JP2018520337A - 広視野顕微鏡を用いて試料の空間分解された高さ情報を確定するための方法および広視野顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
Description
一般に、本発明にしたがった方法および顕微鏡の、i回目の測定工程における強度信号は、次式により取得される。
P(x,y,λ’):場合によりx、y座標の関数でもある、光源およびデバイスのスペクトル特性
R(x,y,λ’):試料のスペクトル反射率
Ti(x,y,λ’):i回目の測定工程におけるフィルタ関数またはスペクトル分布、もしくは色変調(ビーム・スプリッタ等々も含む)
gλmax(λmax−λ’):λmaxをパラメータとする、デバイス・スペクトル応答関数
λmax=λ[z(x,y)]:高さ関数にしたがった、x、y地点における最大反射波長
z(x,y):試料の高さ関数
ここで求められるのは、調査対象である試料に関する高さ関数z(x,y)である。共焦点または準共焦点検出は、特に関数gλmax(λmax−λ)で表される。この波長に関するパラメータ表示は、色偏差(chromatische Ablage)の性状に応じて、この関数がスペクトル変動することを示唆するものである。さらなる考察のために、便宜上、このパラメータ表示は無視できるものであって、この関数gが、0であるときに局在化するデルタ関数であると仮定する。すると上の式は簡素化されて次式となる。
さらにもう1つの特殊なケースにおいては、互いに対してスペクトルがオフセットされている2つのバンド経路フィルタが、励起経路および/または検出経路内で使用されるようになっている。ここでも検出経路内では、シーケンシャル配列以外にも、パラレル配列とすることができる。パラレル式配列の一例として、それぞれ2つのカラー・チャネルを選択できるバイエル(Bayer)・パターンの色カメラが使用されるようになっている。
以下では、図面に基づき本発明の様々な好ましい実施形態を詳細に解説する。
図3においては、図2と比較すると、カラー・スプリッタがビーム・スプリッタ23に置き換えられているが、このビーム・スプリッタ23は、最初は波長に依存したフィルタリングをもたらさないようになっている。いずれにせよこれは、チャネルIにおいて、フィルタ24により成就されることになる。オプションとして、チャネルIIにもフィルタ26が配置されるようにしてもよい(その場合はT2が定常とはならないだろう;フィルタ26が1つもない場合は、T2が定常となるだろう)。
高さの決定に関する感度の向上を達成するためには、照射経路内でも、また検出経路内でも、フィルタ関数を適用するとともに、異なるフィルタ関数を用いて何回かの測定を実行すると、時には有益であるかもしれない。
さらにもう1つの変形例においては、構造4が丸ごとなくなり、それぞれの局所的な画像領域に関してだけ、鮮明度と波長の関係を示す鮮明度関数が1つずつ算定される。これは、例えばエム・ラールフェス(M.Rahlves)、ジェイ・ゼーヴィッヒ(J.Seewig)、「技術的表面の光学測定(Optisches Messen technischer Oberflaechen」、ボイト出版有限会社(Beuth Verlag GmbH)、ベルリン、2009に記載されるような、フォーカス・バリエーション(焦点移動法)に当該している。十分に構造化された試料の場合は、様々な高さ情報を獲得するために、これでも充分である。
図8から10には、照射ビーム経路内で様々なフィルタ関数もしくは異なるスペクトル分布を導入するための、様々な可能性のある変形構成形態が示される。
さらにもう1つの有利な変形構成形態を、図10は再現している。ここでは、それぞれのスペクトル特性に関して異なっている、2種類の異なる照射源51、52が導入される。ビーム結合素子53は、今では純粋なビーム・コンバイナとして実施されている。そのスペクトル特性により、所望されるフィルタ関数が既にもたらされることになる。例えば照射源51、52のスペクトルは、互いに対して僅かにオフセットされた、ガウス波形であるとよい。その場合は、これらの照射源51、52の内それぞれいずれか一方に結合されて行われる2回の測定工程の強度比から、即座に波長を導出することができる。
02 選別素子
03 偏向ユニット
04 構造化素子
05 −
06 軸上色収差を誘発する素子
07 対物レンズ
08 色分割
09 光ファイバ
10 −
11 コリメータ・レンズ
12 ビーム・スプリッタ
13 ビーム・スプリッタ
14 試料
15 −
16 λ/4プレート
17 検出器ユニット
18 偏光フィルタ
19 カラー・スプリッタ
20 −
21 撮像光学系
22 カメラ
23 ビーム・スプリッタ
24 フィルタ
25 −
26 フィルタ
27 切替素子
28 チップ・スプリッタ
29 −
30 −
31 ディスク
32 ミラー構造
33 第1の検出器ユニット
34 第2の検出器ユニット
35 −
41 ピンホール・アレイ
42 スキャナ・ユニット
43 干渉計
44 切替素子
45 −
46 フィルタ
47 フィルタ
48 ビーム結合素子
49 −
50 −
51 照射源
52 照射源
53 ビーム結合素子
A 視野面
Z 視野面
Claims (12)
- 広視野顕微鏡を用いて試料(14)の空間分解された高さ情報を確定するための方法であって、
任意の広帯域照射源(1)を用いて、該試料(14)を照射ビーム経路内で照射する工程と、
該照射ビーム経路または検出ビーム経路を色変調する工程と、
該検出ビーム経路内の該試料から反射または放射されたクロマティック共焦点成分を有する試料光から、少なくとも1つの広視野画像を取り込む工程と、
該広視野画像から、該検出ビーム経路のクロマティック共焦点成分と該色変調との関係を評価することによって、該試料の様々な高さ情報をピクセルごとに確定する工程と、を備える方法。 - 第1の色変調設定を用いて第1の画像を取り込む工程と、
該第1の画像の取込みと同時に、または時間をずらして、第2の色変調設定を用いて第2の画像を取り込む工程と、
それぞれの画素に関して、両方の画像の強度信号の比を確定する工程と、
それぞれの画素に関して、前記試料(14)の高さ値z(x,y)を決定する工程と、をさらに備える請求項1に記載の方法。 - 前記強度信号が、
ここで、P(x,y,λ’)は、光源およびデバイスのいずれか1つのスペクトル特性であり、
R(x,y,λ’)は、前記試料のスペクトル反射率であり、
Ti(x,y,λ’)は、前記色変調であり、
gλmax(λmax−λ)は、λmaxをパラメータとするデバイス・スペクトル応答関数であり、
λmax=λ[z(x,y)]は、高さ関数にしたがった任意の地点x,yにおける最大反射波長であり、
z(x,y)は、該試料の該高さ関数である、請求項2に記載の方法。 - それぞれの画素に関する両方の画像の強度信号の比は、
- 前記照射ビーム経路の色変調は、フィルタを該照射ビーム経路内に、または観察ビーム経路内にシーケンシャル方式で切り替えることにより実施される、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の方法。
- 第1の広視野画像および第2の広視野画像の取込みは、2つの別々の検出チャネルで実施される、請求項2乃至5のいずれか1項に記載の方法。
- 広視野顕微鏡であって、
照射ビーム経路内に配置されている照射源(1,52,53)と、
試料面(P)内で照射される試料(14)の観察ビーム経路内の広視野画像を捕捉する第1の検出器(17,33)と、
該照射ビーム経路または該観察ビーム経路の試料面(P)に対して垂直な方向への色変調のための変調器と、
該広視野画像のそれぞれの画素内のクロマティック共焦点高さ情報を算定する評価ユニットと、を備える広視野顕微鏡。 - 前記第1の検出器と同じ種類の第2の検出器をさらに備える請求項7に記載の広視野顕微鏡。
- 前記第1および第2の検出器の間にビーム・スプリッタが配置され、
複数の観察ビーム経路のうちのいずれか1つに、変調器として、波長依存型フィルタが配置されている、請求項8に記載の広視野顕微鏡。 - 前記観察ビーム経路内の第1の検出器が、クロマティック共焦点成分捕捉機構に後置され、
前記第2の検出器が、前記観察ビーム経路内の焦点外れの成分を捕捉するように配置されている、請求項8に記載の広視野顕微鏡。 - 前記照射ビーム経路内に、切替素子が配置されている、請求項7に記載の広視野顕微鏡。
- 色変調器が、フィルタである、請求項7乃至11のいずれか1項に記載の広視野顕微鏡。
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