JP2018164032A - ワーク分割方法 - Google Patents
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Abstract
Description
拡張率Eはフレーム4にダイシングテープ3のみが貼り付けられている状態での エキスパンド工程におけるテープ径の伸び率を表す。また、ダイシングテープ3の伸びは拡張が規制されない限り、均一であると考える。例えば、350mmの距離が380mmに伸びたとすると、その拡張率Eは、
{(380/350)−1}×100=8.6%となる。
本実施形態のフレーム4の場合、拡張前の3B+3A+3Bは350mmである。 この数式でダイシングテープ3が拡張規制リング16に接触した際の拡張率をEcとする。
これは拡張規制リング16に接触した時を境にして拡張される領域が3B+3A+3Bから3F+3A+3Fに変化するためである。
拡張率速度=拡張率の単位時間当たりの上昇率
図9のグラフは、左縦軸が拡張率速度(%/sec)を示し、右縦軸が突き上げ速度(mm/sec)を示し、横軸が突き上げ量x(mm)を示し、エキスパンドリング14の突き上げ速度(mm/sec)に対する拡張率速度(%/sec)の変化が示されている。すなわち、図9の線Dが、エキスパンドリング14の突き上げ速度(%/sec)を示し、線Eが拡張率速度(%/sec)を示している。
Claims (3)
- ワークの外径よりも大きい内径を有するリング状フレームにダイシングテープの外周部が固定され、前記ダイシングテープに貼付された前記ワークを分割予定ラインに沿って個々のチップに分割するワーク分割方法であって、前記リング状フレームの内径よりも小さく、かつ前記ワークの外径よりも大きい開口部を有するリング状に形成されたエキスパンドリングを用いて、前記ダイシングテープにおける前記ワークの貼付面と反対側の裏面を前記貼付面側に突き上げるワーク分割方法において、
前記リング状フレームの内径よりも小さく、かつ前記エキスパンドリングの外径よりも大きい開口部を有するリング状に形成された拡張規制リングであって、前記開口部の径が異なる複数の前記拡張保持リングの中から選択した一つの拡張規制リングを、前記ダイシングテープにおける前記ワークの貼付面と同一側に配置する配置工程と、
前記ダイシングテープに対する前記エキスパンドリングの突き上げ量と突き上げ速度を設定する拡張分割条件設定工程と、
前記拡張分割条件設定工程によって設定された前記突き上げ量及び前記突き上げ速度で、前記ダイシングテープの裏面を前記エキスパンドリングによって突き上げて前記ダイシングテープの拡張を開始し、前記ダイシングテープの拡張の際に前記ダイシングテープを前記拡張規制リングに当接させて前記ワークを個々のチップに分割する拡張分割工程と、を備え、
前記拡張分割条件設定工程は、前記開口部の径が異なる複数の前記拡張規制リング毎に対応した拡張終了後の前記ダイシングテープの目標拡張率に基づいて前記突き上げ量を設定する、ワーク分割方法。 - 前記拡張分割条件設定工程は、前記拡張規制リングの前記開口部の径が小さくなるに従って前記突き上げ量を小さく設定する、請求項1に記載のワーク分割方法。
- 前記ダイシングテープの拡張率の単位時間当たりの上昇率を拡張率速度とした場合、前記拡張分割条件設定工程は、最大拡張率速度が前記拡張分割工程において一定時間維持されるように、前記突き上げ速度を設定する、請求項1に記載のワーク分割方法。
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