JP2018070444A - 半導体層の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
S1、導電基板を提供し、導電基板の表面に絶縁層を設置する。
S2、絶縁層の表面にカーボンナノチューブ構造体を設置する。
S3、走査型電子顕微鏡の加速電圧が5KV〜20KVであり、滞留時間が6マイクロ秒間〜20マイクロ秒間であり、倍率を1万倍〜10万倍に調整して、カーボンナノチューブ構造体を撮影し、カーボンナノチューブ構造体の写真を得る。
S4、得られた写真において、カーボンナノチューブ構造体におけるカーボンナノチューブは基板の表面に分布して、基板の色より薄いカーボンナノチューブは金属型カーボンナノチューブであり、基板の色より濃いカーボンナノチューブは半導体型カーボンナノチューブである。
S5、写真の割合と同じ割合によって、実物のカーボンナノチューブ構造体における金属型カーボンナノチューブの位置を表示して、金属型カーボンナノチューブを除去する。
S51、写真に座標系を確立し、スケールを表示し、金属型カーボンナノチューブの座標を読み取る。
S52、写真の割合と同じ割合によって、実物のカーボンナノチューブ構造体に座標系を確立し、写真における金属型カーボンナノチューブの座標によって、実物の前記カーボンナノチューブ構造体における金属型カーボンナノチューブを表示して且つ除去する。
Claims (3)
- 導電基板を提供し、前記導電基板の表面に絶縁層を設置する第一ステップと、
前記絶縁層の表面にカーボンナノチューブ構造体を設置する第二ステップと、
走査型電子顕微鏡の加速電圧が5KV〜20KVであり、滞留時間が6マイクロ秒間〜20マイクロ秒間であり、倍率を1万倍〜10万倍に調整して、前記カーボンナノチューブ構造体を撮影し、カーボンナノチューブ構造体の写真を得る第三ステップと、
得られた前記写真において、前記カーボンナノチューブ構造体におけるカーボンナノチューブが基板の表面に分布して、前記基板の色より薄いカーボンナノチューブが金属型カーボンナノチューブであること及び前記基板の色より濃いカーボンナノチューブが半導体型カーボンナノチューブであることを判断する第四ステップと、
前記写真の割合と同じ割合によって、実物の前記カーボンナノチューブ構造体における前記金属型カーボンナノチューブの位置を表示して、前記金属型カーボンナノチューブを除去する第五ステップと、
を含むことを特徴とする半導体層の製造方法。 - 前記走査型電子顕微鏡の加速電圧が15KV〜20KVであることを特徴とする請求項1に記載の半導体層の製造方法。
- 前記第五ステップが、
前記写真に座標系を確立し、スケールを表示し、前記金属型カーボンナノチューブの座標を読み取るステップと、
写真の割合と同じ割合によって、実物の前記カーボンナノチューブ構造体に座標系を確立し、前記写真における前記金属型カーボンナノチューブの座標によって、実物の前記カーボンナノチューブ構造体における前記金属型カーボンナノチューブの座標を表示して且つ除去するステップと、
を含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体層の製造方法。
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