JP7476392B1 - 超音波検査装置および超音波検査方法 - Google Patents
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
Description
以下、図面を参照しながら、超音波検査装置および超音波検査方法の実施形態について詳細に説明する。まず、第1実施形態について図1から図4を用いて説明する。
次に、第2実施形態について図10を用いて説明する。なお、前述の図面を適宜参照し、前述した実施形態に示される構成部分と同一構成部分については同一符号を付して重複する説明を省略する。
次に、第3実施形態について図11を用いて説明する。なお、前述の図面を適宜参照し、前述した実施形態に示される構成部分と同一構成部分については同一符号を付して重複する説明を省略する。
Claims (11)
- 検査の対象となる検査対象領域を有する測定対象に照射して超音波を発生させるための送信用レーザ光を発振する送信用光源と、
前記測定対象に照射して前記超音波で計測を行うための受信用レーザ光を発振する受信用光源と、
前記受信用レーザ光を前記測定対象に照射したときに反射する戻り光を干渉計測して超音波信号を抽出する干渉計測部と、
前記超音波信号に基づいて、前記検査対象領域の範囲に存在する欠陥の少なくとも大きさを評価する評価部と、
前記送信用レーザ光と前記受信用レーザ光を照射する前に、前記測定対象の表面の形状を読み取る表面読取部と、
前記表面読取部で読み取られた前記測定対象の表面の形状に基づいて、前記検査対象領域の範囲を設定する照射領域制御部と、
を備え、
前記照射領域制御部は、前記送信用レーザ光と前記受信用レーザ光のそれぞれのスポット径の少なくとも一方を、前記欠陥が有ると予測される前記検査対象領域の範囲よりも拡張し、かつ、前記検査対象領域の全域がこの少なくとも一方のスポット径内に存在するように制御する、
超音波検査装置。 - 検査の対象となる検査対象領域を有する測定対象に照射して超音波を発生させるための送信用レーザ光を発振する送信用光源と、
前記測定対象に照射して前記超音波で計測を行うための受信用レーザ光を発振する受信用光源と、
前記受信用レーザ光を前記測定対象に照射したときに反射する戻り光を干渉計測して超音波信号を抽出する干渉計測部と、
前記超音波信号に基づいて、前記検査対象領域の範囲に存在する欠陥の少なくとも大きさを評価する評価部と、
前記検査対象領域の範囲を設定する照射領域制御部と、
前記送信用レーザ光と前記受信用レーザ光の一方の照射領域が、拡張されていない照射スポットであり、前記照射スポットを移動させるための走査部と、
を備え、
前記照射領域制御部は、前記送信用レーザ光と前記受信用レーザ光の他方のスポット径を、前記欠陥が有ると予測される前記検査対象領域の範囲よりも拡張し、かつ、前記検査対象領域の全域がこの他方のスポット径内に存在するように制御する、
超音波検査装置。 - 検査の対象となる検査対象領域を有する測定対象に照射して超音波を発生させるための送信用レーザ光を発振する送信用光源と、
前記測定対象に照射して前記超音波で計測を行うための受信用レーザ光を発振する受信用光源と、
前記受信用レーザ光を前記測定対象に照射したときに反射する戻り光を干渉計測して超音波信号を抽出する干渉計測部と、
前記超音波信号に基づいて、前記検査対象領域の範囲に存在する欠陥の少なくとも大きさを評価する評価部と、
前記検査対象領域の範囲を設定する照射領域制御部と、
前記送信用レーザ光と前記受信用レーザ光が照射される前記測定対象の表面を均質化する表面改質部と、
を備え、
前記照射領域制御部は、前記送信用レーザ光と前記受信用レーザ光のそれぞれのスポット径の少なくとも一方を、前記欠陥が有ると予測される前記検査対象領域の範囲よりも拡張し、かつ、前記検査対象領域の全域がこの少なくとも一方のスポット径内に存在するように制御する、
超音波検査装置。 - 検査の対象となる検査対象領域を有する測定対象に照射して超音波を発生させるための送信用レーザ光を発振する送信用光源と、
前記測定対象に照射して前記超音波で計測を行うための受信用レーザ光を発振する受信用光源と、
前記受信用レーザ光を前記測定対象に照射したときに反射する戻り光を干渉計測して超音波信号を抽出する干渉計測部と、
前記超音波信号に基づいて、前記検査対象領域の範囲に存在する欠陥の少なくとも大きさを評価する評価部と、
前記検査対象領域の範囲を設定する照射領域制御部と、
前記送信用レーザ光と前記受信用レーザ光が照射されるそれぞれの照射領域の少なくとも一方を不活性ガスの雰囲気で覆い、前記測定対象の表面の酸化を抑制する酸化抑制部と、
を備え、
前記照射領域制御部は、前記送信用レーザ光と前記受信用レーザ光のそれぞれのスポット径の少なくとも一方を、前記欠陥が有ると予測される前記検査対象領域の範囲よりも拡張し、かつ、前記検査対象領域の全域がこの少なくとも一方のスポット径内に存在するように制御する、
超音波検査装置。 - 前記送信用レーザ光と前記受信用レーザ光を出射するそれぞれの出射部の少なくとも一方に、前記送信用レーザ光または前記受信用レーザ光を拡大するための拡大用光学機器が設けられている、
請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の超音波検査装置。 - 前記送信用レーザ光と前記受信用レーザ光が、前記検査対象領域を挟んで対向する位置に照射される、
請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の超音波検査装置。 - 前記照射領域制御部は、前記送信用レーザ光と前記受信用レーザ光を照射する前に、ユーザの入力に基づいて、前記検査対象領域の範囲を設定する、
請求項2から請求項4のいずれか1項に記載の超音波検査装置。 - 前記照射領域制御部は、前記送信用レーザ光と前記受信用レーザ光の少なくとも一方のスポット径を前記検査対象領域の範囲よりも大きくする、
請求項7に記載の超音波検査装置。 - 前記照射領域制御部は、前記送信用レーザ光と前記受信用レーザ光の少なくとも一方のスポット径を前記検査対象領域の範囲よりも大きくする、
請求項1に記載の超音波検査装置。 - 送信用レーザ光と受信用レーザ光を照射する前に、表面読取部が、検査の対象となる検査対象領域を有する測定対象の表面の形状を読み取るステップと、
照射領域制御部が、前記表面読取部で読み取られた前記測定対象の表面の形状に基づいて、前記検査対象領域の範囲を設定するステップと、
前記測定対象に照射して超音波を発生させるための前記送信用レーザ光を送信用光源が発振するステップと、
前記測定対象に照射して前記超音波で計測を行うための前記受信用レーザ光を受信用光源が発振するステップと、
干渉計測部が、前記受信用レーザ光を前記測定対象に照射したときに反射する戻り光を干渉計測して超音波信号を抽出するステップと、
評価部が、前記超音波信号に基づいて、前記検査対象領域の範囲に存在する欠陥の少なくとも大きさを評価するステップと、
を含み、
前記照射領域制御部は、前記送信用レーザ光と前記受信用レーザ光のそれぞれのスポット径の少なくとも一方を、前記欠陥が有ると予測される前記検査対象領域の範囲よりも拡張し、かつ、前記検査対象領域の全域がこの少なくとも一方のスポット径内に存在するように制御する、
超音波検査方法。 - 照射領域制御部が、検査の対象となる検査対象領域の範囲を設定するステップと、
前記検査対象領域を有する測定対象に照射して超音波を発生させるための送信用レーザ光を送信用光源が発振するステップと、
前記測定対象に照射して前記超音波で計測を行うための受信用レーザ光を受信用光源が発振するステップと、
前記送信用レーザ光と前記受信用レーザ光の一方の照射領域が、拡張されていない照射スポットであり、走査部が、前記照射スポットを移動させるステップと、
干渉計測部が、前記受信用レーザ光を前記測定対象に照射したときに反射する戻り光を干渉計測して超音波信号を抽出するステップと、
評価部が、前記超音波信号に基づいて、前記検査対象領域の範囲に存在する欠陥の少なくとも大きさを評価するステップと、
を含み、
前記照射領域制御部は、前記送信用レーザ光と前記受信用レーザ光の他方のスポット径を、前記欠陥が有ると予測される前記検査対象領域の範囲よりも拡張し、かつ、前記検査対象領域の全域がこの他方のスポット径内に存在するように制御する、
超音波検査方法。
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