JP5148564B2 - 外観検査方法およびその方法を用いて検査する外観検査装置 - Google Patents
外観検査方法およびその方法を用いて検査する外観検査装置 Download PDFInfo
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Description
「ウエハー上に多数個ある被検査対象物の外観検査方法および装置において、多数個ある被検査対象物のひとつを第1の被検査対象物として抽出し、前記第1の被検査対象物に対して被検査対象物上の配線パターンから基準となる直線を抽出する工程および手段と、
前記基準となる直線の傾きを所定の方向に前記第1の被検査対象物を回転補正し水平にする工程および手段と、
前記第1の被検査対象物の内部に配線パターンから定めた少なくとも2箇所の座標点を取得し、該少なくとも2箇所の座標点を結合した直線の方向と前記回転補正した水平な直線との角度を基礎角度として抽出する工程および手段と、
被検査対象物に対する複数からなる外観検査条件を設定する工程および手段と、
第1の被検査対象物以外の被検査対象物すべてについて、被検査対象物の内部に前記同様に配線パターンから定めた少なくとも2箇所の座標点を結合して直線を作成し、結合した直線方向と前記回転補正された第1の被検査対象物の水平な直線との角度の差を計測角度として抽出する工程および手段と、
前記各基礎角度と前記各計測角度との差分を各被検査対象物ごとの補正角度として記憶する工程および手段と、
検査をおこなう各被検査対象物について、記憶された各補正角度の情報を用いて角度補正をおこない、且つ前記複数箇所のいずれか一つの座標点を用いて位置補正する工程および手段とを有する、被検査対象物の外観検査方法および装置。」を特徴としている。
検査レシピに基づき同じチップを何回も撮像し、欠陥を抽出するに際し、できるだけ、少
ない位置補正条件で、繰り返し時の画像の位置を確定することにより、検査時間短縮を図
り、効率良くおこなうことが、求められている。その様な状況の基、本発明では、繰り返
し時の画像位置確定に、1つの座標とすでに計測済みで記憶済みの回転補正角度を用いて
位置を補正することにより、被検査対象物であるチップの外観検査をおこなうことにより
、検査時間短縮を図る。
さらに、被検査対象物の検査のために施される照明の種類や角度、撮像の倍率な
ど諸条件を変えて繰り返して、被検査対象物の良品か否かを判定する外観検査がおこなう
。その準備の為の工程であって、まずは、1つの代表される被検査対象物の基準となる直
線と当該被検査対象物の内部に設定した被検査対象物の内部に配線パターンなどから認識
する左端上部の座標点1と右端下部の座標点2とを結ぶ直線との差違の角度を基礎角度と
して、さらに他の被検査対象物のすべてについて、同様に左端上部の座標点1と右端下部
の座標点2を検出しそれらを結ぶ直線を求め、前記水平な直線とからなる角度を計測角度
とし、前記基礎角度との差違を補正角度として記憶する。
き被検査対象物の検査を複数回おこなうにおいて、2回目以降の検査に際しては、前記い
づれか一方のパターンから得られる1つの座標点を用いて位置補正をおこない、前記被検
査対象物毎にコンピュータに記憶されている基準となる被検査対象物から得た基準角度と
当該被検査対象物から得た計測角度との差分からなる補正角度を用いて、画像を回転補正
して後、外観検査をおこなう」ことを特徴としている。
これは、当該出願の発明の根幹を示す事項であり、請求項2および請求項4に記載のように、まずは、1つの代表される被検査対象物の基準となる直線と当該被検査対象物の内部に設定した配線パターンなどから認識する左端上部の座標点1と右端下部の座標点2とを結ぶ直線との差違の角度を基礎角度として、さらに他の被検査対象物のすべてについて、同様に左端上部の座標点1と右端下部の点座標2を検出しそれらを結ぶ直線と基準となる直線とからなる計測角度をもとめ、前記水平な直線とからなる基礎角度との差違を補正角度として記憶する。以降の条件が異なる多くの同等の被検査対象物に対する繰り返し検査において、画像の位置や回転を補正するにあたっては、請求項2および請求項4で求められた各被検査対象物毎の記憶された個々の補正角度を抽出しそれを用いて画像の位置や回転を補正し、順次、良品か否かを判定する。
ここで、2回目からは、検査対象の被検査対象物1のチップ11の画像を用いて、該外観検査対象の各チップ11の画像毎の個々の補正角度は、第1回目の検査時にコンピュータ2に記憶されているので、コンピュータ2の情報から、該当するチップ11の修正すべき角度の「補正角度9」を抽出し角度合わせをおこなうとともに、該当チップ11のパターン1(61)の座標点1又は、パターン2(62)の座標点2のいずれかを用いて位置合わせをおこなう。
また、さらに外観検査の検査レシピ条件に基づく検査条件がある場合には、前記2回目と同じ手法で、選択された第1の被検査対象物1を用いて付随するすべての他の被検査対象物1について、コンピュータ2に記憶されている各チップ11毎の補正角度9を順次取り出し画像の角度補正をおこない、該チップ11内のパターン1(61)の座標点1、パターン2(62)の座標点2のいずれか一つを用いて位置合わせをおこない、外観検査を繰り返し続けておこなう。(工程11)。
一つのチップ11からなるウエハー12について、検査レシピの条件が4件あった場合の外観検査をおこなった。4件の検査レシピ条件が策定されていたことにより、4回の外観検査が下記のとおりおこなわれた。
2回目・・・・暗視野撮像 撮像倍率1倍
3回目・・・・明視野撮像 撮像倍率5倍 検査領域変更
4回目・・・・暗視野撮像 撮像倍率5倍 検査領域変更
既存機能の場合のタクトタイム
1)画像撮像
2)パターン1の座標点1の抽出 6.4msec
3)パターン2の座標点2の抽出 6.6msec
4)補正角度・移動距離算出 0.004msec
5)画像回転・移動 2.9msec
6)外観検査 1.5msec
----------------------------------------------------------
合計タクト時間 17.404msec
本願発明の第2回目からのタクトタイム
1)画像撮像
2)いずれかのパターンの座標点の抽出 6.4msec
3)(不要) ----
4)補正角度・移動距離算出 0.004msec
5)画像回転・移動 2.9msec
6)外観検査 1.5msec
----------------------------------------------------------
合計タクト時間 10.804msec
上記タクトタイムを用いて、上記4回の外観検査の諸条件を繰り返しおこなった時間を求めた。
1回目検査時間 174.04sec 174.04sec
2回目検査時間 174.04sec 108.04sec
3回目検査時間 174.04sec 108.04sec
4回目検査時間 174.04sec 108.04sec
−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
合計タクト時間 696.16sec 498.16sec
(11分36秒16) (8分18秒16)。
10・・基準となる直線
11・・・(半導体)チップ
12・・・ウエハー
2・・・・コンピュータ
21・・・パターン抽出部
22・・・補正量算出部
23・・・位置補正・回転補正部
24・・・外観検査データ処理部
5・・・外観検査装置
51・・フレーム
52・・ステージ
53・・対物レンズ
54・・撮像装置
55・・顕微鏡の視野
56・・撮像装置の視野
6・・・選択したチップの傾き角度
61・・パターン1
62・・パターン2
7・・・基礎角度(θ)
8・・・計測角度(θ’)
9・・・補正角度(θ−θ’)
Claims (4)
- ウエハー上に多数個ある被検査対象物の外観検査方法において、多数個ある被検査対象物
のひとつを第1の被検査対象物として抽出し、前記第1の被検査対象物に対して被検査対
象物上の配線パターンから基準となる直線を抽出する工程と、
前記基準となる直線の傾きを所定の方向に前記第1の被検査対象物を回転補正し水平にす
る工程と、
前記第1の被検査対象物の内部に配線パターンから定めた少なくとも2箇所の座標点を取
得し、該少なくとも2箇所の座標点を結合した直線の方向と前記回転補正した水平な直線
との角度を基礎角度として抽出する工程と、
被検査対象物に対する複数からなる外観検査条件を設定する工程と、
第1の被検査対象物以外の被検査対象物すべてについて、被検査対象物の内部に前記同様
に配線パターンから定めた少なくとも2箇所の座標点を結合して直線を作成し、結合した
直線方向と前記回転補正された第1の被検査対象物の水平な直線との角度の差を計測角度
として抽出する工程と、
前記各基礎角度と前記各計測角度との差分を各被検査対象物ごとの補正角度として記憶す
る工程と、
検査をおこなう各被検査対象物について、記憶された各補正角度の情報を用いて角度補正
をおこない、且つ前記複数箇所のいずれか一つの座標点を用いて位置補正する工程とを有
する、被検査対象物の外観検査方法。
- 被検査対象物に対する複数の検査条件に基づき被検査対象物の検査を複数回おこなう外観
検査方法において、2回目以降の検査に際しては、被検査対象物の内部に配線パターンか
ら定めた少なくとも2箇所の座標点のいづれか一方のパターンから得られる1つの座標点
を用いて位置補正をおこない、前記被検査対象物毎に記憶されている基準となる被検査対
象物から得た基準角度と当該被検査対象物から得た計測角度との差分からなる補正角度を
用いて、画像を回転補正して後、外観検査をおこなうことを特徴とする、
請求項1に記載の外観検査方法。
- ウエハー上に多数個ある被検査対象物の検査をおこなう外観検査装置において、多数個あ
る被検査対象物のひとつを第1の被検査対象物として抽出し、前記第1の被検査対象物に
対して被検査対象物上の配線パターンから基準となる直線を抽出する手段と、
前記基準となる直線の傾きを所定の方向に前記第1の被検査対象物を回転補正し水平にす
る手段と、
前記第1の被検査対象物の内部に配線パターンから定めた少なくとも2箇所の座標点を取
得し、該少なくとも2箇所の座標点を結合した直線の方向と前記回転補正した水平な直線
との角度を基礎角度として抽出する手段と、
被検査対象物に対する複数からなる外観検査条件を設定する手段と、
第1の被検査対象物以外の被検査対象物すべてについて、被検査対象物の内部に前記同様
に配線パターンから定めた少なくとも2箇所の座標点を結合して直線を作成し、結合した
直線方向と前記回転補正された第1の被検査対象物の水平な直線との角度の差を計測角度
として抽出する手段と、
前記各基礎角度と前記各計測角度との差分を各被検査対象物ごとの補正角度として記憶す
る手段と、
検査をおこなう各被検査対象物について、記憶された各補正角度の情報を用いて角度補正
をおこない、且つ前記複数箇所のいずれか一つの座標点を用いて位置補正する手段とを有
する、被検査対象物の外観検査装置。
- 被検査対象物に対する複数の検査条件に基づき被検査対象物の検査を複数回おこなう外観
検査装置において、2回目以降の検査に際しては、被検査対象物の内部に配線パターンか
ら定めた少なくとも2箇所の座標点のいづれか一方のパターンから得られる1つの座標点
を用いて位置補正をおこない、前記被検査対象物毎に記憶されている基準となる被検査対
象物から得た基準角度と当該被検査対象物から得た計測角度との差分からなる補正角度を
用いて、画像を回転補正して後、外観検査をおこなう手段を有することを特徴とする、
請求項3に記載の外観検査装置。
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- 2009-06-30 JP JP2009154713A patent/JP5148564B2/ja active Active
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