JP2019215190A5 - - Google Patents

Description

上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、固定電極（１、２２ｂ、２３ｂ）と、固定電極に対向するように配置された可動電極（２、３０）と、を備え、電極間に働く静電気力によって可動電極を振動させる静電アクチュエータであって、可動電極は、固定電極および固定部（３、２０）に対して変位可能とされており、可動電極と固定部との間に吸引力が働くようになっており、固定電極および可動電極に電圧を印加したときの可動電極の非線形振動が、可動電極と固定部との間に働く吸引力によって低減され、固定電極を第１固定電極（１、２２ｂ、２３ｂ）として、固定部の一部が第２固定電極（３ａ、２１ａ）とされており、第１固定電極と可動電極とによって第１電極対（５）が構成されており、第２固定電極と可動電極とによって第２電極対（６）が構成されており、第１電極対に電圧を印加したときの可動電極の非線形振動が、第２電極対の電極間に働く静電気力によって低減され、第２固定電極と可動電極のうち互いに対向する面は、平坦面とされている。

Claims (13)

1. 固定電極（１、２２ｂ、２３ｂ）と、前記固定電極に対向するように配置された可動電極（２、３０）と、を備え、電極間に働く静電気力によって前記可動電極を振動させる静電アクチュエータであって、
   前記可動電極は、前記固定電極および固定部（３、２０）に対して変位可能とされており、
   前記可動電極と前記固定部との間に吸引力が働くようになっており、
   前記固定電極および前記可動電極に電圧を印加したときの前記可動電極の非線形振動が、前記可動電極と前記固定部との間に働く吸引力によって低減され、
   前記固定電極を第１固定電極（１、２２ｂ、２３ｂ）として、
   前記固定部の一部が第２固定電極（３ａ、２１ａ）とされており、
   前記第１固定電極と前記可動電極とによって第１電極対（５）が構成されており、
   前記第２固定電極と前記可動電極とによって第２電極対（６）が構成されており、
   前記第１電極対に電圧を印加したときの前記可動電極の非線形振動が、前記第２電極対の電極間に働く静電気力によって低減され、
   前記第２固定電極と前記可動電極のうち互いに対向する面は、平坦面とされている静電アクチュエータ。
2. 固定電極（１、２２ｂ、２３ｂ）と、前記固定電極に対向するように配置された可動電極（２、３０）と、を備え、電極間に働く静電気力によって前記可動電極を振動させる静電アクチュエータであって、
   前記可動電極は、前記固定電極および固定部（３、２０）に対して変位可能とされており、
   前記可動電極と前記固定部との間に吸引力が働くようになっており、
   前記固定電極および前記可動電極に電圧を印加したときの前記可動電極の非線形振動が、前記可動電極と前記固定部との間に働く吸引力によって低減され、
   前記固定電極を第１固定電極（１、２２ｂ、２３ｂ）として、
   前記固定部の一部が第２固定電極（３ａ、２１ａ）とされており、
   前記第１固定電極と前記可動電極とによって第１電極対（５）が構成されており、
   前記第２固定電極と前記可動電極とによって第２電極対（６）が構成されており、
   前記第１電極対に電圧を印加したときの前記可動電極の非線形振動が、前記第２電極対の電極間に働く静電気力によって低減され、
   前記第２固定電極のうち前記可動電極に対向する面は、凹形状とされており、
   前記可動電極のうち前記第２固定電極に対向する面は、凸形状とされている静電アクチュエータ。
3. 前記第１固定電極と前記第２固定電極は、別体として構成されている請求項１または２に記載の静電アクチュエータ。
4. 前記第１固定電極と前記第２固定電極は、一体に構成されている請求項１または２に記載の静電アクチュエータ。
5. 前記第１固定電極には、前記可動電極に向かって突出した第１突出部（１ａ）が形成されており、
   前記可動電極には、前記第１固定電極に向かって突出した第２突出部（２ａ）が形成されており、
   前記第１突出部および前記第２突出部は、少なくともいずれか一方が複数形成され、突出方向に垂直な方向において並んでおり、
   前記可動電極は、前記第１突出部および前記第２突出部の突出方向に変位可能とされており、
   前記可動電極が該突出方向に変位することによって、前記第２電極対の電極間距離が変化する請求項１ないし４のいずれか１つに記載の静電アクチュエータ。
6. 前記第１突出部および前記第２突出部がそれぞれ複数形成されることによって、前記第１固定電極および前記可動電極がそれぞれ櫛歯状とされている請求項５に記載の静電アクチュエータ。
7. 前記第１固定電極、前記第２固定電極、前記可動電極は、前記第１突出部、前記第２突出部の突出方向に平行な軸に対して対称な形状とされている請求項５または６に記載の静電アクチュエータ。
8. 前記第１突出部と前記第２突出部は、等間隔に並んでいる請求項５ないし７のいずれか１つに記載の静電アクチュエータ。
9. 前記第２固定電極は、前記可動電極に対して、前記第１固定電極とは反対側に配置されている請求項１ないし８のいずれか１つに記載の静電アクチュエータ。
10. 前記第２固定電極は、前記可動電極に対して、前記第１固定電極と同じ側に配置されている請求項１ないし８のいずれか１つに記載の静電アクチュエータ。
11. 駆動錘（３３、３４）を駆動振動させているときに物理量が印加されると、検出用可動電極（３５ｂ、３６ｂ）が検出錘（３５、３６）と共に変位することで、前記検出用可動電極と検出用固定電極（２４ｂ、２５ｂ）との間の距離が変化することに基づいて物理量を検出する物理量センサであって、
    請求項１ないし１０のいずれか１つに記載の静電アクチュエータを備える物理量センサ。
12. 前記固定部のうち前記可動電極に対向する面に、スリット（２１ｂ）が形成されている請求項１１に記載の物理量センサ。
13. 前記固定部および前記可動電極のうち互いに対向する部分が櫛歯状とされている請求項１１に記載の物理量センサ。