JP2018063204A - 磁気検出素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】金属膜30を構成する第1積層部31は、素子部20のうちの接続部22と直線部21との連結部分及び接続部22によって構成されたU字状の折り返し部24の上に積層されている。第2積層部32は、第1積層部31に一体化されていると共に、基板10の一面11のうち折り返し部24の内側端部24bで囲まれた範囲の全体を覆っている。そして、第1積層部31は、折り返し部24の外縁部24cの全体を露出させるように折り返し部24の外側端部24aよりも内側端部24b側に配置された第1外周縁部31aを有している。これにより、第1積層部31が隣の折り返し部24に干渉しない。また、電流が金属膜30を流れることで、外部磁場による折り返し部24の抵抗変化の影響を受けない。
【選択図】図2
Description
以下、本発明の第1実施形態について図を参照して説明する。本実施形態に係る磁気検出素子は、磁界の変化を検出するものであり、例えば磁気センサの一部を構成するものである。このような磁気検出素子は、図1に示されるように、基板10、素子部20、及び金属膜30を備えている。
本実施形態では、「並列配置方向に沿って」とは「並列配置方向に平行に」という意味である。第2外周縁部31bは、第1外周縁部31aに接続されている。第2外周縁部31bは、折り返し部24の内側端部24bのうち接続部22に対応する部分よりも直線部21の中央部側に配置されている。
本実施形態では、第1実施形態と異なる部分について説明する。図8に示されるように、第1積層部31の第2外周縁部31bは、第1外周縁部31a側が第2積層部32の第3外周縁部32a側よりも接続部22側から直線部21側に離れるように配置されている。すなわち、第2外周縁部31bは、並列配置方向に平行な第3外周縁部32aに対して傾斜して配置されている。
本実施形態では、第1、第2実施形態と異なる部分について説明する。図10に示されるように、第1積層部31の線幅は、折り返し部24の線幅の50%以上になっている。折り返し部24の線幅は、当該折り返し部24を構成する直線部21における並列配置方向の幅である。
本実施形態では、第1〜第3実施形態と異なる部分について説明する。図12に示されるように、金属膜30は、折り返し部24の外縁部24cの一部を覆う第3積層部33を有している。
本実施形態では、第4実施形態と異なる部分について説明する。図13に示されるように、本実施形態では、折り返し部24は、当該折り返し部24の隣の折り返し部24に対して直線部21の長手方向にずらして配置されていることが前提になっている。これにより、各折り返し部24は、隣の折り返し部24に対して複数の直線部21の並列配置方向あるいは直線部21の長手方向に段差状に配置される。
上記各実施形態で示された磁気検出素子の構成は一例であり、上記で示した構成に限定されることなく、本発明を実現できる他の構成とすることもできる。例えば、折り返し部24の接続部22は台形状になっているが、これは平面形状の一例である。また、第2実施形態で示された金属膜30を第3〜第5実施形態に適用することができる。
Claims (7)
- 並列配置された複数の直線部(21)と、前記複数の直線部を蛇行状に繋ぐ複数の接続部(22)と、を有する強磁性薄膜として基板(10)の一面(11)に形成された素子部(20)と、
抵抗値が前記素子部よりも小さく、かつ、外部磁場により抵抗値が変化しない金属膜(30)と、
を備え、
前記金属膜は、
前記素子部のうちの前記接続部と前記直線部との連結部分及び前記接続部によって構成された折り返し部(24)に積層された第1積層部(31)と、
前記第1積層部に一体化されていると共に、前記一面のうち前記折り返し部の内側端部(24b)で囲まれた範囲の全体を覆う第2積層部(32)と、
を有し、
前記第1積層部は、前記折り返し部の外縁部(24c)を露出させるように前記折り返し部の外側端部(24a)よりも前記内側端部側に配置された外周縁部(31a)を有している磁気検出素子。 - 前記外周縁部を第1外周縁部(31a)と定義すると、
前記第1積層部は、前記第1外周縁部に接続されていると共に、前記折り返し部を構成する前記直線部の上に前記複数の直線部の並列配置方向に沿って配置された第2外周縁部(31b)を有し、
前記第2積層部は、前記第2外周縁部に接続されていると共に、前記並列配置方向に沿った第3外周縁部(32a)を有し、
前記第2外周縁部は、前記第1外周縁部側が前記第3外周縁部側よりも前記接続部側から前記直線部側に離れるように前記第3外周縁部に対して傾斜して配置されている請求項1に記載の磁気検出素子。 - 前記第1外周縁部と前記第2外周縁部との接続部分がR形状になっている請求項2に記載の磁気検出素子。
- 前記第1積層部の線幅は、前記折り返し部の線幅の50%以上である請求項1ないし3のいずれか1つに記載の磁気検出素子。
- 前記第1積層部の前記外周縁部は、前記折り返し部の前記外縁部の全体を露出させるように前記外側端部よりも前記内側端部側に配置されている請求項1ないし4のいずれか1つに記載の磁気検出素子。
- 前記金属膜は、前記複数の直線部の並列配置方向における前記折り返し部の最大幅よりも狭く、前記直線部の長手方向のうち前記直線部側から前記接続部側に向かう方向に前記第1積層部に一体化されていると共に、前記第1積層部から前記基板の前記一面に至るまで配置されたことにより、前記第1積層部において前記第2積層部とは反対側の前記外縁部の一部及び前記外側端部の一部を覆う第3積層部(33)を有している請求項1ないし4のいずれか1つに記載の磁気検出素子。
- 前記折り返し部は、当該折り返し部の隣の折り返し部に対して前記直線部の長手方向にずらして配置されていることにより、前記隣の折り返し部に対して前記複数の直線部の並列配置方向あるいは前記直線部の長手方向に段差状に配置されており、
前記金属膜は、前記並列配置方向のうち前記隣の折り返し部が位置しない方向及び前記長手方向のうち前記直線部側から前記接続部側に向かう方向に前記第1積層部に一体化されていると共に、前記第1積層部から前記基板の前記一面に至るまで配置されたことにより、前記外縁部の一部及び前記外側端部の一部を覆う第3積層部(33)を有している請求項1ないし4のいずれか1つに記載の磁気検出素子。
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