JP2018074427A - Mems素子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
例えば、電子機器に使われるトランスデューサー(マイクロフォン装置)は、携帯電話やパーソナルコンピューター、また車載器等にも搭載され、近年、益々感度の高精度化が望まれている。
請求項2の発明は、上記固定電極と上記トリミング用固定電極との間に、このトリミング用固定電極を切断するためのヒューズ部を形成し、かつこのヒューズ部に切断電流を流すための切断用電極を配線したことを特徴とする。
請求項4の発明は、上記トリミング用固定電極と上記固定電極との間に、切断のためのヒューズ部を形成し、かつこのヒューズ部に切断用電極を配線し、この切断用電極から上記ヒューズ部に切断電流を流すことにより、選択された上記トリミング用固定電極を上記固定電極から切り離すことを特徴とする。
即ち、固定電極と可動電極で構成される空気型コンデンサは、電流が殆ど流れないことから電流密度は考慮する必要がなく、微細化技術によってトリミング用固定電極を使われるテクノロジーの最小線幅にまで細くすることができ、このトリミング用固定電極を複数形成して適宜選択することで、感度を微細に調整することが可能となる。
1.固定電極3のみ、
2.固定電極3+固定電極リング10A、
3.固定電極3+固定電極リング10A+10B、
4.固定電極3+固定電極リング10A+10B+10C。
実施例では、トリミング用の固定電極リング10を3つ設けたが、この固定電極リング10は、1つでも、4つ以上でもよく、また固定電極3が例えば楕円形となる場合は、トリミング用固定電極もその楕円形に合せた楕円リングにすることができる。
3…固定電極、 4…支持層、
5…絶縁膜、 6…固定電極パッド、
7…音孔(アコーステックホール)、
9…連結ライン、
10A,10B,10C…固定電極リング(トリミング用)、
13,14…配線、 15A〜15C…電極パッド、
G…エアーギャップ。
Claims (4)
- 基板上に配置された固定電極と、この固定電極にエアーギャップを介して略平行に配置された可動電極とを備えるMEMS素子において、
上記固定電極に対し切り離し可能に接続された1つ又は複数のトリミング用固定電極を設けたことを特徴とするMEMS素子。 - 上記固定電極と上記トリミング用固定電極との間に、このトリミング用固定電極を切断するためのヒューズ部を形成し、かつこのヒューズ部に切断電流を流すための切断用電極を配線したことを特徴とする請求項1記載のMEMS素子。
- 基板上に配置された固定電極と、この固定電極にエアーギャップを介して略平行に配置された可動電極とを備えるMEMS素子の製造方法において、
上記固定電極に対し切り離し可能な1つ又は複数のトリミング用固定電極を接続し、選択された上記トリミング用固定電極を切り離すことにより、所望のプルイン電圧に設定することを特徴とするMEMS素子の製造方法。 - 上記トリミング用固定電極と上記固定電極との間に、切断のためのヒューズ部を形成し、かつこのヒューズ部に切断用電極を配線し、
この切断用電極から上記ヒューズ部に切断電流を流すことにより、選択された上記トリミング用固定電極を上記固定電極から切り離すことを特徴とする請求項3記載のMEMS素子の製造方法。
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