JP2017537479A - ウェハー研磨装備のウェハーローディング装置及びウェハーローディング位置調整方法 - Google Patents
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Abstract
Description
前記研磨キャリアの上部に配置されて前記ウェハーを移送させる複数個の移送アーム(arm)が長さ方向に互いに連結されて具備され、前記移送アームの一端に前記ウェハーの形状に対応する移送プレートが連結されるウェハー移送部;前記移送プレートの下面の端部に複数個が設置されてそれぞれの前記ウェハーホールの位置を感知するウェハー位置感知部;前記移送プレートの端部に形成される複数個のウェハー脱着ユニット;前記移送プレートの上端面に設置されて前記ウェハーを整列するウェハー整列部;及び前記ウェハー位置感知部から検出された前記ウェハーホールの位置に対するデータが伝送され、前記ウェハー脱着ユニットと前記ウェハー整列部によって前記ウェハーがローディングされる位置を算出する制御部を含むウェハー研磨装備のウェハーローディング装置を提供する。
発明の実施のための形態は、前述した"発明の実施のための最善の形態"において、充分に説明された。
Claims (20)
- ウェハーがローディングされるウェハーホールが形成された研磨キャリアが具備され、前記ウェハーの両面が上定盤と下定盤によって研磨されるウェハー研磨部;
前記研磨キャリアの上部に配置されて前記ウェハーを移送させる移送アーム(arm)が具備され、前記移送アームの一端に前記ウェハーの形状に対応する移送プレートが連結されるウェハー移送部;
前記移送プレートの下面に設置されて前記ウェハーホールの位置を感知するウェハー位置感知部;
前記移送プレートの端部に形成される複数個のウェハー脱着ユニット;
前記移送プレートの上端面に設置されて前記ウェハーを整列するウェハー整列部;及び
前記ウェハー位置感知部から検出された前記ウェハーホールの位置に対するデータが伝送され、前記ウェハー脱着ユニットと前記ウェハー整列部によって前記ウェハーがローディングされる位置を算出する制御部を含むウェハー研磨装備のウェハーローディング装置。 - 前記ウェハー位置感知部は、カメラに具備されて前記ウェハーホールの位置を感知して前記ウェハーホールの位置座標データを前記制御部に伝送する、請求項1に記載のウェハー研磨装備のウェハーローディング装置。
- 前記ウェハー脱着ユニットは、
真空を供給する真空ポンプ;
前記真空ポンプと連結される真空配管;及び
前記真空配管の下端に設置されて前記ウェハーの上面を脱着する真空チャックを含む、請求項1に記載のウェハー研磨装備のウェハーローディング装置。 - 前記真空配管は、
前記真空チャックの上端に配置されて前記移送プレートの端部に形成される貫通ホールに沿って移動する第1配管と、
前記第1配管の上端と前記真空ポンプとの間を連結する第2配管で構成される、請求項3に記載のウェハー研磨装備のウェハーローディング装置。 - 前記ウェハー脱着ユニットは、前記真空ポンプと前記第2配管との間に圧力センサーをさらに含み、前記圧力センサーは、前記ウェハーが前記真空チャックに付着された時の真空圧力を測定する、請求項4に記載のウェハー研磨装備のウェハーローディング装置。
- 前記第1配管上部にはフランジが形成される、請求項4に記載のウェハー研磨装備のウェハーローディング装置。
- 前記移送プレートの上端面と前記フランジとの間には前記第1配管の上部を囲む弾性部材が具備される、請求項6に記載のウェハー研磨装備のウェハーローディング装置。
- 前記ウェハー整列部は、
前記移送プレートの上端面に具備されて光を一方向に送出する発光部と前記光を受光する受光部;及び
前記発光部と受光部との間に具備され、前記フランジの上端面と連結されるリニアスケールを含む、請求項1項または請求項6に記載のウェハー研磨装備のウェハーローディング装置。 - 前記ウェハー脱着ユニットとウェハー整列部は、それぞれ2n個で具備されて互いに対応して配置される、請求項1に記載のウェハー研磨装備のウェハーローディング装置。
- ウェハーがローディングされるウェハーホールが形成された研磨キャリアが具備され、前記ウェハーの両面が上定盤と下定盤によって研磨されるウェハー研磨部;
前記研磨キャリアの上部に配置されて前記ウェハーを移送させる複数個の移送アーム(arm)が長さ方向に互いに連結されて具備され、前記移送アームの一端に前記ウェハーの形状に対応する移送プレートが連結されるウェハー移送部;
前記移送プレートの下面の端部に複数個が設置されてそれぞれの前記ウェハーホールの位置を感知するウェハー位置感知部;
前記移送プレートの端部に形成される複数個のウェハー脱着ユニット;
前記移送プレートの上端面に設置されて前記ウェハーを整列するウェハー整列部;及び
前記ウェハー位置感知部から検出された前記ウェハーホールの位置に対するデータが伝送され、前記ウェハー脱着ユニットと前記ウェハー整列部によって前記ウェハーがローディングされる位置を算出する制御部を含むウェハー研磨装備のウェハーローディング装置。 - 前記制御部に前記ウェハー位置感知部から検出された前記ウェハーホールの位置に対するデータが伝送され、前記ウェハーが移動される距離が算出されて前記ウェハーが前記ウェハーホールの定位置にローディングされる、請求項10に記載のウェハー研磨装備のウェハーローディング装置。
- (a)研磨キャリアに形成されたウェハーホールの位置を感知する段階;
(b)前記ウェハーホールにウェハーをローディングさせる第1ローディング段階;
(c)前記ウェハーが前記ウェハーホールの定位置にローディングされたか確認する段階;
(d)前記ウェハーが前記ウェハーホールの定位置にローディングされるように前記ウェハーの移動距離を算出する段階;及び
(e)前記移動距離だけ前記ウェハーの位置を調整して前記ウェハーを整列して前記ウェハーホールの定位置に前記ウェハーをローディングする第2ローディング段階を含むウェハー研磨装備のウェハーローディング装置を用いたウェハーローディング位置調整方法。 - 前記(a)段階においては、
前記研磨キャリアの上部に配置されて前記ウェハーを移送させる移送アーム(arm)が具備され、前記移送アームの一端に前記ウェハーの形状に対応する移送プレートが連結されるウェハー移送部にウェハー位置感知部が具備される、請求項12に記載のウェハー研磨装備のウェハーローディング装置を用いたウェハーローディング位置調整方法。 - 前記(a)段階においては、
前記ウェハー位置感知部はカメラに具備されて前記移送プレートの下面に設置され、前記研磨キャリアの映像を撮影して前記ウェハーホールの位置を感知する、請求項13に記載のウェハー研磨装備のウェハーローディング装置を用いたウェハーローディング位置調整方法。 - 前記(b)段階においては、
真空を供給する真空ポンプ;
前記真空ポンプと連結される真空配管;及び
前記真空配管の下端に設置されて前記ウェハーの上面を脱着する真空チャックを含み、前記移送プレートの端部に形成される複数個の前記ウェハー脱着ユニットによって前記ウェハーの上面が付着されて移送される、請求項13に記載のウェハー研磨装備のウェハーローディング装置を用いたウェハーローディング位置調整方法。 - 前記(c)段階においては、
2n個で具備される前記真空チャックの真空圧力を測定してそれぞれの真空圧力の大きさが基準値以下であれば真空圧力を増加させる、請求項12または請求項15に記載のウェハー研磨装備のウェハーローディング装置を用いたウェハーローディング位置調整方法。 - 前記(d)段階においては、
前記移送プレートの上端面に具備されて光を一方向に送出する発光部と前記光を受光する受光部;及び
前記発光部と受光部との間に具備されるリニアスケールを含むウェハー整列部によって前記ウェハーの位置を調整し、前記ウェハーを整列する、請求項13に記載のウェハー研磨装備のウェハーローディング装置を用いたウェハーローディング位置調整方法。 - 前記(d)段階においては、
制御部に前記ウェハー位置感知部から検出された前記ウェハーホールの位置に対するデータが伝送され、前記ウェハーが前記ウェハーホールの定位置にローディングされるように前記ウェハーが移動される距離を算出する、請求項13に記載のウェハー研磨装備のウェハーローディング装置を用いたウェハーローディング位置調整方法。 - 前記(d)段階において、
前記ウェハーが移動される距離は、2n個で具備される前記ウェハー整列部で測定されたスケールの値がそれぞれ同一でない場合、前記ウェハーの移動距離が算出される、請求項18に記載のウェハー研磨装備のウェハーローディング装置を用いたウェハーローディング位置調整方法。 - 前記(d)段階において、
前記ウェハーホールの直径(Lc)、前記ウェハーの直径(Lw)、前記真空チャック間の距離(Lb)、前記ウェハーの下面が地面と成す角度(θ=cos-1((L2−L1)/Lb))、前記リニアスケールを通じて計算された高さ(Lh=Lw/sinθ)及びL=(Lw2−L12)(1/2)=Lw/cosθから導出された前記ウェハーの移動距離X=Lc−Lとして算出される、請求項12または請求項19に記載のウェハー研磨装備のウェハーローディング装置を用いたウェハーローディング位置調整方法。
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