JP2018085354A - 反転機、反転ユニット、反転方法および基板処理方法 - Google Patents
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Abstract
Description
その上に基板が載置される第1ハンドと、
前記第1ハンドに対向して配置された第2ハンドと、
前記第2ハンドを前記第1ハンドと対向する方向に沿って移動させる駆動手段と、
前記第1ハンドと前記駆動手段とが固定された固定部材と、
前記固定部材を前記第1ハンドおよび前記第2ハンドの延在方向に沿った軸線回りに回転させる回転手段と、
を備えている。
前記第1ハンドは、前記第2ハンド側に突き出るように設けられ、前記基板の端部を保持する第1ウエハガイドを有し、
前記第2ハンドは、前記第1ハンド側に突き出るように設けられ、前記基板の端部を保持する第2ウエハガイドを有していてもよい。
前記第1ウエハガイドと前記第2ウエハガイドとは、互いに重ならない位置に配置されていてもよい。
前記第1ウエハガイドおよび前記第2ウエハガイドには、それぞれ、基板の端部と点または線で接触するように内向きに傾斜した斜面が設けられていてもよい。
上記したいずれかの特徴を有する反転機と、
前記反転機を収容するチャンバと、
前記チャンバに設けられた開閉可能なシャッタと、
前記第1ハンドの上方および下方にそれぞれ設けられ、前記第1ハンド上の基板の有無を検知するセンサと、
を備える。
前記第1ハンドの上方および下方には、それぞれ、前記第1ハンド上の基板に洗浄液を供給するノズルが設けられていてもよい。
前記シャッタは、前記第1ハンドから見て周方向において異なる角度位置に配置された複数のシャッタ部材を有してもよい。
前記シャッタは、前記第1ハンドから見て周方向に延在するU字形状のシャッタ部材を有してもよい。
前記駆動手段および前記回転手段の動作を制御する制御部をさらに備え、
前記制御部は、
前記第1ハンド上に基板が載置されていることが前記センサにより検知されると、前記第1ハンドと前記第2ハンドとの間に前記基板が保持されるように、前記駆動手段により前記第2ハンドを下降させ、
前記第1ハンドと前記第2ハンドとの間に保持された前記基板が上下反転されるように、前記回転手段により前記固定部材を前記軸線回りに回転させ、
前記第2ハンドに保持された前記基板が前記第1ハンドから離間されるように、前記駆動手段により前記第2ハンドを下降させてもよい。
前記制御部は、
前記第2ハンドに保持された前記基板が前記第1ハンドから離間された後、前記第2ハンド上に基板が載置されていないことが前記センサにより検知されると、前記第1ハンドと前記第2ハンドとが一体に上下反転されるように、前記回転手段により前記固定部材を前記軸線回りに回転させてもよい。
第1ハンド上に基板を載置し、
前記第1ハンドに対向して配置された第2ハンドを駆動手段により下降させることにより、前記第1ハンドと前記第2ハンドとの間に前記基板を保持させ、
前記第1ハンドと前記駆動手段とが固定された固定部材を、前記第1ハンドおよび前記第2ハンドの延在方向に沿った軸線回りに回転させることにより、前記第1ハンドと前記第2ハンドとの間に保持された前記基板を上下反転させ、
前記第2ハンドを下降させることにより、前記第2ハンドに保持された前記基板を前記第1ハンドから離間させる。
基板の第1の面を上向きにした状態で第1処理部において前記基板に対して第1の基板処理をし、
前記第1処理部から第1ハンドまで前記基板を搬送し、
第1ハンド上に前記基板を載置し、
前記第1ハンドに対向して配置された第2ハンドを駆動手段により下降させることにより、前記第1ハンドと前記第2ハンドとの間に前記基板を保持させ、
前記第1ハンドと前記駆動手段とが固定された固定部材を、前記第1ハンドおよび前記第2ハンドの延在方向に沿った軸線回りに回転させることにより、前記第1ハンドと前記第2ハンドとの間に保持された前記基板を上下反転させ、
前記第2ハンドを下降させることにより、前記第2ハンドに保持された前記基板を前記第1ハンドから離間させ、
前記第2ハンドから第2処理部まで前記基板を搬送し、
基板の第2の面を上向きにした状態で前記第2処理部において前記基板に対して第2の基板処理をする。
前記第2処理部は、前記第1処理部と同じ装置であってもよい。
前記第2処理部は、前記第1処理部とは異なる装置であってもよい。
11 チャンバ
11c 搬入出口
12 シャッタ
12a〜12c シャッタ部材
12a1、12b1 昇降機構
13 センサ
13a 発光部
13b 受光部
15a、15b ノズル
16 制御部
17a、17b 搬送ロボット
20 反転機
21 第1ハンド
21a 第1ウエハガイド
21b 斜面
22 第2ハンド
22a 第2ウエハガイド
22b 斜面
23 駆動手段
24 固定部材
25 回転手段
Claims (14)
- その上に基板が載置される第1ハンドと、
前記第1ハンドに対向して配置された第2ハンドと、
前記第2ハンドを前記第1ハンドと対向する方向に沿って移動させる駆動手段と、
前記第1ハンドと前記駆動手段とが固定された固定部材と、
前記固定部材を前記第1ハンドおよび前記第2ハンドの延在方向に沿った軸線回りに回転させる回転手段と、
を備えたことを特徴とする反転機。 - 前記第1ハンドは、前記第2ハンド側に突き出るように設けられ、前記基板の端部を保持する第1ウエハガイドを有し、
前記第2ハンドは、前記第1ハンド側に突き出るように設けられ、前記基板の端部を保持する第2ウエハガイドを有する
ことを特徴とする請求項1に記載の反転機。 - 前記第1ウエハガイドと前記第2ウエハガイドとは、互いに重ならない位置に配置されている
ことを特徴とする請求項2のいずれかに記載の反転機。 - 前記第1ウエハガイドおよび前記第2ウエハガイドには、それぞれ、前記基板の端部と点または線で接触するように内向きに傾斜した斜面が設けられている
ことを特徴とする請求項2または3に記載の反転機。 - 請求項1〜4のいずれかに記載の反転機と、
前記反転機を収容するチャンバと、
前記チャンバに設けられた開閉可能なシャッタと、
前記第1ハンドの上方および下方にそれぞれ設けられ、前記第1ハンド上の基板の有無を検知するセンサと、
を備えたことを特徴とする反転ユニット。 - 前記第1ハンドの上方および下方には、それぞれ、前記第1ハンド上の基板に洗浄液を供給するノズルが設けられている
ことを特徴とする請求項5に記載の反転ユニット。 - 前記シャッタは、前記第1ハンドから見て周方向において異なる角度位置に配置された複数のシャッタ部材を有する
ことを特徴とする請求項5または6に記載の反転ユニット。 - 前記シャッタは、前記第1ハンドから見て周方向に延在するU字形状のシャッタ部材を有する
ことを特徴とする請求項5または6に記載の反転ユニット。 - 前記駆動手段および前記回転手段の動作を制御する制御部をさらに備え、
前記制御部は、
前記第1ハンド上に基板が載置されていることが前記センサにより検知されると、前記第1ハンドと前記第2ハンドとの間に前記基板が保持されるように、前記駆動手段により前記第2ハンドを下降させ、
前記第1ハンドと前記第2ハンドとの間に保持された前記基板が上下反転されるように、前記回転手段により前記固定部材を前記軸線回りに回転させ、
前記第2ハンドに保持された前記基板が前記第1ハンドから離間されるように、前記駆動手段により前記第2ハンドを下降させる
ことを特徴とする請求項5〜8のいずれかに記載の反転ユニット。 - 前記制御部は、
前記第2ハンドに保持された前記基板が前記第1ハンドから離間された後、前記第2ハンド上に基板が載置されていないことが前記センサにより検知されると、前記第1ハンドと前記第2ハンドとが一体に上下反転されるように、前記回転手段により前記固定部材を前記軸線回りに回転させる
ことを特徴とする請求項9に記載の反転ユニット。 - 第1ハンド上に基板を載置し、
前記第1ハンドに対向して配置された第2ハンドを駆動手段により下降させることにより、前記第1ハンドと前記第2ハンドとの間に前記基板を保持させ、
前記第1ハンドと前記駆動手段とが固定された固定部材を、前記第1ハンドおよび前記第2ハンドの延在方向に沿った軸線回りに回転させることにより、前記第1ハンドと前記第2ハンドとの間に保持された前記基板を上下反転させ、
前記第2ハンドを下降させることにより、前記第2ハンドに保持された前記基板を前記第1ハンドから離間させる
ことを特徴とする反転方法。 - 基板の第1の面を上向きにした状態で第1処理部において前記基板に対して第1の基板処理をし、
前記第1処理部から第1ハンドまで前記基板を搬送し、
第1ハンド上に前記基板を載置し、
前記第1ハンドに対向して配置された第2ハンドを駆動手段により下降させることにより、前記第1ハンドと前記第2ハンドとの間に前記基板を保持させ、
前記第1ハンドと前記駆動手段とが固定された固定部材を、前記第1ハンドおよび前記第2ハンドの延在方向に沿った軸線回りに回転させることにより、前記第1ハンドと前記第2ハンドとの間に保持された前記基板を上下反転させ、
前記第2ハンドを下降させることにより、前記第2ハンドに保持された前記基板を前記第1ハンドから離間させ、
前記第2ハンドから第2処理部まで前記基板を搬送し、
基板の第2の面を上向きにした状態で前記第2処理部において前記基板に対して第2の基板処理をする
ことを特徴とする基板処理方法。 - 前記第2処理部は、前記第1処理部と同じ装置である
ことを特徴とする請求項12に記載の基板処理方法。 - 前記第2処理部は、前記第1処理部とは異なる装置である
ことを特徴とする請求項12に記載の基板処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016225601A JP2018085354A (ja) | 2016-11-21 | 2016-11-21 | 反転機、反転ユニット、反転方法および基板処理方法 |
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JP2016225601A JP2018085354A (ja) | 2016-11-21 | 2016-11-21 | 反転機、反転ユニット、反転方法および基板処理方法 |
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ID=62236688
Family Applications (1)
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JP2016225601A Pending JP2018085354A (ja) | 2016-11-21 | 2016-11-21 | 反転機、反転ユニット、反転方法および基板処理方法 |
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-
2016
- 2016-11-21 JP JP2016225601A patent/JP2018085354A/ja active Pending
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