JP2019215190A5 - - Google Patents
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Description
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、固定電極(1、22b、23b)と、固定電極に対向するように配置された可動電極(2、30)と、を備え、電極間に働く静電気力によって可動電極を振動させる静電アクチュエータであって、可動電極は、固定電極および固定部(3、20)に対して変位可能とされており、可動電極と固定部との間に吸引力が働くようになっており、固定電極および可動電極に電圧を印加したときの可動電極の非線形振動が、可動電極と固定部との間に働く吸引力によって低減され、固定電極を第1固定電極(1、22b、23b)として、固定部の一部が第2固定電極(3a、21a)とされており、第1固定電極と可動電極とによって第1電極対(5)が構成されており、第2固定電極と可動電極とによって第2電極対(6)が構成されており、第1電極対に電圧を印加したときの可動電極の非線形振動が、第2電極対の電極間に働く静電気力によって低減され、第2固定電極と可動電極のうち互いに対向する面は、平坦面とされている。
Claims (13)
- 固定電極(1、22b、23b)と、前記固定電極に対向するように配置された可動電極(2、30)と、を備え、電極間に働く静電気力によって前記可動電極を振動させる静電アクチュエータであって、
前記可動電極は、前記固定電極および固定部(3、20)に対して変位可能とされており、
前記可動電極と前記固定部との間に吸引力が働くようになっており、
前記固定電極および前記可動電極に電圧を印加したときの前記可動電極の非線形振動が、前記可動電極と前記固定部との間に働く吸引力によって低減され、
前記固定電極を第1固定電極(1、22b、23b)として、
前記固定部の一部が第2固定電極(3a、21a)とされており、
前記第1固定電極と前記可動電極とによって第1電極対(5)が構成されており、
前記第2固定電極と前記可動電極とによって第2電極対(6)が構成されており、
前記第1電極対に電圧を印加したときの前記可動電極の非線形振動が、前記第2電極対の電極間に働く静電気力によって低減され、
前記第2固定電極と前記可動電極のうち互いに対向する面は、平坦面とされている静電アクチュエータ。 - 固定電極(1、22b、23b)と、前記固定電極に対向するように配置された可動電極(2、30)と、を備え、電極間に働く静電気力によって前記可動電極を振動させる静電アクチュエータであって、
前記可動電極は、前記固定電極および固定部(3、20)に対して変位可能とされており、
前記可動電極と前記固定部との間に吸引力が働くようになっており、
前記固定電極および前記可動電極に電圧を印加したときの前記可動電極の非線形振動が、前記可動電極と前記固定部との間に働く吸引力によって低減され、
前記固定電極を第1固定電極(1、22b、23b)として、
前記固定部の一部が第2固定電極(3a、21a)とされており、
前記第1固定電極と前記可動電極とによって第1電極対(5)が構成されており、
前記第2固定電極と前記可動電極とによって第2電極対(6)が構成されており、
前記第1電極対に電圧を印加したときの前記可動電極の非線形振動が、前記第2電極対の電極間に働く静電気力によって低減され、
前記第2固定電極のうち前記可動電極に対向する面は、凹形状とされており、
前記可動電極のうち前記第2固定電極に対向する面は、凸形状とされている静電アクチュエータ。 - 前記第1固定電極と前記第2固定電極は、別体として構成されている請求項1または2に記載の静電アクチュエータ。
- 前記第1固定電極と前記第2固定電極は、一体に構成されている請求項1または2に記載の静電アクチュエータ。
- 前記第1固定電極には、前記可動電極に向かって突出した第1突出部(1a)が形成されており、
前記可動電極には、前記第1固定電極に向かって突出した第2突出部(2a)が形成されており、
前記第1突出部および前記第2突出部は、少なくともいずれか一方が複数形成され、突出方向に垂直な方向において並んでおり、
前記可動電極は、前記第1突出部および前記第2突出部の突出方向に変位可能とされており、
前記可動電極が該突出方向に変位することによって、前記第2電極対の電極間距離が変化する請求項1ないし4のいずれか1つに記載の静電アクチュエータ。 - 前記第1突出部および前記第2突出部がそれぞれ複数形成されることによって、前記第1固定電極および前記可動電極がそれぞれ櫛歯状とされている請求項5に記載の静電アクチュエータ。
- 前記第1固定電極、前記第2固定電極、前記可動電極は、前記第1突出部、前記第2突出部の突出方向に平行な軸に対して対称な形状とされている請求項5または6に記載の静電アクチュエータ。
- 前記第1突出部と前記第2突出部は、等間隔に並んでいる請求項5ないし7のいずれか1つに記載の静電アクチュエータ。
- 前記第2固定電極は、前記可動電極に対して、前記第1固定電極とは反対側に配置されている請求項1ないし8のいずれか1つに記載の静電アクチュエータ。
- 前記第2固定電極は、前記可動電極に対して、前記第1固定電極と同じ側に配置されている請求項1ないし8のいずれか1つに記載の静電アクチュエータ。
- 駆動錘(33、34)を駆動振動させているときに物理量が印加されると、検出用可動電極(35b、36b)が検出錘(35、36)と共に変位することで、前記検出用可動電極と検出用固定電極(24b、25b)との間の距離が変化することに基づいて物理量を検出する物理量センサであって、
請求項1ないし10のいずれか1つに記載の静電アクチュエータを備える物理量センサ。 - 前記固定部のうち前記可動電極に対向する面に、スリット(21b)が形成されている請求項11に記載の物理量センサ。
- 前記固定部および前記可動電極のうち互いに対向する部分が櫛歯状とされている請求項11に記載の物理量センサ。
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