JP2010145149A - 電磁誘導式位置検出器及び電磁誘導式位置検出方法 - Google Patents
電磁誘導式位置検出器及び電磁誘導式位置検出方法 Download PDFInfo
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Abstract
【課題】誘起電圧Vの角周波数ωと同じ角周波数のノイズがVに加わっている場合でも、SN比を向上させて位置検出器の安定化を図ることができる電磁誘導式位置検出器及び電磁誘導式位置検出方法を提供する。
【解決手段】第1及び第2スライダ側コイルに励磁電流Ic,Isを流し、スケール側コイルに発生する誘起電圧VをAD変換してサンプリング周期T、サンプリング点数Nでサンプリングし、このサンプリングデータに基づきVの位相βを検出し、Vのω成分の拡散フーリエ係数をCとし、C=|C|exp(jΦ)における位相Φ=tan-1(lm(C)/Re(C))として、前記サンプリングデータに基づきFFT処理を行なうことによりωの信号成分の振幅|C|と位相Φを求め、|C|とΦとNとβとに基づいて振幅のβ方向への斜影Vsを求め、Vsが0になるように励振位置αを調整し、αに基づいてIs,Icを調整して、Vsが0となるαを検出位置Xとするという処理を行なう。
【選択図】図2
【解決手段】第1及び第2スライダ側コイルに励磁電流Ic,Isを流し、スケール側コイルに発生する誘起電圧VをAD変換してサンプリング周期T、サンプリング点数Nでサンプリングし、このサンプリングデータに基づきVの位相βを検出し、Vのω成分の拡散フーリエ係数をCとし、C=|C|exp(jΦ)における位相Φ=tan-1(lm(C)/Re(C))として、前記サンプリングデータに基づきFFT処理を行なうことによりωの信号成分の振幅|C|と位相Φを求め、|C|とΦとNとβとに基づいて振幅のβ方向への斜影Vsを求め、Vsが0になるように励振位置αを調整し、αに基づいてIs,Icを調整して、Vsが0となるαを検出位置Xとするという処理を行なう。
【選択図】図2
Description
本発明はリニア形スケールなどの電磁誘導式位置検出器及び電磁誘導式位置検出方法に関する。
電磁誘導式位置検出器であるインダクトシン方式のスケールは、工作機械、自動車、ロボットなどの各種機械の位置検出部に適用される。インダクトシン方式のスケールにはリニア形スケールとロータリ形スケールがあり、リニア形スケールは例えば工作機械の直線移動軸に適用されて当該直線移動軸上の移動位置を検出し、ロータリ形スケールは例えば工作機械の回転軸に適用されて当該回転軸の回転角度を検出する。
リニア形スケール及びロータリ形スケールは何れも、平行に向かい合わせに配置したコイルパターンの電磁誘導により位置を検出するものである。この検出原理を図4の原理図に基づいて説明する。図4(a)はリニア形スケールのスライダとスケールを平行に向かい合わせにした状態を示す斜視図、図4(b)は前記スライダと前記スケールを並べて示す図、図4(c)は前記スライダと前記スケールの電磁結合度を示す図である。なお、図4にはリニア形スケールの原理図を示しているが、ロータリ形スケールの原理もこれと同様であり、ロータリ形スケールのステータとロータがそれぞれ、リニア形スケールのスライダとスケールに対応している。
図4(a)及び図4(b)に示すように、リニア形スケールの検出部は一次側部材としてのスライダ1と、二次側部材としてのスケール2とを有している。可動部であるスライダ1は第1の一次側コイルとしての第1スライダ側コイル3と、第2の一次側コイルとしての第2スライダ側コイル4とを有しており、固定部であるスケール2は二次側コイルとしてのスケール側コイル5を有している。これらのコイル3,4,5はジグザグ状に折り返され(即ち櫛型パターンに形成され)且つ全体が直線状になっている。
そして、図4(a)に示すように、スライダ1(即ち第1スライダ側コイル3及び第2スライダ側コイル4)と、スケール2(即ちスケール側コイル5)は、これらの間に規定の範囲内のギャップ(隙間)gを保持した状態で平行に向かい合わせて配置されている。また、図4(a)及び図4(b)に示すように、第1スライダ側コイル3と第1スライダ側コイル4は、スケール側コイル5との位置関係が1/4ピッチずれている。
このため、第1スライダ側コイル3と第2スライダ側コイル4に励磁電流(交流電流)を流し、スライダ1が図4(a)の矢印Aの如くスケール2の長さ方向に沿って移動すると、このスライダ1の移動による第1スライダ側コイル3及び第2スライダ側コイル4と、スケール側コイル5との相対的な位置関係の変化に応じて、図4(c)に示すように第1スライダ側コイル3及び第2スライダ側コイル4とスケール側コイル5との電磁結合度が周期的に変化するため、スケール側コイル5には周期的に変化する誘起電圧が発生する。
したがって、この誘起電圧に基づいてスケール2の位置(即ちスケール2に対するスライダ1の移動位置)を検出することができる。
したがって、この誘起電圧に基づいてスケール2の位置(即ちスケール2に対するスライダ1の移動位置)を検出することができる。
この位置検出処理について詳述すると、第1スライダ側コイル3には下記の(1)式で示す第1励磁電流Isを流し、第2スライダ側コイル4には下記の(2)式で示す第2励磁電流Icを流す。
Is=I・cos(kα)・sin(ωt) ・・・(1)
Ic=−I・sin(kα)・sin(ωt) ・・・(2)
但し、I:励磁電流の大きさ
k:2π/p
p:コイルの1ピッチの長さ(ロータリ形スケールでは角度)
ω:励磁電流(交流電流)の角周波数
t:時間
α:励振位置
Is=I・cos(kα)・sin(ωt) ・・・(1)
Ic=−I・sin(kα)・sin(ωt) ・・・(2)
但し、I:励磁電流の大きさ
k:2π/p
p:コイルの1ピッチの長さ(ロータリ形スケールでは角度)
ω:励磁電流(交流電流)の角周波数
t:時間
α:励振位置
その結果、スケール側コイル5には、第1スライダ側コイル3及び第2スライダ側コイル4とスケール側コイル5との間の電磁誘導により、下記の(3)式で示す誘起電圧Vが発生する。なお、位相βは系の位相遅れであり、例えば信号が信号回路を伝わる過程で生じる。
V=Q・sin(kX)・[I・cos(kα)・sin(ωt+β)]+Q・cos(kX)
・[−I・sin(kα)・sin(ωt+β)]
=Q・I・sin(k(X−α))・sin(ωt+β) ・・・(3)
但し、Q:結合係数(スライダ側コイルとスケール側コイルとの間 の電磁結合度に関する係数)
X:スケールの位置(スケールに対するスライダの位置)
β:系の位相遅れ
V=Q・sin(kX)・[I・cos(kα)・sin(ωt+β)]+Q・cos(kX)
・[−I・sin(kα)・sin(ωt+β)]
=Q・I・sin(k(X−α))・sin(ωt+β) ・・・(3)
但し、Q:結合係数(スライダ側コイルとスケール側コイルとの間 の電磁結合度に関する係数)
X:スケールの位置(スケールに対するスライダの位置)
β:系の位相遅れ
リニア形スケールの演算部(図示せず)では、誘起電圧Vの振幅K(ω)・I・sin(k(X−α))に応じてPI制御により励振位置αを調整し、この励振位置αに基づいて励磁電流Is及び励磁電流Icを調整することにより、誘起電圧Vの振幅が0となるようにし、誘起電圧Vの振幅が0(即ちα=X)になったときの励振位置αを、検出位置Xとして求める。従って、Q・Iに関係なく位置Xが求まる。
つまり、スライダ1の移動(矢印A参照)にともなう位置Xの変位に対して、励振位置α(励磁電流Is及び励磁電流Ic)を追従させてα=Xとなるようにるようにフィードバック制御をすることにより、誘起電圧Vの振幅が0となるようにし、誘起電圧Vの振幅が0(即ちα=X)になったときの励振位置αの値を、検出位置Xとする。
つまり、スライダ1の移動(矢印A参照)にともなう位置Xの変位に対して、励振位置α(励磁電流Is及び励磁電流Ic)を追従させてα=Xとなるようにるようにフィードバック制御をすることにより、誘起電圧Vの振幅が0となるようにし、誘起電圧Vの振幅が0(即ちα=X)になったときの励振位置αの値を、検出位置Xとする。
そして、上記のような処理によって検出位置Xを求める際、上記(3)式の誘起電圧Vにノイズが加わると、位置Xが変動したものとみなされてしまう。そのため、従来は、誘起電圧Vをアナログフィルタに通すことにより、誘起電圧Vから角周波数ωよりも高い角周波数のノイズをカットしている。
なお、本願に関連する先行技術文献としては次のものがある。
特開2002−207563号公報
特開2000−180208号公報
上記の如く、従来はフィルタで角周波数ωよりも高い角周波数のノイズをカットしている。
しかしながら、一般的にノイズはサーボノイズ(リニア形スケールが取り付けられる工作機械などのサーボシステムの影響によるノイズ)であり、角周波数ωよりも低い角周波数を基本波とする高調波ノイズである。このため、誘起電圧Vの角周波数ωと同じ角周波数を成分に持つノイズも誘起電圧Vに加わっており、このようなノイズはフィルタでカットすることができない。
励振位置αの分解能が低い場合には、このノイズによる検出位置Xの変動は励振位置αの分解能の単位に埋もれてしまうが、励振位置αの分解能を上げると、このノイズによる検出位置Xの変動が如実に現れるという問題がある。
しかしながら、一般的にノイズはサーボノイズ(リニア形スケールが取り付けられる工作機械などのサーボシステムの影響によるノイズ)であり、角周波数ωよりも低い角周波数を基本波とする高調波ノイズである。このため、誘起電圧Vの角周波数ωと同じ角周波数を成分に持つノイズも誘起電圧Vに加わっており、このようなノイズはフィルタでカットすることができない。
励振位置αの分解能が低い場合には、このノイズによる検出位置Xの変動は励振位置αの分解能の単位に埋もれてしまうが、励振位置αの分解能を上げると、このノイズによる検出位置Xの変動が如実に現れるという問題がある。
従って本発明は上記の事情に鑑み、誘起電圧Vの角周波数ωと同じ角周波数のノイズが誘起電圧Vに加わっている場合でも、SN比を向上させて位置検出器の安定化を図ることができる電磁誘導式位置検出器及び電磁誘導式位置検出方法を提供することを課題とする。
上記課題を解決する第1発明の電磁誘導式位置検出器は、第1の一次側コイルと第2の一次側コイルとを備えた一次側部材と、二次側コイルを備え且つ前記一次側部材に対しギャップを保持して平行に向かい合わせに配置された二次側部材とを有し、且つ、前記一次側部材と前記二次側部材とが相対的に移動可能な検出部と、この検出部を制御する制御部とを備えた電磁誘導式位置検出器において、
前記制御部では、
前記第1の一次側コイルに下記(4)式で表わされる励磁電流Isを流し、前記第2の一次側コイルに下記(5)式で表わされる励磁電流Icを流すことにより、前記二次側コイルに下記(6)式で表わされる誘起電圧Vを発生させ、この誘起電圧VをAD変換してサンプリング周期T、サンプリング点数Nでサンプリングすることにより、この誘起電圧Vのサンプリングデータを取得し、
Is=I・cos(kα)・sin(ωt) ・・・(4)
Ic=−I・sin(kα)・sin(ωt) ・・・(5)
但し、I:励磁電流の大きさ
k:2π/p
p:コイルの1ピッチの値
ω:励磁電流の角周波数
t:時間
α:励振位置
V=Q・I・sin(k(X−α))・sin(ωt+β) ・・・(6)
但し、Q:結合係数
X:検出部の位置
β:系の位相遅れ
前記サンプリングデータに基づいて位相βを検出し、
前記誘起電圧Vの角周波数ω成分の拡散フーリエ係数をCとし、C=|C|exp(jΦ)における位相Φ=tan-1(lm(C)/Re(C))として、前記サンプリングデータに基づいてFFT処理を行なうことにより角周波数ωの信号成分の振幅|C|と位相Φを求め、
これらの振幅|C|及び位相Φと、前記サンプリング点数Nと、前記位相βとに基づいて下記(7)式で表わされるβ方向への斜影Vsを求めることにより、このVsを信号成分とし、
Vs=|C|/N・cos(Φ+π/2−β) ・・・(7)
前記信号成分Vsが0になるように前記励振位置αを調整し、この励振位置αに基づいて前記励磁電流Is及び前記励磁電流Icを調整して、前記信号成分Vsが0となる励振位置αを検出位置Xとする、
という処理を行なう構成としたことを特徴とする。
前記制御部では、
前記第1の一次側コイルに下記(4)式で表わされる励磁電流Isを流し、前記第2の一次側コイルに下記(5)式で表わされる励磁電流Icを流すことにより、前記二次側コイルに下記(6)式で表わされる誘起電圧Vを発生させ、この誘起電圧VをAD変換してサンプリング周期T、サンプリング点数Nでサンプリングすることにより、この誘起電圧Vのサンプリングデータを取得し、
Is=I・cos(kα)・sin(ωt) ・・・(4)
Ic=−I・sin(kα)・sin(ωt) ・・・(5)
但し、I:励磁電流の大きさ
k:2π/p
p:コイルの1ピッチの値
ω:励磁電流の角周波数
t:時間
α:励振位置
V=Q・I・sin(k(X−α))・sin(ωt+β) ・・・(6)
但し、Q:結合係数
X:検出部の位置
β:系の位相遅れ
前記サンプリングデータに基づいて位相βを検出し、
前記誘起電圧Vの角周波数ω成分の拡散フーリエ係数をCとし、C=|C|exp(jΦ)における位相Φ=tan-1(lm(C)/Re(C))として、前記サンプリングデータに基づいてFFT処理を行なうことにより角周波数ωの信号成分の振幅|C|と位相Φを求め、
これらの振幅|C|及び位相Φと、前記サンプリング点数Nと、前記位相βとに基づいて下記(7)式で表わされるβ方向への斜影Vsを求めることにより、このVsを信号成分とし、
Vs=|C|/N・cos(Φ+π/2−β) ・・・(7)
前記信号成分Vsが0になるように前記励振位置αを調整し、この励振位置αに基づいて前記励磁電流Is及び前記励磁電流Icを調整して、前記信号成分Vsが0となる励振位置αを検出位置Xとする、
という処理を行なう構成としたことを特徴とする。
また、第2発明の電磁誘導式位置検出方法は、第1の一次側コイルと第2の一次側コイルとを備えた一次側部材と、二次側コイルを備え且つ前記一次側部材に対しギャップを保持して平行に向かい合わせに配置された二次側部材とを有し、且つ、前記一次側部材と前記二次側部材とが相対的に移動可能な検出部を利用する電磁誘導式位置検出方法において、
前記第1の一次側コイルに下記(8)式で表わされる励磁電流Isを流し、前記第2の一次側コイルに下記(9)式で表わされる励磁電流Icを流すことにより、前記二次側コイルに下記(10)式で表わされる誘起電圧Vを発生させ、この誘起電圧VをAD変換してサンプリング周期T、サンプリング点数Nでサンプリングすることにより、この誘起電圧Vのサンプリングデータを取得し、
Is=I・cos(kα)・sin(ωt) ・・・(8)
Ic=−I・sin(kα)・sin(ωt) ・・・(9)
但し、I:励磁電流の大きさ
k:2π/p
p:コイルの1ピッチの値
ω:励磁電流の角周波数
t:時間
α:励振位置
V=Q・I・sin(k(X−α))・sin(ωt+β) ・・・(10)
但し、Q:結合係数
X:検出部の位置
β:系の位相遅れ
前記サンプリングデータに基づいて位相βを検出し、
前記誘起電圧Vの角周波数ω成分の拡散フーリエ係数をCとし、C=|C|exp(jΦ)における位相Φ=tan-1(lm(C)/Re(C))として、前記サンプリングデータに基づいてFFT処理を行なうことにより角周波数ωの信号成分の振幅|C|と位相Φを求め、
これらの振幅|C|及び位相Φと、前記サンプリング点数Nと、前記位相βとに基づいて下記(11)式で表わされるβ方向への斜影Vsを求めることにより、このVsを信号成分とし、
Vs=|C|/N・cos(Φ+π/2−β) ・・・(11)
前記信号成分Vsが0になるように前記励振位置αを調整し、この励振位置αに基づいて前記励磁電流Is及び前記励磁電流Icを調整して、前記信号成分Vsが0となる励振位置αを検出位置Xとする、
という処理を行なうことを特徴とする。
前記第1の一次側コイルに下記(8)式で表わされる励磁電流Isを流し、前記第2の一次側コイルに下記(9)式で表わされる励磁電流Icを流すことにより、前記二次側コイルに下記(10)式で表わされる誘起電圧Vを発生させ、この誘起電圧VをAD変換してサンプリング周期T、サンプリング点数Nでサンプリングすることにより、この誘起電圧Vのサンプリングデータを取得し、
Is=I・cos(kα)・sin(ωt) ・・・(8)
Ic=−I・sin(kα)・sin(ωt) ・・・(9)
但し、I:励磁電流の大きさ
k:2π/p
p:コイルの1ピッチの値
ω:励磁電流の角周波数
t:時間
α:励振位置
V=Q・I・sin(k(X−α))・sin(ωt+β) ・・・(10)
但し、Q:結合係数
X:検出部の位置
β:系の位相遅れ
前記サンプリングデータに基づいて位相βを検出し、
前記誘起電圧Vの角周波数ω成分の拡散フーリエ係数をCとし、C=|C|exp(jΦ)における位相Φ=tan-1(lm(C)/Re(C))として、前記サンプリングデータに基づいてFFT処理を行なうことにより角周波数ωの信号成分の振幅|C|と位相Φを求め、
これらの振幅|C|及び位相Φと、前記サンプリング点数Nと、前記位相βとに基づいて下記(11)式で表わされるβ方向への斜影Vsを求めることにより、このVsを信号成分とし、
Vs=|C|/N・cos(Φ+π/2−β) ・・・(11)
前記信号成分Vsが0になるように前記励振位置αを調整し、この励振位置αに基づいて前記励磁電流Is及び前記励磁電流Icを調整して、前記信号成分Vsが0となる励振位置αを検出位置Xとする、
という処理を行なうことを特徴とする。
第1発明の電磁誘導式位置検出器によれば、第1発明の電磁誘導式位置検出器は、第1の一次側コイルと第2の一次側コイルとを備えた一次側部材と、二次側コイルを備え且つ前記一次側部材に対しギャップを保持して平行に向かい合わせに配置された二次側部材とを有し、且つ、前記一次側部材と前記二次側部材とが相対的に移動可能な検出部と、この検出部を制御する制御部とを備えた電磁誘導式位置検出器において、前記制御部では、前記第1の一次側コイルに上記(4)式で表わされる励磁電流Isを流し、前記第2の一次側コイルに上記(5)式で表わされる励磁電流Icを流すことにより、前記二次側コイルに上記(6)式で表わされる誘起電圧Vを発生させ、この誘起電圧VをAD変換してサンプリング周期T、サンプリング点数Nでサンプリングすることにより、この誘起電圧Vのサンプリングデータを取得し、前記サンプリングデータに基づいて位相βを検出し、前記誘起電圧Vの角周波数ω成分の拡散フーリエ係数をCとし、C=|C|exp(jΦ)における位相Φ=tan-1(lm(C)/Re(C))として、前記サンプリングデータに基づいてFFT処理を行なうことにより角周波数ωの信号成分の振幅|C|と位相Φを求め、これらの振幅|C|及び位相Φと、前記サンプリング点数Nと、前記位相βとに基づいて上記(7)式で表わされるβ方向への斜影Vsを求めることにより、このVsを信号成分とし、前記信号成分Vsが0になるように前記励振位置αを調整し、この励振位置αに基づいて前記励磁電流Is及び前記励磁電流Icを調整して、前記信号成分Vsが0となる励振位置αを検出位置Xとする、という処理を行なう構成としたことを特徴としているため、誘起電圧Vの角周波数ωと同じ角周波数のノイズが誘起電圧Vに加わっている場合でも、誘起電圧Vの位相βの情報を利用して信号成分Vsのみを抽出することができ、この信号成分Vsが0になるように励振位置αを調整して検出位置Xを求めることができる。従って、SN比が向上し、位置検出器の安定化を図ることができる。
同様に、第2発明の電磁誘導式位置検出方法によれば、第1の一次側コイルと第2の一次側コイルとを備えた一次側部材と、二次側コイルを備え且つ前記一次側部材に対しギャップを保持して平行に向かい合わせに配置された二次側部材とを有し、且つ、前記一次側部材と前記二次側部材とが相対的に移動可能な検出部を利用する電磁誘導式位置検出方法において、前記第1の一次側コイルに上記(8)式で表わされる励磁電流Isを流し、前記第2の一次側コイルに上記(9)式で表わされる励磁電流Icを流すことにより、前記二次側コイルに上記(10)式で表わされる誘起電圧Vを発生させ、この誘起電圧VをAD変換してサンプリング周期T、サンプリング点数Nでサンプリングすることにより、この誘起電圧Vのサンプリングデータを取得し、前記サンプリングデータに基づいて位相βを検出し、前記誘起電圧Vの角周波数ω成分の拡散フーリエ係数をCとし、C=|C|exp(jΦ)における位相Φ=tan-1(lm(C)/Re(C))として、前記サンプリングデータに基づいてFFT処理を行なうことにより角周波数ωの信号成分の振幅|C|と位相Φを求め、これらの振幅|C|及び位相Φと、前記サンプリング点数Nと、前記位相βとに基づいて上記(11)式で表わされるβ方向への斜影Vsを求めることにより、このVsを信号成分とし、前記信号成分Vsが0になるように前記励振位置αを調整し、この励振位置αに基づいて前記励磁電流Is及び前記励磁電流Icを調整して、前記信号成分Vsが0となる励振位置αを検出位置Xとする、という処理を行なうことを特徴としているため、誘起電圧Vの角周波数ωと同じ角周波数のノイズが誘起電圧Vに加わっている場合でも、誘起電圧Vの位相βの情報を利用して信号成分Vsのみを抽出することができ、この信号成分Vsが0になるように励振位置αを調整して検出位置Xを求めることができる。従って、SN比が向上し、位置検出の安定化を図ることができる。
以下、本発明の実施の形態例を図面に基づいて詳細に説明する。
図1は本発明の実施の形態例に係るリニア形スケールの機能を表すブロック図、図2は前記リニア形スケールの演算回路における信号抽出部の機能を示すフローチャート、図3は補正前と補正後のS/N比を示すグラフである。
図1に示すように、電磁誘導式位置検出器であるリニア形スケールは、検出部(スケール部)11と、この検出部11を制御するための制御部12とを備えている。
リニア形スケールの検出部11は従来のリニア形スケールの検出部と同様の構成である(図4(a)〜図4(c)参照)。即ち、リニア形スケールの検出部11は一次側部材としてのスライダ1と、二次側部材としてのスケール2とを有している。可動部であるスライダ1は第1の一次側コイルとしての第1スライダ側コイル3と、第2の一次側コイルとしての第2スライダ側コイル4とを有しており、固定部であるスケール2は二次側コイルとしてのスケール側コイル5を有している。これらのコイル3,4,5はジグザグ状に折り返され(即ち櫛型パターンに形成され)且つ全体が直線状になっている。そして、スライダ1(即ち第1スライダ側コイル3及び第2スライダ側コイル4)と、スケール2(即ちスケール側コイル5)は、これらの間に規定の範囲内のギャップ(隙間)gを保持した状態で平行に向かい合わせて配置されている。また、第1スライダ側コイル3と第1スライダ側コイル4は、スケール側コイル5との位置関係が1/4ピッチずれている。
このため、第1スライダ側コイル3と第2スライダ側コイル4に励磁電流(交流電流)を流し、スライダ1がスケール2の長さ方向に沿って移動すると、このスライダ1の移動による第1スライダ側コイル3及び第2スライダ側コイル4と、スケール側コイル5との相対的な位置関係の変化に応じて、第1スライダ側コイル3及び第2スライダ側コイル4とスケール側コイル5との電磁結合度が周期的に変化するため(図4(c)参照)、スケール側コイル5には周期的に変化する誘起電圧が発生する。
従って、この誘起電圧に基づいてスケール2の位置(即ちスケール2に対するスライダ1の移動位置)を検出することができる。
従って、この誘起電圧に基づいてスケール2の位置(即ちスケール2に対するスライダ1の移動位置)を検出することができる。
かかる検出処理は、リニア形スケールの制御部12で行われる。制御部12はローパス増幅回路21と、AD変換器22と、演算回路23と、DA変換器24とを有している。
また、演算回路23は信号抽出部31と、位置変化量演算部32と、励磁電流波形形成部33とを有している。なお、演算回路24には任意のものを用いることができるが、例えばFPGA(Field Programmable Gate Array)を用いてもよい。
DA変換器28は第1励磁電源41と、励磁電流42とを有している。第1励磁電源41は第1スライダ側コイル3に接続され、第2励磁電源42は第2スライダ側コイル4に直列に接続されている。
スケール側コイル5は、ローパス増幅回路21とAD変換器22を介して演算回路23に接続されている。
また、演算回路23は信号抽出部31と、位置変化量演算部32と、励磁電流波形形成部33とを有している。なお、演算回路24には任意のものを用いることができるが、例えばFPGA(Field Programmable Gate Array)を用いてもよい。
DA変換器28は第1励磁電源41と、励磁電流42とを有している。第1励磁電源41は第1スライダ側コイル3に接続され、第2励磁電源42は第2スライダ側コイル4に直列に接続されている。
スケール側コイル5は、ローパス増幅回路21とAD変換器22を介して演算回路23に接続されている。
以下、はじめに、制御部12で行われる位置検出処理の原理について説明し、その後に、制御部12の各機能部の処理内容について説明する。
位置検出を行うため、従来と同様に第1スライダ側コイル3には下記の(12)式で示す励磁電流Isを流し、第2スライダ側コイル4には下記の(13)式で示す励磁電流Icを流すと、スケール側コイル5には第1スライダ側コイル3及び第2スライダ側コイル4とスケール側コイル5との間の電磁誘導により、下記の(14)式で示す誘起電圧Vが発生する。なお、位相βは系の位相遅れであり、例えば信号が信号回路を伝わる過程で生じる。
Is=I・cos(kα)・sin(ωt) ・・・(12)
Ic=−I・sin(kα)・sin(ωt) ・・・(13)
但し、I:励磁電流の大きさ
k:2π/p
p:コイルの1ピッチの長さ(ロータリ形スケールでは角度)
ω:励磁電流(交流電流)の角周波数
t:時間
α:励振位置
Ic=−I・sin(kα)・sin(ωt) ・・・(13)
但し、I:励磁電流の大きさ
k:2π/p
p:コイルの1ピッチの長さ(ロータリ形スケールでは角度)
ω:励磁電流(交流電流)の角周波数
t:時間
α:励振位置
V=Q・sin(kX)・[I・cos(kα)・sin(ωt+β)]+Q・cos(kX)
・[−I・sin(kα)・sin(ωt+β)]
=Q・I・sin(k(X−α))・sin(ωt+β) ・・・(14)
但し、Q:結合係数(スライダ側コイルとスケール側コイルとの間 の電磁結合度に関する係数)
X:スケールの位置(スケールに対するスライダの位置)
β:系の位相遅れ
・[−I・sin(kα)・sin(ωt+β)]
=Q・I・sin(k(X−α))・sin(ωt+β) ・・・(14)
但し、Q:結合係数(スライダ側コイルとスケール側コイルとの間 の電磁結合度に関する係数)
X:スケールの位置(スケールに対するスライダの位置)
β:系の位相遅れ
この誘起電圧Vの角周波数ω成分の拡散フーリエ係数Cは、下記の(15)式のようになる。
C=ΣV(nT)exp(−j2πm・n/N) ・・・(15)
但し、n=0〜N−1
T:サンプリング周期
N:サンプリング点数
m=NTω/(2π)
j:虚数単位
C=ΣV(nT)exp(−j2πm・n/N) ・・・(15)
但し、n=0〜N−1
T:サンプリング周期
N:サンプリング点数
m=NTω/(2π)
j:虚数単位
ここで、C=|C|exp(jΦ)(但し、位相Φ=tan-1(lm(C)/Re(C)))とおくと、この成分の逆フーリエ変換は、下記の(16)式となる。
Vf(nT)=C/N・exp(j2πmn/N)
=|C|/N・exp(jΦ) exp(j2πmn/N)
=|C|/N・cos(2πmn/N+Φ)
=|C|/N・cos(ωnT+Φ)
=|C|/N・sin(ωnT+Φ+π/2) ・・・(16)
Vf(nT)=C/N・exp(j2πmn/N)
=|C|/N・exp(jΦ) exp(j2πmn/N)
=|C|/N・cos(2πmn/N+Φ)
=|C|/N・cos(ωnT+Φ)
=|C|/N・sin(ωnT+Φ+π/2) ・・・(16)
従って、この(16)式と上記(14)式との比較により、Vfの位相βの成分が信号成分であるので、下記の(17)式で示すような振幅|C|/Nのβ方向の斜影Vsを信号成分とし、この信号成分Vsが0になるように励振位置αを調整する。
Vs=|C|/N・cos(Φ+π/2−β) ・・・(17)
Vs=|C|/N・cos(Φ+π/2−β) ・・・(17)
つまり、一般的なフィルタでは振幅のみに着目し目的の周波数成分を抽出するが、本発明では信号の周波数と位相の両方が一致する成分のみを抽出する処理を行なう。誘起電圧Vは系の位相遅れβを有しており、この位相βはリニア形スケールの起動時に知ることができるため、この位相βの情報を利用して信号成分のみを抽出することができる。
次に、図1に基づいて制御部12の各機能部の処理内容について説明する。
制御部12では、まず、励磁電流波形形成部33において上記(12)式の励磁電流Isの波形と、上記(13)式の励磁電流Icの波形を形成する。なお、初期の励振位置αの値は初期設定値や、前回の位置検出処理において最後に調整された値などの任意の値でよい。
励磁電流波形形成部33で形成された上記(12)式の励磁電流Isは、DA変換器24でデジタルからアナログに変換(DA変換)した後、第1励磁電源41から第1スライダ側コイル3に流す。励磁電流波形形成部33で形成された上記(13)式の励磁電流Icは、DA変換器24でDA変換した後、第2励磁電源42から第1スライダ側コイル3に流す。
励磁電流波形形成部33で形成された上記(12)式の励磁電流Isは、DA変換器24でデジタルからアナログに変換(DA変換)した後、第1励磁電源41から第1スライダ側コイル3に流す。励磁電流波形形成部33で形成された上記(13)式の励磁電流Icは、DA変換器24でDA変換した後、第2励磁電源42から第1スライダ側コイル3に流す。
その結果、スケール側コイル5には上記(14)式の誘起電圧Vが発生し、この誘起電圧Vはローパス増幅回路21で角周波数ωより高い角周波数のノイズがカットされて増幅された後、AD変換器22でアナログからデジタルに変換(AD変換)されて演算回路23に入力される。
そして、詳細は後述するが(図2参照)、信号抽出部31では、AD変換器22でAD変換された誘起電圧Vをサンプリング周期T、サンプリング点数Nでサンプリングすることにより、誘起電圧Vのサンプリングデータを取得し、このサンプリングデータに基づいて位相βを得るとともに位相βの情報を利用して上記(17)式のような信号成分Vsを抽出する。
位置変化量演算部32では、信号成分Vsが0となるようにするため、信号成分Vsに応じてPI(比例積分)制御を行うことにより(即ち信号成分Vsに比例ゲインを掛けたものに、信号成分Vsに積分ゲインを掛けて積分したもの加えることにより)、励振位置αを求める(調整する)。
励磁電流波形形成部33では、位置変化量演算部32で求めた励振位置αに基づいて、上記(12)式の励磁電流Isの波形及び上記(13)式の励磁電流Icの波形を形成する(調整する)。
励磁電流波形形成部33では、位置変化量演算部32で求めた励振位置αに基づいて、上記(12)式の励磁電流Isの波形及び上記(13)式の励磁電流Icの波形を形成する(調整する)。
この励磁電流波形形成部33で波形形成(調整)された励磁電流Isと励磁電流Icは、DA変換器24でDA変換された後、第1励磁電源41と第2磁電源43から第1スライダ側コイル3と第2スライダ側コイル4にそれぞれ流される。このようなフィードバック制御により、ついには信号成分Vsが0になる。即ち、信号成分Vsが0となる励振位置αが得られる。そして、位置変化量演算部32では、この信号成分Vsが0となる励振位置αを、検出位置Xとして出力する。
次に、図2に基づいて信号抽出部31の処理内容について説明する。
信号抽出部31では、まず、ステップS1において、前述のとおり、AD変換器22でAD変換された誘起電圧Vを所定のサンプリング周期T、サンプリング点数Nでサンプリングすることにより、誘起電圧Vのサンプリングデータを取得する。このサンプリングデータはステップS2とステップS5に送られる。
ステップS2では、同期検波などの手法により、前記サンプリングデータに基づいて位相βを検出する。
ステップS3では、ステップS2で位相βの検出が完了すると、この検出した位相βをステップS6に送り、且つ、位相検出完了信号(例えばフラグの1を立てる)をステップS4へ送る。
ステップS4では、位相βの検出が完了したか否かを判定する。即ち、ステップS3からステップS4へ位相検出完了信号が送られてこないときには、位相検出が完了していないと判定してステップS2へ戻る一方、ステップS3からステップS4へ位相検出完了信号が送られてきたときには、位相検出が完了したと判定してステップS5へ進む。
ステップS2では、同期検波などの手法により、前記サンプリングデータに基づいて位相βを検出する。
ステップS3では、ステップS2で位相βの検出が完了すると、この検出した位相βをステップS6に送り、且つ、位相検出完了信号(例えばフラグの1を立てる)をステップS4へ送る。
ステップS4では、位相βの検出が完了したか否かを判定する。即ち、ステップS3からステップS4へ位相検出完了信号が送られてこないときには、位相検出が完了していないと判定してステップS2へ戻る一方、ステップS3からステップS4へ位相検出完了信号が送られてきたときには、位相検出が完了したと判定してステップS5へ進む。
なお、位相βはスケール位置Xに応じて変化するものではないため、信号抽出部31で信号処理を開始するときにだけ検出する。具体的には、リニア形スケールの起動時(即ちリニア形スケールの電源が投入され、スライダ1が移動を開始する前)にだけ、位相βの検出を行う。
ステップS5では、ステップS1から送られてきたサンプリングデータに基づいてFFT処理を行なうことにより、角周波数ωの信号成分の振幅|C|と位相Φを求め、これらの振幅|C|及び位相Φの情報と、前記サンプリングデータのサンプリング点数Nの情報とをステップS6へ送る。なお、FFTは離散フーリエ変換や逆フーリエ変換を高速で行う高速フーリエ変換である。
そして、ステップS6では、ステップS3から送られてきた位相βと、ステップS5から送られてきた振幅|C|、位相Φ及びサンプリング点数Nとに基づいて、上記(17)式のような振幅のβ方向への斜影Vsを求め、これを信号成分Vsとして位置変化量演算部32へ出力する。
以上のように、本実施の形態例のリニア形スケールによれば、第1スライダ側コイル3と第2スライダ側コイル4とを備えたスライダ1と、スケール側コイル5を備え且つスライダ1に対しギャップを保持して平行に向かい合わせに配置されたスケール2とを有し、且つ、スライダ1とスケール2とが相対的に移動可能(この場合にはスライダ1が移動可能)な検出部11と、この検出部11を制御する制御部12とを備えたリニア形スケールにおいて、制御部12では、第1スライダ側コイル3に上記(12)式で表わされる励磁電流Isを流し、第2スライダ側コイル4に上記(13)式で表わされる励磁電流Icを流すことにより、スケール側コイル5に上記(14)式で表わされる誘起電圧Vを発生させ、この誘起電圧VをAD変換してサンプリング周期T、サンプリング点数Nでサンプリングすることにより、この誘起電圧Vのサンプリングデータを取得し、前記サンプリングデータに基づいて位相βを検出し、前記誘起電圧Vの角周波数ω成分の拡散フーリエ係数をCとし、C=|C|exp(jΦ)における位相Φ=tan-1(lm(C)/Re(C))として、前記サンプリングデータに基づいてFFT処理を行なうことにより角周波数ωの信号成分の振幅|C|と位相Φを求め、これらの振幅|C|及び位相Φと、前記サンプリング点数Nと、前記位相βとに基づいて上記(17)式で表わされるβ方向への斜影Vsを求めることにより、このVsを信号成分とし、前記信号成分Vsが0になるように前記励振位置αを調整し、この励振位置αに基づいて前記励磁電流Is及び前記励磁電流Icを調整して、前記信号成分Vsが0となる励振位置αを検出位置Xとする、という処理を行なう構成としたことを特徴としている。
このため、誘起電圧Vの角周波数ωと同じ角周波数のノイズが誘起電圧Vに加わっている場合でも、誘起電圧Vの位相βの情報を利用して信号成分Vsのみを抽出することができ、この信号成分Vsが0になるように励振位置αを調整して検出位置Xを求めることができる。従って、SN比が向上し、位置検出器の安定化を図ることができる。
図1には信号の振幅を1とし、ノイズの振幅を1とし、信号とノイズの周波数は同一とした場合の効果を示しており、点線で示す補正前(即ち上記のような処理を行なわない場合)のS/N比に比べて、実線で示す補正後(即ち上記のような処理を行なった場合)のほうが、S/N比が向上し、特に位相βが90度に近い場合にはS/N比が大幅に向上する。
このため、誘起電圧Vの角周波数ωと同じ角周波数のノイズが誘起電圧Vに加わっている場合でも、誘起電圧Vの位相βの情報を利用して信号成分Vsのみを抽出することができ、この信号成分Vsが0になるように励振位置αを調整して検出位置Xを求めることができる。従って、SN比が向上し、位置検出器の安定化を図ることができる。
図1には信号の振幅を1とし、ノイズの振幅を1とし、信号とノイズの周波数は同一とした場合の効果を示しており、点線で示す補正前(即ち上記のような処理を行なわない場合)のS/N比に比べて、実線で示す補正後(即ち上記のような処理を行なった場合)のほうが、S/N比が向上し、特に位相βが90度に近い場合にはS/N比が大幅に向上する。
なお、本発明は特にリニア形スケールに適用して有用なものであるが、必ずしもこれに限定するものではなく、ロータリ形スケールにも適用することができる。
図示は省略するが、ロータリ形スケールの概要について説明すると、ロータリ形スケールは検出部と、この検出部を制御する制御部とを備えている。ロータリ形スケールの検出部は従来のロータリ形スケールの検出部と同様の構成であり、一次側部材としてのステータと、二次側部材としてのロータとを有している。
固定部であるステータは、第1の一次側コイルとしての第1ステータ側コイルと、第2の一次側コイルとしての第2ステータ側コイルとを有している。回転部であるロータは、二次側コイルとしてのロータ側コイルを有している。これらのコイルはジグザグ状に折り返され且つ全体が円環状に形成されている。ステータ(即ち第1ステータ側コイル及び第2ステータ側コイル)と、ロータ(即ちロータ側コイル)は、これらの間にギャップを保持した状態で平行に向かい合わせに配置されており、相対的に移動可能(この場合にはロータが回転可能)になっている。また、第1ステータ側コイルと第2ステータ側コイルは、ロータ側コイルとの位置関係が1/4ピッチずれている。
かかる検出部に対して制御部では、上記リニア形スケールの制御部12と同様の制御を行う。
図示は省略するが、ロータリ形スケールの概要について説明すると、ロータリ形スケールは検出部と、この検出部を制御する制御部とを備えている。ロータリ形スケールの検出部は従来のロータリ形スケールの検出部と同様の構成であり、一次側部材としてのステータと、二次側部材としてのロータとを有している。
固定部であるステータは、第1の一次側コイルとしての第1ステータ側コイルと、第2の一次側コイルとしての第2ステータ側コイルとを有している。回転部であるロータは、二次側コイルとしてのロータ側コイルを有している。これらのコイルはジグザグ状に折り返され且つ全体が円環状に形成されている。ステータ(即ち第1ステータ側コイル及び第2ステータ側コイル)と、ロータ(即ちロータ側コイル)は、これらの間にギャップを保持した状態で平行に向かい合わせに配置されており、相対的に移動可能(この場合にはロータが回転可能)になっている。また、第1ステータ側コイルと第2ステータ側コイルは、ロータ側コイルとの位置関係が1/4ピッチずれている。
かかる検出部に対して制御部では、上記リニア形スケールの制御部12と同様の制御を行う。
本発明は電磁誘導式位置検出器及び電磁誘導式位置検出方法に関するものであり、特にリニア形スケールのギャップ調整に適用して有用なものであるが、ロータリ形スケールのギャップ調整にも適用することができる。
1 スライダ
2 スケール
3 第1スライダ側コイル
4 第2スライダ側コイル
5 スケール側コイル
11 検出部(スケール部)
12 制御部
21 ローパス増幅回路
22 AD変換器
23 演算回路
24 DA変換器
31 信号抽出部
32 位置変化量演算部
33 励磁電流波形形成部
41 第1励磁電源
42 第2励磁電源
2 スケール
3 第1スライダ側コイル
4 第2スライダ側コイル
5 スケール側コイル
11 検出部(スケール部)
12 制御部
21 ローパス増幅回路
22 AD変換器
23 演算回路
24 DA変換器
31 信号抽出部
32 位置変化量演算部
33 励磁電流波形形成部
41 第1励磁電源
42 第2励磁電源
Claims (2)
- 第1の一次側コイルと第2の一次側コイルとを備えた一次側部材と、二次側コイルを備え且つ前記一次側部材に対しギャップを保持して平行に向かい合わせに配置された二次側部材とを有し、且つ、前記一次側部材と前記二次側部材とが相対的に移動可能な検出部と、この検出部を制御する制御部とを備えた電磁誘導式位置検出器において、
前記制御部では、
前記第1の一次側コイルに下記(1)式で表わされる励磁電流Isを流し、前記第2の一次側コイルに下記(2)式で表わされる励磁電流Icを流すことにより、前記二次側コイルに下記(3)式で表わされる誘起電圧Vを発生させ、この誘起電圧VをAD変換してサンプリング周期T、サンプリング点数Nでサンプリングすることにより、この誘起電圧Vのサンプリングデータを取得し、
Is=I・cos(kα)・sin(ωt) ・・・(1)
Ic=−I・sin(kα)・sin(ωt) ・・・(2)
但し、I:励磁電流の大きさ
k:2π/p
p:コイルの1ピッチの値
ω:励磁電流の角周波数
t:時間
α:励振位置
V=Q・I・sin(k(X−α))・sin(ωt+β) ・・・(3)
但し、Q:結合係数
X:検出部の位置
β:系の位相遅れ
前記サンプリングデータに基づいて位相βを検出し、
前記誘起電圧Vの角周波数ω成分の拡散フーリエ係数をCとし、C=|C|exp(jΦ)における位相Φ=tan-1(lm(C)/Re(C))として、前記サンプリングデータに基づいてFFT処理を行なうことにより角周波数ωの信号成分の振幅|C|と位相Φを求め、
これらの振幅|C|及び位相Φと、前記サンプリング点数Nと、前記位相βとに基づいて下記(4)式で表わされるβ方向への斜影Vsを求めることにより、このVsを信号成分とし、
Vs=|C|/N・cos(Φ+π/2−β) ・・・(4)
前記信号成分Vsが0になるように前記励振位置αを調整し、この励振位置αに基づいて前記励磁電流Is及び前記励磁電流Icを調整して、前記信号成分Vsが0となる励振位置αを検出位置Xとする、
という処理を行なう構成としたことを特徴とする電磁誘導式位置検出器。 - 第1の一次側コイルと第2の一次側コイルとを備えた一次側部材と、二次側コイルを備え且つ前記一次側部材に対しギャップを保持して平行に向かい合わせに配置された二次側部材とを有し、且つ、前記一次側部材と前記二次側部材とが相対的に移動可能な検出部を利用する電磁誘導式位置検出方法において、
前記第1の一次側コイルに下記(5)式で表わされる励磁電流Isを流し、前記第2の一次側コイルに下記(6)式で表わされる励磁電流Icを流すことにより、前記二次側コイルに下記(7)式で表わされる誘起電圧Vを発生させ、この誘起電圧VをAD変換してサンプリング周期T、サンプリング点数Nでサンプリングすることにより、この誘起電圧Vのサンプリングデータを取得し、
Is=I・cos(kα)・sin(ωt) ・・・(5)
Ic=−I・sin(kα)・sin(ωt) ・・・(6)
但し、I:励磁電流の大きさ
k:2π/p
p:コイルの1ピッチの値
ω:励磁電流の角周波数
t:時間
α:励振位置
V=Q・I・sin(k(X−α))・sin(ωt+β) ・・・(7)
但し、Q:結合係数
X:検出部の位置
β:系の位相遅れ
前記サンプリングデータに基づいて位相βを検出し、
前記誘起電圧Vの角周波数ω成分の拡散フーリエ係数をCとし、C=|C|exp(jΦ)における位相Φ=tan-1(lm(C)/Re(C))として、前記サンプリングデータに基づいてFFT処理を行なうことにより角周波数ωの信号成分の振幅|C|と位相Φを求め、
これらの振幅|C|及び位相Φと、前記サンプリング点数Nと、前記位相βとに基づいて下記(8)式で表わされるβ方向への斜影Vsを求めることにより、このVsを信号成分とし、
Vs=|C|/N・cos(Φ+π/2−β) ・・・(8)
前記信号成分Vsが0になるように前記励振位置αを調整し、この励振位置αに基づいて前記励磁電流Is及び前記励磁電流Icを調整して、前記信号成分Vsが0となる励振位置αを検出位置Xとする、
という処理を行なうことを特徴とする電磁誘導式位置検出方法。
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-
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