JP2023128270A - センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】特性を向上できるセンサを提供する。【解決手段】実施形態によれば、センサは、基体、第1固定部、可動部、第1固定電極及び第2固定電極を含む。第1固定部は、基体に固定される。可動部は、第1固定部に支持される。可動部は、複数の環状部と、複数の接続部と、を含む。複数の環状部は、基体から第1固定部への第1方向と交差する第1平面内において、第1固定部を中心とした同心状である。複数の環状部は、第1~第3環状部を含む。第2環状部は、第1固定部と第1環状部との間にある。第3環状部は、第1固定部と第2環状部との間にある。第2環状部は、第1可動部電極を含む。第1固定部は、基体に固定され第1環状部の一部と対向する。第2固定電極は、基体に固定され第1可動部電極と対向する。第2固定電極は、第1櫛歯電極対の一方である。第1可動部電極は、第1櫛歯電極対の他方である。【選択図】図1
Description
本発明の実施形態は、センサに関する。
ジャイロセンサなどのセンサがある。センサにおいて、特性の向上が望まれる。
本発明の実施形態は、特性を向上できるセンサを提供する。
本発明の実施形態によれば、センサは、基体、第1固定部、可動部、第1固定電極及び第2固定電極を含む。前記第1固定部は、前記基体に固定される。前記可動部は、前記第1固定部に支持される。前記基体と前記可動部との間に第1間隙が設けられる。前記可動部は、複数の環状部と、複数の接続部と、を含む。前記複数の環状部は、前記基体から前記第1固定部への第1方向と交差する第1平面内において、前記第1固定部を中心とした同心状である。前記複数の接続部の1つは、前記複数の環状部の1つと前記複数の環状部の別の1つとを接続する。前記複数の環状部は、第1環状部と、第2環状部と、第3環状部と、を含む。前記第2環状部は、前記第1固定部と前記第1環状部との間にある。前記第3環状部は、前記第1固定部と前記第2環状部との間にある。前記第2環状部は、第1可動部電極を含む。前記第1固定電極は、前記基体に固定され前記第1環状部の一部と対向する。前記第2固定電極は、前記基体に固定され前記第1可動部電極と対向する。前記第2固定電極は、第1櫛歯電極対の一方である。前記第1可動部電極は、前記第1櫛歯電極対の他方である。
以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
(第1実施形態)
図1~図3は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図2は、図1の部分P1及び部分P2を拡大して示す。図3は、図1の部分P3及び部分P4を拡大して示す。
図4(a)及び図4(b)は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。
図4(a)は、図1のA1-A2線断面図である。図4(b)は、図1のB1-B2線断面図である。
図1~図3は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図2は、図1の部分P1及び部分P2を拡大して示す。図3は、図1の部分P3及び部分P4を拡大して示す。
図4(a)及び図4(b)は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。
図4(a)は、図1のA1-A2線断面図である。図4(b)は、図1のB1-B2線断面図である。
図1、図4(a)及び図4(b)に示す実施形態に係るセンサは、基体20と、第1固定部21と、可動部10と、第1固定電極41と、第2固定電極42と、を含む。
基体20は、例えば、シリコン基板などを含んで良い。第1固定部21は、基体20に固定される。基体20から第1固定部21への第1方向D1をZ軸方向とする。Z軸方向に対して垂直な1つの方向をX軸方向とする。Z軸方向及びX軸方向に対して垂直な方向をY軸方向とする。
可動部10は、第1固定部に支持される。図4(a)及び図4(b)に示すように、基体20と可動部10との間に第1間隙g1が設けられる。
例えば、第1固定部21及び可動部10は、導電性である。可動部10は、第1固定部21と電気的に接続される。
図1に示すように、可動部10は、複数の環状部10Aと、複数の接続部10Bと、を含む。基体20から第1固定部21への第1方向D1と交差する平面を第1平面とする。第1平面は、例えば、X-Y平面である。複数の環状部10Aは、第1平面内において、第1固定部21を中心とした同心状である。複数の接続部10Bの1つは、複数の環状部10Aの1つと、複数の環状部10Aの別の1つとを接続する。図1に示すように、複数の接続部10Bは、第1固定部21を通り第1平面に沿う軸方向に沿って延びる。軸方向は、例えば放射方向である。
例えば、複数の環状部10Aは、X-Y平面に沿う。複数の環状部10Aは、実質的に円形で良い。
複数の環状部10Aは、第1環状部11と、第2環状部12と、第3環状部13と、を含む。第2環状部12は、第1固定部21と第1環状部11との間にある。第3環状部13は、第1固定部21と第2環状部12との間にある。
図1に示すように、可動部10は、内縁部10i及び外縁部10oを含む。例えば、第1環状部11は、外縁部10oを含む。第3環状部13は、内縁部10iを含む。第1環状部11は、複数の環状部10Aのうちで最も外側である。第3環状部13は、複数の環状部10Aのうちで最も内側である。図2に示すように、第2環状部12は、第1可動部電極12Aを含む。
図5及び図6は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式的斜視図である。
図5及び図6においては、可動部10が例示されている。図5においては、図1のA1-A2線断面における固定電極40が例示されている。図6においては、図1のB1-B2線断面における固定電極40が例示されている。これらの図において、固定電極40について、これらの断面以外の部分は、省略されている。
図5及び図6においては、可動部10が例示されている。図5においては、図1のA1-A2線断面における固定電極40が例示されている。図6においては、図1のB1-B2線断面における固定電極40が例示されている。これらの図において、固定電極40について、これらの断面以外の部分は、省略されている。
図4(a)及び図5に示すように、第1固定電極41は、基体20に固定される。図1及び図2に示すように、第1固定電極41は、第1環状部11の一部と対向する。第1固定電極41は、複数の固定電極40の1つである。
図4(a)及び図5に示すように、第2固定電極42は、基体20に固定される。第2固定電極42は、複数の固定電極40の1つである。図2に示すように、第2固定電極42は、第1可動部電極12Aと対向する。第2固定電極41は、第1櫛歯電極対31Tの一方である。第1可動部電極12Aは、第1櫛歯電極対31Tの他方である。
図2に示すように、第1可動部電極12Aは、第1可動基部12Abと、複数の第1可動突出部12Apと、を含む。複数の第1可動突出部12Apは、第1可動基部12Abと接続される。
図2に示すように、第2固定電極42は、第2固定基部42bと、複数の第2固定突出部42pと、を含む。複数の第2固定突出部42pは、第2固定基部42bと接続される。
複数の第1可動突出部12Apの1つの少なくとも一部は、複数の第2固定突出部42pの1つと、複数の第2固定突出部42pの別の1つと、の間にある。複数の第2固定突出部42pの1つの少なくとも一部は、複数の第1可動突出部12Apの1つと、複数の第1可動突出部12Apの別の1つとの間にある。
図2に示すように、第1固定電極41は、第1固定電極面41fを含む。第1固定電極面41fは、第1環状部11の一部と対向する。第1固定電極面41fは、第1固定部21を中心とする弧状である。第1環状部11の一部は、第1環状面11fを含む。第1環状面11fは、第1固定電極41と対向する。第1環状面11fは、第1固定部21を中心とする弧状である。第1固定電極面41fは、例えば、第1環状面11fと実質的に平行である。第1固定電極41及び第1環状部11は、例えば平行板電極対である。
このように、外側の第1固定電極41及び第1環状部11は、例えば平行板電極対である。これらの電極よりも内側の第2固定電極42及び第1可動部電極12A(第2環状部12)は、櫛歯電極対である。
図1に示すように、制御部70が設けられて良い。制御部70は、センサ110に含まれて良い。制御部70は、センサ110とは別に設けられても良い。制御部70は、第1固定部21に電気的に接続される。これにより、制御部70は、可動部10と電気的に接続される。制御部70は、第1固定電極41及び第2固定電極42と電気的に接続される。制御部70により、可動部10と第1固定電極41との間に信号(電圧)が印加される。制御部70により、可動部10と第2固定電極42との間に信号(電圧)が印加される。印加された信号により、可動部10が変位する。
例えば、可動部10と第1固定電極41との間に信号が印加されることで、可動部10が振動する。例えば、外部から力(角速度)が印加されることで可動部10の振動の状態が変化する。例えば、信号の印加に基づく振動の方向と交差する方向の振動が生じる。振動状態の変化を検出することで、力(角速度)を検出できる。例えば、センサ110により角度を検出することができる。第1固定電極41は、例えば、駆動用電極または検出用電極として機能できる。
例えば、第1可動部電極12A(第2環状部12)と第2固定電極42との間に電圧が印加される。第1可動部電極12A及び第2固定電極42への電流経路のインピーダンスを制御することで、例えば、可動部10の振動の減衰特性が制御される。第2固定電極42は、例えば、調整用電極として機能できる。
平行板電極対に電圧が印加されることで、可動部10は、効率的に変位する。大きな変位が得られる。例えば、平行板電極対においては、微少変位によっても大きな信号が得られる。平行板電極対が外側に設けられることで、より大きな変位量が得られる。平行板電極対が外側に設けられることで、より高い感度の信号が得られる。しかしながら、平行板電極対において、大きな振幅で振動させると、印加電圧に対する変位の線形性が低下し易い。
一方、櫛歯電極対に信号が印加されることで、可動部10は、印加される信号に対して高い線形性で変位できる。櫛歯電極対においては、高い線形性で変位できる範囲が広い。例えば、櫛歯電極対における変位の線形性は、平行板電極対における変位の線形性よりも高い。
実施形態においては、外側に平行板電極対が設けられ、その内側に櫛歯電極対が設けられる。これにより、大きな変位量と、高い線形性の変位と、が得られる。これにより、例えば、低ノイズで角度を検出できる。
実施形態においては、線形性の高い櫛歯電極対により、例えば、より高い精度で振動を制御できる。目的とする振動が得易い。これにより、安定して角度を検出できる。実施形態により、特性を向上できるセンサが提供できる。
図1に示すように、センサ110は、検出電極41Bを含んで良い。検出電極41Bは、複数の固定電極40に含まれて良い。検出電極41Bは、基体20に固定される。制御部70は、検出信号Sd1を検出電極41Bから取得可能である。検出信号Sd1は、外力に応じる。検出信号Sd1は、例えば、外力に応じた可動部10の振動の変化に応じる。
図1に示すように、第1固定部21から第1固定電極41への第2方向D2は、第1方向D1と交差する。第2方向D2は、第1平面(例えば、X-Y平面)に沿う。第2方向D2は、例えば、X軸方向である。第2固定電極42は、第2方向D2において、第1固定部21と第1固定電極41との間にある。
図1に示すように、センサ110は、第3固定電極43を含んで良い。図4(b)及び図6に示すように、第3固定電極43は、基体20に固定される。第3固定電極43は、複数の固定電極40の1つでもある。第3固定電極43は、第1環状部11の別の一部と対向する。第1固定部21から第3固定電極43への第3方向D3は、第1方向D1と交差する。第3方向D3は、第1平面(例えばX-Y平面)に沿う。第3方向D3は、第2方向D2に対して傾斜する。
図3に示すように、第3固定電極43は、第3固定電極面43fを含む。第3固定電極面43fは、第1環状部11の別の一部と対向する。第3固定電極面43fは、第1固定部21を中心とする弧状である。第1環状部11の別の一部は、第3固定電極43と対向する面11faを含む。第3固定電極43と対向する面11faは、第1固定部21を中心とする弧状である。第3固定電極43及び第1環状部11は、平行板電極対である。例えば、最外周に平行板電極対が設けられる。
この例では、第2方向D2と第3方向D3との間の角度は、22.5度である。この角度は、例えば、0度よりも大きく22度以下でも良い。この角度は、例えば、12度以上33度以下でも良い。この角度は、例えば、57度以上78度以下でも良い。この角度は、0度よりも大きく22度以下でも良い。
図1に示すように、第3固定電極43は、第1固定部21を中心とする円上において、第1固定電極41の隣である。第1固定電極41と第3固定電極43との間に他の固定電極は設けられない。
図1、図3、図4(b)及び図6に示すように、センサ110は、第4固定電極44を含んでも良い。第4固定電極44は、基体20に固定される。第4固定電極44は、複数の固定電極40の1つである。図3に示すように、第2環状部12は、第2可動電極12Bを含む。第4固定電極44は、第2可動部電極12Bと対向する。第4固定電極44は、第2櫛歯電極対32Tの一方である。第2可動部電極12Bは、第2櫛歯電極対32Tの他方である。
図3に示すように、第2可動部電極12Bは、第2可動基部12Bbと、複数の第2可動突出部12Bpと、を含む。複数の第2可動突出部12Bpは、第2可動基部12Bbと接続される。
図3に示すように、第4固定電極44は、第4固定基部44bと、複数の第4固定突出部44pと、を含む。複数の第4固定突出部44pは、第4固定基部44bと接続される。
複数の第2可動突出部12Bpの1つの少なくとも一部は、複数の第4固定突出部44pの1つと、複数の第4固定突出部44pの別の1つと、の間にある。複数の第4固定突出部44pの1つの少なくとも一部は、複数の第2可動突出部12Bpの1つと、複数の第2可動突出部12Bpの別の1つとの間にある。
図1に示すように、第4固定電極44は、第1固定部21と第3固定電極43との間にある。最外周から離れた内側部分に、櫛歯電極対が設けられる。
例えば、第3固定電極43と第1環状部11との間に信号(電圧)が印加されることで、可動部10の振動特性(または振動状態)が調整されても良い。一方、第2櫛歯電極対32Tの第4固定電極44と第2可動部電極12Bとの間に信号が印加されなくても良い。例えば、第2櫛歯電極対32Tは、駆動、ダンパまたは調整などの動作に用いられなくて良い。動作に用いられない櫛歯電極対が設けられることで、可動部10の振動特性において、良好な対称性が得られる。高精度の制御が容易になる。特性をより向上し易くなる。
例えば、制御部70は、以下に説明する第1動作及び第2動作を実施可能でも良い。図2は、第1動作OP1を例示している。図2に示すように、制御部70は、第1動作OP1において、第1固定部21と第1固定電極41との間に第1信号Sg1を印加する。制御部70は、第1動作OP1において、第1固定部21と第2固定電極42との間に第2信号を印加する。例えば、第1信号Sg1により、可動部10が振動する。第2信号Sg2により、可動部10の振動の特性が制御される。例えば、振動の減衰特性が制御される。
図3は、第2動作OP2を例示している。制御部70は、第2動作OP2において、第1固定部21と第3固定電極43との間に第3信号Sg3を印加する。第2動作OP2において、制御部70は、第1固定部21と第4固定電極44との間に信号を印加しない。信号が印加されない第4固定電極44に櫛歯電極対の構成が適用されることで、良好な対象が得られる。
実施形態において、可動部10は、同心の複数の環状部10Aを含む。複数の可動部10のそれぞれの変位量は、外側ほど大きい。変位の大きい最外周部には、振動の駆動用電極(例えば、第1固定電極41など)、調整用電極(例えば、第3固定電極43)、または、検出電極41Bなどが設けられることが好ましい。例えば、良好な線形性が得られ減衰特性を可変にできる櫛歯電極対は、最外周の内側に設けられることが好ましい。櫛歯電極対が過度に内側に設けられると、減衰特性の制御性が低くなる場合がある。従って、櫛歯電極対は、最外周からは内側で、過度に内側に設けられないことが好ましい。例えば、櫛歯電極対は、内側と外側の中間、または、中間と最外周との間に設けられることが好ましい。
例えば、図1に示すように、第1環状部11は、外縁部10oを含む。第3環状部13は、内縁部10iを含み、第1環状部11と第2環状部12との間に設けられる環状部10Aの数は、第2環状部12と第3環状部13との間に設けられる環状部10Aの数以下であることが好ましい。または、第2環状部12と第3環状部13との間に複数の環状部10Aの一部が設けられ、第1環状部11と第2環状部12との間に環状部10Aが設けられないことが好ましい。
このような位置に櫛歯電極対が設けられることで、振動の駆動用電極(例えば、第1固定電極41など)、調整用電極(例えば、第3固定電極43)、または、検出電極41Bなどが最外周に設けられる。櫛歯電極対が過度に内側に設けられない。減衰特性の高い制御性が得られる。
以下、センサの特性のシミュレーション結果の例について説明する。シミュレーションにおいては、複数の環状部10Aの数は、9である。複数の環状部10Aの番号を番号N1とする。中心(第1固定部21)に一番近い環状部10Aの番号N1が、1とされる。中心(第1固定部21)から一番遠い環状部10Aの番号N1が9とされる。シミュレーションにおいては、複数の環状部10Aの1つの幅が、複数の環状部10Aの他の幅よりも大きい。幅は、例えば放射方向(例えばX軸方向でも良い)に沿う長さである。シミュレーションにおいて、幅が他と異なる環状部10Aの位置が、数N1が1~9の範囲で変更される。幅が異なる環状部10Aは、櫛歯電極対が設けられる環状部10Aに対応する。
図7(a)及び図7(b)は、センサの特性を例示するグラフである。
これらの図の横軸は、複数の環状部10Aの番号N1に対応する。縦軸は、共振周波数f1である。図7(a)は、X軸方向に沿う振動に対応する。図7(b)は、X軸方向を基準にして、45度傾斜した方向に沿う振動に対応する。
これらの図の横軸は、複数の環状部10Aの番号N1に対応する。縦軸は、共振周波数f1である。図7(a)は、X軸方向に沿う振動に対応する。図7(b)は、X軸方向を基準にして、45度傾斜した方向に沿う振動に対応する。
図7(a)及び図7(b)に示すように、番号N1が大きくなると共振周波数f1は減少する。これらの図には、複数の環状部10Aの全ての幅が同じ場合の共振周波数f0が示されている。図7(a)及び図7(b)に示すように、実施形態において、番号N1は、7以下であることが好ましい。これにより、共振周波数f1の低下が抑制できる。
図8は、センサの特性を例示するグラフである。
図8の横軸は、複数の環状部10Aの番号N1に対応する。図8の縦軸は、番号N1のそれぞれにおける変位比DP1である。変位比DP1は、番号N1の環状部10Aのそれぞれの振動における変位量の、番号N1が9である環状部10Aの振動における変位量に対する比である。図8に示すように、番号N1が7以下において、番号N1が小さくなると変位比DP1が小さくなる。実施形態において、変位比DP1は0.7以上であることが好ましい。これにより、櫛歯電極対において、実用的に大きい変位比DP1が得られる。図8の結果から、番号N1は5以上であることが好ましい。
図8の横軸は、複数の環状部10Aの番号N1に対応する。図8の縦軸は、番号N1のそれぞれにおける変位比DP1である。変位比DP1は、番号N1の環状部10Aのそれぞれの振動における変位量の、番号N1が9である環状部10Aの振動における変位量に対する比である。図8に示すように、番号N1が7以下において、番号N1が小さくなると変位比DP1が小さくなる。実施形態において、変位比DP1は0.7以上であることが好ましい。これにより、櫛歯電極対において、実用的に大きい変位比DP1が得られる。図8の結果から、番号N1は5以上であることが好ましい。
図7(a)、図7(b)及び図8の結果から、数N1は、5以上7以下であることが好ましい。実施形態において、複数の環状部10Aの数をNM1とする。櫛歯電極対が設けられる環状部10Aの番号は、第1整数以上であり、第2整数以下であることが好ましい。第1整数は、NM1の1/2以上の最小の整数である。第2整数は、NM1の7/10以下の最大の整数である。
図1に示すように、実施形態において、第2固定電極42に可変抵抗Rc1が電気的に接続されても良い。可変抵抗Rc1は、制御部70に含まれても良い。可変抵抗Rc1は、可動部10及び第1固定電極41などを含む素子部に含まれても良い。可変抵抗Rc1と第2固定電極42との間にスイッチ42sが設けられても良い。制御部70は、可変抵抗Rc1を介して、第1可動部電極12A(第2環状部12)と第2固定電極42との間に電圧を印加可能である。可変抵抗Rc1の抵抗を変更することで、第1可動部電極12A及び第2固定電極42は、可変ダンパとして機能する。可動部10の振動の減衰特性(例えばダンピング係数)が制御できる。
例えば、ダンピング係数を適切に制御することで、可動部10の振動特性の非対称性を抑制できる。これにより、角度ドリフトを抑制でき、より高い精度が得られる。
図1に示すように、第1固定部21を中心として、第1固定電極41と点対称の位置に平行板電極対の別の固定電極が設けられても良い。第1固定部21から第1固定電極41への方向に対して垂直な方向に、平行板電極対の別の固定電極が設けられても良い。第1固定部21から第1固定電極41への方向に対して45度の方向に、平行板電極対の別の固定電極が設けられても良い。平行板電極対の別の固定電極は、第1固定電極41と同様に動作しても良い。
図1に示すように、第1固定部21を中心として、第2固定電極42と点対称の位置に櫛歯状電極対の別の固定電極が設けられても良い。第1固定部21から第2固定電極42への方向に対して垂直な方向に、櫛歯状電極対の別の固定電極が設けられても良い。第1固定部21から第2固定電極42への方向に対して45度の方向に、櫛歯状電極対の別の固定電極が設けられても良い。櫛歯状電極対の別の固定電極は、第2固定電極42と同様に動作しても良い。
図1に示すように、第1固定部21を中心として、第3固定電極43と点対称の位置に平行板電極対の別の固定電極が設けられても良い。第1固定部21から第3固定電極43への方向に対して垂直な方向に、平行板電極対の別の固定電極が設けられても良い。第1固定部21から第3固定電極43への方向に対して45度の方向に、平行板電極対の別の固定電極が設けられても良い。平行板電極対の別の固定電極は、第3固定電極43と同様に動作しても良い。
図1に示すように、第1固定部21を中心として、第4固定電極44と点対称の位置に櫛歯状電極対の別の固定電極が設けられても良い。第1固定部21から第4固定電極44への方向に対して垂直な方向に、櫛歯状電極対の別の固定電極が設けられても良い。第1固定部21から第4固定電極44への方向に対して45度の方向に、櫛歯状電極対の別の固定電極が設けられても良い。
以下、センサ110で実施されるいくつかの動作の例について説明する。
図9~図12は、センサの動作を例示する模式的平面図である。
図9に例示する動作PP1においては、制御部70から第1固定電極41及び別の固定電極41Aに励振用の信号が供給される。この例では、第1固定部21から第1固定電極41への方向と、第1固定部21から別の固定電極41Aへの方向と、の間の角度は、実質的に45度である。動作PP1は、例えば、励振動作である。例えば、動作PP1において、可変抵抗Rc(図1参照)を介して、第2固定電極42に信号が印加される。例えば、減衰特性が調整される。
図9~図12は、センサの動作を例示する模式的平面図である。
図9に例示する動作PP1においては、制御部70から第1固定電極41及び別の固定電極41Aに励振用の信号が供給される。この例では、第1固定部21から第1固定電極41への方向と、第1固定部21から別の固定電極41Aへの方向と、の間の角度は、実質的に45度である。動作PP1は、例えば、励振動作である。例えば、動作PP1において、可変抵抗Rc(図1参照)を介して、第2固定電極42に信号が印加される。例えば、減衰特性が調整される。
図10に例示する動作PP2においては、検出電極41Bに生じる信号、及び、別の固定電極41Dに生じる信号が、制御部70で検出される。第1固定部21から検出電極41Bへの方向と、第1固定部21から別の固定電極41Dへの方向と、の間の角度は、実質的に90度である。この例では、第1固定部21から検出電極41Bへの方向と、第1固定部21から第1固定電極41への方向と、の間の角度は、実質的に90度である。
動作PP2において、例えば、別の固定電極41Cに生じる信号、及び、別の固定電極41Eに生じる信号が、制御部70で検出されても良い。第1固定部21から別の固定電極41Cへの方向と、第1固定部21から別の固定電極41Eへの方向と、の間の角度は、実質的に90度である。
動作PP2において、例えば、別の固定電極41Gに生じる信号、及び、別の固定電極41Eに生じる信号が、制御部70で検出されても良い。第1固定部21から別の固定電極41Gへの方向と、第1固定部21から別の固定電極41Eへの方向と、の間の角度は、実質的に90度である。
図11に例示する動作PP3においては、制御部70から別の固定電極41E及び別の固定電極41Eの少なくともいずれかに、周波数調整用の信号が供給される。第1固定部21から別の固定電極41Eへの方向と、第1固定部21から別の固定電極41Fへの方向と、の間の角度は、実質的に90度である。この例では、第1固定部21から第1固定電極41への方向と、第1固定部21から別の固定電極41Fへの方向と、の間の角度は、実質的に45度である。動作PP1は、例えば、周波数調整動作である。
図12に例示する動作PP4における1つの例において、制御部70から、第3固定電極43、別の固定電極43B、別の固定電極43D、及び、別の固定電極43Fに振動調整用の信号が供給される。動作PP4における別の例において、制御部70から、別の固定電極43A、別の固定電極43C、別の固定電極43E、及び、別の固定電極43Dに振動調整用の信号が供給される。第1固定部21から第3固定電極43への方向と、第1固定部21から別の固定電極43Bへの方向と、の間の角度は、実質的に90度である。第1固定部21から第3固定電極43への方向から、第1固定部21から別の固定電極43Dへの方向までの角度は、実質的に180度である。第1固定部21から第3固定電極43への方向から、第1固定部21から別の固定電極43Fへの方向までの角度は、実質的に270度である。第1固定部21から第3固定電極43への方向から、第1固定部21から別の固定電極43Aへの方向までの角度は、実質的に45度である。第1固定部21から別の固定電極43Aへの方向から、第1固定部21から別の固定電極43Cへの方向までの角度は、実質的に90度である。第1固定部21から別の固定電極43Aへの方向から、第1固定部21から別の固定電極43Eへの方向までの角度は、実質的に180度である。第1固定部21から別の固定電極43Aへの方向から、第1固定部21から別の固定電極43Gへの方向までの角度は、実質的に180度である。動作PP4は、例えば、クアドラチャの制御動作である。
実施形態は、以下の構成(例えば技術案)を含んで良い。
(構成1)
基体と、
前記基体に固定された第1固定部と、
前記第1固定部に支持された可動部であって、前記基体と前記可動部との間に第1間隙が設けられ、前記可動部は、複数の環状部と、複数の接続部と、を含み、前記複数の環状部は、前記基体から前記第1固定部への第1方向と交差する第1平面内において、前記第1固定部を中心とした同心状であり、前記複数の接続部の1つは、前記複数の環状部の1つと前記複数の環状部の別の1つとを接続し、前記複数の環状部は、第1環状部と、第2環状部と、第3環状部と、を含み、前記第2環状部は、前記第1固定部と前記第1環状部との間にあり、前記第3環状部は、前記第1固定部と前記第2環状部との間にあり、前記第2環状部は、第1可動部電極を含む、前記可動部と、
前記基体に固定され前記第1環状部の一部と対向する第1固定電極と、
前記基体に固定され前記第1可動部電極と対向する第2固定電極であって、前記第2固定電極は、第1櫛歯電極対の一方であり、前記第1可動部電極は、前記第1櫛歯電極対の他方である、前記第2固定電極と、
を備えたセンサ。
(構成1)
基体と、
前記基体に固定された第1固定部と、
前記第1固定部に支持された可動部であって、前記基体と前記可動部との間に第1間隙が設けられ、前記可動部は、複数の環状部と、複数の接続部と、を含み、前記複数の環状部は、前記基体から前記第1固定部への第1方向と交差する第1平面内において、前記第1固定部を中心とした同心状であり、前記複数の接続部の1つは、前記複数の環状部の1つと前記複数の環状部の別の1つとを接続し、前記複数の環状部は、第1環状部と、第2環状部と、第3環状部と、を含み、前記第2環状部は、前記第1固定部と前記第1環状部との間にあり、前記第3環状部は、前記第1固定部と前記第2環状部との間にあり、前記第2環状部は、第1可動部電極を含む、前記可動部と、
前記基体に固定され前記第1環状部の一部と対向する第1固定電極と、
前記基体に固定され前記第1可動部電極と対向する第2固定電極であって、前記第2固定電極は、第1櫛歯電極対の一方であり、前記第1可動部電極は、前記第1櫛歯電極対の他方である、前記第2固定電極と、
を備えたセンサ。
(構成2)
前記可動部は、内縁部及び外縁部を含み、
前記第1環状部は、前記外縁部を含み、
前記第3環状部は、前記内縁部を含み、
前記第1環状部と前記第2環状部との間に設けられる前記環状部の数は、前記第2環状部と前記第3環状部との間に設けられる前記環状部の数以下である、構成1に記載のセンサ。
前記可動部は、内縁部及び外縁部を含み、
前記第1環状部は、前記外縁部を含み、
前記第3環状部は、前記内縁部を含み、
前記第1環状部と前記第2環状部との間に設けられる前記環状部の数は、前記第2環状部と前記第3環状部との間に設けられる前記環状部の数以下である、構成1に記載のセンサ。
(構成3)
前記可動部は、内縁部及び外縁部を含み、
前記第1環状部は、前記外縁部を含み、
前記第3環状部は、前記内縁部を含み、
前記第2環状部と前記第3環状部との間に前記複数の環状部の一部が設けられ、
前記第1環状部と前記第2環状部との間に前記複数の環状部の一部が設けられない、構成1に記載のセンサ。
前記可動部は、内縁部及び外縁部を含み、
前記第1環状部は、前記外縁部を含み、
前記第3環状部は、前記内縁部を含み、
前記第2環状部と前記第3環状部との間に前記複数の環状部の一部が設けられ、
前記第1環状部と前記第2環状部との間に前記複数の環状部の一部が設けられない、構成1に記載のセンサ。
(構成4)
前記複数の環状部は、実質的に円形である、構成1~3のいずれか1つに記載のセンサ。
前記複数の環状部は、実質的に円形である、構成1~3のいずれか1つに記載のセンサ。
(構成5)
前記複数の接続部は、前記第1固定部を通り前記第1平面に沿う軸方向に沿って延びる、構成1~6のいずれか1つに記載のセンサ。
前記複数の接続部は、前記第1固定部を通り前記第1平面に沿う軸方向に沿って延びる、構成1~6のいずれか1つに記載のセンサ。
(構成6)
前記第1可動部電極は、第1可動基部と、複数の第1可動突出部と、を含み、
前記複数の第1可動突出部は、前記第1可動基部と接続され、
前記第2固定電極は、第2固定基部と、複数の第2固定突出部と、を含み、
前記複数の第2固定突出部は、前記第2固定基部と接続され、
前記複数の第2環状部突出部の1つの少なくとも一部は、前記複数の第2固定突出部の1つと、前記複数の第2固定突出部の別の1つと、の間にあり、
前記複数の第2固定突出部の前記1つの少なくとも一部は、前記複数の第1可動突出部の前記1つと、前記複数の第1可動突出部の別の1つとの間にある、構成1~5のいずれか1つに記載のセンサ。
前記第1可動部電極は、第1可動基部と、複数の第1可動突出部と、を含み、
前記複数の第1可動突出部は、前記第1可動基部と接続され、
前記第2固定電極は、第2固定基部と、複数の第2固定突出部と、を含み、
前記複数の第2固定突出部は、前記第2固定基部と接続され、
前記複数の第2環状部突出部の1つの少なくとも一部は、前記複数の第2固定突出部の1つと、前記複数の第2固定突出部の別の1つと、の間にあり、
前記複数の第2固定突出部の前記1つの少なくとも一部は、前記複数の第1可動突出部の前記1つと、前記複数の第1可動突出部の別の1つとの間にある、構成1~5のいずれか1つに記載のセンサ。
(構成7)
前記第1固定電極は、前記第1環状部の前記一部と対向する第1固定電極面を含み、前記第1固定電極面は、前記第1固定部を中心とする弧状であり、
前記第1環状部の前記一部は、前記第1固定電極と対向する第1環状部面を含み、前記第1環状部面は、前記第1固定部を中心とする弧状である、構成1~6のいずれか1つに記載のセンサ。
前記第1固定電極は、前記第1環状部の前記一部と対向する第1固定電極面を含み、前記第1固定電極面は、前記第1固定部を中心とする弧状であり、
前記第1環状部の前記一部は、前記第1固定電極と対向する第1環状部面を含み、前記第1環状部面は、前記第1固定部を中心とする弧状である、構成1~6のいずれか1つに記載のセンサ。
(構成8)
前記第1固定部から前記第1固定電極への第2方向は、前記第1方向と交差し、前記第1平面に沿い、
前記第2固定電極は、前記第2方向において、前記第1固定部と前記第1固定電極との間にある、構成1~7のいずれか1つに記載のセンサ。
前記第1固定部から前記第1固定電極への第2方向は、前記第1方向と交差し、前記第1平面に沿い、
前記第2固定電極は、前記第2方向において、前記第1固定部と前記第1固定電極との間にある、構成1~7のいずれか1つに記載のセンサ。
(構成9)
前記基体に固定された第3固定電極をさらに備え、
前記第3固定電極は、前記第1環状部の別の一部と対向し、
前記第1固定部から前記第3固定電極への第3方向は、前記第1方向と交差し、前記第1平面に沿い、
前記第3方向は、前記第2方向に対して傾斜した、構成8に記載のセンサ。
前記基体に固定された第3固定電極をさらに備え、
前記第3固定電極は、前記第1環状部の別の一部と対向し、
前記第1固定部から前記第3固定電極への第3方向は、前記第1方向と交差し、前記第1平面に沿い、
前記第3方向は、前記第2方向に対して傾斜した、構成8に記載のセンサ。
(構成10)
前記第3固定電極は、前記第1環状部の前記別の一部と対向する第3固定電極面を含み、前記第3固定電極面は、前記第1固定部を中心とする弧状であり、
前記第1環状部の前記別の一部は、前記第3固定電極と対向する面を含み、前記第3固定電極と対向する前記面は、前記第1固定部を中心とする弧状である、構成9に記載のセンサ。
前記第3固定電極は、前記第1環状部の前記別の一部と対向する第3固定電極面を含み、前記第3固定電極面は、前記第1固定部を中心とする弧状であり、
前記第1環状部の前記別の一部は、前記第3固定電極と対向する面を含み、前記第3固定電極と対向する前記面は、前記第1固定部を中心とする弧状である、構成9に記載のセンサ。
(構成11)
前記第2方向と前記第3方向との間の角度は、12度以上33度以下、または、57度以上78度以下である、構成9または10に記載のセンサ。
前記第2方向と前記第3方向との間の角度は、12度以上33度以下、または、57度以上78度以下である、構成9または10に記載のセンサ。
(構成12)
前記第3固定電極は、前記第1固定部を中心とする円上において、前記第1固定電極の隣である、構成9または10に記載のセンサ。
前記第3固定電極は、前記第1固定部を中心とする円上において、前記第1固定電極の隣である、構成9または10に記載のセンサ。
(構成13)
前記基体に固定された第4固定電極をさらに備え、
前記第2環状部は、第2可動電極を含み、
前記第4固定電極は、前記第2可動部電極と対向し、
前記第4固定電極は、第2櫛歯電極対の一方であり、前記第2可動部電極は、前記第2櫛歯電極対の他方である、構成9または10に記載のセンサ。
前記基体に固定された第4固定電極をさらに備え、
前記第2環状部は、第2可動電極を含み、
前記第4固定電極は、前記第2可動部電極と対向し、
前記第4固定電極は、第2櫛歯電極対の一方であり、前記第2可動部電極は、前記第2櫛歯電極対の他方である、構成9または10に記載のセンサ。
(構成14)
前記第4固定電極は、前記第1固定部と前記第3固定電極との間にある、構成13に記載のセンサ。
前記第4固定電極は、前記第1固定部と前記第3固定電極との間にある、構成13に記載のセンサ。
(構成15)
前記第2方向と前記第3方向との間の角度は、0度よりも大きく22度以下である、構成13に記載のセンサ。
前記第2方向と前記第3方向との間の角度は、0度よりも大きく22度以下である、構成13に記載のセンサ。
(構成16)
前記第1固定部及び前記可動部は、導電性であり、
前記可動部は、前記第1固定部と電気的に接続された、構成13~15のいずれか1つに記載のセンサ。
前記第1固定部及び前記可動部は、導電性であり、
前記可動部は、前記第1固定部と電気的に接続された、構成13~15のいずれか1つに記載のセンサ。
(構成17)
制御部をさらに備え、
前記制御部は、第1動作を実施することが可能であり、
前記制御部は、前記第1動作において、前記第1固定部と前記第1固定電極との間に第1信号を印加し、前記第1固定部と前記第2固定電極との間に第2信号を印加する、構成16に記載のセンサ。
制御部をさらに備え、
前記制御部は、第1動作を実施することが可能であり、
前記制御部は、前記第1動作において、前記第1固定部と前記第1固定電極との間に第1信号を印加し、前記第1固定部と前記第2固定電極との間に第2信号を印加する、構成16に記載のセンサ。
(構成18)
前記第2信号により前記可動部の前記振動の特性が制御される、構成17に記載のセンサ。
前記第2信号により前記可動部の前記振動の特性が制御される、構成17に記載のセンサ。
(構成19)
前記制御部は、第2動作を実施することが可能であり、
前記制御部は、前記第2動作において、前記第1固定部と前記第3固定電極との間に第3信号を印加し、前記第1固定部と前記第4固定電極との間に信号を印加しない、構成17または18に記載のセンサ。
前記制御部は、第2動作を実施することが可能であり、
前記制御部は、前記第2動作において、前記第1固定部と前記第3固定電極との間に第3信号を印加し、前記第1固定部と前記第4固定電極との間に信号を印加しない、構成17または18に記載のセンサ。
(構成20)
前記基体に固定された検出電極をさらに含み、
前記制御部は、外力に応じた検出信号を前記検出電極から取得可能である、構成17~19のずれか1つに記載のセンサ。
前記基体に固定された検出電極をさらに含み、
前記制御部は、外力に応じた検出信号を前記検出電極から取得可能である、構成17~19のずれか1つに記載のセンサ。
実施形態によれば、安定した検出が可能なセンサが提供できる。
本願明細書において、「垂直」及び「平行」は、厳密な垂直及び厳密な平行だけではなく、例えば製造工程におけるばらつきなどを含むものであり、実質的に垂直及び実質的に平行であれば良い。
以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、センサに含まれる基体、固定部、可動部及び制御部などの各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。
また、各具体例のいずれか2つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
その他、本発明の実施の形態として上述したセンサを基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全てのセンサも、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。
その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
10…可動部、 10A…環状部、 10B…接続部、 10i…内縁部、 10o…外縁部、 11~13…第1~第3環状部、 11f…第1環状面、 11fa…面、 12A、12B…第1、第2可動部電極、 12Ab、12Bb…第1、第2可動基部、 12Ap、12Bp…第1、第2可動突出部、 20…基体、 21…第1固定部、 31T、32T…第1、第2櫛歯電極対、 40…固定電極、 41~44…第1~第4固定電極、 41A~41D、41F、41G…固定電極、 41E…検出電極、 41f…第1固定電極面、 42b…第2固定基部、 42p…第2固定突出部、 42s…スイッチ、 43f…第3固定電極面、 43A~43G…固定電極、 44b…第4固定基部、 44p…第4固定突出部、 70…制御部、 110…センサ、 D1~D3…第1~第3方向、 OP1、OP2…第1、第2動作、 P1~P4…部分、 Rc1…可変抵抗、 Sd1…検出信号、 Sg1~Sg3…第1~第3信号、 g1…第1間隙
図4(a)及び図5に示すように、第2固定電極42は、基体20に固定される。第2固定電極42は、複数の固定電極40の1つである。図2に示すように、第2固定電極42は、第1可動部電極12Aと対向する。第2固定電極42は、第1櫛歯電極対31Tの一方である。第1可動部電極12Aは、第1櫛歯電極対31Tの他方である。
この例では、第2方向D2と第3方向D3との間の角度は、22.5度である。この角度は、例えば、0度よりも大きく22度以下でも良い。この角度は、例えば、12度以上33度以下でも良い。この角度は、例えば、57度以上78度以下でも良い。
図1、図3、図4(b)及び図6に示すように、センサ110は、第4固定電極44を含んでも良い。第4固定電極44は、基体20に固定される。第4固定電極44は、複数の固定電極40の1つである。図3に示すように、第2環状部12は、第2可動部電極12Bを含む。第4固定電極44は、第2可動部電極12Bと対向する。第4固定電極44は、第2櫛歯電極対32Tの一方である。第2可動部電極12Bは、第2櫛歯電極対32Tの他方である。
例えば、制御部70は、以下に説明する第1動作及び第2動作を実施可能でも良い。図2は、第1動作OP1を例示している。図2に示すように、制御部70は、第1動作OP1において、第1固定部21と第1固定電極41との間に第1信号Sg1を印加する。制御部70は、第1動作OP1において、第1固定部21と第2固定電極42との間に第2信号Sg2を印加する。例えば、第1信号Sg1により、可動部10が振動する。第2信号Sg2により、可動部10の振動の特性が制御される。例えば、振動の減衰特性が制御される。
図3は、第2動作OP2を例示している。制御部70は、第2動作OP2において、第1固定部21と第3固定電極43との間に第3信号Sg3を印加する。第2動作OP2において、制御部70は、第1固定部21と第4固定電極44との間に信号を印加しない。信号が印加されない第4固定電極44に櫛歯電極対の構成が適用されることで、良好な対称性が得られる。
図11に例示する動作PP3においては、制御部70から別の固定電極41E及び別の固定電極41Eの少なくともいずれかに、周波数調整用の信号が供給される。第1固定部21から別の固定電極41Eへの方向と、第1固定部21から別の固定電極41Fへの方向と、の間の角度は、実質的に45度である。この例では、第1固定部21から第1固定電極41への方向と、第1固定部21から別の固定電極41Fへの方向と、の間の角度は、実質的に90度である。動作PP1は、例えば、周波数調整動作である。
図12に例示する動作PP4における1つの例において、制御部70から、第3固定電極43、別の固定電極43B、別の固定電極43D、及び、別の固定電極43Fに振動調整用の信号が供給される。動作PP4における別の例において、制御部70から、別の固定電極43A、別の固定電極43C、別の固定電極43E、及び、別の固定電極43Eに振動調整用の信号が供給される。第1固定部21から第3固定電極43への方向と、第1固定部21から別の固定電極43Bへの方向と、の間の角度は、実質的に90度である。第1固定部21から第3固定電極43への方向から、第1固定部21から別の固定電極43Dへの方向までの角度は、実質的に180度である。第1固定部21から第3固定電極43への方向から、第1固定部21から別の固定電極43Fへの方向までの角度は、実質的に270度である。第1固定部21から第3固定電極43への方向から、第1固定部21から別の固定電極43Aへの方向までの角度は、実質的に45度である。第1固定部21から別の固定電極43Aへの方向から、第1固定部21から別の固定電極43Cへの方向までの角度は、実質的に90度である。第1固定部21から別の固定電極43Aへの方向から、第1固定部21から別の固定電極43Eへの方向までの角度は、実質的に270度である。第1固定部21から別の固定電極43Aへの方向から、第1固定部21から別の固定電極43Gへの方向までの角度は、実質的に180度である。動作PP4は、例えば、クアドラチャの制御動作である。
(構成13)
前記基体に固定された第4固定電極をさらに備え、
前記第2環状部は、第2可動部電極を含み、
前記第4固定電極は、前記第2可動部電極と対向し、
前記第4固定電極は、第2櫛歯電極対の一方であり、前記第2可動部電極は、前記第2櫛歯電極対の他方である、構成9または10に記載のセンサ。
前記基体に固定された第4固定電極をさらに備え、
前記第2環状部は、第2可動部電極を含み、
前記第4固定電極は、前記第2可動部電極と対向し、
前記第4固定電極は、第2櫛歯電極対の一方であり、前記第2可動部電極は、前記第2櫛歯電極対の他方である、構成9または10に記載のセンサ。
Claims (12)
- 基体と、
前記基体に固定された第1固定部と、
前記第1固定部に支持された可動部であって、前記基体と前記可動部との間に第1間隙が設けられ、前記可動部は、複数の環状部と、複数の接続部と、を含み、前記複数の環状部は、前記基体から前記第1固定部への第1方向と交差する第1平面内において、前記第1固定部を中心とした同心状であり、前記複数の接続部の1つは、前記複数の環状部の1つと前記複数の環状部の別の1つとを接続し、前記複数の環状部は、第1環状部と、第2環状部と、第3環状部と、を含み、前記第2環状部は、前記第1固定部と前記第1環状部との間にあり、前記第3環状部は、前記第1固定部と前記第2環状部との間にあり、前記第2環状部は、第1可動部電極を含む、前記可動部と、
前記基体に固定され前記第1環状部の一部と対向する第1固定電極と、
前記基体に固定され前記第1可動部電極と対向する第2固定電極であって、前記第2固定電極は、第1櫛歯電極対の一方であり、前記第1可動部電極は、前記第1櫛歯電極対の他方である、前記第2固定電極と、
を備えたセンサ。 - 前記可動部は、内縁部及び外縁部を含み、
前記第1環状部は、前記外縁部を含み、
前記第3環状部は、前記内縁部を含み、
前記第1環状部と前記第2環状部との間に設けられる前記環状部の数は、前記第2環状部と前記第3環状部との間に設けられる前記環状部の数以下である、請求項1に記載のセンサ。 - 前記可動部は、内縁部及び外縁部を含み、
前記第1環状部は、前記外縁部を含み、
前記第3環状部は、前記内縁部を含み、
前記第2環状部と前記第3環状部との間に前記複数の環状部の一部が設けられ、
前記第1環状部と前記第2環状部との間に前記複数の環状部の一部が設けられない、請求項1に記載のセンサ。 - 前記第1固定電極は、前記第1環状部の前記一部と対向する第1固定電極面を含み、前記第1固定電極面は、前記第1固定部を中心とする弧状であり、
前記第1環状部の前記一部は、前記第1固定電極と対向する第1環状部面を含み、前記第1環状部面は、前記第1固定部を中心とする弧状である、請求項1~3のいずれか1つに記載のセンサ。 - 前記第1固定部から前記第1固定電極への第2方向は、前記第1方向と交差し、前記第1平面に沿い、
前記第2固定電極は、前記第2方向において、前記第1固定部と前記第1固定電極との間にある、請求項1~4のいずれか1つに記載のセンサ。 - 前記基体に固定された第3固定電極をさらに備え、
前記第3固定電極は、前記第1環状部の別の一部と対向し、
前記第1固定部から前記第3固定電極への第3方向は、前記第1方向と交差し、前記第1平面に沿い、
前記第3方向は、前記第2方向に対して傾斜した、請求項5に記載のセンサ。 - 前記第3固定電極は、前記第1環状部の前記別の一部と対向する第3固定電極面を含み、前記第3固定電極面は、前記第1固定部を中心とする弧状であり、
前記第1環状部の前記別の一部は、前記第3固定電極と対向する面を含み、前記第3固定電極と対向する前記面は、前記第1固定部を中心とする弧状である、請求項6に記載のセンサ。 - 前記基体に固定された第4固定電極をさらに備え、
前記第2環状部は、第2可動電極を含み、
前記第4固定電極は、前記第2可動部電極と対向し、
前記第4固定電極は、第2櫛歯電極対の一方であり、前記第2可動部電極は、前記第2櫛歯電極対の他方である、請求項6または7に記載のセンサ。 - 前記第4固定電極は、前記第1固定部と前記第3固定電極との間にある、請求項8に記載のセンサ。
- 前記第1固定部及び前記可動部は、導電性であり、
前記可動部は、前記第1固定部と電気的に接続された、請求項8または9に記載のセンサ。 - 制御部をさらに備え、
前記制御部は、第1動作を実施することが可能であり、
前記制御部は、前記第1動作において、前記第1固定部と前記第1固定電極との間に第1信号を印加し、前記第1固定部と前記第2固定電極との間に第2信号を印加する、請求項10に記載のセンサ。 - 前記制御部は、第2動作を実施することが可能であり、
前記制御部は、前記第2動作において、前記第1固定部と前記第3固定電極との間に第3信号を印加し、前記第1固定部と前記第4固定電極との間に信号を印加しない、請求項11に記載のセンサ。
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