JP2018044817A - 位置検出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】検出対象物の位置検出精度を確保することができる位置検出装置を提供する。【解決手段】位置検出装置１は、検出回路２０の検出値（検出電圧）が検出回路２０のレンジに適した値となるように励磁コイル３のパラメータを調整する励磁コイル調整部２５を備える。励磁コイル調整部２５は、位置検出装置１の起動時、予め定めておいた制御電流値Ｉｓにより励磁コイル３に交流電圧を印加し、各検出コイル４の誘導起電力を、検出回路２０を介して検出する。このとき、励磁コイル調整部２５は、検出回路２０から検出する検出値（検出電圧）のうち、振幅の絶対値が小さい２つを選択し、両者の和を演算する。励磁コイル調整部２５は、算出した和が、和の狙い値又はその付近になるように、励磁コイル３の制御電流値Ｉｓを制御する。演算処理回路１７は、和が狙い値又はその付近の値となった後、３つの検出コイル４の出力を基に検出対象物２の回動位置を算出する。【選択図】図１

Description

本発明は、検出対象物の位置を検出する位置検出装置に関する。

従来、励磁コイルから複数の検出コイルに磁界をかけておき、金属ロータの回転に応じて検出コイルにかかる磁界の変化を検出することにより、検出対象物の位置を演算する位置検出装置（渦電流センサ）が周知である（特許文献１等参照）。この種の位置検出装置は、励磁コイル及び検出コイルが電磁結合され、金属ロータの回動位置に応じて検出コイルに現れる誘導起電力が変化することにより、誘導起電力の変化から検出対象物の回動位置が検出される。

特開２００２−３６５００６号公報

この種の位置検出装置においては、検出対象物の回動位置を精度よく検出したいニーズが高い。
本発明の目的は、検出対象物の位置検出精度を確保することができる位置検出装置を提供することにある。

前記問題点を解決する位置検出装置は、電流が流された励磁コイルから発生する磁界により、複数の検出コイルに誘導起電力を発生させ、位置検出の対象である検出対象物と連動する金属体によって前記検出コイルの誘導起電力を変化させることにより、当該誘導起電力を基に演算処理回路が前記検出対象物の位置を求める構成において、前記検出コイルの複数の検出値のうち振幅の絶対値が小さい２つを選択して、これらの和を求め、当該和及びその狙い値を基に前記励磁コイルのパラメータを調整する励磁コイル調整部を備える。

本構成によれば、複数の検出信号のうち振幅の絶対値が小さい２つの和を求めて、和とその狙い値とを基に励磁コイルのパラメータを調整することにより、励磁電流を好適な値に設定する。このため、例えば励磁コイルと金属体との間の距離変動を要因として励磁コイルのインピーダンスが変化しても、励磁電流が調整されることにより、検出コイルの誘導起電力を検出する検出回路の検出値（例えば検出電圧）を一定レベルに保つことが可能となる。これにより、検出回路のレンジと検出回路の検出値との最適化が可能となる。よって、検出対象物の位置検出精度を確保することが可能となる。

前記位置検出装置において、前記励磁コイル調整部は、複数の前記検出値のうち振幅の小さい２つの和を求めて当該和が狙い値又はその付近の値となるように前記励磁コイルのパラメータを調整する処理を、当該和が狙い値又はその付近の値をとるまで繰り返し行うことが好ましい。この構成によれば、検出値の振幅の絶対値が小さい２つの和をできる限り狙い値に近づけることが可能となるので、位置検出精度を確保するのに一層有利となる。

前記位置検出装置において、前記パラメータは、前記励磁コイルに流される制御電流値であることが好ましい。この構成によれば、励磁コイルに流す電流を調整するという簡素な処理により、励磁コイルの作動を適宜変更することが可能となる。

前記位置検出装置において、前記励磁コイル調整部は、装置の起動時に前記励磁コイルのパラメータの調整を実行し、前記演算処理回路は、前記励磁コイルのパラメータの調整が済んだ後に前記検出対象物の位置検出を実行することが好ましい。この構成によれば、装置の起動時に先に励磁コイルのパラメータの調整を実施しておくので、最適化された励磁コイルの下で検出対象物の位置を求めることが可能となる。

前記位置検出装置において、前記励磁コイル調整部は、前記検出対象物の位置検出を行っている期間中であっても、前記和を求めて前記狙い値と比較する処理を継続して行い、前記和が前記狙い値又はその付近から外れたときには、前記励磁コイルのパラメータの調整を再度実行することが好ましい。この構成によれば、検出対象物の位置検出を行っている間でも、励磁コイルを最適化して検出コイルの検出値を一定レベルに保つことが可能となるので、位置検出精度を確保するのに一層有利となる。

前記位置検出装置において、前記演算処理回路は、３つ以上設けられた前記検出コイルから検出される検出値を基に前記検出対象物の位置検出を実行することが好ましい。この構成によれば、３つ以上の検出コイルの出力を基に高い分解能で位置を検出することが可能となるので、位置検出精度を確保するのに一層有利となる。

本発明によれば、検出対象物の位置検出精度を確保することができる。

一実施形態の位置検出装置の構成図。 位置検出装置の電気構成図。 各検出コイルの出力と検出角度との関係を示す波形図。 励磁コイルのパラメータ調整の仕方の説明図。

以下、位置検出装置の一実施形態を図１〜図４に従って説明する。
図１に示すように、位置検出装置１は、回動する検出対象物２の位置（回動位置）を、渦電流センサの方式を通じて検出するものであって、例えば車載機器の位置検出に使用される。検出対象物２は、軸Ｌａ回りに回動するスイッチやレバー等であることが好ましい。渦電流センサは、金属表面に発生する渦電流を検出し、距離変化に準じて変化する渦電流の変化量から物***置を検出するものである。

位置検出装置１は、電流が流される励磁コイル３と、励磁コイル３から発生する磁界を検出可能な複数の検出コイル４と、検出コイル４に付与される磁界を検出対象物２の位置に応じて変化させる金属体５とを備える。励磁コイル３及び検出コイル４は、検出対象物２を回動可能に支持する側に設けられる。金属体５は、例えば軸Ｌａ回りに回動する金属ロータ６であって、検出対象物２と同期回動するように設けられる。励磁コイル３に電流が流されると、電磁誘導により検出コイル４に誘導起電力Ｖ_DEが発生する。

金属ロータ６は、検出対象物２と同一軸心上（軸Ｌａ回）りに回動する。金属ロータ６の外周には、ロータ本体９から金属ロータ６の径方向外側に突出する突片１０が複数形成されている。複数の突片１０は、例えば扇状に形成され、金属ロータ６の回動方向（図１の矢印Ａ方向）に沿って等間隔に配置され、検出コイル４に対向することにより、検出コイル４に発生する誘導起電力Ｖ_DEを変化させる。金属ロータ６の外周には、突片１０と、隣同士の突片１０の間にできる凹部１１とが、金属ロータ６の回動方向に沿って交互に等間隔配置されている。

金属ロータ６の回動方向の平面をロータ回動方向平面（図１のＸ−Ｙ平面）としたとき、突片１０のロータ回動方向平面における設定角度Ｒ１と、凹部１１のロータ回動方向平面における設定角度Ｒ２とは、同じ角度にされている。設定角度Ｒ１，Ｒ２は、例えば「３６°」である。

検出コイル４は、金属ロータ６の回動方向に沿って複数（本例は３つ）設けられている。本例の場合、第１検出コイル４ａが第２検出コイル４ｂ及び第３検出コイル４ｃの間に配置されている。第１検出コイル４ａ〜第３検出コイル４ｃのそれぞれの設定角度（以降、ループ角度Ｒｋと記す）は、１組の突片１０及び凹部１１の角度範囲に合わせて、「７２°」にされている。これにより、１つあたりの検出コイル４では、０°〜７２°の角度を検出することが可能である。

第１検出コイル４ａ〜第３検出コイル４ｃは、金属ロータ６の回動方向に並び配置されるとともに、金属ロータ６の軸方向（図１のＺ軸方向）において所定量ずつ重ねて配置されることにより位相がずらされている。本例の場合、第１検出コイル４ａと第２検出コイル４ｂとが所定量重ね配置され、第１検出コイル４ａと第３検出コイル４ｃとが所定量重ね配置されている。第１検出コイル４ａ〜第３検出コイル４ｃは、位置検出装置１の基板（図示略）に設けられたスルーホールを通じて重ね配置されることが好ましい。第１検出コイル４ａ及び第２検出コイル４ｂの位相ずれと、第２検出コイル４ｂ及び第３検出コイル４ｃの位相ずれとは、ともに「２４°」である。

励磁コイル３は、３つの第１検出コイル４ａ〜第３検出コイル４ｃを全て覆うことができる形状に形成されている。本例の励磁コイル３は、軸Ｌａ回りの円弧に沿った形状に形成されている。励磁コイル３は、第１検出コイル４ａ〜第３検出コイル４ｃと同じ基板上に形成されることが好ましい。

図１及び図２に示すように、検出コイル４から出力される検出値（検出電圧）Ｓ１を基に検出対象物２の位置を演算する演算処理回路１７を備える。演算処理回路１７は、励磁回路１８を介して励磁コイル３と接続されている。励磁コイル３の電位の高い側には、電圧調整用の抵抗１９が接続されている。演算処理回路１７は、励磁コイル３と電磁結合される検出コイル４に対し、検出回路２０を介して接続されている。本例の場合、第１検出コイル４ａ〜第３検出コイル４ｃは、それぞれ検出回路２０ａ，２０ｂ，２０ｃを介して演算処理回路１７に接続されている。検出回路２０ａ〜２０ｃは、例えば信号の増幅や変調等を行う回路であることが好ましい。

演算処理回路１７は、励磁コイル３に交流電圧を印加することにより、励磁コイル３から磁界（磁束）を発生させ、相互誘導作用により、第１検出コイル４ａ〜第３検出コイル４ｃに誘導起電力を発生させる。このとき、演算処理回路１７は、検出回路２０から各検出コイル４の検出値Ｓ１を入力する。本例の場合、演算処理回路１７は、検出回路２０ａを介して第１検出コイル４ａから第１検出値Ｓ１−ａを入力し、検出回路２０ｂを介して第２検出コイル４ｂから第２検出値Ｓ１−ｂを入力し、検出回路２０ｃを介して第３検出コイル４ｃから第３検出値Ｓ１−ｃを入力する。演算処理回路１７は、第１検出値Ｓ１−ａ、第２検出値Ｓ１−ｂ及び第３検出値Ｓ１−ｃを基に、検出対象物２の位置、すなわち金属ロータ６の回転角度（ロータ角度θ）を演算する。

位置検出装置１は、検出回路２０の検出値（例えば検出電圧）Ｓ１が検出回路２０のレンジに適した値となるように励磁コイル３のパラメータを調整する励磁コイル調整部２５を備える。励磁コイル調整部２５は、演算処理回路１７に設けられている。励磁コイル３において調整されるパラメータは、例えば励磁コイル３に流される電流（制御電流値Ｉｓ）である。励磁コイル調整部２５は、検出コイル４から出力される複数の検出値Ｓ１のうち振幅の絶対値が小さい２つを選択して、これらの和Ｋを求め、和Ｋ及びその狙い値Ｋｔを基に励磁コイル３のパラメータを調整する。本例の励磁コイル調整部２５は、装置（位置検出装置１）の起動時に励磁コイル３のパラメータの調整を実行する。演算処理回路１７は、励磁コイル３のパラメータ調整が済んだ後に検出対象物２の位置検出を実行する。

次に、図２〜図４を用いて、位置検出装置１の作用及び効果を説明する。
図３に示すように、励磁コイル３に交流電圧が印加されると、相互誘導作用によって第１検出コイル４ａ〜第３検出コイル４ｃには、励磁コイル３から出力される磁界に応じた誘導起電力Ｖ_DEが各々発生する。この状態において、金属ロータ６が軸Ｌａ回りに回動すると、金属ロータ６の回動位置に応じて、第１検出コイル４ａ〜第３検出コイル４ｃの誘導起電力Ｖ_DE（検出電圧）が交流波状（例えば正弦波状や三角波状）に変化する。すなわち、第１検出値Ｓ１−ａを基準としたとき、第１検出値Ｓ１−ａから位相が「２４°」遅れた第２検出値Ｓ１−ｂが出力され、第１検出値Ｓ１−ａから位相が「４８°」遅れた第３検出値Ｓ１−ｃが出力される。

なお、図２に示すように、検出コイル４の誘導起電力Ｖ_DEは、同図の式（α）で表される。この式（α）からも分かるように、誘導起電力Ｖ_DEの演算には、主に、励磁コイル３及び検出コイル４の間の相互インダクタンスＭ、検出対象である金属ロータ６に流れる励磁電流Ｉ_EX、励磁コイル３の自己インダクタンスＬ_EXの各パラメータが関係してくる。よって、金属ロータ６の回転時、誘導起電力Ｖ_DEの変化を大きくとって検出精度を確保するには、これらパラメータを最適に変化させることが望まれる。

図４に、励磁コイル３のパラメータ調整の仕方の説明図を図示する。励磁コイル調整部２５は、位置検出装置１の起動時、予め定めておいた制御電流値Ｉｓ（図１及び図２参照）により励磁コイル３に交流電圧を印加し、第１検出コイル４ａ〜第３検出コイル４ｃに現れる誘導起電力Ｖ_DEを、検出回路２０ａ〜２０ｃを介して検出する。なお、位置検出装置１の起動時とは、例えば位置検出装置１により検出対象物２の位置検出を開始するタイミングであることが好ましい。

励磁コイル調整部２５は、制御電流値Ｉｓを励磁コイル３に流したときに検出回路２０ａ〜２０ｃから検出する検出値Ｓ１（第１検出値Ｓ１−ａ、第２検出値Ｓ１−ｂ、第３検出値Ｓ１−ｃ）のうち、振幅（振幅値）の絶対値が小さい２つを選択し、両者の和Ｋを演算する。ここでの例では、第１検出値Ｓ１−ａの振幅の絶対値と、第２検出値Ｓ１−ｂの振幅の絶対値とが選択され、これらの和Ｋが算出される。なお、振幅の絶対値が小さい２つを選択するのは、電圧波形が直線的であって、かつ電圧波形の傾きが正負逆のものを選ぶためである。また、振幅の絶対値が小さい２つの和Ｋをとるのは、いま励磁電流Ｉ_EXがどの程度の値をとり、制御電流値Ｉｓをどれだけ変化させるかの基準を求めるためである。両者の和Ｋの絶対値は、ロータ角度θによらず一定に近い値をとる。

励磁コイル調整部２５は、算出した和Ｋが、和Ｋの狙い値Ｋｔ又はその付近になるように、励磁コイル３の制御電流値Ｉｓを制御する。すなわち、励磁コイル調整部２５は、和Ｋが狙い値Ｋｔ又はその付近になるような制御電流値Ｉｓを励磁コイル３に流す。狙い値Ｋｔは、検出回路２０のレンジにおいて最大値（絶対値）寄りの値に設定されることが好ましく、例えば検出回路２０のレンジが±２．０Ｖならば、１．５Ｖ付近に設定されるとよい。励磁コイル調整部２５は、第１検出値Ｓ１−ａ〜第３検出値Ｓ１−ｃのうち振幅の絶対値が小さい２つの和Ｋをとって、この和Ｋが狙い値Ｋｔ又はその付近となるように制御電流値Ｉｓを調整する処理を、和Ｋが狙い値Ｋｔ又はその付近となるまで繰り返す。

図３に戻り、演算処理回路１７は、絶対値の和Ｋが狙い値Ｋｔ又はその付近となった後、第１検出値Ｓ１−ａ〜第３検出値Ｓ１−ｃを基にロータ角度θを算出する。本例の場合、演算処理回路１７は、第１検出値Ｓ１−ａ〜第３検出値Ｓ１−ｃの３つの信号のうち、信号波形が直線状のもの（領域Ｕに存在するもの）を２つ選択し、これら信号の例えば差や和をとって、検出対象物２の検出角度θｒを演算し、これをロータ角度θとして求める。例えば、ロータ角度θが６°〜１８°のときには、Ｓ１−ａとＳ１−ｂとを使用し、ロータ角度θが１８°〜３０°のときには、Ｓ１−ａとＳ１−ｃとを使用する。このようにして、演算処理回路１７は、１周期が７２°のロータ角度θを演算する。

励磁コイル調整部２５は、検出対象物２の位置検出を行っている期間中であっても、和Ｋを求めて狙い値Ｋｔと比較する処理を継続して行う。そして、励磁コイル調整部２５は、和Ｋが狙い値Ｋｔ又はその付近から外れたときには、励磁コイル３のパラメータの調整を再度実行する。以上のようにして、演算処理回路１７は、検出対象物２の回転角度（ロータ角度θ）を演算する。

ところで、検出対象物２の回転角度（ロータ角度θ）を求めるにあたり、例えば励磁回路１８が振幅フィードバックを通じて一定振幅の交流電圧を励磁コイル３に印加して、検出コイル４に生じる誘導起電力Ｖ_DEから角度検出を行う方式もある。しかし、励磁振幅を一定とする方式の場合、例えば励磁コイル３及び金属体５との距離変動等を要因として、励磁コイル３のインピーダンスに変動が生じた場合には、励磁電流Ｉ_EXが変化してしまい、検出回路２０の検出値Ｓ１が変動する。

これに対処するには、例えば検出値Ｓ１（その振幅）のレベル増に備えるのであれば、検出回路２０のレンジ（フルレンジ）を広くとる必要があるが、背反として、非増加時においてフルレンジに対する検出値Ｓ１の変化率が小さくなるので、分解能が低下する問題が生じる。一方、例えば検出値Ｓ１（その振幅）がレベル減となると、検出値Ｓ１の電圧変化が小さくなり、相対的に回路の非線形誤差の影響を受け易くなるので、位置検出精度が悪化する問題がある。

そこで、本例では、３つある検出回路２０の２つの検出値Ｓ１の和Ｋを使用し、励磁コイル３に印加する交流電圧の振幅を制御する。このため、例えば励磁コイル３と金属体５との間の距離変動を要因として励磁コイル３のインピーダンスが変化しても、励磁電流Ｉ_EXが調整されることにより、検出回路２０の検出値Ｓ１を一定レベルに保つことが可能となる。これにより、検出回路２０の検出値Ｓ１を検出回路２０のレンジに合わせた最適な値に設定することが可能となる。すなわち、検出回路２０のレンジを無駄な範囲にまで広げて設定せずに済み、かつレンジが不足することもない。よって、検出対象物２の位置検出精度を確保することができる。

また、励磁回路１８が振幅フィードバックを通じて一定振幅の交流電圧を励磁コイル３に印加して検出対象物２の回転角度（ロータ角度θ）を求める場合、振幅を検出してフィードバックする回路が励磁回路１８に必要となり、回路規模が大きくなってしまう問題がある。一方、本例の場合は、この種の回路が不要であり、従来から回路の変更なしに振幅を制御することが可能な技術でもあるので、回路規模の小型化を満足することもできる。

励磁コイル調整部２５は、複数の検出値Ｓ１のうち振幅の小さい２つの和Ｋを求めて和Ｋが狙い値Ｋｔ又はその付近の値となるように励磁コイル３のパラメータを調整する処理を、和Ｋが狙い値Ｋｔ又はその付近の値をとるまで繰り返し行う。よって、和Ｋをできる限り狙い値Ｋｔに近づけることが可能となるので、位置検出精度を確保するのに一層有利となる。

前記励磁コイル３において調整されるパラメータは、励磁コイル３に流される制御電流値Ｉｓである。よって、励磁コイル３に流す電流を調整するという簡素な処理により、励磁コイル３の作動を適宜変更することができる。

励磁コイル調整部２５は、装置（位置検出装置１）の起動時に励磁コイル３のパラメータの調整を実行し、演算処理回路１７は、励磁コイル３のパラメータの調整が済んだ後に検出対象物２の位置検出を実行する。よって、装置の起動時に先に励磁コイル３のパラメータの調整を実行しておくので、最適化された励磁コイル３の下で検出対象物２の位置を求めることができる。

励磁コイル調整部２５は、検出対象物２の位置検出を行っている期間中であっても、和Ｋを求めて狙い値Ｋｔと比較する処理を継続して行い、和Ｋが狙い値Ｋｔから外れたときには、励磁コイル３のパラメータの調整を再度実行する。よって、検出対象物２の位置検出を行っている間でも、励磁コイル３を最適化して検出コイル４の検出値Ｓ１を一定レベルに保つことが可能となるので、位置検出精度を確保するのに一層有利となる。

演算処理回路１７は、３つ設けられた第１検出コイル４ａ〜第３検出コイル４ｃから検出される検出値Ｓ１（第１検出値Ｓ１−ａ、第２検出値Ｓ１−ｂ及び第３検出値Ｓ１−ｃ）を基に検出対象物２の位置検出を実行する。よって、３つの第１検出コイル４ａ〜第３検出コイル４ｃの出力を基に高い分解能で位置を検出することが可能となるので、位置検出精度を確保するのに一層有利となる。

なお、実施形態はこれまでに述べた構成に限らず、以下の態様に変更してもよい。
・制御電流値Ｉｓの調整は、繰り返し実施されることに限らず、１度のみの処理としてもよい。

・狙い値Ｋｔは、検出回路２０のレンジに応じて、種々の値に適宜変更することが可能である。
・励磁コイル３は、検出コイル４を一部のみ覆う形状としてもよいし、或いは全く覆わない形状としてもよい。

・検出コイル４の個数は、３つに限らず、例えば２つや４つ以上に変更してもよい。
・各検出コイル４は、一部分が互いに重なるように配置されることに限らず、例えば全く重ならない配置としてもよい。

・検出コイル４の形状やサイズは、実施形態以外の他のパターンに変更可能である。
・第１検出値Ｓ１−ａ〜第３検出値Ｓ１−ｃの位相ずれは、「２４°」に限定されず、他の値に変更可能である。

・第１検出値Ｓ１−ａ〜第３検出値Ｓ１−ｃの周期は、実施形態以外の他の値に変更可能である。
・検出コイル４の配置位置や個数を適宜変更して、検出対象物２の位置を３６０°範囲で検出できるようにしてもよい。

・励磁コイル３のパラメータ調整は、制御電流値Ｉｓを調整することで実現することに限定されない。例えば、パラメータは、例えば励磁コイル３に印加される電圧としてもよいし、これ以外の特性値に変更してもよい。

・狙い値Ｋｔは、和Ｋに所定値を加えた値に限定されない。例えば、算出した和Ｋをそのまま狙い値Ｋｔとしてもよい。
・位置検出装置１は、直線移動する検出対象物２の位置（スライド位置）を検出するものでもよい。

・位置検出装置１は、種々の機器や装置に適用可能である。

１…位置検出装置、２…検出対象物、３…励磁コイル、４…検出コイル、４ａ…第１検出コイル、４ｂ…第２検出コイル、４ｃ…第３検出コイル、５…金属体、６…金属体の一例である金属ロータ、１７…演算処理回路、２０（２０ａ〜２０ｃ）…検出回路、２５…励磁コイル調整部、Ｖ_DE…誘導起電力、Ｓ１…検出値、Ｓ１−ａ…第１検出値、Ｓ１−ｂ…第２検出値、Ｓ１−ｃ…第３検出値、Ｋ…和、Ｋｔ…狙い値、Ｉｓ…パラメータの一例である制御電流値。

Claims (6)

1. 電流が流された励磁コイルから発生する磁界により、複数の検出コイルに誘導起電力を発生させ、位置検出の対象である検出対象物と連動する金属体によって前記検出コイルの誘導起電力を変化させることにより、当該誘導起電力を基に演算処理回路が前記検出対象物の位置を求める位置検出装置において、
   前記検出コイルの複数の検出値のうち振幅の絶対値が小さい２つを選択して、これらの和を求め、当該和及びその狙い値を基に前記励磁コイルのパラメータを調整する励磁コイル調整部を備える
   ことを特徴とする位置検出装置。
2. 前記励磁コイル調整部は、複数の前記検出値のうち振幅の小さい２つの和を求めて当該和が狙い値又はその付近の値となるように前記励磁コイルのパラメータを調整する処理を、当該和が狙い値又はその付近の値をとるまで繰り返し行う
   請求項１に記載の位置検出装置。
3. 前記パラメータは、前記励磁コイルに流される制御電流値である
   請求項１又は２に記載の位置検出装置。
4. 前記励磁コイル調整部は、装置の起動時に前記励磁コイルのパラメータの調整を実行し、
   前記演算処理回路は、前記励磁コイルのパラメータの調整が済んだ後に前記検出対象物の位置検出を実行する
   請求項１〜３のうちいずれか一項に記載の位置検出装置。
5. 前記励磁コイル調整部は、前記検出対象物の位置検出を行っている期間中であっても、前記和を求めて前記狙い値と比較する処理を継続して行い、前記和が前記狙い値又はその付近から外れたときには、前記励磁コイルのパラメータの調整を再度実行する
   請求項１〜４のうちいずれか一項に記載の位置検出装置。
6. 前記演算処理回路は、３つ以上設けられた前記検出コイルから検出される検出値を基に前記検出対象物の位置検出を実行する
   請求項１〜５のうちいずれか一項に記載の位置検出装置。

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