JP2019067804A - セラミックス回路基板 - Google Patents
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Abstract
Description
セラミックス基材として、窒化アルミニウム(AlN)基材(サイズ:50mm×60mm×0.635mmt)を用いた。Al−Cu−Mgクラッド箔をろう材として用い、セラミックス基材の両面に温度630℃にてAl板(厚み0.2mm)を接合し、エッチングによりAl回路を形成した。続いて、溶射法(コールドスプレー法)で厚み0.3mmのCu回路を積層し、温度300℃でアニール処理を行った後、無電解Niめっきを施し、セラミックス回路基板を作製した。
実施例1と同様のセラミックス基材の両面に溶射法(コールドスプレー法)で厚み0.2mmのAl回路を積層し、温度500℃でアニール処理を行った。続いて、溶射法(コールドスプレー法)で厚み0.3mmのCu回路を積層し、温度300℃でアニール処理を行った後、無電解Niめっきを施し、セラミックス回路基板を作製した。
実施例1と同様のセラミックス基材の両面に溶射法(コールドスプレー法)で厚み0.2mmのAl回路を積層し、温度500℃でアニール処理を行った後、エッチングにより回路を形成した。続いて、アクリル系接着剤でAl板に回路パターンを形取ったCu板(厚み0.3mm)を接着した後、無電解Niめっきを施し、セラミックス回路基板を作製した。
Ag−Cu−TiH2ろう材を用い、実施例1と同様のセラミックス基材の両面に温度800℃にてCu板(厚み0.3mm)を接合し、エッチングによりCu回路を形成した後、無電解Niめっきを施し、セラミックス回路基板を作製した。
セラミックス基材として、窒化珪素(Si3N4)基材(サイズ:50mm×60mm×0.32mmt)を用いた。Ag−Cu−TiH2ろう材を用い、セラミックス基材の両面に温度800℃にてCu板(厚み0.3mm)を接合し、エッチングによりCu回路を形成した後、無電解Niめっきを施し、セラミックス回路基板を作製した。
アクリル系接着剤を用い、比較例2と同様のセラミック基材の両面にCu板(厚み0.3mm)を接着し、エッチングによりCu回路を形成した後、無電解Niめっきを施し、セラミックス回路基板を作製した。
実施例1と同様のセラミックス基材の両面に溶射法(コールドスプレー法)で厚み0.3mmのAl回路を積層し、温度500℃でアニール処理を行った後、無電解Niめっきを施し、セラミックス回路基板を作製した。
得られたセラミックス回路基板に対し、235℃の環境に30分放置した後に、−40℃の環境に30分放置する操作を1サイクルとして、1000サイクルのヒートサイクル試験を行った。ヒートサイクル試験後の実施例1〜3及び比較例2〜4のセラミックス回路基板に対し、表面粗さ測定機(株式会社ミツトヨ社、商品名「SJ−400」を用いて、JIS−B0601−1994に準拠した方法により表面粗さRaを測定した。実施例1〜3のセラミックス回路基板は、ヒートサイクル試験後においても比較例2〜4のセラミックス回路基板と比較して、表面粗さRaの増加を抑制することができ、耐熱衝撃性が良好であることが示された。なお、比較例1のセラミックス回路基板は、ヒートサイクル試験後に回路の剥離、セラミックス基材の破損が認められ、表面粗さRaを測定することができなかった。
Claims (6)
- セラミックス基材と、前記セラミックス基材の両面に設けられた金属層と、を備え、前記金属層が、Alを含む第一金属層及びCuを含む第二金属層を前記セラミックス基材からこの順に有しており、
前記金属層のうちの少なくとも一方が金属回路を形成している、セラミックス回路基板。 - 235℃の環境に30分放置した後に−45℃の環境に30分放置する操作を1サイクルとして、1000サイクルのヒートサイクル試験後において、前記金属層の前記セラミックス基材と反対側の面の表面粗さRaが1μm以下である、請求項1に記載のセラミックス回路基板。
- 前記セラミックス基材が、AlN、Si3N4又はAl2O3で形成されている、請求項1又は2に記載のセラミックス回路基板。
- 前記セラミックス基材の厚みが0.2〜1.5mmである、請求項1〜3のいずれか一項に記載のセラミックス回路基板。
- 前記金属層の厚みが0.1〜6mmである、請求項1〜4のいずれか一項に記載のセラミックス回路基板。
- 前記第一金属層の端面と前記第二金属層の端面とが面一である、又は、前記第一金属層の端面が前記第二金属層の端面よりも外側にはみ出ている、請求項1〜5のいずれか一項に記載のセラミックス回路基板。
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