JP2019102742A - ウエハの検査方法 - Google Patents
ウエハの検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019102742A JP2019102742A JP2017234874A JP2017234874A JP2019102742A JP 2019102742 A JP2019102742 A JP 2019102742A JP 2017234874 A JP2017234874 A JP 2017234874A JP 2017234874 A JP2017234874 A JP 2017234874A JP 2019102742 A JP2019102742 A JP 2019102742A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- semiconductor chips
- heat source
- appearance abnormality
- appearance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 38
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims abstract description 31
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 8
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 claims description 4
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
Description
図1は、実施の形態1に係るウエハ外観検査装置を示す図である。ウエハ1の外周部をステージ2のウエハ保持部3が保持する。光源4はウエハ1を照らすランプである。ウエハ1からの光はビームスプリッター5により分割されそれぞれ可視光カメラ6及び赤外線カメラ7に入力される。レンズ8はウエハ1からの光をカメラに集光させる。可視光カメラ6が撮影した可視光画像9と赤外線カメラ7が撮影した赤外線画像10をモニター11が表示する。この図では1台のモニター11に可視光画像9と赤外線画像10を並べて表示させる例を示しているが、2台のモニターにそれぞれの画像を表示させてもよい。
図7は、実施の形態2に係るステージを示す断面図である。図8は、実施の形態2に係るステージのプレート部を外した状態を示す上面図である。ウエハ1を均一に加熱するために、熱源としてハロゲンランプ23を用いることで、ウエハ1に与える熱量を簡単に短時間で調節することができる。また、複数のハロゲンランプ23を等間隔に配置することで、ウエハ1の広範囲を均一に加熱することができるため、検査可能なウエハ1のインチ数、即ちウエハ径サイズを上げることができる。
図9は、実施の形態3に係るステージを示す断面図である。図10は、実施の形態3に係るステージのプレート部を外した状態を示す上面図である。熱源として、ウエハ1を載せるステージ2に同心円状に配置された電熱線24を用いる。これにより、ウエハ1の広範囲を均一に加熱することができるため、検査可能なウエハ1のインチ数を上げることができる。
図11は、実施の形態4に係るステージを示す断面図である。図12は、実施の形態4に係るステージのプレート部を外した状態を示す上面図である。電熱線24の下に送風用ファン26を取り付ける。通気口として流入口27と排出口28を複数箇所に設ける。送風用ファン26でウエハ1に熱風を送ることで、ウエハ1に与える熱量を簡単に短時間で調節することができる。
Claims (6)
- 複数の半導体チップが表面に形成されたウエハの裏面を可視光カメラで撮影して外観異常を検出する工程と、
熱源により加熱した前記ウエハを前記裏面から赤外線カメラで撮影して前記複数の半導体チップの配置を検出し、前記外観異常に対応する半導体チップの座標を特定する工程とを備えることを特徴とするウエハの検査方法。 - 前記ウエハの前記表面において前記複数の半導体チップの間にダイシングラインが形成され、
前記複数の半導体チップは金属層を含み、
前記ダイシングラインは金属層を含まないことを特徴とする請求項1に記載のウエハの検査方法。 - 前記熱源として、等間隔に配置された複数のハロゲンランプを用いることを特徴とする請求項1又は2に記載のウエハの検査方法。
- 前記熱源として、前記ウエハを載せるステージに同心円状に配置された電熱線を用いることを特徴とする請求項1又は2に記載のウエハの検査方法。
- 前記ステージは前記ウエハと前記電熱線の距離を変える可動機構を持つことを特徴とする請求項4に記載のウエハの検査方法。
- 前記電熱線の下に送風用ファンを配置することを特徴とする請求項4に記載のウエハの検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017234874A JP6915518B2 (ja) | 2017-12-07 | 2017-12-07 | ウエハの検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017234874A JP6915518B2 (ja) | 2017-12-07 | 2017-12-07 | ウエハの検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019102742A true JP2019102742A (ja) | 2019-06-24 |
JP6915518B2 JP6915518B2 (ja) | 2021-08-04 |
Family
ID=66974182
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017234874A Active JP6915518B2 (ja) | 2017-12-07 | 2017-12-07 | ウエハの検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6915518B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021183332A1 (en) * | 2020-03-10 | 2021-09-16 | Tokyo Electron Limited | Long wave infrared thermal sensor for integration into track system |
US11624607B2 (en) | 2020-01-06 | 2023-04-11 | Tokyo Electron Limited | Hardware improvements and methods for the analysis of a spinning reflective substrates |
US11738363B2 (en) | 2021-06-07 | 2023-08-29 | Tokyo Electron Limited | Bath systems and methods thereof |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0499046A (ja) * | 1990-08-06 | 1992-03-31 | Nec Corp | 気泡検出方法およびその装置 |
JPH06207914A (ja) * | 1993-01-11 | 1994-07-26 | Hitachi Ltd | 欠陥検出方法と装置および赤外線検出方法と装置 |
JP2006184177A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Mitsubishi Electric Corp | 赤外検査装置及び赤外検査方法 |
JP2007043056A (ja) * | 2005-07-06 | 2007-02-15 | Fujifilm Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2009088304A (ja) * | 2007-10-01 | 2009-04-23 | Renesas Technology Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2009231763A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-08 | Mitsumi Electric Co Ltd | 半導体装置の検査方法 |
JP2010169470A (ja) * | 2009-01-21 | 2010-08-05 | Toyota Motor Corp | 半導体ウエハの外観検査方法、及び、外観検査補助装置 |
JP2010245301A (ja) * | 2009-04-07 | 2010-10-28 | Toyota Motor Corp | ウエハの外観検査方法、及び、外観検査補助装置 |
JP2013205234A (ja) * | 2012-03-28 | 2013-10-07 | Sharp Corp | 欠陥検出装置 |
JP2014238314A (ja) * | 2013-06-07 | 2014-12-18 | 株式会社ジェイテクト | 光学非破壊検査方法及び光学非破壊検査装置 |
-
2017
- 2017-12-07 JP JP2017234874A patent/JP6915518B2/ja active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0499046A (ja) * | 1990-08-06 | 1992-03-31 | Nec Corp | 気泡検出方法およびその装置 |
JPH06207914A (ja) * | 1993-01-11 | 1994-07-26 | Hitachi Ltd | 欠陥検出方法と装置および赤外線検出方法と装置 |
JP2006184177A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Mitsubishi Electric Corp | 赤外検査装置及び赤外検査方法 |
JP2007043056A (ja) * | 2005-07-06 | 2007-02-15 | Fujifilm Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2009088304A (ja) * | 2007-10-01 | 2009-04-23 | Renesas Technology Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2009231763A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-08 | Mitsumi Electric Co Ltd | 半導体装置の検査方法 |
JP2010169470A (ja) * | 2009-01-21 | 2010-08-05 | Toyota Motor Corp | 半導体ウエハの外観検査方法、及び、外観検査補助装置 |
JP2010245301A (ja) * | 2009-04-07 | 2010-10-28 | Toyota Motor Corp | ウエハの外観検査方法、及び、外観検査補助装置 |
JP2013205234A (ja) * | 2012-03-28 | 2013-10-07 | Sharp Corp | 欠陥検出装置 |
JP2014238314A (ja) * | 2013-06-07 | 2014-12-18 | 株式会社ジェイテクト | 光学非破壊検査方法及び光学非破壊検査装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11624607B2 (en) | 2020-01-06 | 2023-04-11 | Tokyo Electron Limited | Hardware improvements and methods for the analysis of a spinning reflective substrates |
WO2021183332A1 (en) * | 2020-03-10 | 2021-09-16 | Tokyo Electron Limited | Long wave infrared thermal sensor for integration into track system |
US11738363B2 (en) | 2021-06-07 | 2023-08-29 | Tokyo Electron Limited | Bath systems and methods thereof |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6915518B2 (ja) | 2021-08-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6198529B1 (en) | Automated inspection system for metallic surfaces | |
TWI490478B (zh) | 基板檢驗裝置 | |
JP2019102742A (ja) | ウエハの検査方法 | |
JP6846958B2 (ja) | ダイボンディング装置および半導体装置の製造方法 | |
US20080225281A1 (en) | Visual inspection apparatus | |
EP2198279B1 (en) | Apparatus and method for detecting semiconductor substrate anomalies | |
JPS62173731A (ja) | 被検査物の表面検査装置 | |
TW201545819A (zh) | 電腦視覺辨識輸出圖像輔助led晶粒挑選系統及挑選方法 | |
JP5085953B2 (ja) | 表面検査装置 | |
US20080079932A1 (en) | Visual inspection apparatus and visual inspection method | |
KR20170122540A (ko) | 자동 비전 검사 시스템 | |
CN103278945B (zh) | 一种检测设备 | |
JP2008198966A (ja) | ウエーハ欠陥検査装置 | |
JP2010062508A (ja) | ベアチップ用両面検査設備 | |
KR101522312B1 (ko) | Pcb 제품 검사 장치 및 이를 이용한 pcb 제품 검사 방법 | |
JP2013145171A (ja) | 外観検査装置 | |
JP2008261667A (ja) | 基板検査装置及び基板検査方法 | |
JP6742272B2 (ja) | ウェハ異常箇所検出用装置およびウェハ異常箇所特定方法 | |
US6862089B2 (en) | Methods for managing examination of foreign matters in through holes | |
JP5148564B2 (ja) | 外観検査方法およびその方法を用いて検査する外観検査装置 | |
US8577119B2 (en) | Wafer surface observing method and apparatus | |
JP6512583B2 (ja) | 管材内面自動検査装置 | |
JP6845023B2 (ja) | 検査装置 | |
CN105676494A (zh) | 显示面板测试装置 | |
JP6303190B2 (ja) | 基板のたわみ検査用ラインカメラ、検査装置、検査方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191112 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200908 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20201020 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201210 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210615 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210628 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6915518 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |