JP2018508372A5 - - Google Patents

Claims (19)

1. 回転チャックであって、
   チャック前端部と、
   前記チャック前端部に向かって開口し、前記チャック前端部から後方に延びる軸受け孔と、を含み、
   前記軸受け孔は、
   周方向に延びる孔表面によって規定され、
   前記軸受け孔の中心を通って延びる孔軸を有し、
   前後方向を規定し、
   前記チャックの前記チャック前端部に近接する孔前端部及び前記孔前端部の後方の孔後端部を含み、
   前記孔表面は、
   孔直径を規定する１以上の軸当接サブ表面と、
   前記軸受け孔において、前記中心孔軸から前記１以上の軸当接サブ表面よりも遠くに窪む溝の配置と、を含み、
   前記溝の配置は、前記孔前端部及び前記孔後端部と流体連結する流路を規定し、
   前記孔後端部における環状の入口溝と、
   前記チャック前端部に向かって開口するとともに、前記チャック前端部に向かって内側に傾斜する１以上の傾斜した溝部と、
   前記環状の入口溝と前記１以上の傾斜した溝部とを接続する１以上の中間の溝であって、前記１以上の中間の溝は、前記孔表面内に内側に向かってのみ開口するか、又は、前記孔表面及び前記回転チャックの外表面の両方に向かって開口し、前記１以上の中間の溝は、前記中心孔軸に平行に延びる１以上の長手方向の溝部を含む、１以上の中間の溝と、を含み、
   前記軸受け孔は、前記溝の配置を含み、単一の一体的な構造を有する前記回転チャックの一部に形成される、回転チャック。
2. 前記１以上の傾斜した溝部は、それぞれが前方向に対して傾斜角度αで傾斜し、前記傾斜角度αは２度≦α≦２０度の範囲内である、請求項１に記載の回転チャック。
3. 前記傾斜角度αは４度≦α≦１２度の範囲内である、請求項２に記載の回転チャック。
4. 前記１以上の傾斜した溝部は、複数の傾斜した溝部であり、前記傾斜した溝部のそれぞれの前記傾斜角度αは同じである、請求項１〜３のいずれか１項に記載の回転チャック。
5. 前記溝の配置は、前記長手方向の溝部よりもより傾斜した溝部を含む、請求項１に記載の回転チャック。
6. 前記孔軸に垂直に、長手方向の溝部のそれぞれは、一定の断面積を有する、請求項１〜５のいずれか１項に記載の回転チャック。
7. 前記１以上の中間の溝は、前記孔前端部に、前記傾斜した溝部と流体連結する環状の出口溝をさらに含む、請求項１〜６のいずれか１項に記載の回転チャック。
8. 前記１以上の中間の溝は、１以上の長手方向の溝部をさらに含み、前記環状の出口溝もまた、前記１以上の長手方向の溝部と流体連結している、請求項７に記載の回転チャック。
9. 前記溝の配置は、前記長手方向の溝部よりもより傾斜した溝部を含む、請求項８に記載の回転チャック。
10. 前記孔軸に垂直に、傾斜した溝部のそれぞれは、前記チャック前端部に近接するに従って減少する断面積を有する、請求項１〜９のいずれか１項に記載の回転チャック。
11. 前記チャック前端部の端面図において、少なくとも１つの傾斜した溝部は、三日月形状を有する、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の回転チャック。
12. 前記チャック前端部において、少なくとも１つの傾斜した溝部は、最大半径寸法の中央断面領域を有するとともに、前記中央断面領域から離間するに従って断面積が減少する、前記中央断面領域に隣接する少なくとも１つの先端断面領域を有する、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の回転チャック。
13. 前記チャック前端部の端面図において、前記傾斜した溝部の少なくとも１つの最大半径寸法Ｄ_ＭＲは、次の条件を満たす範囲内である：０．１ｍｍ≦Ｄ_ＭＲ≦０．９ｍｍ、請求項１〜１２のいずれか１項に記載の回転チャック。
14. 前記傾斜した溝部の少なくとも１つの最大半径寸法Ｄ_ＭＲは、次の条件を満たす範囲内である：０．１ｍｍ≦Ｄ_ＭＲ≦０．５ｍｍ、請求項１３に記載の回転チャック。
15. 前記チャック前端部の端面図において、前記１以上の傾斜した溝部におけるそれぞれの傾斜した溝部の最大半径寸法Ｄ_ＭＲは、次の条件を満たす範囲内である：０．１ｍｍ≦Ｄ_ＭＲ≦０．９ｍｍ、請求項１〜１４のいずれか１項に記載の回転チャック。
16. 前記１以上の傾斜した溝部のそれぞれの傾斜した溝部の最大半径寸法ＤＭＲは、次の条件を満たす範囲内である：０．１ｍｍ≦Ｄ_ＭＲ≦０．５ｍｍ、請求項１５に記載の回転チャック。
17. 前記チャック前端部において、それぞれの傾斜した溝部は、仮想円と、前記傾斜した溝部及び前記軸当接サブ表面の仮想連続弧の間に規定される出口領域と、を規定する曲率半径を有し、
    前記出口領域は、前記仮想円における円の面積の２０％未満である、請求項１〜１６のいずれか１項に記載の回転チャック。
18. 前記出口領域は、前記円の面積の１０％未満である、請求項１７に記載の回転チャック。
19. 前記チャック前端部に向かって開口するとともに、これらに向かって内側に傾斜する傾斜した溝部の１つと、前記前端部と、の間に形成されるか、又は、前記傾斜した溝部と離れて形成される、１以上の外側に傾斜した溝部を含む、請求項１〜１８のいずれか１項に記載の回転チャック。