JP6606439B2 - Mems素子 - Google Patents
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Description
一方、可動電極66では、それにかかる引張応力が小さい程、湾曲し易くなって感度は向上するが、逆に圧縮応力に転じてしまうと可動電極66が撓み、マイクロフォンとして動作しなくなる。そのため、可動電極66の成膜工程とその後のアニール工程で可能な限り小さな引張応力が維持されるように設定することが重要とされ、可動電極66に用いる材質も限定されている。
このような感度の低下や機械的強度の低下は、上記マイクロフォンに限らず、変位や振動を電気量に変換する他のMEMS素子についても同様に解決課題となる。
請求項2の発明は、平面視において上記支持体を点状又は線状として複数配置し、上記バネ層には上記点状又は線状の支持体の周りに、少なくとも1巻以上の渦巻き状スリットを形成したことを特徴とする。
請求項3の発明は、平面視において上記支持体を上記バネ層の周囲に環状に配置し、上記バネ層には上記環状の支持体の外周に沿って1巻以上の渦巻き状スリットを形成したことを特徴とする。
この結果、可動電極にかかる基板や支持層等からの応力がなくなると共に、可動電極全体が水平方向だけでなく垂直方向にも変位できる状態となり、例えばマイクロフォンでは、音圧に対する敏感な変位、振動により、良好な感度が得られる。
更に、バネ層の材質、渦巻き状スリット数、スリット形状、スリット幅、巻き数、可動電極の質量を選択することにより、共振周波数の帯域を広く設計することが可能となり、小型化した際の中低音域の感度低下を抑えられるという効果がある。
そして、実施例では、図2乃至図4に示されるように、バネ層3の中央開口3aの周辺において上記ピン状支持体(平面視において点状に設けた支持体)5を中心とする円形渦巻き状のスリット12が複数設けられる。
また、バネ層3としては、不純物を添加したポリシリコン膜の他に、チタン又はタングステンなどの高融点金属やポリシリコン膜と金属膜を反応させたシリサイド化合物を用い、また表面に導電性があればよいため、例えば窒化膜などの絶縁性膜の上に高融点金属を堆積した積層膜とすることもできる。
上記可動電極6は、平板キャパシタを形成する電極部とピン状支持体5(全部又は一部)が電気的に接続されていればよく、不純物を添加したポリシリコン膜の他に、チタン又はタングステン等の高融点金属、或いは導電性材料の上部に例えば窒化膜などの絶縁性膜を積層したものを用いることができる。
しかし、第2実施例の場合は、4つの渦巻きスリット16(及び支持片15)しか設けておらず、支持片間の隙間の数が第1実施例に比べて少なくなっている。従って、音響抵抗が大きくなり、中低音域における感度を増加させることが可能となる。
3…バネ層、 5…ピン状支持体、
6,66…可動電極、 7,67…支持層(犠牲層)、
8,68…固定電極、 10…ギャップ、
11,71…音孔、 12,13,16,18…渦巻き状スリット、
15…弧形支持片、 17…環状支持体、
30…キャビティ。
Claims (3)
- 基板の支持層に固定された固定電極と、
この固定電極に略平行に配置された変位可能な可動電極と、
この可動電極の上又は下の位置で上記基板の支持層に固定されたバネ層と、を有し、
上記可動電極を、上記バネ層に対し支持体を介して機械的に支持すると共に電気的に接続してなるMEMS素子。 - 平面視において上記支持体を点状又は線状として複数配置し、上記バネ層には上記点状又は線状の支持体の周りに、少なくとも1巻以上の渦巻き状スリットを形成したことを特徴とする請求項1記載のMEMS素子。
- 平面視において上記支持体を上記バネ層の周囲に環状に配置し、上記バネ層には上記環状の支持体の外周に沿って1巻以上の渦巻き状スリットを形成したことを特徴とする請求項1記載のMEMS素子。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2016011580A JP6606439B2 (ja) | 2016-01-25 | 2016-01-25 | Mems素子 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111131986A (zh) * | 2019-12-31 | 2020-05-08 | 歌尔股份有限公司 | 防尘结构、麦克风封装结构以及电子设备 |
JP7428317B2 (ja) | 2020-06-09 | 2024-02-06 | 日清紡マイクロデバイス株式会社 | Mems素子 |
CN112492483B (zh) * | 2020-12-02 | 2022-08-16 | 潍坊歌尔微电子有限公司 | 微型麦克风防尘装置、mems麦克风及电子设备 |
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JP2017135456A (ja) | 2017-08-03 |
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