JP2019002714A - 欠陥検出方法及び欠陥検出装置 - Google Patents
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Abstract
Description
a) 被検査物体の検査領域の全体に第1弾性波を励起しつつ、該検査領域における該被検査物体の表面の全体にストロボ照明を行い、前記弾性波の位相と前記ストロボ照明のタイミングを制御することにより、該弾性波の互いに異なる少なくとも3つの位相において前記検査領域の各点の前後方向の変位を一括測定する変位一括測定工程と、
b) 前記少なくとも3つの位相における前記検査領域の各点の前後方向の変位に基いて、該検査領域の表面における欠陥の位置である表面位置を特定する欠陥位置特定工程と、
c) 前記欠陥位置特定工程により特定された表面位置を含む前記表面の限定領域内に当接したプローブから前記表面位置の内部に向けて第2弾性波を投入し、その応答波に基づいて該欠陥の深さ方向の位置及び/又は大きさを求める深さ方向情報取得工程と
を有することを特徴とする。
a) 被検査物体に第1弾性波を励起する第1弾性波励振部と、
b) 前記被検査物体の表面の検査領域にストロボ照明を行う照明部と、
c) 前記第1弾性波の位相と前記ストロボ照明のタイミングを制御することにより、該弾性波の互いに異なる少なくとも3つの位相において前記検査領域各点の前後方向の変位を一括測定する変位測定部と、
d) 前記被検査物体の表面に当接して第2弾性波を前記被検査物体の内部に向けて投入する第2弾性波投入部と、
e) 前記第2弾性波の応答波を検出する応答波検出部と、
f) 前記応答波に基づいて該欠陥の深さ方向の位置及び/又は大きさを求める深さ方向情報取得部と
を備えることを特徴とする。
図1は、本実施形態の欠陥検出装置10の概略構成図である。この欠陥検出装置10は、信号送受信器11、振動子兼検出子12、パルスレーザ光源13、照明光レンズ14、スペックル・シェアリング干渉計15、制御部16、及び記憶部17を備える。
以下、図3〜図6を用いて、欠陥検出装置10の動作及び本発明に係る欠陥検出方法の一実施形態を説明する。図3及び図5は本実施形態の欠陥検出方法を示すフローチャートであり、そのうち図3は変位一括測定工程及び欠陥位置特定工程を示し、図5は深さ方向情報取得工程を示している。
本実施形態では、変位一括測定として、振動子兼検出子12の振動の位相が異なる3回以上の測定を行う。以下、振動の位相が異なる測定の回数を「mmax」と表記する。なお、信号送受信器11及び振動子兼検出子12は、変位一括測定工程ではそれぞれ信号送信器及び振動子としての機能のみを利用するため、以下の変位一括測定工程の説明中ではそれらをそれぞれ「信号送信器11」及び「振動子12」と表記する。「振動子12の振動の位相」は、信号送信器11から振動子12に送信される交流電気信号の位相であり、被検査物体Sに励振される弾性波の、振動子12が接触する点における位相に相当する。以下では、各回の表面変位の測定を、数値k(1〜mmaxの間のいずれかの自然数)を用いて「k回目の測定」と表す。また、以下の説明では、まずは最も単純な例としてmmax=3である場合について全てのステップを説明し、後述の変形例の説明においてmmaxがさらに大きな数である場合を説明する。
上記3つの相対的な変位に基づいて、検査領域の各点における振動の振幅、振動の位相(各点における振動の位相であって、振動子12の振動の位相とは異なる)、及び振動の中心値(DC成分)、という3つのパラメータの値が得られる(ステップS10)。これら振動の振幅や位相は、検査領域内を移動していくに従って、欠陥が存在しないところでは緩やかに変化していくのに対して、欠陥が存在するところでは急激に変化する。このように検査領域内での振動の振幅や位相の値から、検査領域内の欠陥を検出することができる。このような欠陥の検出は、振動の振幅や位相の数値のみに基づいて行うことが可能であるが、本実施形態では、欠陥の位置を可視化できるように、以下に述べる方法を用いて行う。まず、ステップS10で得られた振動の振幅及び/又は振動の位相の値に基づき、画像を作成する(ステップS11)。例えば、測定点の振幅が大きいほど、その測定点に対応する画素の輝度を高くすることにより、振動の振幅の相違を画像の明暗の相違で表すことができる。このように作成した画像に対して、既知の画像処理技術を用いて処理を行うことにより、検査領域中の欠陥Dの表面位置を検出する(ステップS12)。例えば、画像上の位置の移動に伴って、画素の明暗が急変する箇所を欠陥として検出することができる。画素の明暗が急変する箇所は、操作者が画像を見て判定してもよいし、制御部16は画素の明暗の数値に基づいて判定するようにしてもよい。
深さ方向情報取得工程ではまず、被検査物体Sの表面であって欠陥位置特定工程で特定された、欠陥の位置である表面位置(複数の場合にはそのうちの1つ)を含むように限定された限定領域21内に振動子兼検出子12を接触させる(ステップS13。同ステップ以後の各ステップは図5参照。)。本実施形態では、斜角探触子である振動子兼検出子12を用いて、限定領域21内の前記表面位置からずれた位置から該表面位置に向けて斜方に第2弾性波を投入する。限定領域21は、前記表面位置に存在する欠陥による応答波が生じる可能性がある位置から第2弾性波を投入可能な領域とする。本実施形態では、第2弾性波を斜方に投入することから、被検査物体Sの表面の法線と被検査物体S内での弾性波の進行方向との成す角度をθと、欠陥Dの深さの想定され得る最大値dmax(典型的には、被検査物体Sが板状であればその厚み)より、前記表面位置を中心とする半径dmax・tanθの円形の領域内から第2弾性波を投入すれば、第2弾性波が欠陥Dに反射されること等によって応答波が生じ得る(図6参照)。従って、この円形の領域を限定領域21と規定することができる。なお、振動子兼検出子12を接触させた表面位置は、後述のステップS17で説明する理由により、記録しておく必要はない。振動子兼検出子12を接触させる位置は、操作者が前記画像を見ながら、あるいは制御部16の制御によって、振動子兼検出子12を移動させることにより定めることができる。
d=(t/2)・v cosθ …(1)
により求められる。この方法によれば、深さdを求めるためには、振動子兼検出子12の表面位置のデータは不要である。
上記実施形態では、mmax=3としたが、mmaxを[2n+1](nは2以上の自然数)で表される数より大きく選ぶことにより、被検査物体Sに励起された弾性波のn次の成分(第n高調波成分)までを検出することができるようになる。すなわち、点Aと点Bの面外方向の相対的な変位が(2n+1)組以上得られることから、基本波の振幅、基本波の位相、第2高調波の振幅、第2高調波の位相、…第n高調波の振幅、第n高調波の位相、及び弾性波のDC成分、という(2n+1)個のパラメータの値が得られる。これにより、欠陥Dの表面位置をより精度良く特定することができる。
上記実施形態では振動子兼検出子12に斜角探触子を用いたが、その代わりに垂直探触子を用いてもよい。その場合には、垂直探触子は欠陥が存在する表面位置に接触させ、第2弾性波を被検査物体Sの表面に垂直な方向に投入し、欠陥で反射した応答波を振動子兼検出子12で検出する。振動子兼検出子12を前記表面位置から移動させる必要はない。
11…信号送受信器(信号送信器)
12…振動子兼検出子(振動子、プローブ)
121…振動部
122…接触部
1221…接触面
13…パルスレーザ光源
14…照明光レンズ
15…スペックル・シェアリング干渉計
151…ビームスプリッタ
1521…第1反射鏡
1522…第2反射鏡
153…位相シフタ
154…集光レンズ
155…イメージセンサ
16…制御部
17…記憶部
21…限定領域
D…欠陥
S…被検査物体
Claims (6)
- a) 被検査物体の検査領域の全体に第1弾性波を励起しつつ、該検査領域における該被検査物体の表面の全体にストロボ照明を行い、前記弾性波の位相と前記ストロボ照明のタイミングを制御することにより、該弾性波の互いに異なる少なくとも3つの位相において前記検査領域の各点の前後方向の変位を一括測定する変位一括測定工程と、
b) 前記少なくとも3つの位相における前記検査領域の各点の前後方向の変位に基いて、該検査領域の表面における欠陥の位置である表面位置を特定する欠陥位置特定工程と、
c) 前記欠陥位置特定工程により特定された表面位置を含む前記表面の限定領域内に当接したプローブから前記表面位置の内部に向けて第2弾性波を投入し、その応答波に基づいて該欠陥の深さ方向の位置及び/又は大きさを求める深さ方向情報取得工程と
を有することを特徴とする欠陥検出方法。 - 前記第2弾性波が前記第1弾性波よりも周波数が大きいことを特徴とする請求項1に記載の欠陥検出方法。
- 前記第1弾性波の励起、前記第2弾性波の投入及び前記応答波の検出のうちの2つ又は3つを共通の振動子により行うことを特徴とする請求項1又は2に記載の欠陥検出方法。
- 前記第1弾性波の励起と前記第2弾性波の投入を共通の発振回路により行うことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の欠陥検出方法。
- 前記少なくとも3つの位相における前記検査領域の各点の前後方向の変位をスペックル・シェアリング干渉法により一括測定することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の欠陥検出方法。
- a) 被検査物体に第1弾性波を励起する第1弾性波励振部と、
b) 前記被検査物体の表面の検査領域にストロボ照明を行う照明部と、
c) 前記第1弾性波の位相と前記ストロボ照明のタイミングを制御することにより、該弾性波の互いに異なる少なくとも3つの位相において前記検査領域各点の前後方向の変位を一括測定する変位測定部と、
d) 前記被検査物体の表面に当接して第2弾性波を前記被検査物体の内部に向けて投入する第2弾性波投入部と、
e) 前記第2弾性波の応答波を検出する応答波検出部と、
f) 前記応答波に基づいて該欠陥の深さ方向の位置及び/又は大きさを求める深さ方向情報取得部と
を備えることを特徴とする欠陥検出装置。
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US16/004,966 US10429172B2 (en) | 2017-06-12 | 2018-06-11 | Defect detection method and defect detection device |
CN201810601368.1A CN109030624B (zh) | 2017-06-12 | 2018-06-12 | 缺陷检测方法以及缺陷检测装置 |
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---|---|---|---|
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020008745A1 (ja) * | 2018-07-04 | 2020-01-09 | 株式会社島津製作所 | 欠陥検出装置 |
WO2020213101A1 (ja) * | 2019-04-17 | 2020-10-22 | 株式会社島津製作所 | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
WO2020241092A1 (ja) * | 2019-05-30 | 2020-12-03 | 株式会社島津製作所 | 管状体の接合部の検査方法及び装置 |
WO2021149307A1 (ja) * | 2020-01-23 | 2021-07-29 | 株式会社島津製作所 | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
JP7476392B1 (ja) | 2023-04-27 | 2024-04-30 | 株式会社東芝 | 超音波検査装置および超音波検査方法 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3474009B1 (en) * | 2016-06-21 | 2023-01-18 | Shimadzu Corporation | Sound-wave-propagation visualization device and method |
EP3779378B1 (en) * | 2018-04-05 | 2022-05-11 | Shimadzu Corporation | Vibration measurement device |
JP7215134B2 (ja) * | 2018-12-17 | 2023-01-31 | 株式会社島津製作所 | 検査装置および検査方法 |
US11644443B2 (en) * | 2018-12-17 | 2023-05-09 | The Boeing Company | Laser ultrasound imaging |
JP7306409B2 (ja) * | 2019-01-29 | 2023-07-11 | 株式会社島津製作所 | 変位計測装置及び欠陥検出装置 |
JP7283324B2 (ja) * | 2019-09-18 | 2023-05-30 | 株式会社島津製作所 | 欠陥検査装置 |
CN112212124A (zh) * | 2020-08-25 | 2021-01-12 | 武汉中仪物联技术股份有限公司 | 一种管道管壁强度检测方法及检测机器人 |
CN114858755B (zh) * | 2022-07-05 | 2022-10-21 | 中国航发四川燃气涡轮研究院 | 一种航空发动机涂层变频原位激光检测*** |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63261159A (ja) * | 1987-04-17 | 1988-10-27 | Agency Of Ind Science & Technol | 複合材料の光学的非破壊検査方法 |
JPH05188046A (ja) * | 1991-06-17 | 1993-07-27 | Nkk Corp | 超音波探触子および超音波診断方法 |
JP2004101189A (ja) * | 2002-09-04 | 2004-04-02 | Hitachi Ltd | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 |
US20040165176A1 (en) * | 1999-03-31 | 2004-08-26 | Bard Benjamin A. | Portable real-time high-resolution digital phase-stepping shearography with integrated excitation mechanisms |
US7088455B1 (en) * | 2002-04-08 | 2006-08-08 | Providence Health Systems —Oregon | Methods and apparatus for material evaluation using laser speckle |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS606860A (ja) | 1983-06-15 | 1985-01-14 | Hitachi Ltd | 非接触式超音波探傷方法およびその装置 |
US4567769A (en) * | 1984-03-08 | 1986-02-04 | Rockwell International Corporation | Contact-free ultrasonic transduction for flaw and acoustic discontinuity detection |
US5439157A (en) * | 1994-07-18 | 1995-08-08 | The Babcock & Wilcox Company | Automated butt weld inspection system |
US5546187A (en) * | 1995-03-15 | 1996-08-13 | Hughes Aircraft Company | Self-referencing laser-based ultrasonic wave receiver |
US6057927A (en) * | 1998-02-25 | 2000-05-02 | American Iron And Steel Institute | Laser-ultrasound spectroscopy apparatus and method with detection of shear resonances for measuring anisotropy, thickness, and other properties |
US6512385B1 (en) | 1999-07-26 | 2003-01-28 | Paul Pfaff | Method for testing a device under test including the interference of two beams |
JP3986049B2 (ja) * | 2002-01-15 | 2007-10-03 | 財団法人くまもとテクノ産業財団 | 欠陥検査方法および欠陥検査装置 |
AU2003207846A1 (en) * | 2002-02-05 | 2003-09-02 | Millipore Corporation | Use of electronic speckle interferometry for defect detection in fabricated devices |
US7463364B2 (en) * | 2003-07-31 | 2008-12-09 | Ler Technologies, Inc. | Electro-optic sensor |
WO2007004303A1 (ja) * | 2005-07-06 | 2007-01-11 | Central Research Institute Of Electric Power Industry | 超音波探傷試験における傷高さ測定法並びに装置 |
EP2278324B1 (en) * | 2005-07-07 | 2012-08-29 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Surface inspecting method using a surface wave |
CN100456035C (zh) * | 2005-12-29 | 2009-01-28 | 中国葛洲坝集团股份有限公司 | 基于***源的大坝无损检测*** |
TWI322884B (en) | 2007-03-27 | 2010-04-01 | Ind Tech Res Inst | Singal analysis method for vibratory interferometry |
US20110284508A1 (en) * | 2010-05-21 | 2011-11-24 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Welding system and welding method |
JP2012110416A (ja) * | 2010-11-22 | 2012-06-14 | Canon Inc | 測定装置 |
US9304490B2 (en) | 2011-05-27 | 2016-04-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Apparatus and method for irradiating a medium |
JP5865100B2 (ja) * | 2012-02-01 | 2016-02-17 | 株式会社Ihi | 欠陥検査装置および検査方法 |
US9262840B2 (en) | 2012-06-08 | 2016-02-16 | Correlated Solutions, Inc. | Optical non-contacting apparatus for shape and deformation measurement of vibrating objects using image analysis methodology |
WO2014004835A1 (en) | 2012-06-29 | 2014-01-03 | The General Hospital Corporation | System, method and computer-accessible medium for providing and/or utilizing optical coherence tomographic vibrography |
EP3063532A4 (en) | 2013-10-28 | 2017-06-21 | Oakland University | Spatial phase-shift shearography system for strain measurement |
US10345267B2 (en) * | 2015-12-21 | 2019-07-09 | The Boeing Company | Composite inspection |
CN105891339B (zh) * | 2016-04-06 | 2019-02-05 | 江苏筑升土木工程科技有限公司 | 利用冲击映像法检测岩土工程介质缺陷的方法、装置及*** |
CN105911138B (zh) * | 2016-04-06 | 2019-02-05 | 江苏筑升土木工程科技有限公司 | 基于平均响应能量的冲击映像方法及*** |
JP6451695B2 (ja) | 2016-06-02 | 2019-01-16 | 株式会社島津製作所 | 欠陥検査方法及び欠陥検査装置 |
-
2017
- 2017-06-12 JP JP2017115398A patent/JP6791029B2/ja active Active
-
2018
- 2018-06-11 US US16/004,966 patent/US10429172B2/en active Active
- 2018-06-12 CN CN201810601368.1A patent/CN109030624B/zh active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63261159A (ja) * | 1987-04-17 | 1988-10-27 | Agency Of Ind Science & Technol | 複合材料の光学的非破壊検査方法 |
JPH05188046A (ja) * | 1991-06-17 | 1993-07-27 | Nkk Corp | 超音波探触子および超音波診断方法 |
US20040165176A1 (en) * | 1999-03-31 | 2004-08-26 | Bard Benjamin A. | Portable real-time high-resolution digital phase-stepping shearography with integrated excitation mechanisms |
US7088455B1 (en) * | 2002-04-08 | 2006-08-08 | Providence Health Systems —Oregon | Methods and apparatus for material evaluation using laser speckle |
JP2004101189A (ja) * | 2002-09-04 | 2004-04-02 | Hitachi Ltd | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020008745A1 (ja) * | 2018-07-04 | 2020-01-09 | 株式会社島津製作所 | 欠陥検出装置 |
JPWO2020008745A1 (ja) * | 2018-07-04 | 2021-05-20 | 株式会社島津製作所 | 欠陥検出装置 |
WO2020213101A1 (ja) * | 2019-04-17 | 2020-10-22 | 株式会社島津製作所 | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
JPWO2020213101A1 (ja) * | 2019-04-17 | 2021-11-04 | 株式会社島津製作所 | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
WO2020241092A1 (ja) * | 2019-05-30 | 2020-12-03 | 株式会社島津製作所 | 管状体の接合部の検査方法及び装置 |
WO2021149307A1 (ja) * | 2020-01-23 | 2021-07-29 | 株式会社島津製作所 | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
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