JP2018044817A - Position detection device - Google Patents

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雄介 山中
Yusuke Yamanaka
雄介 山中
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a position detection device capable of securing position detection precision of a detection object.SOLUTION: A position detection device 1 comprises an excitation coil adjustment part 25 which adjusts a parameter of an excitation coil 3 so that a detection value (detection voltage) of a detection circuit 20 reaches a value suitable to a range of the detection circuit 20. The excitation coil adjustment part 25 applies, when the position detection device 1 is actuated, an AC voltage to the excitation coil 3 with a predetermined control current value Is, and detects induced electromotive force of each detection coil 4 through the detection circuit 20. At this time, the excitation coil adjustment part 25 selects two detection values, small in absolute value of amplitude, among detection values (detection voltages) detected from the detection circuit 20, and computes the sum of both. The excitation coil adjustment part 25 controls the control current value Is of the excitation coil 3 so that the calculated sum reaches a target value or is close thereto. An arithmetic processing circuit 17 calculates, after the sum reaches the target value or is close thereto, a rotational position of a detection object 2 based upon outputs of three detection coils 4.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、検出対象物の位置を検出する位置検出装置に関する。   The present invention relates to a position detection device that detects the position of a detection target.

従来、励磁コイルから複数の検出コイルに磁界をかけておき、金属ロータの回転に応じて検出コイルにかかる磁界の変化を検出することにより、検出対象物の位置を演算する位置検出装置(渦電流センサ)が周知である(特許文献1等参照)。この種の位置検出装置は、励磁コイル及び検出コイルが電磁結合され、金属ロータの回動位置に応じて検出コイルに現れる誘導起電力が変化することにより、誘導起電力の変化から検出対象物の回動位置が検出される。   Conventionally, a position detection device (eddy current) that calculates the position of an object to be detected by applying a magnetic field to a plurality of detection coils from an excitation coil and detecting a change in the magnetic field applied to the detection coil according to the rotation of the metal rotor. Sensor) is well known (see Patent Document 1). In this type of position detection device, the excitation coil and the detection coil are electromagnetically coupled, and the induced electromotive force that appears in the detection coil changes according to the rotational position of the metal rotor, so that the detection object is detected from the change in the induced electromotive force. A rotational position is detected.

特開2002−365006号公報JP 2002-365006 A

この種の位置検出装置においては、検出対象物の回動位置を精度よく検出したいニーズが高い。
本発明の目的は、検出対象物の位置検出精度を確保することができる位置検出装置を提供することにある。
In this type of position detection device, there is a high need for accurately detecting the rotational position of the detection object.
The objective of this invention is providing the position detection apparatus which can ensure the position detection precision of a detection target object.

前記問題点を解決する位置検出装置は、電流が流された励磁コイルから発生する磁界により、複数の検出コイルに誘導起電力を発生させ、位置検出の対象である検出対象物と連動する金属体によって前記検出コイルの誘導起電力を変化させることにより、当該誘導起電力を基に演算処理回路が前記検出対象物の位置を求める構成において、前記検出コイルの複数の検出値のうち振幅の絶対値が小さい2つを選択して、これらの和を求め、当該和及びその狙い値を基に前記励磁コイルのパラメータを調整する励磁コイル調整部を備える。   A position detection device that solves the above problem is a metal body that generates induced electromotive force in a plurality of detection coils by a magnetic field generated from an excitation coil through which a current is passed, and that is interlocked with a detection target that is a position detection target. In the configuration in which the arithmetic processing circuit obtains the position of the detection object based on the induced electromotive force by changing the induced electromotive force of the detection coil, the absolute value of the amplitude among the plurality of detection values of the detection coil An excitation coil adjustment unit is provided that selects two of the two that are smaller, obtains the sum of these, and adjusts the parameters of the excitation coil based on the sum and the target value.

本構成によれば、複数の検出信号のうち振幅の絶対値が小さい2つの和を求めて、和とその狙い値とを基に励磁コイルのパラメータを調整することにより、励磁電流を好適な値に設定する。このため、例えば励磁コイルと金属体との間の距離変動を要因として励磁コイルのインピーダンスが変化しても、励磁電流が調整されることにより、検出コイルの誘導起電力を検出する検出回路の検出値(例えば検出電圧)を一定レベルに保つことが可能となる。これにより、検出回路のレンジと検出回路の検出値との最適化が可能となる。よって、検出対象物の位置検出精度を確保することが可能となる。   According to this configuration, an excitation current is set to a suitable value by obtaining two sums having a small absolute value of amplitude among a plurality of detection signals and adjusting the excitation coil parameters based on the sum and the target value. Set to. For this reason, for example, even if the impedance of the exciting coil changes due to a variation in the distance between the exciting coil and the metal body, the detection circuit detects the induced electromotive force of the detecting coil by adjusting the exciting current. The value (for example, the detection voltage) can be kept at a constant level. Thereby, the range of the detection circuit and the detection value of the detection circuit can be optimized. Therefore, it is possible to ensure the position detection accuracy of the detection object.

前記位置検出装置において、前記励磁コイル調整部は、複数の前記検出値のうち振幅の小さい2つの和を求めて当該和が狙い値又はその付近の値となるように前記励磁コイルのパラメータを調整する処理を、当該和が狙い値又はその付近の値をとるまで繰り返し行うことが好ましい。この構成によれば、検出値の振幅の絶対値が小さい2つの和をできる限り狙い値に近づけることが可能となるので、位置検出精度を確保するのに一層有利となる。   In the position detection device, the excitation coil adjustment unit calculates a sum of two of the plurality of detection values having a small amplitude, and adjusts the parameters of the excitation coil so that the sum becomes a target value or a value in the vicinity thereof. It is preferable to repeat the processing to be performed until the sum takes a target value or a value in the vicinity thereof. According to this configuration, it is possible to make the sum of two small absolute values of the detected value as close as possible to the target value, which is more advantageous for ensuring the position detection accuracy.

前記位置検出装置において、前記パラメータは、前記励磁コイルに流される制御電流値であることが好ましい。この構成によれば、励磁コイルに流す電流を調整するという簡素な処理により、励磁コイルの作動を適宜変更することが可能となる。   In the position detection apparatus, it is preferable that the parameter is a control current value that is passed through the exciting coil. According to this configuration, the operation of the exciting coil can be appropriately changed by a simple process of adjusting the current flowing through the exciting coil.

前記位置検出装置において、前記励磁コイル調整部は、装置の起動時に前記励磁コイルのパラメータの調整を実行し、前記演算処理回路は、前記励磁コイルのパラメータの調整が済んだ後に前記検出対象物の位置検出を実行することが好ましい。この構成によれば、装置の起動時に先に励磁コイルのパラメータの調整を実施しておくので、最適化された励磁コイルの下で検出対象物の位置を求めることが可能となる。   In the position detection device, the excitation coil adjustment unit adjusts the parameters of the excitation coil when the device is started up, and the arithmetic processing circuit adjusts the parameters of the detection object after the adjustment of the parameters of the excitation coil is completed. It is preferable to perform position detection. According to this configuration, since the parameters of the exciting coil are adjusted first when the apparatus is started, the position of the detection target can be obtained under the optimized exciting coil.

前記位置検出装置において、前記励磁コイル調整部は、前記検出対象物の位置検出を行っている期間中であっても、前記和を求めて前記狙い値と比較する処理を継続して行い、前記和が前記狙い値又はその付近から外れたときには、前記励磁コイルのパラメータの調整を再度実行することが好ましい。この構成によれば、検出対象物の位置検出を行っている間でも、励磁コイルを最適化して検出コイルの検出値を一定レベルに保つことが可能となるので、位置検出精度を確保するのに一層有利となる。   In the position detection device, the excitation coil adjustment unit continuously performs the process of obtaining the sum and comparing it with the target value even during the period of detecting the position of the detection target, When the sum deviates from the target value or the vicinity thereof, it is preferable to adjust the parameters of the exciting coil again. According to this configuration, it is possible to optimize the excitation coil and keep the detection value of the detection coil at a constant level even during the position detection of the detection target. It becomes even more advantageous.

前記位置検出装置において、前記演算処理回路は、3つ以上設けられた前記検出コイルから検出される検出値を基に前記検出対象物の位置検出を実行することが好ましい。この構成によれば、3つ以上の検出コイルの出力を基に高い分解能で位置を検出することが可能となるので、位置検出精度を確保するのに一層有利となる。   In the position detection apparatus, it is preferable that the arithmetic processing circuit performs position detection of the detection target based on detection values detected from three or more detection coils provided. According to this configuration, the position can be detected with high resolution based on the outputs of the three or more detection coils, which is more advantageous for ensuring the position detection accuracy.

本発明によれば、検出対象物の位置検出精度を確保することができる。   According to the present invention, it is possible to ensure the position detection accuracy of the detection object.

一実施形態の位置検出装置の構成図。The block diagram of the position detection apparatus of one Embodiment. 位置検出装置の電気構成図。The electrical block diagram of a position detection apparatus. 各検出コイルの出力と検出角度との関係を示す波形図。The wave form diagram which shows the relationship between the output of each detection coil, and a detection angle. 励磁コイルのパラメータ調整の仕方の説明図。Explanatory drawing of the method of parameter adjustment of an exciting coil.

以下、位置検出装置の一実施形態を図1〜図4に従って説明する。
図1に示すように、位置検出装置1は、回動する検出対象物2の位置(回動位置)を、渦電流センサの方式を通じて検出するものであって、例えば車載機器の位置検出に使用される。検出対象物2は、軸La回りに回動するスイッチやレバー等であることが好ましい。渦電流センサは、金属表面に発生する渦電流を検出し、距離変化に準じて変化する渦電流の変化量から物***置を検出するものである。
Hereinafter, an embodiment of the position detection device will be described with reference to FIGS.
As shown in FIG. 1, the position detection device 1 detects the position (rotation position) of a rotating detection object 2 through an eddy current sensor method, and is used for detecting the position of an in-vehicle device, for example. Is done. The detection object 2 is preferably a switch or a lever that rotates around the axis La. The eddy current sensor detects an eddy current generated on a metal surface and detects an object position from an amount of change in eddy current that changes according to a change in distance.

位置検出装置1は、電流が流される励磁コイル3と、励磁コイル3から発生する磁界を検出可能な複数の検出コイル4と、検出コイル4に付与される磁界を検出対象物2の位置に応じて変化させる金属体5とを備える。励磁コイル3及び検出コイル4は、検出対象物2を回動可能に支持する側に設けられる。金属体5は、例えば軸La回りに回動する金属ロータ6であって、検出対象物2と同期回動するように設けられる。励磁コイル3に電流が流されると、電磁誘導により検出コイル4に誘導起電力VDEが発生する。 The position detection device 1 corresponds to an excitation coil 3 through which a current flows, a plurality of detection coils 4 that can detect a magnetic field generated from the excitation coil 3, and a magnetic field applied to the detection coil 4 according to the position of the detection object 2. And a metal body 5 to be changed. The excitation coil 3 and the detection coil 4 are provided on the side that supports the detection object 2 in a rotatable manner. The metal body 5 is, for example, a metal rotor 6 that rotates about the axis La, and is provided so as to rotate synchronously with the detection object 2. When a current flows through the exciting coil 3, an induced electromotive force VDE is generated in the detection coil 4 by electromagnetic induction.

金属ロータ6は、検出対象物2と同一軸心上(軸La回)りに回動する。金属ロータ6の外周には、ロータ本体9から金属ロータ6の径方向外側に突出する突片10が複数形成されている。複数の突片10は、例えば扇状に形成され、金属ロータ6の回動方向(図1の矢印A方向)に沿って等間隔に配置され、検出コイル4に対向することにより、検出コイル4に発生する誘導起電力VDEを変化させる。金属ロータ6の外周には、突片10と、隣同士の突片10の間にできる凹部11とが、金属ロータ6の回動方向に沿って交互に等間隔配置されている。 The metal rotor 6 rotates about the same axis as the detection target 2 (axis La rotation). On the outer periphery of the metal rotor 6, a plurality of projecting pieces 10 that protrude from the rotor body 9 to the outside in the radial direction of the metal rotor 6 are formed. The plurality of projecting pieces 10 are formed in, for example, a fan shape, are arranged at equal intervals along the rotation direction of the metal rotor 6 (the direction of arrow A in FIG. 1), and face the detection coil 4, thereby The induced electromotive force V DE to be generated is changed. On the outer periphery of the metal rotor 6, the protrusions 10 and the recesses 11 formed between the adjacent protrusions 10 are alternately arranged at equal intervals along the rotation direction of the metal rotor 6.

金属ロータ6の回動方向の平面をロータ回動方向平面(図1のX−Y平面)としたとき、突片10のロータ回動方向平面における設定角度R1と、凹部11のロータ回動方向平面における設定角度R2とは、同じ角度にされている。設定角度R1,R2は、例えば「36°」である。   When the plane of the rotation direction of the metal rotor 6 is a rotor rotation direction plane (XY plane in FIG. 1), the set angle R1 on the rotor rotation direction plane of the projecting piece 10 and the rotor rotation direction of the recess 11 The set angle R2 in the plane is the same angle. The setting angles R1 and R2 are, for example, “36 °”.

検出コイル4は、金属ロータ6の回動方向に沿って複数(本例は3つ)設けられている。本例の場合、第1検出コイル4aが第2検出コイル4b及び第3検出コイル4cの間に配置されている。第1検出コイル4a〜第3検出コイル4cのそれぞれの設定角度(以降、ループ角度Rkと記す)は、1組の突片10及び凹部11の角度範囲に合わせて、「72°」にされている。これにより、1つあたりの検出コイル4では、0°〜72°の角度を検出することが可能である。   A plurality (three in this example) of detection coils 4 are provided along the rotation direction of the metal rotor 6. In the case of this example, the first detection coil 4a is disposed between the second detection coil 4b and the third detection coil 4c. The set angle (hereinafter referred to as loop angle Rk) of each of the first detection coil 4a to the third detection coil 4c is set to “72 °” in accordance with the angle range of the pair of protrusions 10 and the recesses 11. Yes. Thereby, it is possible to detect an angle of 0 ° to 72 ° with one detection coil 4.

第1検出コイル4a〜第3検出コイル4cは、金属ロータ6の回動方向に並び配置されるとともに、金属ロータ6の軸方向(図1のZ軸方向)において所定量ずつ重ねて配置されることにより位相がずらされている。本例の場合、第1検出コイル4aと第2検出コイル4bとが所定量重ね配置され、第1検出コイル4aと第3検出コイル4cとが所定量重ね配置されている。第1検出コイル4a〜第3検出コイル4cは、位置検出装置1の基板(図示略)に設けられたスルーホールを通じて重ね配置されることが好ましい。第1検出コイル4a及び第2検出コイル4bの位相ずれと、第2検出コイル4b及び第3検出コイル4cの位相ずれとは、ともに「24°」である。   The first detection coil 4a to the third detection coil 4c are arranged side by side in the rotational direction of the metal rotor 6 and are arranged by a predetermined amount in the axial direction of the metal rotor 6 (Z-axis direction in FIG. 1). As a result, the phase is shifted. In the case of this example, the first detection coil 4a and the second detection coil 4b are arranged in a predetermined amount and the first detection coil 4a and the third detection coil 4c are arranged in a predetermined amount. The first detection coil 4a to the third detection coil 4c are preferably arranged so as to overlap each other through a through hole provided in a substrate (not shown) of the position detection device 1. The phase shift between the first detection coil 4a and the second detection coil 4b and the phase shift between the second detection coil 4b and the third detection coil 4c are both “24 °”.

励磁コイル3は、3つの第1検出コイル4a〜第3検出コイル4cを全て覆うことができる形状に形成されている。本例の励磁コイル3は、軸La回りの円弧に沿った形状に形成されている。励磁コイル3は、第1検出コイル4a〜第3検出コイル4cと同じ基板上に形成されることが好ましい。   The exciting coil 3 is formed in a shape that can cover all of the three first detection coils 4a to 4c. The exciting coil 3 of this example is formed in a shape along an arc around the axis La. The excitation coil 3 is preferably formed on the same substrate as the first detection coil 4a to the third detection coil 4c.

図1及び図2に示すように、検出コイル4から出力される検出値(検出電圧)S1を基に検出対象物2の位置を演算する演算処理回路17を備える。演算処理回路17は、励磁回路18を介して励磁コイル3と接続されている。励磁コイル3の電位の高い側には、電圧調整用の抵抗19が接続されている。演算処理回路17は、励磁コイル3と電磁結合される検出コイル4に対し、検出回路20を介して接続されている。本例の場合、第1検出コイル4a〜第3検出コイル4cは、それぞれ検出回路20a,20b,20cを介して演算処理回路17に接続されている。検出回路20a〜20cは、例えば信号の増幅や変調等を行う回路であることが好ましい。   As shown in FIGS. 1 and 2, an arithmetic processing circuit 17 that calculates the position of the detection object 2 based on a detection value (detection voltage) S <b> 1 output from the detection coil 4 is provided. The arithmetic processing circuit 17 is connected to the exciting coil 3 via the exciting circuit 18. A voltage adjustment resistor 19 is connected to the high potential side of the exciting coil 3. The arithmetic processing circuit 17 is connected via a detection circuit 20 to the detection coil 4 that is electromagnetically coupled to the excitation coil 3. In the case of this example, the first detection coil 4a to the third detection coil 4c are connected to the arithmetic processing circuit 17 via detection circuits 20a, 20b, and 20c, respectively. The detection circuits 20a to 20c are preferably circuits that perform signal amplification and modulation, for example.

演算処理回路17は、励磁コイル3に交流電圧を印加することにより、励磁コイル3から磁界(磁束)を発生させ、相互誘導作用により、第1検出コイル4a〜第3検出コイル4cに誘導起電力を発生させる。このとき、演算処理回路17は、検出回路20から各検出コイル4の検出値S1を入力する。本例の場合、演算処理回路17は、検出回路20aを介して第1検出コイル4aから第1検出値S1−aを入力し、検出回路20bを介して第2検出コイル4bから第2検出値S1−bを入力し、検出回路20cを介して第3検出コイル4cから第3検出値S1−cを入力する。演算処理回路17は、第1検出値S1−a、第2検出値S1−b及び第3検出値S1−cを基に、検出対象物2の位置、すなわち金属ロータ6の回転角度(ロータ角度θ)を演算する。   The arithmetic processing circuit 17 applies an alternating voltage to the exciting coil 3 to generate a magnetic field (magnetic flux) from the exciting coil 3, and induces an induced electromotive force in the first detection coil 4a to the third detection coil 4c by mutual induction action. Is generated. At this time, the arithmetic processing circuit 17 inputs the detection value S 1 of each detection coil 4 from the detection circuit 20. In the case of this example, the arithmetic processing circuit 17 inputs the first detection value S1-a from the first detection coil 4a via the detection circuit 20a, and the second detection value from the second detection coil 4b via the detection circuit 20b. S1-b is input, and the third detection value S1-c is input from the third detection coil 4c via the detection circuit 20c. Based on the first detection value S1-a, the second detection value S1-b, and the third detection value S1-c, the arithmetic processing circuit 17 determines the position of the detection object 2, that is, the rotation angle of the metal rotor 6 (rotor angle). θ) is calculated.

位置検出装置1は、検出回路20の検出値(例えば検出電圧)S1が検出回路20のレンジに適した値となるように励磁コイル3のパラメータを調整する励磁コイル調整部25を備える。励磁コイル調整部25は、演算処理回路17に設けられている。励磁コイル3において調整されるパラメータは、例えば励磁コイル3に流される電流(制御電流値Is)である。励磁コイル調整部25は、検出コイル4から出力される複数の検出値S1のうち振幅の絶対値が小さい2つを選択して、これらの和Kを求め、和K及びその狙い値Ktを基に励磁コイル3のパラメータを調整する。本例の励磁コイル調整部25は、装置(位置検出装置1)の起動時に励磁コイル3のパラメータの調整を実行する。演算処理回路17は、励磁コイル3のパラメータ調整が済んだ後に検出対象物2の位置検出を実行する。   The position detection device 1 includes an excitation coil adjustment unit 25 that adjusts parameters of the excitation coil 3 so that a detection value (for example, detection voltage) S1 of the detection circuit 20 becomes a value suitable for the range of the detection circuit 20. The exciting coil adjustment unit 25 is provided in the arithmetic processing circuit 17. The parameter adjusted in the exciting coil 3 is, for example, a current (control current value Is) that flows through the exciting coil 3. The exciting coil adjustment unit 25 selects two detection values S1 output from the detection coil 4 that have a small absolute value of the amplitude, obtains the sum K thereof, and based on the sum K and the target value Kt. Adjust the parameters of the exciting coil 3. The excitation coil adjustment unit 25 of this example adjusts the parameters of the excitation coil 3 when the device (position detection device 1) is activated. The arithmetic processing circuit 17 detects the position of the detection target 2 after the parameter adjustment of the exciting coil 3 is completed.

次に、図2〜図4を用いて、位置検出装置1の作用及び効果を説明する。
図3に示すように、励磁コイル3に交流電圧が印加されると、相互誘導作用によって第1検出コイル4a〜第3検出コイル4cには、励磁コイル3から出力される磁界に応じた誘導起電力VDEが各々発生する。この状態において、金属ロータ6が軸La回りに回動すると、金属ロータ6の回動位置に応じて、第1検出コイル4a〜第3検出コイル4cの誘導起電力VDE(検出電圧)が交流波状(例えば正弦波状や三角波状)に変化する。すなわち、第1検出値S1−aを基準としたとき、第1検出値S1−aから位相が「24°」遅れた第2検出値S1−bが出力され、第1検出値S1−aから位相が「48°」遅れた第3検出値S1−cが出力される。
Next, the operation and effect of the position detection device 1 will be described with reference to FIGS.
As shown in FIG. 3, when an AC voltage is applied to the excitation coil 3, the first detection coil 4a to the third detection coil 4c are induced in response to the magnetic field output from the excitation coil 3 by mutual induction. Each power V DE is generated. In this state, when the metal rotor 6 rotates about the axis La, the induced electromotive forces V DE (detection voltages) of the first detection coil 4a to the third detection coil 4c are alternating according to the rotation position of the metal rotor 6. It changes to a wave shape (for example, a sine wave shape or a triangular wave shape). That is, when the first detection value S1-a is used as a reference, the second detection value S1-b whose phase is delayed by “24 °” from the first detection value S1-a is output, and from the first detection value S1-a The third detection value S1-c whose phase is delayed by “48 °” is output.

なお、図2に示すように、検出コイル4の誘導起電力VDEは、同図の式(α)で表される。この式(α)からも分かるように、誘導起電力VDEの演算には、主に、励磁コイル3及び検出コイル4の間の相互インダクタンスM、検出対象である金属ロータ6に流れる励磁電流IEX、励磁コイル3の自己インダクタンスLEXの各パラメータが関係してくる。よって、金属ロータ6の回転時、誘導起電力VDEの変化を大きくとって検出精度を確保するには、これらパラメータを最適に変化させることが望まれる。 As shown in FIG. 2, the induced electromotive force V DE of the detection coil 4 is expressed by the equation (α) in the same figure. As can be seen from this equation (α), the calculation of the induced electromotive force V DE mainly includes the mutual inductance M between the excitation coil 3 and the detection coil 4 and the excitation current I flowing through the metal rotor 6 to be detected. EX, each of the parameters of the self-inductance L EX of the exciting coil 3 comes to relationships. Therefore, it is desirable to change these parameters optimally in order to secure a detection accuracy by taking a large change in the induced electromotive force V DE when the metal rotor 6 rotates.

図4に、励磁コイル3のパラメータ調整の仕方の説明図を図示する。励磁コイル調整部25は、位置検出装置1の起動時、予め定めておいた制御電流値Is(図1及び図2参照)により励磁コイル3に交流電圧を印加し、第1検出コイル4a〜第3検出コイル4cに現れる誘導起電力VDEを、検出回路20a〜20cを介して検出する。なお、位置検出装置1の起動時とは、例えば位置検出装置1により検出対象物2の位置検出を開始するタイミングであることが好ましい。 FIG. 4 shows an explanatory diagram of how to adjust the parameters of the exciting coil 3. The excitation coil adjustment unit 25 applies an AC voltage to the excitation coil 3 according to a predetermined control current value Is (see FIGS. 1 and 2) when the position detection device 1 is started up, and the first detection coils 4a to 4th. 3 The induced electromotive force V DE appearing in the detection coil 4c is detected via the detection circuits 20a to 20c. In addition, it is preferable that the time of starting of the position detection apparatus 1 is a timing which starts the position detection of the detection target object 2 by the position detection apparatus 1, for example.

励磁コイル調整部25は、制御電流値Isを励磁コイル3に流したときに検出回路20a〜20cから検出する検出値S1(第1検出値S1−a、第2検出値S1−b、第3検出値S1−c)のうち、振幅(振幅値)の絶対値が小さい2つを選択し、両者の和Kを演算する。ここでの例では、第1検出値S1−aの振幅の絶対値と、第2検出値S1−bの振幅の絶対値とが選択され、これらの和Kが算出される。なお、振幅の絶対値が小さい2つを選択するのは、電圧波形が直線的であって、かつ電圧波形の傾きが正負逆のものを選ぶためである。また、振幅の絶対値が小さい2つの和Kをとるのは、いま励磁電流IEXがどの程度の値をとり、制御電流値Isをどれだけ変化させるかの基準を求めるためである。両者の和Kの絶対値は、ロータ角度θによらず一定に近い値をとる。 The excitation coil adjustment unit 25 detects the detection value S1 (first detection value S1-a, second detection value S1-b, third detection value) detected from the detection circuits 20a to 20c when the control current value Is flows through the excitation coil 3. Among the detection values S1-c), two of the absolute values of the amplitudes (amplitude values) are selected, and the sum K of both is calculated. In this example, the absolute value of the amplitude of the first detection value S1-a and the absolute value of the amplitude of the second detection value S1-b are selected, and the sum K thereof is calculated. The reason why the two absolute amplitudes are small is that the voltage waveform is linear and the slope of the voltage waveform is positive or negative. The reason why the two sums K having a small absolute value of the amplitude is taken is to obtain a reference value of how much the exciting current I EX takes and how much the control current value Is is changed. The absolute value of the sum K of both takes a value close to a constant regardless of the rotor angle θ.

励磁コイル調整部25は、算出した和Kが、和Kの狙い値Kt又はその付近になるように、励磁コイル3の制御電流値Isを制御する。すなわち、励磁コイル調整部25は、和Kが狙い値Kt又はその付近になるような制御電流値Isを励磁コイル3に流す。狙い値Ktは、検出回路20のレンジにおいて最大値(絶対値)寄りの値に設定されることが好ましく、例えば検出回路20のレンジが±2.0Vならば、1.5V付近に設定されるとよい。励磁コイル調整部25は、第1検出値S1−a〜第3検出値S1−cのうち振幅の絶対値が小さい2つの和Kをとって、この和Kが狙い値Kt又はその付近となるように制御電流値Isを調整する処理を、和Kが狙い値Kt又はその付近となるまで繰り返す。   The exciting coil adjustment unit 25 controls the control current value Is of the exciting coil 3 so that the calculated sum K becomes the target value Kt of the sum K or the vicinity thereof. That is, the exciting coil adjustment unit 25 causes the exciting coil 3 to flow a control current value Is such that the sum K is at or near the target value Kt. The target value Kt is preferably set to a value close to the maximum value (absolute value) in the range of the detection circuit 20. For example, if the range of the detection circuit 20 is ± 2.0V, it is set to around 1.5V. Good. The exciting coil adjustment unit 25 takes two sums K having a small absolute value of the amplitude among the first detection value S1-a to the third detection value S1-c, and this sum K becomes the target value Kt or its vicinity. Thus, the process of adjusting the control current value Is is repeated until the sum K becomes the target value Kt or the vicinity thereof.

図3に戻り、演算処理回路17は、絶対値の和Kが狙い値Kt又はその付近となった後、第1検出値S1−a〜第3検出値S1−cを基にロータ角度θを算出する。本例の場合、演算処理回路17は、第1検出値S1−a〜第3検出値S1−cの3つの信号のうち、信号波形が直線状のもの(領域Uに存在するもの)を2つ選択し、これら信号の例えば差や和をとって、検出対象物2の検出角度θrを演算し、これをロータ角度θとして求める。例えば、ロータ角度θが6°〜18°のときには、S1−aとS1−bとを使用し、ロータ角度θが18°〜30°のときには、S1−aとS1−cとを使用する。このようにして、演算処理回路17は、1周期が72°のロータ角度θを演算する。   Returning to FIG. 3, the arithmetic processing circuit 17 determines the rotor angle θ based on the first detection value S1-a to the third detection value S1-c after the sum K of absolute values becomes at or near the target value Kt. calculate. In the case of this example, the arithmetic processing circuit 17 uses 2 signals having a linear signal waveform (existing in the region U) among the three signals of the first detection value S1-a to the third detection value S1-c. For example, the difference or sum of these signals is calculated to calculate the detection angle θr of the detection object 2 and obtain it as the rotor angle θ. For example, S1-a and S1-b are used when the rotor angle θ is 6 ° to 18 °, and S1-a and S1-c are used when the rotor angle θ is 18 ° to 30 °. In this way, the arithmetic processing circuit 17 calculates the rotor angle θ with one cycle being 72 °.

励磁コイル調整部25は、検出対象物2の位置検出を行っている期間中であっても、和Kを求めて狙い値Ktと比較する処理を継続して行う。そして、励磁コイル調整部25は、和Kが狙い値Kt又はその付近から外れたときには、励磁コイル3のパラメータの調整を再度実行する。以上のようにして、演算処理回路17は、検出対象物2の回転角度(ロータ角度θ)を演算する。   Even during the period during which the position of the detection target 2 is being detected, the exciting coil adjustment unit 25 continuously performs the process of obtaining the sum K and comparing it with the target value Kt. Then, when the sum K deviates from the target value Kt or the vicinity thereof, the excitation coil adjustment unit 25 adjusts the parameters of the excitation coil 3 again. As described above, the arithmetic processing circuit 17 calculates the rotation angle (rotor angle θ) of the detection target 2.

ところで、検出対象物2の回転角度(ロータ角度θ)を求めるにあたり、例えば励磁回路18が振幅フィードバックを通じて一定振幅の交流電圧を励磁コイル3に印加して、検出コイル4に生じる誘導起電力VDEから角度検出を行う方式もある。しかし、励磁振幅を一定とする方式の場合、例えば励磁コイル3及び金属体5との距離変動等を要因として、励磁コイル3のインピーダンスに変動が生じた場合には、励磁電流IEXが変化してしまい、検出回路20の検出値S1が変動する。 By the way, in obtaining the rotation angle (rotor angle θ) of the detection object 2, for example, the excitation circuit 18 applies an AC voltage having a constant amplitude to the excitation coil 3 through amplitude feedback, and the induced electromotive force V DE generated in the detection coil 4 is obtained. There is also a method of detecting the angle from the above. However, in the case of a method in which the excitation amplitude is constant, the excitation current I EX changes when the impedance of the excitation coil 3 varies due to, for example, the distance variation between the excitation coil 3 and the metal body 5. As a result, the detection value S1 of the detection circuit 20 varies.

これに対処するには、例えば検出値S1(その振幅)のレベル増に備えるのであれば、検出回路20のレンジ(フルレンジ)を広くとる必要があるが、背反として、非増加時においてフルレンジに対する検出値S1の変化率が小さくなるので、分解能が低下する問題が生じる。一方、例えば検出値S1(その振幅)がレベル減となると、検出値S1の電圧変化が小さくなり、相対的に回路の非線形誤差の影響を受け易くなるので、位置検出精度が悪化する問題がある。   To cope with this, for example, if the level of the detection value S1 (its amplitude) is to be increased, the detection circuit 20 must have a wide range (full range). Since the rate of change of the value S1 becomes small, there arises a problem that the resolution is lowered. On the other hand, for example, when the detection value S1 (its amplitude) decreases, the voltage change of the detection value S1 becomes small and is relatively susceptible to non-linear errors in the circuit. .

そこで、本例では、3つある検出回路20の2つの検出値S1の和Kを使用し、励磁コイル3に印加する交流電圧の振幅を制御する。このため、例えば励磁コイル3と金属体5との間の距離変動を要因として励磁コイル3のインピーダンスが変化しても、励磁電流IEXが調整されることにより、検出回路20の検出値S1を一定レベルに保つことが可能となる。これにより、検出回路20の検出値S1を検出回路20のレンジに合わせた最適な値に設定することが可能となる。すなわち、検出回路20のレンジを無駄な範囲にまで広げて設定せずに済み、かつレンジが不足することもない。よって、検出対象物2の位置検出精度を確保することができる。 Therefore, in this example, the sum K of the two detection values S1 of the three detection circuits 20 is used to control the amplitude of the AC voltage applied to the exciting coil 3. Thus, for example, the impedance of the exciting coil 3 as a factor of distance variation between the exciting coil 3 and the metal body 5 is changed, by the exciting current I EX is adjusted, the detection value S1 of the detection circuit 20 It becomes possible to keep a certain level. As a result, the detection value S1 of the detection circuit 20 can be set to an optimum value according to the range of the detection circuit 20. That is, the range of the detection circuit 20 does not have to be set to a useless range, and the range does not become insufficient. Therefore, the position detection accuracy of the detection object 2 can be ensured.

また、励磁回路18が振幅フィードバックを通じて一定振幅の交流電圧を励磁コイル3に印加して検出対象物2の回転角度(ロータ角度θ)を求める場合、振幅を検出してフィードバックする回路が励磁回路18に必要となり、回路規模が大きくなってしまう問題がある。一方、本例の場合は、この種の回路が不要であり、従来から回路の変更なしに振幅を制御することが可能な技術でもあるので、回路規模の小型化を満足することもできる。   Further, when the excitation circuit 18 applies an AC voltage having a constant amplitude to the excitation coil 3 through amplitude feedback to determine the rotation angle (rotor angle θ) of the detection object 2, a circuit that detects and feeds back the amplitude is the excitation circuit 18. There is a problem that the circuit scale becomes large. On the other hand, in the case of this example, this type of circuit is unnecessary, and since it is a technique that can conventionally control the amplitude without changing the circuit, miniaturization of the circuit scale can also be satisfied.

励磁コイル調整部25は、複数の検出値S1のうち振幅の小さい2つの和Kを求めて和Kが狙い値Kt又はその付近の値となるように励磁コイル3のパラメータを調整する処理を、和Kが狙い値Kt又はその付近の値をとるまで繰り返し行う。よって、和Kをできる限り狙い値Ktに近づけることが可能となるので、位置検出精度を確保するのに一層有利となる。   The exciting coil adjustment unit 25 obtains two small sums K of the plurality of detection values S1 and adjusts the parameters of the exciting coil 3 so that the sum K becomes the target value Kt or a value in the vicinity thereof. The process is repeated until the sum K takes the target value Kt or a value in the vicinity thereof. Therefore, the sum K can be made as close as possible to the target value Kt, which is more advantageous for ensuring the position detection accuracy.

前記励磁コイル3において調整されるパラメータは、励磁コイル3に流される制御電流値Isである。よって、励磁コイル3に流す電流を調整するという簡素な処理により、励磁コイル3の作動を適宜変更することができる。   The parameter adjusted in the exciting coil 3 is a control current value Is that flows in the exciting coil 3. Therefore, the operation of the exciting coil 3 can be appropriately changed by a simple process of adjusting the current flowing through the exciting coil 3.

励磁コイル調整部25は、装置(位置検出装置1)の起動時に励磁コイル3のパラメータの調整を実行し、演算処理回路17は、励磁コイル3のパラメータの調整が済んだ後に検出対象物2の位置検出を実行する。よって、装置の起動時に先に励磁コイル3のパラメータの調整を実行しておくので、最適化された励磁コイル3の下で検出対象物2の位置を求めることができる。   The excitation coil adjustment unit 25 adjusts the parameters of the excitation coil 3 when the device (position detection device 1) is started up, and the arithmetic processing circuit 17 adjusts the parameters of the excitation coil 3 after the adjustment of the parameters of the excitation coil 3. Perform position detection. Therefore, since the parameters of the exciting coil 3 are adjusted first when the apparatus is activated, the position of the detection object 2 can be obtained under the optimized exciting coil 3.

励磁コイル調整部25は、検出対象物2の位置検出を行っている期間中であっても、和Kを求めて狙い値Ktと比較する処理を継続して行い、和Kが狙い値Ktから外れたときには、励磁コイル3のパラメータの調整を再度実行する。よって、検出対象物2の位置検出を行っている間でも、励磁コイル3を最適化して検出コイル4の検出値S1を一定レベルに保つことが可能となるので、位置検出精度を確保するのに一層有利となる。   Even during the period during which the position of the detection target 2 is being detected, the exciting coil adjustment unit 25 continuously performs a process of obtaining the sum K and comparing it with the target value Kt, and the sum K is calculated from the target value Kt. When it is off, adjustment of the parameters of the exciting coil 3 is executed again. Therefore, even during the position detection of the detection object 2, the excitation coil 3 can be optimized and the detection value S1 of the detection coil 4 can be kept at a constant level, so that the position detection accuracy can be ensured. It becomes even more advantageous.

演算処理回路17は、3つ設けられた第1検出コイル4a〜第3検出コイル4cから検出される検出値S1(第1検出値S1−a、第2検出値S1−b及び第3検出値S1−c)を基に検出対象物2の位置検出を実行する。よって、3つの第1検出コイル4a〜第3検出コイル4cの出力を基に高い分解能で位置を検出することが可能となるので、位置検出精度を確保するのに一層有利となる。   The arithmetic processing circuit 17 has detection values S1 (first detection value S1-a, second detection value S1-b, and third detection value) detected from the three first detection coils 4a to 4c provided. Based on S1-c), the position of the detection object 2 is detected. Accordingly, the position can be detected with high resolution based on the outputs of the three first detection coils 4a to 4c, which is more advantageous for ensuring the position detection accuracy.

なお、実施形態はこれまでに述べた構成に限らず、以下の態様に変更してもよい。
・制御電流値Isの調整は、繰り返し実施されることに限らず、1度のみの処理としてもよい。
Note that the embodiment is not limited to the configuration described so far, and may be modified as follows.
The adjustment of the control current value Is is not limited to repeated execution, and may be performed only once.

・狙い値Ktは、検出回路20のレンジに応じて、種々の値に適宜変更することが可能である。
・励磁コイル3は、検出コイル4を一部のみ覆う形状としてもよいし、或いは全く覆わない形状としてもよい。
The target value Kt can be appropriately changed to various values according to the range of the detection circuit 20.
The excitation coil 3 may have a shape that covers only a part of the detection coil 4 or a shape that does not cover at all.

・検出コイル4の個数は、3つに限らず、例えば2つや4つ以上に変更してもよい。
・各検出コイル4は、一部分が互いに重なるように配置されることに限らず、例えば全く重ならない配置としてもよい。
The number of detection coils 4 is not limited to three, and may be changed to two or four or more, for example.
The detection coils 4 are not limited to be arranged so that parts thereof overlap each other, and may be arranged so as not to overlap at all.

・検出コイル4の形状やサイズは、実施形態以外の他のパターンに変更可能である。
・第1検出値S1−a〜第3検出値S1−cの位相ずれは、「24°」に限定されず、他の値に変更可能である。
The shape and size of the detection coil 4 can be changed to patterns other than the embodiment.
The phase shift between the first detection value S1-a and the third detection value S1-c is not limited to “24 °” and can be changed to other values.

・第1検出値S1−a〜第3検出値S1−cの周期は、実施形態以外の他の値に変更可能である。
・検出コイル4の配置位置や個数を適宜変更して、検出対象物2の位置を360°範囲で検出できるようにしてもよい。
-The period of 1st detection value S1-a-3rd detection value S1-c can be changed into values other than embodiment.
The arrangement position and the number of the detection coils 4 may be appropriately changed so that the position of the detection target 2 can be detected in a 360 ° range.

・励磁コイル3のパラメータ調整は、制御電流値Isを調整することで実現することに限定されない。例えば、パラメータは、例えば励磁コイル3に印加される電圧としてもよいし、これ以外の特性値に変更してもよい。   The parameter adjustment of the exciting coil 3 is not limited to being realized by adjusting the control current value Is. For example, the parameter may be, for example, a voltage applied to the exciting coil 3, or may be changed to a characteristic value other than this.

・狙い値Ktは、和Kに所定値を加えた値に限定されない。例えば、算出した和Kをそのまま狙い値Ktとしてもよい。
・位置検出装置1は、直線移動する検出対象物2の位置(スライド位置)を検出するものでもよい。
The target value Kt is not limited to a value obtained by adding a predetermined value to the sum K. For example, the calculated sum K may be used as the target value Kt as it is.
The position detection device 1 may detect the position (slide position) of the detection target 2 that moves linearly.

・位置検出装置1は、種々の機器や装置に適用可能である。   The position detection device 1 can be applied to various devices and apparatuses.

1…位置検出装置、2…検出対象物、3…励磁コイル、4…検出コイル、4a…第1検出コイル、4b…第2検出コイル、4c…第3検出コイル、5…金属体、6…金属体の一例である金属ロータ、17…演算処理回路、20(20a〜20c)…検出回路、25…励磁コイル調整部、VDE…誘導起電力、S1…検出値、S1−a…第1検出値、S1−b…第2検出値、S1−c…第3検出値、K…和、Kt…狙い値、Is…パラメータの一例である制御電流値。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Position detection apparatus, 2 ... Detection object, 3 ... Excitation coil, 4 ... Detection coil, 4a ... 1st detection coil, 4b ... 2nd detection coil, 4c ... 3rd detection coil, 5 ... Metal body, 6 ... Metal rotor, which is an example of a metal body, 17 ... arithmetic processing circuit, 20 (20a to 20c) ... detection circuit, 25 ... excitation coil adjustment unit, V DE ... induced electromotive force, S1 ... detection value, S1-a ... first Detection value, S1-b ... second detection value, S1-c ... third detection value, K ... sum, Kt ... target value, Is ... control current value as an example of parameter.

Claims (6)

電流が流された励磁コイルから発生する磁界により、複数の検出コイルに誘導起電力を発生させ、位置検出の対象である検出対象物と連動する金属体によって前記検出コイルの誘導起電力を変化させることにより、当該誘導起電力を基に演算処理回路が前記検出対象物の位置を求める位置検出装置において、
前記検出コイルの複数の検出値のうち振幅の絶対値が小さい2つを選択して、これらの和を求め、当該和及びその狙い値を基に前記励磁コイルのパラメータを調整する励磁コイル調整部を備える
ことを特徴とする位置検出装置。
An induced electromotive force is generated in a plurality of detection coils by a magnetic field generated from an exciting coil through which a current is passed, and the induced electromotive force of the detection coil is changed by a metal body interlocked with a detection target that is a position detection target. Thus, in the position detection device in which the arithmetic processing circuit obtains the position of the detection object based on the induced electromotive force,
An excitation coil adjustment unit that selects two of the detection values of the detection coil that have a small absolute value, obtains the sum of these, and adjusts the parameters of the excitation coil based on the sum and the target value A position detection device comprising:
前記励磁コイル調整部は、複数の前記検出値のうち振幅の小さい2つの和を求めて当該和が狙い値又はその付近の値となるように前記励磁コイルのパラメータを調整する処理を、当該和が狙い値又はその付近の値をとるまで繰り返し行う
請求項1に記載の位置検出装置。
The excitation coil adjustment unit obtains a sum of two of the detection values having a small amplitude and adjusts the excitation coil parameters so that the sum becomes a target value or a value in the vicinity thereof. The position detection device according to claim 1, wherein the position detection device is repeatedly performed until the value takes a target value or a value in the vicinity thereof.
前記パラメータは、前記励磁コイルに流される制御電流値である
請求項1又は2に記載の位置検出装置。
The position detection device according to claim 1, wherein the parameter is a control current value that is passed through the excitation coil.
前記励磁コイル調整部は、装置の起動時に前記励磁コイルのパラメータの調整を実行し、
前記演算処理回路は、前記励磁コイルのパラメータの調整が済んだ後に前記検出対象物の位置検出を実行する
請求項1〜3のうちいずれか一項に記載の位置検出装置。
The excitation coil adjustment unit adjusts the parameters of the excitation coil when the apparatus is started up,
The position detection device according to any one of claims 1 to 3, wherein the arithmetic processing circuit performs position detection of the detection target object after adjustment of parameters of the excitation coil is completed.
前記励磁コイル調整部は、前記検出対象物の位置検出を行っている期間中であっても、前記和を求めて前記狙い値と比較する処理を継続して行い、前記和が前記狙い値又はその付近から外れたときには、前記励磁コイルのパラメータの調整を再度実行する
請求項1〜4のうちいずれか一項に記載の位置検出装置。
The excitation coil adjustment unit continuously performs the process of obtaining the sum and comparing it with the target value even during the period of detecting the position of the detection target, and the sum is the target value or The position detection device according to any one of claims 1 to 4, wherein, when the position deviates from the vicinity thereof, the parameter adjustment of the excitation coil is executed again.
前記演算処理回路は、3つ以上設けられた前記検出コイルから検出される検出値を基に前記検出対象物の位置検出を実行する
請求項1〜5のうちいずれか一項に記載の位置検出装置。
The position detection according to any one of claims 1 to 5, wherein the arithmetic processing circuit executes position detection of the detection target based on detection values detected from three or more detection coils provided. apparatus.
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Cited By (2)

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WO2022270198A1 (en) * 2021-06-25 2022-12-29 アルプスアルパイン株式会社 Position detection device

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2021071340A (en) * 2019-10-30 2021-05-06 アイシン精機株式会社 Rotation angle sensor
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