JP2018155798A - 光偏向器検査方法、光偏向器、および、画像投影装置 - Google Patents
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Abstract
Description
第1の実施形態では、パターン部(段差パターン)を用いてシリコン活性層の厚さが測定され、測定された厚さにより、光偏向器の特性値である共振周波数の異常の有無が判断(推定)される。この厚さは、例えばパッケージング工程より前に判断できるため、例えば不良品であるチップでパッケージングを行うなどの製造工程の無駄を未然に防止できる。すなわち、光偏向器をより効率的に製造可能となる。
まず、図1〜図4を参照して、本実施形態に係る駆動装置を適用した光走査システムについて詳細に説明する。
駆動装置11は、CPU20、RAM21(Random Access Memory)、ROM22(Read Only Memory)、FPGA23、外部I/F(インタフェース)24、光源装置ドライバ25、および、光偏向器ドライバ26を備えている。
次に、図3を参照して、光走査システム10の駆動装置11の機能構成について説明する。図3は、光走査システムの駆動装置の一例の機能ブロック図である。図3に示すように、駆動装置11は、機能として制御部30と駆動信号出力部31とを有する。
次に、図4を参照して、光走査システム10が被走査面15を光走査する処理について説明する。図4は、光走査システムに係る処理の一例のフローチャートである。
次に、図5および図6を参照して、本実施形態の駆動装置11を適用した画像投影装置について詳細に説明する。図5は、画像投影装置の一例であるヘッドアップディスプレイ装置500を搭載した自動車400の一例を示す概略図である。また、図6はヘッドアップディスプレイ装置500の一例を示す概略図である。
次に、図7および図8を参照して、本実施形態の駆動装置11を適用した光書込装置について詳細に説明する。図7は、光書込装置600を組み込んだ画像形成装置の一例である。また、図8は、光書込装置の一例を示す概略図である。
次に、図9および図10を参照して、本実施形態の駆動装置11を適用した物体認識装置について詳細に説明する。図9は、物体認識装置の一例であるレーザレーダ装置を搭載した自動車の概略図である。また、図10はレーザレーダ装置の一例を示す概略図である。物体認識装置は、対象方向の物体を認識する装置であり、例えばレーザレーダ装置である。
次に、図11を参照して、本実施形態の駆動装置11により制御される光偏向器13のパッケージングについて説明する。図11は、パッケージングされた光偏向器の一例を示す概略図である。
まず、図12、図13、図14を参照して、光偏向器13について詳細に説明する。図12は、2軸方向に光偏向可能な片持ちタイプの光偏向器13の平面図である。図13は、図12のP−P’断面図である。図14は図12のQ−Q’断面図である。
次に、光偏向器13の第1駆動部110a、110bおよび第2駆動部130a、130bを駆動させる駆動装置11の制御の詳細について説明する。
さらに高い効果が得られるように、段差パターン1201をトーションバー111a、111bの近傍(例えばトーションバー111a、111bからの距離が予め定められた値以下となる位置)に配置した変形例を図16および図17に示す。図16に示すように、本変形例では、シリコン活性層163による段差パターン1201が、一対のトーションバー111a、111bを挟んだ両側に配置されている。これにより、ミラーの共振周波数に寄与するトーションバー111a、111bの近傍の厚さが測定できるため、より精度の高い判別を行うことができる。
上記実施形態および変形例では、光偏向器13は図12に示すように、トーションバー111a、111bから+X方向に向かって第1圧電駆動部112a、112bが延びる片持ちタイプの光偏向器13を用いている。電圧印加された圧電部202により反射面14を可動させる構成であれば、これに限られない。
また、シリコン活性層163の厚さを測定する段差パターンを特別に設ける必要はなく、図20のようにウエハ内の位置を示すアドレス番号(ウエハアドレス番号)などを、シリコン活性層163のエッチングパターンとして設けておくことで、この部分の深さを厚さとして測定してもよい。図20では両持ちタイプの光偏向器13の例を示しているが、片持ちタイプの光偏向器13に対しても同様に適用できる。
また、最終製品で機能的に不要な形状を残したくない場合、図21のようにチップを小片化するダイシングライン部分に段差パターンを設けておくことでダイシング後には段差パターンをなくすることも可能である。図21では両持ちタイプの光偏向器13の例を示しているが、片持ちタイプの光偏向器13に対しても同様に適用できる。
第1の実施形態では、基板反転後、シリコン支持層161をエッチングし、酸化シリコン層162のエッチングをすることで、SOI基板全体が完全に抜けたパターンが形成される。ウエハ面内で酸化シリコン層162のエッチングの速度が分布を持つため、面内すべてのエッチングが完了するまでに、先に酸化シリコン層162がなくなった部分はシリコン活性層163の裏面からダメージを受け、厚さが薄くなっていく場合がある。このため、シリコン活性層163の厚さは、図15の工程フローにおける酸化シリコン層162のエッチングの際にも変動する。従って、段差パターンを用いた厚さの測定では、裏面のオーバーエッチングによる厚さ変動が反映されず、その分共振周波数のばらつきに影響する場合がある。
f=(1.875/L)2/2π√(EI/ρA) ・・・(1)
t=(L/1.875)2/(2πf)・√(12ρ/E) ・・・(2)
さらに高い効果が得られるように、カンチレバーパターン2201をトーションバー111a、111bの近傍に配置した変形例を図28および図29示す。図28に示すように、本変形例では、シリコン活性層163によるカンチレバーパターン2201が、一対のトーションバー111a、111bに隣接して配置されている。これによってミラー共振周波数に寄与するトーションバー111a、111bの近傍の厚さが求められるため、より精度の高い判別を行うことができる。
上記実施形態および変形例では、光偏向器13−2は図22および図28に示すように、トーションバー111a、111bから+X方向に向かって第1圧電駆動部112a、112bが延びる片持ちタイプの光偏向器を用いている。電圧印加された圧電部202により反射面14を可動させる構成であれば、これに限られない。
第3の実施形態では、第1の実施形態および第2の実施形態で把握した光偏向器の特性値である共振周波数が仕様範囲外であった場合、トーションバー上の保護膜をエッチングすることで共振周波数を調整可能とする。すなわち本実施形態では、共振周波数特性のばらつきの主要因を製造過程で測定(検査)して、共振周波数を事前に把握し、パッケージングの前に共振周波数を調整することで、損失を回避する。
11 駆動装置
12 光源装置
13、13−2、13−3 光偏向器
14 反射面
20 CPU
21 RAM
22 ROM
23 FPGA
24 外部I/F
25 光源装置ドライバ
26 光偏向器ドライバ
Claims (7)
- 光偏向器を検査する光偏向器検査方法であって、
前記光偏向器は、第1のシリコン層と、第2のシリコン層と、を有する基板と、前記基板上に設けられ、共振駆動を行う駆動部と、前記第2のシリコン層の厚さを測定するためのパターン部と、を備え、
前記パターン部により前記第2のシリコン層の厚さを測定する測定工程と、
前記測定工程で測定した厚さに基づき、前記共振駆動の共振周波数に異常があるか否かを判断する判断工程と、
を含む光偏向器検査方法。 - 第1のシリコン層と、第2のシリコン層と、を有する基板と、
前記基板上に設けられ、共振駆動を行う駆動部と、
前記第2のシリコン層の厚さを測定するためのパターン部と、
を備える光偏向器。 - 前記パターン部は、側面が前記第2のシリコン層であり、底面が前記第1のシリコン層である凹部である、
請求項2に記載の光偏向器。 - 前記パターン部は、前記第2のシリコン層により支持されるカンチレバーである、
請求項2に記載の光偏向器。 - 光反射面を有するミラー部と、
前記ミラー部を支持する支持部材と、をさらに備え、
前記パターン部は、前記支持部材の近傍に形成される、
請求項2に記載の光偏向器。 - 光反射面を有するミラー部と、
前記ミラー部を支持する支持部材と、
前記第2のシリコン層の厚さに応じて調整された厚さを有する、前記支持部材上に形成された保護膜と、をさらに備える、
請求項2に記載の光偏向器。 - 請求項2から請求項6のいずれか1項に記載の光偏向器と、
前記光偏向器に光を照射する光源と、
を備える画像投影装置。
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