JP6882982B2 - 冷却溝の配置された回転チャック - Google Patents

Description

本出願の主題は、工具の軸（シャンク）を受け止め、保持するように構成される軸受け孔に沿って一体的に形成される溝の配置を含む回転チャックに関する。より具体的には、軸受け孔を通り回転チャックを出る流路が、工具の軸及び軸受け孔上に形成される溝の配置によってのみ規定される。

米国特許公報第２００１／０１５６３６３は、冷却溝の配置されたチャックを開示する。ある実施形態では、軸受け孔を通る冷却材の流路があり、軸受け孔は工具の軸及び溝の配置によってのみ規定される。

米国特許公報第５，３５８，３６０は、冷却溝を有するチャックを開示する。しかしながら、冷却材の流路は、工具及び溝の配置（図３）に加えて、チャックの前端部に固定的に締結された脱着可能なノズルリングの形状の特別な構成要素を含む（第２欄、全第一段落）。ノズルリング又はノズルが脱着可能であることによって、利用者が冷却材の流路を、広く多様な工具に有利に、選択的に向けられるようになると記載されている（背景技術の最終段落及び第２欄、全第五段落）。

米国特許公報第２００１／０１５６３６３号公報 米国特許公報第５，３５８、３６０号明細書

新しく改善された回転チャックを提供することが、本出願の目的である。

本出願の主題の第一の側面によれば、チャックの軸受け孔に沿って一体的に形成される溝の配置を含む回転チャックが提供される。溝の配置は、軸受け孔の前後の端部に流体連結する流路を規定する。溝の配置は、チャックのチャック前端部に向かって開口するとともに、チャック前端部の内側に向かって傾斜する一以上の斜めの溝部を含む。

脱着可能なノズルリングで少なくとも部分的に規定される流路について開示する米国特許５，３５８，３６０とは異なり、本出願の主題における回転チャックは、軸受け孔に沿って一体に形成される溝の配置を通して流路を規定することが理解されるだろう。言い換えれば、溝の配置の全ての部分は、単一の一体的な構造を有する回転チャックの部分に形成される。

本出願の主題の第二の側面によれば、チャック前端部と、このチャック前端部に向かって開口するとともにチャック前端部から後方へ延びる軸受け孔と、を含む回転チャックが提供される。軸受け孔は、円周方向に延びる孔表面によって規定され、この軸受け孔の中心を通って延び前後方向を規定する孔軸を有する。また、軸受け孔は、チャックのチャック前端部に近接する孔前端部と、孔前端部の後ろ側の孔後端部と、を有する。孔表面は、孔の直径を規定する一以上の軸当接サブ表面と、中心孔軸から一以上の軸当接サブ表面よりも遠くに軸受け孔内に窪んだ溝配置と、を有する。溝配置は、孔の前及び後端部に流体連結する流路を規定し、孔後端部の環状の入り口溝と、チャック前端部に向かって開口するとともに、チャック前端部に向かって内側に傾斜する一以上の傾斜した溝部と、環状の入り口溝及び一以上の傾斜した溝部を繋ぐ一以上の中間溝と、を有する。溝配置を含む軸受け孔は、一体的な単一構造を有する回転チャックの一部に形成される。

本出願の主題による溝配置は、例えば配置が次のようなことを促進できるために有利であることが理解されるだろう。
−一方では外向きの遠心力に反して十分に内向きに方向づけられ、他方では軸受け孔の中心に向かって十分近い位置から回転チャックより放出されるように、冷却材の流れを適切に方向づけて、必要となる傾斜した角度がさほど大きくなく、回転チャックに保持される工具に接触する際、冷却材が大きなぶれを起こさず、工具の相対的に大部分が冷却されるようにすること、及び／又は
−少ない構成要素による単純化された製造（例えば米国特許５，３５８，３６０に開示される脱着可能なノズルリングタイプには欠けている）。中間の、及びチャック前端部に向かって開口する傾斜した溝部は、いくらか製造に複雑さが要求される（標準の３度よりもより珍しい４度の自由度のマシニングセンタで構成要素を機械加工する必要があるだろう）が、この製造は、ノズルリングのような特別な構成要素を製造し組み付けることに関連するよりも困難ではないと信じられることが理解されるだろう。

そのような溝の配置は、特に硬いエンドミルで行う切削加工に特に有益であると信じられる。機械工具を非常に高い温度まで熱するインコネルのような機械加工の加工対象物の素材のために、特に有益であると信じられる。

本出願の主題の第三の側面によれば、チャックの軸受け孔に沿って一体的に形成される溝配置を有する回転チャックが提供される。溝配置は、軸受け孔の孔前端部及び孔後端部に流体連結する流路を規定する。溝配置は、チャックのチャック前端部に向かって開口するとともに、チャック前端部に向かって内側に傾斜する一以上の傾斜した溝部を含む。溝配置は、孔表面からチャックの外表面に延びる長手方向の溝部をさらに含む。言い換えれば、長手方向の溝部は、孔表面及びチャックの外表面の両方に対して開口する。

本出願の主題の第四の側面では、前述の側面に沿ったチャック及びこのチャックを保持するために構成された工具ホルダを含むチャックアセンブリが提供される。工具ホルダは、チャックを受ける工具ホルダ孔を含む。工具ホルダ孔は、チャックの外側表面で長手方向の溝部を密封する内側工具ホルダ表面を含む。

第一及び第二の側面は、ＣＮＣ工作機械によって直接保持されるように設計されたチャックであり、第三の側面は、ＣＮＣ工作機械によって保持される工具ホルダによって保持されるように設計されたチャックであることが理解されるだろう。

詳細には、第三の側面は、公知のチャック（例えば外表面まで開口する長手方向の溝部を有する円筒形のチャック）と、第一に内側傾斜した斜めの溝部がさらに形成されている点で異なる。製造時間全体の間、単に孔表面から比較的少量の材料を取り除くよりも、孔表面から外表面まで材料を取り除くのに、より多くの機械工作が必要となる。このため、予め存在するチャックを本出願の主題の有利な点を有するように変換することができる。例えば、チャックの溝の配置は、ノズルリングのような別途の構成要素を必要とすることなく一体に形成させる。工具ホルダが長手方向に沿う溝部に存在する流体を妨げるために必要となるが、そのような工具ホルダは、どのみち必要であり、標準の（修正されていない）構成要素である。よって、冷却材の流れを方向づけることが、単純化された製造で達成される。

第五の側面によれば、チャックを修正する方法が提供される。方法は、チャックのチャック前端部に、傾斜した溝部、好ましくは複数の傾斜した溝部、を削る工程を含む。

上記は要約であり、上述の側面のいずれもが、以下に述べる特徴のいずれもをさらに含んでよいことが理解されるだろう。特に、以下の特徴は、単独で又は組み合わせて、上記の側面のいずれにも適用できる。
Ａ．一以上の傾斜した溝部は、それぞれが前方向に対して傾斜角度αで傾斜し、傾斜角度αは、２度≦α≦２０度である。好ましくは、傾斜角度αは、４度≦α≦１２度である。
Ｂ．複数の傾斜した溝部を有する回転チャックにおいて、それぞれの傾斜した溝部の傾斜角度αは、同じであってよい。回転チャックが工具の選択された異なる部分を冷却するように構成されていないか、異なる寸法の工具に適用できるように構成されていた場合でも、一つの角度による製造の単純化によって、そのような不利益を埋め合わせることができる。
Ｃ．溝の配置は、長手方向の溝部よりも、より傾斜した溝部を含んでよい。相対的に小さな溝部を製造すること、そして小さな溝部がチャックの端部に配置され、それぞれが関連する長手方向の溝部を有していないことが、より単純であることが理解されるだろう。
Ｄ．一以上の中間の溝は、中心孔軸に平行に延びる一以上の長手方向の溝部を含んでよい。一以上の中間の溝は、孔表面の内側にのみ開口しているか、孔表面及び回転チャックの外側表面の両方に開口していてよい。より具体的には、中間の溝部が一以上の長手方向の溝部を含む場合、一以上の長手方向の溝部は、孔表面にのみ開口するか、又は孔表面及びチャックの外表面の両方に開口していてよい。
Ｅ．孔軸と垂直に、それぞれの長手方向の溝部は、一定の断面積を有してよい。そのような設計は、流体の流路の一部への均一な圧力を維持することができる。長手方向の溝部は、傾斜した溝部とともに「ベント」形状の流路を規定する。
Ｆ．一以上の中間の溝は、傾斜した溝部と流体連結する孔前端部にある環状の出口溝をさらに含んでよい。環状の出口溝は、一以上の長手方向の溝部と流体連結してよい。
Ｇ．環状の出口溝は、傾斜した溝部及び／又は長手方向の溝部より遠くに、孔表面に向かって放射状に外側に延びてよい。
Ｈ．溝の配置は、孔後端部における環状の入口溝をさらに含んでよい。
Ｉ．孔軸と垂直に、それぞれの傾斜した溝部は、チャック前端部に近付くに従って、断面積を減少させてよい。
Ｊ．チャック前端部において、傾斜した溝部の少なくとも一つ、又はそれぞれは、最大の半径方向寸法を有する中央断面領域を有してよい。傾斜した溝部の少なくとも一つ、又はそれぞれは、最大半径方向寸法よりも小さい半径方向寸法の断面領域を有してよい。例えば、傾斜した溝部の少なくとも一つ、又はそれぞれは、中央断面領域から離れるに従って断面積が減少する先端断面領域を含んでよい。先端断面領域は、中央断面領域と隣接していてよい。中央断面領域に対向する側に位置する二つの先端断面領域があってよい。
Ｋ．チャック前端部の端面において、傾斜した溝部の少なくとも一つ、又はそれぞれは、三日月形状を有してよい。
Ｌ．チャック前端部の端面において、傾斜した溝部の少なくとも一つ、又はそれぞれの最大半径寸法Ｄ_ＭＲは、次の条件を満たす範囲内であってよい。０．１ｍｍ≦Ｄ_ＭＲ≦０．９ｍｍ。好ましくは、傾斜した溝部の少なくとも一つ、又はそれぞれの最大半径寸法Ｄ_ＭＲは、次の条件を満たす範囲内であってよい。０．１ｍｍ≦Ｄ_ＭＲ≦０．５ｍｍ。
Ｍ．チャック前端部において、傾斜した溝部のそれぞれは、仮想円を規定する曲率半径を有してよい。傾斜した溝部のそれぞれは、傾斜した溝部と、軸当接サブ表面の仮想連続弧との間に規定される出口領域を有してよい。
出口領域は、仮想円における円の面積の２０％未満であってよい。

チャックは、一以上の外側に向かう傾斜した溝部を有してよい。外側に向かう傾斜した溝部の一つ又はそれぞれは、チャック前端部に向かって開口するとともに、チャック前端部に向かって外側に傾斜してよい。

外側に向かう傾斜した溝部は、内側に向かう傾斜した溝部とチャック前端部との間に形成されてよい。代替的に、外側に向かう傾斜した溝部は、環状の出口溝とチャック前端部との間に形成されてよい。

外側に向かう傾斜した溝部のそれぞれは、前方向に対して外側に向かう傾斜角度βで傾斜していてよい。傾斜した溝部のそれぞれの外側に向かう傾斜角度βは、５度≦β≦６０度の範囲内であってよい。好ましくは、外側に向かう傾斜角度βは、１０度≦β≦４０度の範囲内である。理論に束縛されずに、２５度に近い値でよい結果が得られる。

チャックは、内側に向かって傾斜する溝部のみを含んでもよい。その選択が最もコストの効率が良い結果となる。代替的に、チャックは、内側に向かう傾斜した溝部と外側に向かう傾斜した溝部を含んでもよい。後者の場合、外側に向かう傾斜した溝部の一つ又はいくつか又は全ては、それぞれ内側に向かって傾斜する溝部とチャック前端部との間に形成されてよい。代替的に、内側に向かう傾斜した溝部及び外側に向かう傾斜した溝部は、互いに完全に分離されてよい。

理論に束縛されずに、上記規定され及び／又は三日月形状の先端の一部として規定されるような、傾斜した溝部の小さな減少した断面積によって、冷却される工具の上に有益な粒状のミストを提供できると思われる。同様に、理論に束縛されずに、上記規定され及び／又は三日月形状の中央部分のような、傾斜した溝部の十分な半径方向の寸法を有する断面領域を提供することで、有益な冷却流が、冷却される工具の上に提供されると思われる。その結果、上記規定された傾斜した溝部の形状のいくつかは、工具の上に二重のミスト及び冷却流を提供し、それが有益であると思われる。

本出願の主題のよりよい理解のため、そしてそれが実際にどのように行われるかを示すために、図面が参照されるだろう。

本出願の主題に沿ったチャックの斜視図である。 図１のチャックのチャック前端部の端面図である。 図２ＡのＩＩＢ−ＩＩＢ線の断面図である。 図２ＡのＩＩＩＡで指定された円で囲まれた部分の拡大図である。 図２ＢのＩＩＩＢで指定された部分の拡大図である。 隣接する軸当接サブ表面２４の一部を伴う、図３Ａにおける傾斜した溝部の拡大した概略図である。 図２Ｂに示されるチャックの断面図であり、予めセットされたねじ、工具、冷却材の流れとともに、加工対象物を加工する概略的なアセンブリをさらに含む。 本出願の主題に沿った他のチャックの拡大した部分を示し、図３Ａに類似した図である。 図５ＡにおけるチャックのＶＢ−ＶＢ線の側面図及び部分断面図である。 図５ＢのＶＣで指定された部分の拡大図である 本出願の主題に沿った他のチャック及び工具ホルダの展開図である。

回転軸ＡＲの周りを回転するように構成された回転チャック１０を示す図１〜２Ｂを参照する。

回転チャック１０は、対向するチャック前端部１２及びチャック後端部１４を含んでよい。

回転チャック１０は、チャック前端部１２に向かって開口するとともに、チャック前端部１２から後方へ延びる軸受け孔１６を含んでよい。

軸受け孔１６は、円周方向に延びる孔表面１８によって規定されてよい。

軸受け孔１６は、回転軸Ａ_Ｒと同軸の孔軸Ａ_Ｂを有してよい。

孔軸Ａ_Ｂは軸受け孔１６の中心を通って延び、前方向Ｄ_Ｆ及び後方向Ｄ_Ｒを規定する。

軸受け孔１６は、チャック前端部１２に近接する孔前端部２０と、孔前端部２０の後方の孔後端部２２とを含んでよい。

孔表面１８は、一以上の軸当接サブ表面２４を含み、孔径Ｄ_Ｂ（図３Ａ参照）を規定する。

孔表面１８は、一以上の軸当接サブ表面２４よりも遠ざかるように軸受け孔１６内で窪む溝配置２６を含んでよい。

溝配置２６は、孔前端部２０及び孔後端部２２と流体連結する流路２８（図４参照）を規定する。

溝配置２６は、孔後端部２２にある環状の入口溝３０を含んでよい。

溝配置２６は、チャック前端部１２に向かって開口するとともに、チャック前端部１２に向かって内側に傾斜する一以上の傾斜した溝部３２を含む。図３Ａに最もよく示されるこの例では周方向に均等に間を空けた６本の傾斜した溝部３２（３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃ、３２Ｄ、３２Ｅ、３２Ｆ）がある。

傾斜は、前方向に対して傾斜角度α（図３Ｂ参照）であってよい。この例では、傾斜した溝部のそれぞれの傾斜角度αは、１０度である。

溝配置２６は、中間の溝３６をも含む。

中間の溝３６は、中心孔軸Ａ_Ｂと平行に延びる一以上の長手方向の溝部３８及び、環状の出口溝４０を含む。

図３Ｂの断面図にみられるように、環状の出口溝４０は、傾斜した溝部３２及び長手方向の溝部３８から半径方向外側に延びる。

本例では、三本の周方向に均等に間を空けた長手方向の溝部３８（３８Ａ、３８Ｂ、３８Ｃ）がある。

長手方向の溝部のそれぞれは、一定の断面積を有してよい。詳細には、本例では、長手方向の溝部３８（３８Ａ、３８Ｂ、３８Ｃ）のそれぞれは、一定の断面積の特徴を含めて、同一の構造を有する。従って、図２Ｂに示されるように、第１及び第２の長手方向の溝部３８Ａ、３８Ｂの側面図及び正面図があり、二つの視点から一つの長手方向の溝部を見たら、同じであるということが理解されるだろう。示されるように、長手方向の溝部３８Ａ、３８Ｂのそれぞれの断面は、環状の入口溝３４から環状の出口溝４０まで一定である。

本例における傾斜した溝部３２のそれぞれは、同一の構成を有するので、同一の傾斜した溝部が共有するそれぞれのサブ要素に関して同一の参照符号とともに、第１及び第２の傾斜した溝部３２Ａ、３２Ｂについてのみ詳細に述べられる。

図３Ａ〜３Ｃを参照すると、第１の傾斜した溝部３２Ａは、環状の出口溝４０に流体連結するが、そこから後方向Ｄ_Ｒに延びる長手方向の溝部はないことが示される。

また、チャック前端部１２では、第１の傾斜した溝部３２Ａは、内側方向Ｄ_Ｉ、すなわち孔に向かって開口する円弧状の縁４２Ａを有することが示される。表れていなくても、長手方向の溝部３８もまた、内側方向Ｄ_Ｉに向かって開口する円弧状の縁を有することが理解されるだろう。好ましくは、しかし選択的に、孔軸Ａ_Ｂ（例えば図３）に対して垂直に、傾斜した溝部の円弧状の縁は、長手方向の溝部３８の溝部の円弧状の縁よりも狭いことが理解されるだろう。いずれにしても、両方とも切削（例えばミルの硬い端部を移動させて孔軸Ａ_Ｂに対して傾斜させ、孔軸Ａ_Ｂに平行な経路に沿って）することで単純かつ効率的に製造される円弧状の縁であってよい。

一般的に言えば、詳細な説明とクレームのために、例えば傾斜した溝部のような溝の配置の部分の断面積は、孔の直径に対応する直径を有する工具の軸によって範囲を定められることが参考にされる。図３Ａに示す工具の軸がなくとも、そのように範囲を定めることは、軸当接サブ表面２４の仮想上の連続する弧によって構成されることが理解されるだろう。

例えば、図３Ａ及び３Ｃの端面図に示される、第１の傾斜した溝部３２Ａの三日月形状の断面領域４２Ｂ（出口領域ＯＡとも呼ばれる）は、円弧状の縁４２Ａ及び仮想の連続する弧４２Ｃによって範囲を定められる。弧４２Ｃは、軸当接サブ表面２４に似て、孔の直径Ｄ_Ｂで延在する。仮想の連続する弧４２Ｃは、工具の軸（図４）が軸受け孔１６に挿入されたときに、チャック前端部１２における第１の傾斜した溝部３２Ａの断面領域４２Ｂとともに、第１の傾斜した溝部３２Ａの境界を表す。

断面領域４２Ｂの中央部４２Ｄにおいて、第１の傾斜した溝部３２Ａは、最大（すなわち最も大きい）半径寸法Ｄ_ＭＲを有する。断面の先端４２Ｅ、４２Ｆは、中央部４２Ｄのどちらの側に配置されていてもよく、この例では両側に位置している。それぞれの断面の先端は、中央部４２Ｄから離れる距離が大きくなるに従って、断面積が減少する。例えば、第１及び第２の先端半径寸法Ｄ_Ｅ１、Ｄ_Ｅ２は、最大半径寸法Ｄ_ＭＲよりも小さい。

図３Ａを参照すると、第２の傾斜した溝部３２Ｂは、仮想円Ｉ_Ｃを規定する曲率半径Ｒｓを有してよい。出口領域Ｏ_Ａは、傾斜した溝部３２Ｂの間に規定されるか、例えば示されている形状についてより正確には、円弧状の縁４２Ａと、仮想連続弧４２Ｃとの間に規定されてよい。この例における出口領域は、円形領域Ｃ_Ａの約６％である。

ここで図３Ｂを参照して、傾斜した溝部３２は、チャック前端部１２に近接するに従って減少する断面積を有することがわかる。例えば、傾斜した溝部３２Ａの４４Ａの地点は、４４Ｂの地点よりも広い。

再び図３Ｂを参照すると、一以上の傾斜した溝部（例えば、傾斜した溝部３２Ａ）は、軸方向における全ての長手方向の溝部と同一直線状にはない。

図４を参照するとまた、例えば硬いエンドミルである工具４６が、例えばインコネルで製造された加工対象物４８を機械加工することが概略的に示されている。

工具４６は、孔軸Ｄ_Ｂに対応する軸直径を有する軸４７を有する。

工具４６は、軸方向の位置を決定する予めセットされたねじ５０に当接する。

操作の間、冷却材５２は以下の流路２８をたどる。軸受け孔１６の後方の回転チャック１０の一部から、流路２８Ａの第１の部分が軸受け孔１６へ、より具体的には管状の入口溝３４に延びる。環状の入口溝３４から流路２８Ｂの第２の部分が長手方向の溝部３８に続く。長手方向の溝部３８から流路２８Ｃの第３の部分が環状の出口溝４０に続く。そして環状の出口溝４０から流路２８Ｄの第４の部分が傾斜した溝部３２に続く。

傾斜した溝部３２から、工具４６の長さに沿って連続する一以上の流れ５２Ａとして、工具４６の上に冷却材５２が噴射され、粒状のミスト５２Ｂが水玉として概略的に示されるように形成される。

回転軸Ａ_Ｒの周りを回転するように構成された、他の回転チャック１００を示す図５Ａから図５Ｃを参照する。

回転チャック１００は、上述した通りチャック１０と同じ全ての特徴を備えており、溝の配置１２６が、チャック前端部１１２に向かって開口するとともにチャック前端部１１２に向かって外側に傾斜する、一以上の外側に向かって傾斜する溝部１０２（１０２Ａ、１０２Ｂ、１０２Ｃ、１０２Ｄ、１０２Ｅ、１０２Ｆ）を含む点で主に異なっていると考えられる。

外側に向かって傾斜する溝部１０２のそれぞれは、前方向に対して傾斜角度βで傾斜してよい。この例では、傾斜部のそれぞれの傾斜角度βは、２５度である。

その結果、追加的な、外側に向かって傾斜する溝部１０２が、切りくずを排出するのを補助するために、矢印１０６で概略的に示される追加的な冷却材の流れを提供する一方で、内側に傾斜した溝部１３２が、工具の矢印１０４で概略的に示される冷却材の流れを提供できることがわかった。

外側に向かって傾斜する溝部１０２は、内側に向かって傾斜する溝部１３２とチャック前端部１１２の間に形成されてよい。

代替的に、内側及び外側に向かって傾斜する溝部は、離間して配置されてよい（すなわち周方向の周りを交互に、例えば図１〜４に示される内側に向かって傾斜する溝部３２とともに）。傾斜した溝部は、どのように組み合わされてもよい（例えば望む通りの数で混合され、離隔される）ことが理解されるだろう。

図６を参照すると、チャック２００及びチャック２００を保持するように構成された工具ホルダ２０２が例示されている。

チャック２００は、先に述べたチャック１０、１００とは異なるタイプであり、ＣＮＣ機械によって直接保持されるように構成されるのではなく、ＣＮＣ機械（図示せず）によって同様に保持される工具ホルダ２０２によって保持されるように構成されている。

チャック２００は、チャック前端部２１２において一以上の傾斜した溝部２３２を含む点で（先述のチャック１０、１００と同様に）、公知のチャックと主に異なっている。傾斜した溝部２３２は、上述のどのタイプでもよい（内側に向かって傾斜した、外側に向かって傾斜した、又は内側と外側に向かって傾斜することの組み合わせ）ことが理解されるだろう。

公知のチャックの溝の配置の端部に、単に傾斜した溝部を提供して（例えば簡単な切削操作によって）変更することが有益であると理解されるだろう。

とりわけ、そのような傾斜した溝部は、孔表面２１８から外側表面２０４まで延びる長手方向の溝部２３８（すなわち、長手方向の溝部２３８は、孔表面２１８及び外側表面２０４の両方に開口している）を含むチャック２００の上にさえ提供されてもよい。このことは、工具ホルダ２０２のホルダ孔２０８の内側工具ホルダ表面２０６が、長手方向の溝部を封止するからである。

上記の記載は、例示的な実施形態及び詳細を含み、例示されていない実施形態や本出願のクレーム範囲からの詳細を排除するものではない。

Claims (19)

1. 回転チャックであって、
   チャック前端部と、
   前記チャック前端部に向かって開口し、前記チャック前端部から後方に延びる軸受け孔と、を含み、
   前記軸受け孔は、
   周方向に延びる孔表面によって規定され、
   前記軸受け孔の中心を通って延びる孔軸を有し、
   前後方向を規定し、
   前記チャックの前記チャック前端部に近接する孔前端部及び前記孔前端部の後方の孔後端部を含み、
   前記孔表面は、
   孔直径を規定する１以上の軸当接サブ表面と、
   前記軸受け孔内に形成された溝の配置と、を含み、
   前記溝の配置は、前記孔前端部及び前記孔後端部と流体連結する流路を規定し、
   前記孔後端部における環状の入口溝と、
   前記チャック前端部に向かって開口するとともに、前記チャック前端部に向かって内側に傾斜する１以上の傾斜した溝部と、
   前記環状の入口溝と前記１以上の傾斜した溝部とを接続する１以上の中間の溝であって、前記１以上の中間の溝は、前記孔表面内に内側に向かってのみ開口するか、又は、前記孔表面及び前記回転チャックの外表面の両方に向かって開口し、前記１以上の中間の溝は、前記中心孔軸に平行に延びる１以上の長手方向の溝部を含む、１以上の中間の溝と、を含み、
   前記軸受け孔は、前記溝の配置を含み、単一の一体的な構造を有する前記回転チャックの一部に形成される、回転チャック。
2. 前記１以上の傾斜した溝部は、それぞれが前方向に対して傾斜角度αで傾斜し、前記傾斜角度αは２度≦α≦２０度の範囲内である、請求項１に記載の回転チャック。
3. 前記傾斜角度αは４度≦α≦１２度の範囲内である、請求項２に記載の回転チャック。
4. 前記１以上の傾斜した溝部は、複数の傾斜した溝部であり、前記傾斜した溝部のそれぞれの前記傾斜角度αは同じである、請求項１〜３のいずれか１項に記載の回転チャック。
5. 前記溝の配置は、前記長手方向の溝部よりもより傾斜した溝部を含む、請求項１に記載の回転チャック。
6. 前記孔軸に垂直に、長手方向の溝部のそれぞれは、一定の断面積を有する、請求項１〜５のいずれか１項に記載の回転チャック。
7. 前記１以上の中間の溝は、前記孔前端部に、前記傾斜した溝部と流体連結する環状の出口溝をさらに含む、請求項１〜６のいずれか１項に記載の回転チャック。
8. 前記１以上の中間の溝は、１以上の長手方向の溝部をさらに含み、前記環状の出口溝もまた、前記１以上の長手方向の溝部と流体連結している、請求項７に記載の回転チャック。
9. 前記溝の配置は、前記長手方向の溝部よりもより傾斜した溝部を含む、請求項８に記載の回転チャック。
10. 前記孔軸に垂直に、傾斜した溝部のそれぞれは、前記チャック前端部に近接するに従って減少する断面積を有する、請求項１〜９のいずれか１項に記載の回転チャック。
11. 前記チャック前端部の端面図において、少なくとも１つの傾斜した溝部は、三日月形状を有する、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の回転チャック。
12. 前記チャック前端部において、少なくとも１つの傾斜した溝部は、最大半径寸法の中央断面領域を有するとともに、前記中央断面領域から離間するに従って断面積が減少する、前記中央断面領域に隣接する少なくとも１つの先端断面領域を有する、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の回転チャック。
13. 前記チャック前端部の端面図において、前記傾斜した溝部の少なくとも１つの最大半径寸法Ｄ_ＭＲは、次の条件を満たす範囲内である：０．１ｍｍ≦Ｄ_ＭＲ≦０．９ｍｍ、請求項１〜１２のいずれか１項に記載の回転チャック。
14. 前記傾斜した溝部の少なくとも１つの最大半径寸法Ｄ_ＭＲは、次の条件を満たす範囲内である：０．１ｍｍ≦Ｄ_ＭＲ≦０．５ｍｍ、請求項１３に記載の回転チャック。
15. 前記チャック前端部の端面図において、前記１以上の傾斜した溝部におけるそれぞれの傾斜した溝部の最大半径寸法Ｄ_ＭＲは、次の条件を満たす範囲内である：０．１ｍｍ≦Ｄ_ＭＲ≦０．９ｍｍ、請求項１〜１４のいずれか１項に記載の回転チャック。
16. 前記１以上の傾斜した溝部のそれぞれの傾斜した溝部の最大半径寸法ＤＭＲは、次の条件を満たす範囲内である：０．１ｍｍ≦Ｄ_ＭＲ≦０．５ｍｍ、請求項１５に記載の回転チャック。
17. 前記チャック前端部において、それぞれの傾斜した溝部は、仮想円と、前記傾斜した溝部及び前記軸当接サブ表面の仮想連続弧の間に規定される出口領域と、を規定する曲率半径を有し、
    前記出口領域は、前記仮想円における円の面積の２０％未満である、請求項１〜１６のいずれか１項に記載の回転チャック。
18. 前記出口領域は、前記円の面積の１０％未満である、請求項１７に記載の回転チャック。
19. 前記チャック前端部に向かって開口するとともに、これらに向かって内側に傾斜する傾斜した溝部の１つと、前記前端部と、の間に形成されるか、又は、前記傾斜した溝部と離れて形成される、１以上の外側に傾斜した溝部を含む、請求項１〜１８のいずれか１項に記載の回転チャック。

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