JP6362498B2 - 微視的標本を検査するための光学顕微鏡および顕微鏡方法 - Google Patents
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Description
例えばナノプロフィロメトリなどで、この横方向領域に関する測定された光強度から横方向領域に関する高さ情報が導出される強度判定、および/または、この横方向領域に関する求められたイメージシャープネスから横方向領域に関する高さ情報が導出されるシャープネス判定。
Claims (16)
- 微視的標本(50)を検査する顕微鏡方法であって、
照射光(11)が、光源装置(10)で前記標本(50)に放射され、
前記標本(50)から来る標本光(55)が、光結像手段(39、40)で検出器ユニット(30)に誘導され、
前記標本光(55)が前記検出器ユニット(30)で測定されて、標本記録が生成され、
前記標本(50)のそれぞれの複数の横方向領域(x1−x4)についての高さ情報が、各標本記録から得られ、
各標本記録の前記高さ情報が、それぞれの高さ測定範囲(4、5)に限定され、異なる標本記録の前記高さ測定範囲(4、5)が互いに異なり、
全体イメージが前記標本記録から計算され、前記全体イメージで、前記異なる標本記録の高さ情報が一緒にされる、顕微鏡方法において、
前記異なる標本記録の前記高さ測定範囲(4、5)が互いに重複するような高さで標本記録が記録されること、
共通の横方向領域(x3)が、2つのそれぞれの標本記録で識別され、前記共通の横方向領域(x3)についてどちらの標本記録でも高さ情報を得ることのできること、および
前記異なる標本記録の高さ情報間のリンクが、少なくとも1つの前記共通の横方向領域(x3)に関する異なる標本記録の前記高さ情報に基づいて求められること、
を含み、
高さがそれぞれの前記高さ測定範囲(4;5)内にある横方向領域(x1、x3;x2、x3)が求められ、各標本記録について選択され、
これらの選択された前記横方向領域(x1、x3;x2、x3)の前記高さ情報だけが使用されて、前記全体イメージが計算される、
ことを特徴とする顕微鏡方法。 - 微視的標本(50)を検査する顕微鏡方法であって、
照射光(11)が、光源装置(10)で前記標本(50)に放射され、
前記標本(50)から来る標本光(55)が、光結像手段(39、40)で検出器ユニット(30)に誘導され、
前記標本光(55)が前記検出器ユニット(30)で測定されて、標本記録が生成され、
前記標本(50)のそれぞれの複数の横方向領域(x1−x4)についての高さ情報が、各標本記録から得られ、
各標本記録の前記高さ情報が、それぞれの高さ測定範囲(4、5)に限定され、異なる標本記録の前記高さ測定範囲(4、5)が互いに異なり、
全体イメージが前記標本記録から計算され、前記全体イメージで、前記異なる標本記録の高さ情報が一緒にされる、顕微鏡方法において、
前記異なる標本記録の前記高さ測定範囲(4、5)が互いに重複するような高さで標本記録が記録されること、
共通の横方向領域(x3)が、2つのそれぞれの標本記録で識別され、前記共通の横方向領域(x3)についてどちらの標本記録でも高さ情報を得ることのできること、および
前記異なる標本記録の高さ情報間のリンクが、少なくとも1つの前記共通の横方向領域(x3)に関する異なる標本記録の前記高さ情報に基づいて求められること、
を含み、
複数の共通の横方向領域(x3、x4)の前記高さ情報を使用して前記高さ情報の前記リンクを求めるとき、前記複数の共通の横方向領域(x3、x4)に関する前記高さ情報が別々に重み付けされる、
ことを特徴とする顕微鏡方法。 - 請求項1又は請求項2に記載の顕微鏡方法であって、
1つの同一の高さ値が、2つの標本記録のこれらの前記共通の横方向領域(x3)のそれぞれに割り当てられる、
ことを特徴とする顕微鏡方法。 - 請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の顕微鏡方法であって、
2つの標本記録の前記高さ測定範囲(4、5)間の高さオフセットが、前記共通の横方向領域(x3)に関するこれらの標本記録の前記高さ情報間の差を計算し、これらの2つの標本記録の一方の前記高さ情報を前記高さオフセットだけ変位させることによって計算され、
これらの2つの標本記録の高さ情報がリンクされる、
ことを特徴とする顕微鏡方法。 - 請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の顕微鏡方法であって、
複数の共通の横方向領域(x3、x4)が2つの標本記録で識別されるケースで、すべての前記共通の横方向領域(x3、x4)の前記高さ情報が使用されて残りの横方向領域(x1、x2)の前記高さ情報の前記リンクが求められ、前記残りの横方向領域(x1、x2)について、高さ情報を前記2つの標本記録の一方のみで得ることのできる、
ことを特徴とする顕微鏡方法。 - 請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の顕微鏡方法であって、
前記横方向領域(x1、x2、x3、x4)のうちの1つの前記高さ情報が、各標本記録で基準点として固定され、
異なる横方向領域(x1、x2、x3、x4)に関する標本記録で得られる前記高さ情報が、この標本記録の前記基準点に対する相対的高さとして表現され、
2つの標本記録内の前記共通の横方向領域(x3)の少なくとも1つについて、前記2つの標本記録内のこの横方向領域(x3)について求められた2つの相対的高さ間の差が求められ、
求められた差で高さオフセットが求められ、
前記2つの標本記録の前記高さ情報をリンクするために、これらの標本記録のうちの1つの前記相対的高さが、前記高さオフセットだけ変更される、
ことを特徴とする顕微鏡方法。 - 請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の顕微鏡方法であって、
高さ走査が実施され、前記高さ走査の間に、前記標本(50)の前記高さ範囲が各標本記録について調節され、前記標本光(55)が前記標本(50)から前記検出器ユニット(30)に対して誘導される、
ことを特徴とする顕微鏡方法。 - 請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の顕微鏡方法であって、
高さ情報を符号化するために光結像手段(33)が設けられ、前記光結像手段(33)が、前記光源装置(10)の点が前記標本(50)の横方向領域(x1−x4)上に結像され、または前記標本(50)の横方向領域(x1−x4)が検出器ユニット(30)上に結像される形がそれぞれの前記横方向領域(x1−x4)の前記高さに依存するような点結像機能を有し、
前記複数の結像される横方向領域(x1−x4)のそれぞれの形が、前記検出器ユニット(30)で記録される標本記録で求められ、
それぞれの前記横方向領域(x1−x4)の高さ情報が、前記形から導出される、
ことを特徴とする顕微鏡方法。 - 請求項1から請求項8のいずれか一項に記載の顕微鏡方法であって、
前記高さ情報が、
横方向領域(x1−x4)に関する高さ情報が、この横方向領域(x1−x4)に関する測定された光強度から導出される強度決定、および/または、
横方向領域(x1−x4)に関する高さ情報が、この横方向領域(x1−x4)に関して求められたイメージシャープネスから導出されるシャープネス決定、
によって標本記録から得られる、
ことを特徴とする顕微鏡方法。 - 請求項1から請求項9のいずれか一項に記載の顕微鏡方法であって、
照射光(11)の焦点面が波長依存である色共焦点標本検査または白色光干渉法が実施され、標本記録が生成され、前記標本記録から高さ情報を得ることができる、
ことを特徴とする光学顕方法。 - 微視的標本を検査するための光学顕微鏡であって、
標本(50)に照射光(11)を放射する光源装置(10)と、
前記標本(50)に前記照射光(11)を誘導し、前記標本(50)から来る標本光(55)を誘導する光結像手段(12、20、33、40)と、
前記標本光(55)を測定して複数の標本記録を生成する検出器ユニット(30)と、
各標本記録から前記標本(50)のそれぞれの複数の横方向領域(x1−x4)に関する高さ情報を得るように設計された電子制御および評価手段と、を有し、
各標本記録の前記高さ情報が、それぞれの高さ測定範囲(4、5)に限定され、異なる標本記録の前記高さ測定範囲(4、5)が互いに異なり、
前記電子制御および評価手段がさらに、前記標本記録から全体イメージを計算するように設計され、前記全体イメージ内で、前記異なる標本記録の全体イメージ高さ情報が一緒にされる、光学顕微鏡において、
前記電子制御および評価手段が、
前記異なる標本記録の前記高さ測定範囲(4、5)が互いに重複するような高さで標本記録を記録し、
2つのそれぞれの標本記録で、それについてどちらの標本記録でも高さ情報を得ることのできる共通の横方向領域(x3)を識別し、
少なくとも1つの前記共通の横方向領域(x3)に関する前記異なる標本記録の前記高さ情報に基づいて、前記異なる標本記録の前記高さ情報のリンクを求める、
ように適合され、
高さがそれぞれの前記高さ測定範囲(4、5)内にある横方向領域(x1、x3;x2、x3)が求められ、各標本記録について選択され、
これらの選択された前記横方向領域(x1、x3;x2、x3)の前記高さ情報だけが使用されて、前記全体イメージが計算される、
ことを特徴とする光学顕微鏡。 - 請求項11に記載の光学顕微鏡であって、
前記光結像手段(12、20、33、40)、前記光源装置(10)、および前記検出器ユニット(30)が、前記標本(50)、前記光結像手段(12、20、33、40)、または前記検出器ユニット(30)の機械的移動なしに、各標本記録について少なくとも2つの標本イメージをそれぞれ記録することができるように設計され、前記2つの標本イメージの前記記録について、
少なくとも2つの光スポットパターンが、前記光源装置(10)および前記光結像手段(12、20、33、40)で異なる標本平面(51、52)に集束され、および/または、
少なくとも2つの前記異なる標本平面(51、52)のイメージが、前記光結像手段(12、20、33、40)および前記検出器ユニット(30)で生成され、別々に測定される、
ことを特徴とする光学顕微鏡。 - 請求項12に記載の光学顕微鏡であって、
前記標本(50)と前記検出器ユニット(30)との間にビーム分割手段(39)が設けられ、前記ビーム分割手段(39)で、前記標本光(55)が少なくとも2つの空間的に異なる検出光路に分割され、
前記検出器ユニット(30)が、前記異なる検出光路のそれぞれについて検出器領域を備え、
前記異なる標本平面(51、52)が、前記異なる検出器領域上に結像される、
ことを特徴とする光学顕微鏡。 - 請求項13に記載の光学顕微鏡であって、
前記異なる検出器領域が、前記検出器ユニット(30)の共有カメラ(31)の異なる部分である、
ことを特徴とする光学顕微鏡。 - 請求項13又は請求項14に記載の光学顕微鏡であって、
前記光源装置(10)および前記光結像手段(12、20、33、40)で前記異なる標本平面(51、52)に集束される前記2つの光スポットパターンの光特性が異なり、
前記標本光(55)を、その光特性に応じて前記ビーム分割手段(39)で異なる光路上に誘導することができ、
前記検出器ユニット(30)で、異なる光路のそれぞれで標本イメージを測定することができる、
ことを特徴とする光学顕微鏡。 - 請求項11から請求項15のいずれか一項に記載の光学顕微鏡であって、
前記光源装置(10)が、異なる標本平面(51、52)上に光スポットパターンを集束させる第1の光源ユニットおよび第2の光源ユニットを備え、前記第1の光源ユニットが、第1の標本平面(51)に光学的に結合される平面内に配置され、前記第2の光源ユニットが、第2の標本平面(52)に光学的に結合される平面内に配置される、
ことを特徴とする光学顕微鏡。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102013016368.4 | 2013-09-30 | ||
DE102013016368.4A DE102013016368B4 (de) | 2013-09-30 | 2013-09-30 | Lichtmikroskop und Mikroskopieverfahren zum Untersuchen einer mikroskopischen Probe |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015072472A JP2015072472A (ja) | 2015-04-16 |
JP6362498B2 true JP6362498B2 (ja) | 2018-07-25 |
Family
ID=51869276
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014198157A Active JP6362498B2 (ja) | 2013-09-30 | 2014-09-29 | 微視的標本を検査するための光学顕微鏡および顕微鏡方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9410794B2 (ja) |
JP (1) | JP6362498B2 (ja) |
CN (1) | CN104515469B (ja) |
DE (1) | DE102013016368B4 (ja) |
GB (1) | GB2520158B (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102243137B (zh) * | 2011-06-21 | 2013-04-10 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 光束整形元件光学性能的检测装置和检测方法 |
CN107209356B (zh) * | 2014-12-09 | 2020-07-17 | 阿森提斯股份有限公司 | 用于高度和厚度的非接触式测量的集成光学器件 |
JP6671938B2 (ja) * | 2014-12-16 | 2020-03-25 | キヤノン株式会社 | 表面形状測定装置、欠陥判定装置、および表面形状の測定方法 |
DE102015210016A1 (de) * | 2015-06-01 | 2016-12-01 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Verfahren zum Ermitteln einer ortsaufgelösten Höheninformation einer Probe mit einem Weitfeldmikroskop und Weitfeldmikroskop |
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CH712734A1 (de) * | 2016-07-22 | 2018-01-31 | Tecan Trading Ag | Erkennungsvorrichtung und -verfahren zum Erkennen von Kennzeichen an und/oder Merkmalen von Laborobjekten. |
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JP7408265B2 (ja) * | 2017-06-13 | 2024-01-05 | 株式会社キーエンス | 共焦点変位計 |
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US10866092B2 (en) | 2018-07-24 | 2020-12-15 | Kla-Tencor Corporation | Chromatic confocal area sensor |
CN109141825B (zh) * | 2018-09-13 | 2019-07-02 | 西华大学 | 亚波长光学成像器件焦距测量装置及其测量方法 |
DE102020200214A1 (de) * | 2020-01-09 | 2021-07-15 | Hochschule für angewandte Wissenschaften Kempten Körperschaft des öffentlichen Rechts | Konfokale Messvorrichtung zur 3D-Vermessung einer Objektoberfläche |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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DE10242373B4 (de) | 2002-09-12 | 2009-07-16 | Siemens Ag | Konfokaler Abstandssensor |
JP2007064802A (ja) * | 2005-08-31 | 2007-03-15 | Sunx Ltd | 光学測定装置 |
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JP5043629B2 (ja) | 2007-12-17 | 2012-10-10 | オリンパス株式会社 | レーザ走査型顕微鏡及びその表面形状の測定方法 |
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-
2013
- 2013-09-30 DE DE102013016368.4A patent/DE102013016368B4/de active Active
-
2014
- 2014-09-22 GB GB1416698.7A patent/GB2520158B/en active Active
- 2014-09-29 JP JP2014198157A patent/JP6362498B2/ja active Active
- 2014-09-29 US US14/499,344 patent/US9410794B2/en active Active
- 2014-09-30 CN CN201410521200.1A patent/CN104515469B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102013016368A1 (de) | 2015-04-02 |
GB2520158B (en) | 2018-07-04 |
CN104515469B (zh) | 2018-07-10 |
DE102013016368B4 (de) | 2024-05-16 |
GB2520158A (en) | 2015-05-13 |
GB201416698D0 (en) | 2014-11-05 |
CN104515469A (zh) | 2015-04-15 |
US20150090908A1 (en) | 2015-04-02 |
US9410794B2 (en) | 2016-08-09 |
JP2015072472A (ja) | 2015-04-16 |
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A621 | Written request for application examination |
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