベリファイ動作をパスしたものとみなす。
一方で、第1実施形態に係る半導体記憶装置1は、全てのメモリセルトランジスタMT得がオン状態になったNANDストリングNSが接続されていないビット線BLには、ビット線BLとソース線CELSRCとの間の電流が流れないため、当該ビット線BLに対応するNANDストリングNSの消去ベリファイ動作をフェイルしたものとみなす。
(ストリングユニットSU単位の消去ベリファイ動作)
図13は、第1実施形態に係る半導体記憶装置1の備えるメモリセルアレイ10の回路図であり、ストリングユニットSU単位の消去ベリファイ動作において使用される電圧の一例を示している。
図13は、第1実施形態に係る半導体記憶装置1の備えるメモリセルアレイ10の回路図であり、ストリングユニットSU単位の消去ベリファイ動作において使用される電圧の一例を示している。
尚、以下の説明では、選択ブロックBLKsel内で消去ベリファイ対象であるストリングユニットSUのことを、選択ストリングユニットSUselと称し、選択ブロックBLKsel内で消去ベリファイ対象外であるストリングユニットSUのことを、非選択ストリングユニットSUuselと称する。
図13に示すように、第1実施形態におけるストリングユニットSU単位の消去ベリファイ動作では、ブロックBLK単位の消去ベリファイ動作と同様に、センスアンプユニットSAUがビット線BLにVblを印加し、ドライバモジュール14がウェル線CPWELLにVsrcを印加する。
そして、選択ブロックBLKselにおいて、ドライバモジュール14及びロウデコーダモジュール15は、選択ストリングユニットSUsel内の選択ゲート線SGDにVsgrpを印加し、非選択ストリングユニットSUusel内の選択ゲート線SGDにVsrcを印加する。選択ブロックBLKsel内でゲートにVsrcが印加された選択トランジスタST1は、オフ状態になる。
その結果、選択ブロックBLKselにおいて、選択ストリングユニットSUsel内のNANDストリングNSでは、ホール伝導によって、ウェル線CPWELLからビット線BLに向かって電流が流れる。一方で、選択ブロックBLKselにおいて、非選択ストリングユニットSUusel内のNANDストリングNSでは、ホール伝導によって、ウェル線CPWELLからビット線BLに向かって電流が流れない。
以上で説明した第1実施形態におけるストリングユニットSU単位の消去ベリファイ動作のその他の動作は、ブロックBLK単位の消去ベリファイ動作と同様のため、説明を省略する。これにより、第1実施形態に係る半導体記憶装置1は、ストリングユニットSU単位の消去ベリファイ動作を実行することが出来る。
尚、ストリングユニットSU単位の消去ベリファイ動作において、選択ブロックBLKsel内の非選択ストリングユニットSUuselに対応する選択ゲート線SGDに印加される電圧は、Vsrcに限定されない。非選択ストリングユニットSUusel内の選択ゲート線SGDには、少なくともウェル線CPWELLに印加される電圧以上の電圧が印加されていれば良い。
[1−3]第1実施形態の効果
以上で説明した第1実施形態に係る半導体記憶装置1によれば、記憶層に強誘電体を用いたNAND型フラッシュメモリ(FeNAND)における消去パフォーマンスを向上することが出来る。以下に、第1実施形態に係る半導体記憶装置1における効果の詳細について説明する。
以上で説明した第1実施形態に係る半導体記憶装置1によれば、記憶層に強誘電体を用いたNAND型フラッシュメモリ(FeNAND)における消去パフォーマンスを向上することが出来る。以下に、第1実施形態に係る半導体記憶装置1における効果の詳細について説明する。
図14は、第1実施形態の比較例として、フローティングゲートを記憶層として用いたメモリセルトランジスタの閾値分布の一例を示している。
図14に示すように、第1実施形態の比較例におけるメモリセルトランジスタの閾値分布は、第1実施形態で図5を用いて説明したメモリセルトランジスタMTの閾値分布に対して、消去状態に対応する閾値分布の位置が異なっている。
具体的には、強誘電体を用いたメモリセルトランジスタMTでは、閾値電圧が最も高い閾値分布が消去状態に対応する一方で、フローティングゲートを用いたメモリセルトランジスタMTでは、閾値電圧が最も低い閾値分布が消去状態に対応している。
これに伴い、第1実施形態の比較例におけるメモリセルトランジスタの閾値分布では、閾値電圧の低い方から、“ER”状態、“A”状態、“B”状態、“C”状態の順に閾値分布が形成され、適宜読み出し電圧が設定される。
図15は、第1実施形態の比較例におけるメモリセルトランジスタを用いたNANDストリングNSの回路構成を示し、電子伝導を用いたベリファイ動作を実行した場合の動作の一例を示している。
図15に示すように、電子伝導を用いたベリファイ動作では、ビット線BLにVblが印加され、ソース線CELSRCにVssが印加され、選択ゲート線SGD及びSGSのそれぞれにVsgが印加され、ダミーワード線DWLにVdwlが印加され、ワード線WL0〜WL7のそれぞれにVevfyが印加される。
Vblは、Vssよりも高い電圧である。Vsgは、Vblよりも高い電圧である。Vdwlは、ダミートランジスタDTがオン状態になる電圧である。このように電圧が印加されると、NANDストリングNS内のメモリセルトランジスタMTの閾値電圧に応じて、ソース線CELSRCからビット線BLに向かって電子が流れ得る。
例えば、メモリセルトランジスタMT0〜MT7が全てオン状態、すなわちNANDストリングNS内の全てのメモリセルトランジスタMTで閾値電圧VthがVevfyよりも低い場合、NANDストリングNSを介して電子がソース線CELSRCからビット線BLに向かって流れる。
このように、第1実施形態の比較例では、電子伝導を用いた消去ベリファイ動作を実行することによって、NANDストリングNS内の全てのメモリセルトランジスタMTがオンしたかどうかに基づいて、消去ベリファイにパスしたか否かを判定する。言い換えると、第1実施形態の比較例では、NANDストリングNS内のメモリセルトランジスタMTに対する消去ベリファイ動作が一括で実行され得、消去ベリファイ動作がブロックBLK単位若しくはストリングユニットSU単位で実行され得る。
一方で、第1実施形態におけるメモリセルトランジスタMTに対して電子伝導を用いたベリファイ動作が実行された場合、全てのメモリセルトランジスタMTがオフ状態になったことに基づいて、消去ベリファイにパスしたか否かが判定される。
図16は、第1実施形態に係る半導体記憶装置1におけるメモリセルトランジスタMTを用いたNANDストリングNSの回路構成を示し、比較例と同様に、電子伝導を用いたベリファイ動作を実行した場合の動作の一例を示している。
図16に示すように、第1実施形態に係る半導体記憶装置1において電子伝導を用いた消去ベリファイ動作が実行された場合、ベリファイ対象のNANDストリングNSに1つでもオフ状態のメモリセルトランジスタMTが含まれていれば、消去ベリファイにパスしたものとみなされる。つまり、NANDストリングNS内のメモリセルトランジスタMTで“ER”状態に分布していないメモリセルトランジスタMTが多数含まれていた場合でも、消去ベリファイにパスしたものとみなされてしまう。
このため、第1実施形態に係る半導体記憶装置1は、電子伝導を用いた消去ベリファイ動作を用いる場合、消去ベリファイの精度を向上するために、ワード線WL単位で消去ベリファイを実行することが好ましい。しかしながら、ワード線WL単位の消去ベリファイ動作は、ワード線WLの本数が増えるほど実行回数が多くなり、半導体記憶装置1の消去パフォーマンスの低下の原因になり得る。
そこで、第1実施形態に係る半導体記憶装置1は、消去ベリファイ動作にホール伝導を用いたベリファイ動作を適用する。ホール伝導を用いたベリファイ動作では、ベリファイ電圧よりも高い閾値電圧を有するメモリセルトランジスタMTがオン状態になる。
つまり、第1実施形態に係る半導体記憶装置1は、ホール伝導を用いた消去ベリファイ動作を用いることで、第1実施形態の比較例と同様に、NANDストリングNS内の全てのメモリセルトランジスタMTがオンしたかどうかに基づいて消去ベリファイにパスしたか否かを判定することが出来る。
その結果、第1実施形態に係る半導体記憶装置1は、ブロックBLK又はストリングユニットSU単位の消去ベリファイ動作を実行することが出来る。従って、第1実施形態に係る半導体記憶装置1は、記憶層に強誘電体を用いたNAND型フラッシュメモリにおける消去パフォーマンスを向上することが出来る。
尚、第1実施形態に係る半導体記憶装置1は、ブロックBLK単位の消去ベリファイ動作において、1つ以上のストリングユニットSUでNANDストリングNSを介した電流が流れた場合に、当該消去ベリファイにパスしたものとみなす。
しかしながら、消去ベリファイで判定しているのは、ストリングユニットSUに含まれるメモリセルトランジスタMTが作る分布の下端であり、複数のメモリセルトランジスタMTからなる分布の特性においては、個々のメモリセルトランジスタMT間の特性差はある程度平均化される。このため、第1実施形態に係る半導体記憶装置1において、ストリングユニットSU間での特性差は小さいことが推測され得る。従って、第1実施形態に係る半導体記憶装置1は、ブロックBLK単位の消去ベリファイ動作においても、消去ベリファイの信頼性を担保することが出来る。
[2]第2実施形態
第2実施形態に係る半導体記憶装置1は、第1実施形態に対して選択ゲート線SGSの接続関係が異なり、第1実施形態と同様の消去ベリファイ動作を実行する。以下に、第2実施形態に係る半導体記憶装置1について、第1実施形態と異なる点を説明する。
第2実施形態に係る半導体記憶装置1は、第1実施形態に対して選択ゲート線SGSの接続関係が異なり、第1実施形態と同様の消去ベリファイ動作を実行する。以下に、第2実施形態に係る半導体記憶装置1について、第1実施形態と異なる点を説明する。
[2−1]メモリセルアレイ10の構成
図17は、第2実施形態に係る半導体記憶装置1の備えるメモリセルアレイ10の回路構成の一例であり、第1実施形態で説明したメモリセルアレイ10の回路構成に対して選択ゲート線SGSの接続関係が異なっている。
図17は、第2実施形態に係る半導体記憶装置1の備えるメモリセルアレイ10の回路構成の一例であり、第1実施形態で説明したメモリセルアレイ10の回路構成に対して選択ゲート線SGSの接続関係が異なっている。
具体的には、図17に示すように、第2実施形態におけるメモリセルアレイ10には、4本の選択ゲート線SGS0〜SGS3が設けられている。選択ゲート線SGS0〜SGS3は、それぞれストリングユニットSU0〜SU3内の選択トランジスタST2に共通接続される。
つまり、第2実施形態におけるメモリセルアレイ10では、ストリングユニットSU毎に選択ゲート線SGSが分離されている。ドライバモジュール14及びロウデコーダモジュール15は、選択ストリングユニットSUselに対応する選択ゲート線SGSに印加する電圧と、非選択ストリングユニットSUuselに対応する選択ゲート線SGSに印加する電圧とを独立に制御し得る。
図18は、第2実施形態に係る半導体記憶装置1の備えるメモリセルアレイ10の断面構造の一例であり、第1実施形態で説明したメモリセルアレイ10の断面構造に対して選択ゲート線SGS対応する導電体層の構造が異なっている。
具体的には、図18に示すように、第2実施形態においてメモリセルアレイ10に対応する領域には、ストリングユニットSU毎に分離された導電体層22が含まれている。言い換えると、ストリングユニットSU0〜SU3にそれぞれ対応するメモリピラーMPは、電気的に分離された導電体層22を貫通している。
尚、本例では、最下層の導電体層22に対応する導電体層22が、第1実施形態と同様に一体で設けられている。これは、P型ウェル領域20を介した電流をソース線CELSRCとNANDストリングNSとの間で流すための配線であり、例えば最下層の導電体層22は、選択ゲート線SGSBとして独立に制御され得る。この場合、選択ゲート線SGSBに対応する導電体層22よりも上層に設けられた3層の導電体層22が、図17を用いて説明した選択ゲート線SGSとして使用される。
以上で説明した第2実施形態におけるメモリセルアレイ10のその他の回路構成及び断面構造は、それぞれ第1実施形態で説明したメモリセルアレイ10の回路構成及び断面構造と同様である。また、第2実施形態に係る半導体記憶装置1におけるその他の構成は、第1実施形態に係る半導体記憶装置1の構成と同様のため、説明を省略する。
[2−2]消去ベリファイ動作
(ブロックBLK単位の消去ベリファイ動作)
図19は、第2実施形態に係る半導体記憶装置1の備えるメモリセルアレイ10の回路図であり、ブロックBLK単位の消去ベリファイ動作において使用される電圧の一例を示している。
(ブロックBLK単位の消去ベリファイ動作)
図19は、第2実施形態に係る半導体記憶装置1の備えるメモリセルアレイ10の回路図であり、ブロックBLK単位の消去ベリファイ動作において使用される電圧の一例を示している。
図19に示すように、第2実施形態におけるブロックBLK単位の消去ベリファイ動作では、第1実施形態で説明したブロックBLK単位の消去ベリファイ動作と同様に、センスアンプユニットSAUがビット線BLにVblを印加し、ドライバモジュール14がウェル線CPWELLにVsrcを印加する。
そして、選択ブロックBLKselにおいて、ドライバモジュール14及びロウデコーダモジュール15は、選択ゲート線SGDにVsgrpを印加し、ワード線WL0〜WL7並びにダミーワード線DWLのそれぞれにVevfyを印加し、選択ゲート線SGSにVsgrpを印加する。この動作は、選択ブロックBLKsel内の各ストリングユニットSUで同じである。つまり、選択ブロックBLKselにおいて、選択ゲート線SGD0〜SGD3並びにSGS0〜SGS3のそれぞれには、Vsgrpが印加される。
以上のように、第2実施形態におけるブロックBLK単位の消去ベリファイ動作において、選択ブロックBLKに対応する配線に印加される電圧の条件は、第1実施形態におけるブロックBLK単位の消去ベリファイ動作と同様になる。
その結果、第2実施形態におけるブロックBLK単位の消去ベリファイ動作において、選択ブロックBLKsel内の選択トランジスタST2は、第1実施形態におけるブロックBLK単位の消去ベリファイ動作と同様に動作する。
以上で説明した第2実施形態におけるブロックBLK単位の消去ベリファイ動作のその他の動作は、第1実施形態で説明したブロックBLK単位の消去ベリファイ動作と同様のため、説明を省略する。
(ストリングユニットSU単位の消去ベリファイ動作)
図20は、第2実施形態に係る半導体記憶装置1の備えるメモリセルアレイ10の回路図であり、ストリングユニットSU単位の消去ベリファイ動作において使用される電圧の一例を示している。
図20は、第2実施形態に係る半導体記憶装置1の備えるメモリセルアレイ10の回路図であり、ストリングユニットSU単位の消去ベリファイ動作において使用される電圧の一例を示している。
図20に示すように、第2実施形態におけるストリングユニットSU単位の消去ベリファイ動作では、第1実施形態で説明したストリングユニットSU単位の消去ベリファイ動作と同様に、センスアンプユニットSAUがビット線BLにVblを印加し、ドライバモジュール14がウェル線CPWELLにVsrcを印加する。
そして、選択ブロックBLKselにおいて、ドライバモジュール14及びロウデコーダモジュール15は、選択ストリングユニットSUsel内の選択ゲート線SGD及びSGSのそれぞれにVsgrpを印加し、非選択ストリングユニットSUusel内の選択ゲート線SGD及びSGSにそれぞれVbl及びVsrcを印加する。
これにより、第2実施形態のストリングユニットSU単位の消去ベリファイ動作において、選択ブロックBLKsel内の非選択ストリングユニットSUuselに対応する選択ゲート線SGD及びSGSに印加される電圧の条件が、それれぞれ第1実施形態で説明した非選択ブロックBLKusel内の選択ゲート線SGD及びSGSと同様になる。
その結果、選択ブロックBLKsel内の非選択ストリングユニットSUuselでは、各NANDストリングNSの選択トランジスタST1及びST2のそれぞれがオフ状態になり、当該非選択ストリングユニットSUuselが消去ベリファイ動作の対象から除外される。
以上で説明した第2実施形態におけるストリングユニットSU単位の消去ベリファイ動作のその他の動作は、第1実施形態で説明したストリングユニットSU単位の消去ベリファイ動作と同様のため、説明を省略する。
[2−3]第2実施形態の効果
以上のように、第2実施形態に係る半導体記憶装置1は、第1実施形態と異なる回路構成で、第1実施形態と同様にブロックBLK又はストリングユニットSU単位の消去動作を実行することが出来る。
以上のように、第2実施形態に係る半導体記憶装置1は、第1実施形態と異なる回路構成で、第1実施形態と同様にブロックBLK又はストリングユニットSU単位の消去動作を実行することが出来る。
その結果、第2実施形態に係る半導体記憶装置1は、第1実施形態と同様の効果を得ることが出来、記憶層に強誘電体を用いたNAND型フラッシュメモリ(FeNAND)における消去パフォーマンスを向上することが出来る。
[3]第3実施形態
第3実施形態に係る半導体記憶装置1では、消去ベリファイ動作の精度を向上するために、消去ベリファイ電圧の補正動作を実行する。以下に、第3実施形態に係る半導体記憶装置1について、第1及び第2実施形態と異なる点を説明する。
第3実施形態に係る半導体記憶装置1では、消去ベリファイ動作の精度を向上するために、消去ベリファイ電圧の補正動作を実行する。以下に、第3実施形態に係る半導体記憶装置1について、第1及び第2実施形態と異なる点を説明する。
[3−1]メモリセルトランジスタMTの閾値電圧について
メモリセルトランジスタMTは、電子伝導を用いて動作させる場合(NMOS動作)と、ホール伝導を用いて動作させる場合(PMOS動作)とで、閾値電圧が異なる場合がある。そして、NMOS動作における閾値電圧とPMOS動作における閾値電圧との間には何らかの関係があると想定され得る。定性的には、NMOS動作における閾値電圧が上昇すると、PMOS動作における閾値電圧も上昇すると考えられる。
メモリセルトランジスタMTは、電子伝導を用いて動作させる場合(NMOS動作)と、ホール伝導を用いて動作させる場合(PMOS動作)とで、閾値電圧が異なる場合がある。そして、NMOS動作における閾値電圧とPMOS動作における閾値電圧との間には何らかの関係があると想定され得る。定性的には、NMOS動作における閾値電圧が上昇すると、PMOS動作における閾値電圧も上昇すると考えられる。
第1実施形態と第2実施形態とのそれぞれで説明した消去ベリファイ動作では、NMOS動作における閾値電圧が所定のレベル以上になったことを、PMOS動作を用いて判定している。このため、消去ベリファイ電圧Vevfyは、NMOS動作における閾値電圧とPMOS動作における閾値電圧との差を補償した値に設定することが好ましい。
以下では、電子伝導を用いた読み出し動作のことをNMOS読み出しと称し、ホール伝導を用いた読み出し動作のことをPMOS読み出しと称する。
図21は、NMOS読み出し及びPMOS読み出しにそれぞれ対応するメモリセルトランジスタMTの閾値分布を示している。
尚、以下で参照される閾値分布の図面において、“Vthn”は、NMOS読み出しにおけるメモリセルトランジスタMTの閾値電圧に対応し、“Vthp”は、PMOS読み出しにおけるメモリセルトランジスタMTの閾値電圧に対応している。
図21に示すように、同一のセルユニットCUにおいて、NMOS読み出しが実行された場合と、PMOS読み出しが実行された場合とで閾値分布が異なり得る。そして、図21には、NMOS読み出しにおける閾値電圧とPMOS読み出しにおける閾値電圧との差分が、Δnpとして示されている。つまり、Δnpは、Δnp=Vthn−Vthpという数式によって定義される。
尚、図示されたΔnpは、NMOS読み出しにおける閾値分布の下端と、PMOS読み出しにおける閾値分布の下端との差分で示されているが、これはあくまで一例である。Δnpは、メモリセルトランジスタMT毎にも異なり得る。
図22は、NMOS読み出し及びPMOS読み出しにそれぞれ対応するメモリセルトランジスタMTの閾値分布に対して、N−PASS及びP−PASSの定義を示している。
図22(1)に示すように、NMOS読み出しにおいて、ベリファイ電圧Vvfynが使用された場合、Vvfyn未満の閾値電圧を有するメモリセルトランジスタMTはオン状態になる。以下では、このようにVthn<VvfynとなるメモリセルトランジスタMTのことを、N−PASSのメモリセルトランジスタMTと称する。また、図示が省略されているが、Vthn≧VvfynとなるメモリセルトランジスタMTのことを、N−FAILのメモリセルトランジスタMTと称する。
図22(2)に示すように、PMOS読み出しにおいて、ベリファイ電圧Vvfypが使用された場合、Vvfypよりも高い閾値電圧を有するメモリセルトランジスタMTはオン状態になる。以下では、このようにVthp>VvfypとなるメモリセルトランジスタMTのことを、P−PASSのメモリセルトランジスタMTと称する。また、図示が省略されているが、Vthp≦VvfypとなるメモリセルトランジスタMTのことを、P−FAILのメモリセルトランジスタMTと称する。
そして、第3実施形態に係る半導体記憶装置1では、NMOS読み出しとPMOS読み出しとにおいて、Δnpを考慮した読み出し電圧の補正値Vdeltaが使用され得る。
Δnpの補正値Vdeltaは、半導体記憶装置1内のレジスタに保持されても良いし、メモリセルアレイ10内に記憶されても良い。Δnpの補正値Vdeltaは、メモリコントローラ2によって管理されても良い。Δnpの補正値Vdeltaは、ブロックBLK毎に更新されても良いし、ワード線WL毎に更新されても良いし、特定のワード線WLとその他のワード線WLとでグループ分けして管理されても良い。
図23、図24、及び図25は、NMOS読み出し及びPMOS読み出しにそれぞれ対応するメモリセルトランジスタMTの閾値分布において、それぞれVdelta=Δnp、Vdelta<Δnp、及びVdelta>Δnpである場合の一例を示している。
本例は、NMOS読み出しが基準として使用され、PMOS読み出しにVdeltaが使用される。そして、PMOS読み出しで使用されるベリファイ電圧Vvfypが、例えばVvfyn−Vdeltaによって算出される。
図23に示すように、Vdelta=Δnpである場合、NMOS読み出しにおけるN−PASSのメモリセルトランジスタMTは、PMOS読み出しにおけるP−FAILに含まれるため、N−PASSとP−PASSは排他的となり、NMOS読み出しにおけるN−PASSのメモリセルトランジスタMTの数と、PMOS読み出しにおけるP−PASSのメモリセルトランジスタMTの数との和が、1つのセルユニットCUに含まれたメモリセルトランジスタMTの数と略同じになる。
言い換えると、Δnpの補正値が適切である場合、N−PASS∩P−PASS=0且つN−FAIL∩P−FAIL=0となる。
一方で、Δnpの補正値が適切でない場合、NMOS読み出しとPMOS読み出しとの両方で、パス若しくはフェイルするビットが表れることになる。
図24に示すように、Vdelta<Δnpである場合、NMOS読み出しにおけるN−PASSのメモリセルトランジスタMTの数と、PMOS読み出しにおけるP−PASSのメモリセルトランジスタMTの数との和が、1つのセルユニットCUに含まれたメモリセルトランジスタMTの数よりも少なくなる。
この場合、セルユニットCUには、NMOS読み出しにおいてN−FAILとなり、且つPMOS読み出しにおいてP−FAILとなったメモリセルトランジスタMTが含まれている。このような、NMOS読み出し及びPMOS読み出しのそれぞれにおいてベリファイフェイルとなったメモリセルトランジスタMTのことを、以下ではNP−FAILのメモリセルトランジスタMTと称する。NP−FAILは、例えばN−FAIL∩P−FAIL=NP−FAIL≠0で表される。
図25に示すように、Vdelta>Δnpである場合、NMOS読み出しにおけるN−PASSのメモリセルトランジスタMTの数と、PMOS読み出しにおけるP−PASSのメモリセルトランジスタMTの数との和が、1つのセルユニットCUに含まれたメモリセルトランジスタMTの数よりも多くなる。
この場合、セルユニットCUには、NMOS読み出しにおいてN−PASSとなり、且つPMOS読み出しにおいてP−PASSとなったメモリセルトランジスタMTが含まれている。このような、NMOS読み出し及びPMOS読み出しのそれぞれにおいてベリファイパスとなったメモリセルトランジスタMTのことを、以下ではNP−PASSのメモリセルトランジスタMTと称する。NP−PASSは、例えばN−PASS∩P−P−PASS=NP−PASS≠0で表される。
第3実施形態に係る半導体記憶装置1では、上述した数式に対して所定の条件を設定することによって、適切なΔnpの補正値が探索される。適切なΔnpの補正値は、例えばNMOS読み出しにおける閾値分布の中央値と、PMOS読み出しにおける閾値分布の中央値との差に等しくなる。
[3−2]補正動作
第3実施形態に係る半導体記憶装置1は、Δnpに対する補正値として使用されるVdeltaを適宜補正し得る。この補正動作は、消去後のブロックBLKの中で、所望のワード線WLを選択して実行される。以下に、第3実施形態に係る半導体記憶装置1におけるVdeltaの補正動作について説明する。
第3実施形態に係る半導体記憶装置1は、Δnpに対する補正値として使用されるVdeltaを適宜補正し得る。この補正動作は、消去後のブロックBLKの中で、所望のワード線WLを選択して実行される。以下に、第3実施形態に係る半導体記憶装置1におけるVdeltaの補正動作について説明する。
(補正動作のフローについて)
図26は、第3実施形態に係る半導体記憶装置1における補正動作のフローチャートの一例を示している。
図26は、第3実施形態に係る半導体記憶装置1における補正動作のフローチャートの一例を示している。
図26に示すように、補正動作において、まずメモリコントローラ2は、最初のVdeltaを設定する(ステップS10)。最初のVdeltaは、例えばステップアップ電圧Vstepを加算する方向に理想的なVdeltaの電圧が含まれるように、Δnpより十分に小さい値が設定される。
次に、メモリコントローラ2は、半導体記憶装置1に対して消去動作の実行を指示する(ステップS11)。すると、半導体記憶装置1は、メモリコントローラ2によって選択されたブロックBLKに対する消去動作を実行する。
続けて、メモリコントローラ2は、半導体記憶装置1に対して弱書き込み動作の実行を指示する(ステップS12)。すると、半導体記憶装置1は、先程消去動作を実行したブロックBLKに含まれたいずれかのワード線WLを選択した弱書き込み動作を実行する。
ここで、半導体記憶装置1の弱書き込み動作について簡単に説明する。弱書き込み動作は、消去動作後に実行され、例えばベリファイ動作を含まない書き込み動作である。
図27は、第3実施形態に係る半導体記憶装置1における弱買い込み動作の前後におけるメモリセルトランジスタMTの閾値分布の変化の一例を示している。
図27(1)に示すように、書き込み動作前におけるメモリセルトランジスタMTの閾値電圧は、“ER”状態に分布している。一方で、弱書き込み動作が実行された後では、例えば図27(2)に示すように、“ER”状態から“ERM”状態に閾値電圧が低下する。
“ERM”状態は、例えば“A”状態の近傍に分布し、分布の幅が“ER”状態よりも広くなっている。そして、“ERM”状態は、補正動作におけるベリファイ電圧Vvfynを跨がっている。このベリファイ電圧Vvfynは、消去ベリファイ電圧Vevfyに対応する電圧である。つまり、弱書き込み動作が実行されると、“ER”状態に分布するメモリセルトランジスタMTの閾値分布から、消去ベリファイ電圧Vevfyに跨がるような分布が形成される。
図26に戻り、弱書き込み動作が実行された後に、メモリコントローラ2は、例えば消去ベリファイ電圧Vevfy+Vdeltaを用いたNMOS読み出しの実行を半導体記憶装置1に指示する(ステップS13)。このNMOS読み出しにおける消去ベリファイ電圧Vevfyは、図22を用いて説明したVvfynに対応している。
続けて、メモリコントローラ2は、例えば消去ベリファイ電圧Vevfyを用いたPMOS読み出しの実行を半導体記憶装置1に指示する(ステップS14)。このPMOS読み出しにおける消去ベリファイ電圧Vevfyは、図22を用いて説明したVvfypに対応している。
そして、メモリコントローラ2は、ステップS13及びS14のそれぞれにおける読み出し結果に基づいて、NP−FAIL数Nnpfailを算出する。そして、メモリコントローラ2は、Nnpfailが所定の数Nc未満であるかどうかを確認する(ステップS15)。
Nnpfailが所定の数Nc未満ではない場合(ステップS15、NO)、メモリコントローラ2は、Vdeltaをステップアップする(ステップS16)。具体的には、Vdelta=Vdelta+Vstepの処理が実行される。Vstepは、Vdeltaのステップアップ電圧に相当し、任意の数値に設定され得る。
Vdeltaをステップアップした後、メモリコントローラ2は、ステップS13に戻り、ステップS13におけるNMOS読み出しと、ステップS14におけるPMOS読み出しとを再び実行する。
ステップS13〜S16の処理が繰り返し実行され、Nnpfailが所定の数Nc未満になった場合(ステップS15、YES)、メモリコントローラ2は、このVdeltaをΔnpの補正値として設定する(ステップS17)。
以上のように、第3実施形態に係る半導体記憶装置1は、メモリコントローラ2の指示に基づいた補正動作を実行することによって、Δnpの補正値を算出することが出来る。尚、以上の説明では、メモリコントローラ2の指示に基づいた補正動作について説明したが、以上で説明した補正動作は半導体記憶装置1の内部で実行されても良い。
また、以上の説明では、半導体記憶装置1が補正動作の前に弱書き込み動作を実行する場合について例示したが、これに限定されない。例えば、補正動作で使用されるベリファイ電圧Vvfyが、“ER”状態の真ん中近傍に予め設定されていても良い。このような場合においても、第3実施形態に係る半導体記憶装置1は、上述したようにΔnpの補正値を得ることが出来る。
(補正動作の実行タイミングについて)
次に、上述した補正動作の実行タイミングの一例について説明する。補正動作は、半導体記憶装置1の出荷前の不良検査時に実行されても良いし、出荷後に実行されても良い。
次に、上述した補正動作の実行タイミングの一例について説明する。補正動作は、半導体記憶装置1の出荷前の不良検査時に実行されても良いし、出荷後に実行されても良い。
補正動作が半導体記憶装置1の出荷前に実行される場合、半導体記憶装置1の製造メーカーは、出荷前の半導体記憶装置1に例えば全てのブロックBLKに対する補正動作を実行させ、Δnpの補正値を更新させる。
半導体記憶装置1の出荷後における半導体記憶装置1の補正動作の実行タイミングの一例については、以下に図28及び図29を用いて説明する。
図28及び図29のそれぞれは、第3実施形態に係る半導体記憶装置1における補正動作の実行タイミングの一例を示すフローチャートである。
図28に示された一例において半導体記憶装置1は、消去ベリファイ動作にフェイルしたことに基づいて補正動作を実行する。
具体的には、まずメモリコントローラ2は、消去動作の実行を半導体記憶装置1に指示し、半導体記憶装置1は消去動作を実行する(ステップS20)。
次に、メモリコントローラ2は、ステップS20において消去動作が実行されたブロックBLKにおける消去ベリファイ動作の実行を半導体記憶装置1に指示し、半導体記憶装置1は消去ベリファイ動作を実行する(ステップS21)。
そして、メモリコントローラ2は、ステップS21における消去ベリファイ動作において、消去ベリファイ動作にパスしたかどうかを確認する(ステップS22)。
消去ベリファイにパスしている場合(ステップS22、YES)、メモリコントローラ2は、当該ブロックBLKに対する補正動作を実行しない。
一方で、消去ベリファイにフェイルしている場合(ステップS22、NO)、メモリコントローラ2は、図26を用いて説明した補正動作を実行する。尚、ステップS22において実行される補正動作では、ステップS11における消去動作と、ステップS12における弱書き込み動作とが省略されても良い。
ステップS23における補正動作が完了すると、メモリコントローラ2は、消去ベリファイにフェイルしたブロックBLKに対する消去動作を再び半導体記憶装置1に実行させる(ステップS24)。
それから、メモリコントローラ2は、ステップS24において消去動作を実行したブロックBLKにおいて、ステップS23で算出されたΔnpの補正値を用いた消去ベリファイ動作を実行する(ステップS25)。
そして、メモリコントローラ2は、ステップS25における消去ベリファイ動作において、消去ベリファイ動作にパスしたかどうかを確認する(ステップS26)。
消去ベリファイにパスしている場合(ステップS26、YES)、メモリコントローラ2は、当該ブロックBLKに対するΔnpの補正動作を終了する。
一方で、消去ベリファイにフェイルしている場合(ステップS26、NO)、メモリコントローラ2は、当該ブロックBLKをバッドブロックに設定する(ステップS27)。そして、メモリコントローラ2は、当該ブロックBLKに対する補正動作を終了する。
図29に示された一例において半導体記憶装置1は、消去回数に基づいて補正動作を実行する。
具体的には、まずステップS20の処理が実行され、半導体記憶装置1は消去動作を実行する。次に、メモリコントローラ2は、ステップS20において消去動作が実行されたブロックBLKにおける消去回数Neraseが、所定の回数Nthを超えているかどうかを確認する(ステップS30)。
消去回数Neraseが所定の回数を超えていない場合(ステップS30、NO)、メモリコントローラ2は、当該ブロックBLKに対する補正動作を実行しない。
消去回数Neraseが所定の回数を超えている場合(ステップS30、YES)、メモリコントローラ2は、ステップS23の処理に移行し、当該ブロックBLKに対する補正動作を実行する。ステップS23の処理以降、メモリコントローラ2は、メモリコントローラ2は、図28を用いて説明した動作と同様に、ステップS24〜S27の動作を適宜実行し、当該ブロックBLKに対する補正動作を終了する。
尚、図29では、補正動作の実行タイミングが、消去回数Neraseが所定の回数Nthを超えた後に毎回実行される場合について例示されているが、これに限定されない。例えばメモリコントローラ2は、あるブロックBLKに対する消去動作が所定の回数に到達した後に、消去動作の実行回数が所定の周期に該当した場合に補正動作を実行しても良い。
以上のように、第3実施形態に係る半導体記憶装置1は、補正動作の実行に関するトリガーを適宜設定することによって、補正動作を所定のタイミングで実行することが出来る。
[3−3]第3実施形態の効果
以上のように、第3実施形態に係る半導体記憶装置1は、消去ベリファイ電圧の補正動作を実行する。消去ベリファイ電圧が補正されることによって、消去ベリファイ動作の精度が向上され得る。
以上のように、第3実施形態に係る半導体記憶装置1は、消去ベリファイ電圧の補正動作を実行する。消去ベリファイ電圧が補正されることによって、消去ベリファイ動作の精度が向上され得る。
その結果、第3実施形態に係る半導体記憶装置1は、消去ベリファイ動作の精度低下が原因で生じるエラーの発生を抑制することが出来る。従って、第3実施形態に係る半導体記憶装置1は、記憶するデータの信頼性を向上することが出来る。
尚、以上の説明では、Δnpが一定の値であることを前提に説明したが、実際のデバイスでは、メモリセルトランジスタMT毎にΔnpのばらつきがあることが推測され得る。
図30は、NMOS読み出し及びPMOS読み出しにそれぞれ対応するメモリセルトランジスタMTの閾値分布であり、Δnpのばらつきの一例を示している。
図30に示すように、Δnpは、大きい場合と小さい場合が考えられる。例えば、Δnpが大きい場合、NMOS読み出しでフェイルだったメモリセルトランジスタMTが、PMOS読み出しでもフェイルになり得る。また、Δnpが小さい場合、NMOS読み出しでパスだったメモリセルトランジスタMTが、PMOS読み出しでもパスになり得る。
このため、Δnpの補正値を最適値(中央値)に設定したとしても、N−PASS∩P−PASS=0と、N−FAIL∩P−FAIL=0とが、Δnpのばらつきに起因して、同時に満たされ得ない。
実際の動作では、NMOS動作における閾値電圧がベリファイ電圧Vvfyn以上にあることをPMOS読み出しで判定したいということが主要な目的である。つまり、NMOS読み出しの白抜き部分にあるメモリセルトランジスタMTは、全てPMOS読み出しで斜線部分に入っていることが好ましい。つまり、Δnpが大きいメモリセルトランジスタMTに対する対処が優先されることが好ましい。
これに対して、第3実施形態に係る半導体記憶装置1では、N−FAIL∩P−FAILを優先して、図26を用いて説明したようにNP−FAILが十分に小さくなるΔnpを探索している。
その結果、Δnpのばらつき分だけマージンは減少するが、第3実施形態に係る半導体記憶装置1は、NMOS動作における閾値電圧がある値以上のメモリセルトランジスタMTをPMOS読み出しで判定することが出来る。
このように、第3実施形態に係る半導体記憶装置1は、適切なΔnpの補正値を算出することが出来、消去ベリファイ動作の精度を向上することが出来る。
[4]その他の変形例等
実施形態の半導体記憶装置は、ストリングと、ビット線と、ウェル線と、シーケンサとを含む。ストリング<例えば図12、NS>は、第1選択トランジスタ<例えば図12、ST1>と、第2選択トランジスタ<例えば図12、ST2>と、第1選択トランジスタと第2選択トランジスタとの間に直列接続され、記憶層に強誘電体を用いた複数のメモリセルトランジスタ<例えば図12、MT0〜MT7>とを含む。ビット線<例えば図12、BL>は、第1選択トランジスタに接続される。ウェル線<例えば図12、CPWELL>は、第2選択トランジスタに接続される。シーケンサは、ストリングを選択した消去動作後の消去ベリファイ動作中の第1時刻において、メモリセルトランジスタのゲートに第1電圧<例えば図12、Vevfy>を印加し、第1選択トランジスタのゲートに第1電圧よりも低い第2電圧<例えば図12、Vsgrp>を印加し、第2選択トランジスタのゲートに第1電圧よりも低い第3電圧<例えば図12、Vsgrp>を印加し、ビット線に第4電圧<例えば図12、Vsrc>を印加し、ソース線に第4電圧よりも高い第5電圧<例えば図12、Vbl+Vsrc>を印加する。これにより、実施形態に係る半導体記憶装置では、FeNANDの消去パフォーマンスを向上することが出来る。
実施形態の半導体記憶装置は、ストリングと、ビット線と、ウェル線と、シーケンサとを含む。ストリング<例えば図12、NS>は、第1選択トランジスタ<例えば図12、ST1>と、第2選択トランジスタ<例えば図12、ST2>と、第1選択トランジスタと第2選択トランジスタとの間に直列接続され、記憶層に強誘電体を用いた複数のメモリセルトランジスタ<例えば図12、MT0〜MT7>とを含む。ビット線<例えば図12、BL>は、第1選択トランジスタに接続される。ウェル線<例えば図12、CPWELL>は、第2選択トランジスタに接続される。シーケンサは、ストリングを選択した消去動作後の消去ベリファイ動作中の第1時刻において、メモリセルトランジスタのゲートに第1電圧<例えば図12、Vevfy>を印加し、第1選択トランジスタのゲートに第1電圧よりも低い第2電圧<例えば図12、Vsgrp>を印加し、第2選択トランジスタのゲートに第1電圧よりも低い第3電圧<例えば図12、Vsgrp>を印加し、ビット線に第4電圧<例えば図12、Vsrc>を印加し、ソース線に第4電圧よりも高い第5電圧<例えば図12、Vbl+Vsrc>を印加する。これにより、実施形態に係る半導体記憶装置では、FeNANDの消去パフォーマンスを向上することが出来る。
上記実施形態で説明した消去ベリファイ動作では、選択ブロックBLKsel内の全てのワード線WLに同じ電圧が印加される場合について例示したが、選択ブロックBLKsel内の各ワード線WLに印加されるベリファイ電圧は異なっていても良い。
例えば、メモリセルトランジスタMTが三次元に積層されたNAND型フラッシュメモリでは、ワード線WLの層位置に応じて、メモリセルトランジスタMTに印加される実効的な電圧が異なる場合がある。これに対して、半導体記憶装置1は、ワード線WLに印加する電圧に、層位置に基づく補正値を適用しても良い。
言い換えると、消去ベリファイ動作において半導体記憶装置1は、ワード線WLの層位置に基づいて、ワード線WL毎に最適化されたベリファイ電圧を印加しても良い。これにより、半導体記憶装置1は、メモリセルトランジスタMTの位置に応じた特性のばらつきを抑制することができ、データの信頼性を向上することが出来る。
上記実施形態において、メモリセルアレイ10の構造は、その他の構造であっても良い。例えば、メモリピラーMPは、複数のピラーがZ方向に連結された構造であっても良い。具体的には、メモリピラーMPは、導電体層24(選択ゲート線SGD)を貫通するピラーと、複数の導電体層23(ワード線WL)を貫通するピラーとが連結された構造であっても良いし、それぞれが複数の導電体層23を貫通する複数のピラーがZ方向に連結された構造であっても良い。
上記実施形態では、メモリセルアレイ10がP型ウェル領域20上に形成された場合について例示したが、半導体記憶装置1は、メモリセルアレイ10下にセンスアンプモジュール16等の回路が配置される構造であっても良い。この場合、メモリピラーMPの下部は、例えばソース線CELSRCとして機能するP型の導電体層に電気的に接続される。
上記実施形態では、メモリセルアレイ10に設けられたメモリセルトランジスタMTが三次元に積層された構造である場合を例に説明したが、これに限定されない。例えば、メモリセルアレイ10の構成は、メモリセルトランジスタMTが二次元に配置された平面NAND型フラッシュメモリであっても良い。このような場合においても、上記実施形態は実現することが可能であり、同様の効果を得ることが出来る。
本明細書において“接続”とは、電気的に接続されている事を示し、例えば間に別の素子を介することを除外しない。また、本明細書において“オフ状態”とは、対応するトランジスタのゲートに当該トランジスタの閾値電圧未満の電圧が印加されていることを示し、例えばトランジスタのリーク電流のような微少な電流が流れることを除外しない。
本明細書において“導電型”とは、N型又はP型であることを示している。例えば、第1導電型がP型に対応し、第2導電型がN型に対応する。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことが出来る。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると共に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
1…半導体記憶装置、2…メモリコントローラ、10…メモリセルアレイ、11…コマンドレジスタ、12…アドレスレジスタ、13…シーケンサ、14…ドライバモジュール、15…ロウデコーダモジュール、16…センスアンプモジュール、BL…ビット線、WL…ワード線、SGD,SGS…選択ゲート線、BLK…ブロック、SU0…ストリングユニット、MT…メモリセルトランジスタ、ST1,ST2…選択トランジスタ、RD…ロウデコーダ、SAU…センスアンプユニット
Claims (13)
- 第1選択トランジスタと、第2選択トランジスタと、前記第1選択トランジスタと前記第2選択トランジスタとの間に直列接続され、記憶層に強誘電体を用いた複数のメモリセルトランジスタと、を含むストリングと、
前記第1選択トランジスタに接続されたビット線と、
前記第2選択トランジスタに接続されたウェル線と、
シーケンサと、を備え、
前記シーケンサは、前記ストリングを選択した消去動作後の消去ベリファイ動作中の第1時刻において、前記メモリセルトランジスタのゲートに第1電圧を印加し、前記第1選択トランジスタのゲートに前記第1電圧よりも低い第2電圧を印加し、前記第2選択トランジスタのゲートに前記第1電圧よりも低い第3電圧を印加し、前記ビット線に第4電圧を印加し、前記ウェル線に前記第4電圧よりも高い第5電圧を印加する、
半導体記憶装置。 - 前記シーケンサは、前記第1時刻において、前記複数のメモリセルトランジスタのそれぞれのゲートに前記第1電圧を印加する、
請求項1に記載の半導体記憶装置。 - 前記第2電圧と、前記第3電圧とのそれぞれは、前記第5電圧よりも低い、
請求項1又は請求項2に記載の半導体記憶装置。 - 前記ストリングは、前記第1選択トランジスタと前記第2選択トランジスタとの間に接続されたダミートランジスタをさらに含み、
前記シーケンサは、前記消去ベリファイ動作中の前記第1時刻において、前記ダミートランジスタのゲートに前記第1電圧よりも低い第6電圧を印加する、
請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の半導体記憶装置。 - 前記第6電圧は、前記第5電圧よりも低い、
請求項4に記載の半導体記憶装置。 - 第1ストリングと第2ストリングとを含む複数の前記ストリングと、
前記第1ストリング内の第1選択トランジスタのゲートに接続された第1ドレイン選択ゲート線と、
前記第2ストリング内の第1選択トランジスタのゲートに接続された第2ドレイン選択ゲート線と、
前記第1ストリング内のメモリセルトランジスタのゲートに接続され、且つ前記第2ストリング内のメモリセルトランジスタのゲートに接続されたワード線と、
前記第1ストリング内の第2選択トランジスタのゲートと、前記第2ストリング内の第2選択トランジスタのゲートとのそれぞれに接続されたソース選択ゲート線と、
をさらに備える、
請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の半導体記憶装置。 - 前記シーケンサは、前記第1ストリングを選択し且つ前記第2ストリングを非選択とした消去動作後の消去ベリファイ動作中の第2時刻において、前記第2ドレイン選択ゲート線に前記第5電圧以上の第7電圧を印加する、
請求項6に記載の半導体記憶装置。 - 第1ストリングと第2ストリングとを含む複数の前記ストリングと、
前記第1ストリング内の第1選択トランジスタのゲートに接続された第1ドレイン選択ゲート線と、
前記第2ストリング内の第1選択トランジスタのゲートに接続された第2ドレイン選択ゲート線と、
前記第1ストリング内のメモリセルトランジスタのゲートに接続され、且つ前記第2ストリング内のメモリセルトランジスタのゲートに接続されたワード線と、
前記第1ストリング内の第2選択トランジスタのゲートに接続された第1ソース選択ゲート線と、
前記第2ストリング内の第2選択トランジスタのゲートに接続された第2ソース選択ゲート線と、
をさらに備える、
請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の半導体記憶装置。 - 前記シーケンサは、前記第1ストリングを選択し且つ前記第2ストリングを非選択とした消去動作後の消去ベリファイ動作中の第2時刻において、前記第2ドレイン選択ゲート線に前記第4電圧を印加し、前記第2ソース選択ゲート線に前記第5電圧を印加する、
請求項8に記載の半導体記憶装置。 - 各々が複数の前記ストリングを含む第1及び第2ブロックをさらに備え、
前記シーケンサは、前記第1ブロックを選択し且つ前記第2ブロックを非選択とした消去動作後の消去ベリファイ動作中の第3時刻において、前記第2ブロック内の前記第1選択トランジスタのゲートに前記第4電圧を印加し、前記第2ブロック内の前記第2選択トランジスタのゲートに前記第5電圧を印加する、
請求項1乃至請求項9のいずれか一項に記載の半導体記憶装置。 - 絶縁体層を介して積層された複数の第1導電体層と、
前記複数の第1導電体層を貫通し、第1方向に延伸した半導体膜と、前記半導体膜の側面を覆う高誘電体膜とを含み、前記第1導電体層との交差部分が前記メモリセルトランジスタの一部として機能するピラーと、
前記ピラーの下部に電気的に接続されたP型領域と、
をさらに備える、
請求項1乃至請求項10のいずれか一項に記載の半導体記憶装置。 - 前記ストリングに含まれた前記複数のメモリセルトランジスタは、第1メモリセルトランジスタを含み、
前記シーケンサは、前記消去動作後に、前記第1メモリセルトランジスタのNMOS読み出しと、前記第1メモリセルトランジスタのPMOS読み出しとをそれぞれ実行し、前記NMOS読み出しの結果と、前記PMOS読み出しの結果とに基づいて、前記第1電圧の値を補正する、
請求項1乃至請求項11のいずれか一項に記載の半導体記憶装置。 - 前記シーケンサは、前記消去動作後、且つ前記NMOS読み出し及び前記PMOS読み出しの前に、前記第1メモリセルトランジスタを選択した書き込み動作を実行する、
請求項12に記載の半導体記憶装置。
Priority Applications (5)
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