JP2017187438A - 測定結果報知装置、測定システムおよび測定結果報知方法 - Google Patents

Abstract

【課題】被検査基板に規定された多数の検査箇所についての測定結果を容易に把握させる。【解決手段】被検査基板に規定された複数の検査箇所についてそれぞれ測定された測定値が各検査箇所に対して個別的に付与された「符号」に関連付けられて記録された測定値データ、および各検査箇所毎の基準値が「符号」に関連付けられて記録された基準値データに基づき、各検査箇所の良否を特定可能に測定結果を視覚的に報知する処理部を備え、処理部は、各検査箇所の良否の程度を特定可能な「特定用の値」を測定値および基準値に基づいて演算すると共に、各検査箇所毎の良否の程度を示す単位表示セルＣ，Ｃ・・を測定ステップ番号の順で整列させたセル列Ｃｌについて、各単位表示セルＣの明度を「特定用の値」に対応させた状態で描画して報知用画像データを生成し、生成した報知用画像データに基づいて各検査箇所についての測定結果を報知する。【選択図】図２

Description

本発明は、被検査基板に規定された複数の検査箇所についての測定結果を視覚的に報知する測定結果報知装置および測定結果報知方法、並びに、そのような測定結果報知装置を備えて構成された測定システムに関するものである。

例えば、下記の特許文献には、被検査基板についての検査を実行して検査結果を表示または印刷可能に構成されたインサーキットテスタ（インサーキットテスタによる不良データの出力表示方法）の発明が開示されている。

このインサーキットテスタでは、まず、被検査基板上に規定されている複数の測定ポイントにプローブピンをプロービングさせた状態で各測定ポイント間（検査箇所）についての測定処理を実行して測定データを得る。次いで、良品基板の対応箇所から吸収した基準データの値（以下、「基準値」ともいう）と、上記の測定データの値（以下、「測定値」ともいう）とを比較することにより、各検査箇所の良否を検査する。この場合、このインサーキットテスタでは、基準値に対する測定値の充足率についての許容範囲が各検査箇所（各測定ステップ）毎に設定されており、測定処理と並行して充足率が許容範囲内であるか否が判別され、充足率が許容範囲を外れているときには、その検査箇所に不良が生じているとして検査データに追記される構成が採用されている。

また、このインサーキットテスタでは、測定処理のステップ数を示す「測定ステップ数表示欄」、測定処理に使用したプローブピンの番号を示す「ピン番号表示欄」、測定値を示す「測定値表示欄」、充足率を示す「充足率表示欄」、規定された許容範囲を示す「許容範囲表示欄」、および測定値と基準値との格差（両値の差）を示す「格差表示欄」が各検査箇所（各測定ステップ）毎に設けられた一覧表を上記の検査データに基づいて表示または印刷することで被検査基板についての検査結果を報知する構成が採用されている。これにより、このインサーキットテスタでは、表示または印刷された一覧表内の数値を参照することにより、いずれの検査箇所（いずれの測定ステップ）に不良が生じているかを特定させることが可能となっている。

特開平３−１９７８８０号公報（第２−４頁、第１−３図）

ところが、上記の特許文献に開示されているインサーキットテスタには、以下のような解決すべき課題が存在する。すなわち、上記のインサーキットテスタでは、基準値に対する測定値の充足率が許容範囲を外れている検査箇所（測定ステップ）を不良と判別して検査データを生成し、検査データに基づく一覧表を表示または印刷することで被検査基板についての検査結果を報知する構成が採用されている。このため、上記のインサーキットテスタでは、充足率が許容範囲内の検査箇所については検査結果が報知されず、例えば、不良と判別される充足率が演算される測定値に近い値の測定値が測定された検査箇所が存在したとしても、そのような検査箇所の存在を認識させることができない。

この場合、上記のインサーキットテスタによる検査データの生成に際して、上記の充足率の許容範囲を実際の許容範囲よりも十分に狭い仮の許容範囲に規定しておくことにより、実際の許容範囲を外れている充足率の検査箇所（不良が生じている検査箇所）だけでなく、実際の許容範囲内であるものの仮の許容範囲を外れている充足率の検査箇所（不良と判別される測定値に近い値が測定された検査箇所）についての検査結果も報知させることができる。しかしながら、この種の装置によって良否を検査する被検査基板のなかには、数百箇所から数千箇所の検査箇所が規定されるもの（数百箇所から数千箇所を検査する必要があるもの）が存在する。

このため、検査データの生成に際して規定する上記の許容範囲を過剰に狭くしたときには、充足率が許容範囲を外れていると判別される検査箇所が多数となることに起因して、「測定ステップ数表示欄」、「ピン番号表示欄」、「測定値表示欄」、「充足率表示欄」、「許容範囲表示欄」および「格差表示欄」からなる「行」が連続して多数存在する検査データが生成されることとなる。したがって、そのような検査データを表示・印刷したときには、多数行に亘る数値の比較が困難であることに起因して、いずれの検査箇所にどの程度の不良が生じているかや、いずれの検査箇所が不良状態に近い状態であるかなどを特定するのが困難となる。

本発明は、かかる解決すべき課題に鑑みてなされたものであり、被検査基板に規定された多数の検査箇所についての測定結果を容易に把握させ得る測定結果報知装置、測定システムおよび測定結果報知方法を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく、請求項１記載の測定結果報知装置は、被検査基板に規定された複数の検査箇所についてそれぞれ測定された測定値が当該各検査箇所に対して個別的に付与された符号に関連付けられて記録された測定値データ、および前記各検査箇所毎の基準値が前記符号に関連付けられて記録された基準値データに基づき、前記各検査箇所の良否を特定可能に測定結果を視覚的に報知する処理部を備えた測定結果報知装置であって、前記処理部は、前記各検査箇所の良否の程度を特定可能な特定用の値を前記測定値および前記基準値に基づいて演算すると共に、前記各検査箇所毎の良否の程度を示す単位表示セルを前記符号に基づいて特定される整列順序で整列させた表示セル群について、当該各単位表示セルの色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つを前記特定用の値に対応させた状態で描画して報知用画像データを生成し、生成した当該報知用画像データに基づいて前記各検査箇所についての前記測定結果を報知する。

請求項２記載の測定結果報知装置は、請求項１記載の測定結果報知装置において、前記処理部は、前記各検査箇所が等しく規定された同種で複数枚の前記被検査基板についての前記測定結果を報知する前記報知用画像データを生成するときに、当該各被検査基板毎の前記各検査箇所についての前記測定結果を示す前記表示セル群について、当該各表示セル群における前記各単位表示セルの整列方向と交差する方向で並べて描画する。

請求項３記載の測定結果報知装置は、請求項１記載の測定結果報知装置において、前記処理部は、前記各検査箇所が等しく規定された同種で複数枚の前記被検査基板が並んで形成された多面取り基板についての前記測定結果を報知する前記報知用画像データを生成するときに、当該各被検査基板毎の前記各検査箇所についての前記測定結果を示す前記表示セル群について、当該多面取り基板における当該各被検査基板の位置に対応させて並べて描画する。

請求項４記載の測定結果報知装置は、請求項１から３のいずれかに記載の測定結果報知装置において、前記処理部は、前記予め規定された１つと前記特定用の値との対応関係を特定可能なカラーバーを前記表示セル群と並べて描画して前記報知用画像データを生成する。

請求項５記載の測定システムは、請求項１から４のいずれかに記載の測定結果報知装置と、前記各検査箇所についての測定処理を実行して前記測定値を記録した前記測定値データを生成する測定装置とを備えて構成されている。

請求項６記載の測定結果報知方法は、被検査基板に規定された複数の検査箇所についてそれぞれ測定された測定値が当該各検査箇所に対して個別的に付与された符号に関連付けられて記録された測定値データ、および前記各検査箇所毎の基準値が前記符号に関連付けられて記録された基準値データに基づき、前記各検査箇所の良否を特定可能に測定結果を視覚的に報知する測定結果報知方法であって、前記各検査箇所の良否の程度を特定可能な特定用の値を前記測定値および前記基準値に基づいて演算すると共に、前記各検査箇所毎の良否の程度を示す単位表示セルを前記符号に基づいて特定される整列順序で整列させた表示セル群について、当該各単位表示セルの色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つを前記特定用の値に対応させた状態で描画して報知用画像データを生成し、生成した当該報知用画像データに基づいて前記各検査箇所についての前記測定結果を報知する。

請求項１記載の測定結果報知装置、および請求項６記載の測定結果報知方法では、被検査基板に規定された複数の各検査箇所の良否の程度を特定可能な特定用の値を測定値および基準値に基づいて演算すると共に、各検査箇所毎の良否の程度を示す単位表示セルを各検査箇所に対して個別的に付与された符号に基づいて特定される整列順序で整列させた表示セル群について、各単位表示セルの色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つを特定用の値に対応させた状態で描画して報知用画像データを生成し、生成した報知用画像データに基づいて各検査箇所についての測定結果を報知する。また、請求項５記載の測定システムでは、上記の測定結果報知装置と、各検査箇所についての測定処理を実行して測定値を記録した測定値データを生成する測定装置とを備えて構成されている。

したがって、請求項１記載の測定結果報知装置、請求項５記載の測定システム、および請求項６記載の測定結果報知方法によれば、各検査箇所についての測定結果を一覧表形式（数値）で表示・印刷される測定結果（検査結果）とは異なり、表示または印刷した報知用画像の各単位表示セルを参照させることで、単位表示セルの色相、明度または彩度の相違によって、対応する検査箇所の不良度合い（良好度合い）について直感的に把握させることができる。これにより、被検査基板に規定されている検査箇所の数が多数の場合であっても、測定結果（一覧表）をスクロールさせたりページ送りしたりする操作を行うことなく、多数の検査箇所についての測定結果を容易に把握させることができる。

請求項２記載の測定結果報知装置、そのような測定結果報知装置を備えた測定システム、およびそのような測定結果報知装置における測定結果報知方法によれば、各検査箇所が等しく規定された同種で複数枚の被検査基板についての測定結果を報知する報知用画像データを生成するときに、各被検査基板毎の各検査箇所についての測定結果を示す表示セル群について、各表示セル群における各単位表示セルの整列方向と交差する方向で並べて描画することにより、表示または印刷した報知用画像における表示セル群の各単位表示セルを参照させることで、各被検査基板毎の検査箇所の不良度合い（良好度合い）を容易に比較させることができる。

請求項３記載の測定結果報知装置、そのような測定結果報知装置を備えた測定システム、およびそのような測定結果報知装置における測定結果報知方法によれば、各検査箇所が等しく規定された同種で複数枚の被検査基板が並んで形成された多面取り基板についての測定結果を報知する報知用画像データを生成するときに、各被検査基板毎の各検査箇所についての測定結果を示す表示セル群について、多面取り基板における各被検査基板の位置に対応させて並べて描画することにより、表示または印刷した報知用画像における表示セル群の各単位表示セルを参照させることで、各被検査基板毎の検査箇所の不良度合い（良好度合い）を容易に比較させることができる。また、多面取り基板のいずれの位置に形成された被検査基板に不良が生じ、いずれの位置に形成された被検査基板に不良が生じていないかを容易に特定させることができる。

請求項４記載の測定結果報知装置、そのような測定結果報知装置を備えた測定システム、およびそのような測定結果報知装置における測定結果報知方法によれば、各単位表示セルの色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つと特定用の値との対応関係を特定可能なカラーバーを表示セル群と並べて描画して報知用画像データを生成することにより、各検査箇所にどの程度の不良が生じているか（各検査箇所がどの程度良好であるか）を一層容易に把握させることができる。

基板検査システム１００（測定装置１およびデータ処理装置２）の構成を示す構成図である。 報知用画像Ｇ３（セル群像Ｇ１およびカラーバーＧ２）の一例について説明するための説明図である。 報知用画像Ｇ３ａ（セル群像Ｇ１ａおよびカラーバーＧ２）の一例について説明するための説明図である。

以下、本発明に係る測定結果報知装置、測定システムおよび測定結果報知方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。

図１に示す基板検査システム１００は、「測定システム」の一例であって、測定装置１およびデータ処理装置２を備え、測定装置１による被検査基板Ｘについての測定結果に基づき、データ処理装置２において被検査基板Ｘの良否を特定可能に報知する構成が採用されている。この場合、被検査基板Ｘは、「被検査基板」に相当し、導体パターンやビア等で構成される導体路（図示せず）の良否を検査するために、数百箇所から数千箇所の検査箇所が規定されている。

測定装置１は、「測定装置」の一例であって、図１に示すように、測定用治具１１、スキャナ１２、測定部１３、記憶部１４および処理部１５を備えて被検査基板Ｘ等を対象とする測定処理を実行可能に構成されている。測定用治具１１は、被検査基板Ｘにおける各検査箇所についての測定処理のために規定された複数のプロービングポイントに対してプロービング可能に植設された複数の測定用プローブ１１ａを備えている。

スキャナ１２は、処理部１５の制御に従い、測定用治具１１における任意の測定用プローブ１１ａを測定部１３に接続させる。測定部１３は、処理部１５の制御に従い、スキャナ１２によって接続される測定用プローブ１１ａを介して被検査基板Ｘにおける任意の検査箇所についての電気的パラメータ（一例として、抵抗値）を測定する。

記憶部１４は、被検査基板Ｘについての測定手順（検査手順）が記録された測定手順データＤａや、処理部１５の演算結果などを一時的に記憶する。処理部１５は、測定装置１を総括的に制御する。具体的には、処理部１５は、測定手順データＤａに従ってスキャナ１２を制御して任意の測定用プローブ１１ａを測定部１３に接続させると共に、測定部１３を制御して抵抗値の測定処理を実行させる。

この場合、本例の基板検査システム１００（測定装置１）では、被検査基板Ｘにおける各検査箇所に対して測定ステップ番号（「各検査箇所に対して個別的に付与された符号」の一例）が付与されており、処理部１５は、測定手順データＤａに記録されている測定ステップ番号の順で測定部１３による測定処理が実行されるようにスキャナ１２を制御する。また、処理部１５は、測定部１３から出力される測定値を、その測定値が測定された検査箇所の測定ステップ番号に関連付けて記録して測定値データＤ１（「測定値データ」の一例）を生成すると共に、生成した測定値データＤ１をデータ処理装置２に出力する。

一方、データ処理装置２は、「測定結果報知装置」に相当し、一例として、データ処理用のプログラムがインストールされた汎用のパーソナルコンピュータで構成されている。具体的には、データ処理装置２は、操作部２１、表示部２２、印刷部２３、記憶部２４および処理部２５を備えて構成されている。操作部２１は、マウスやタッチパッド等のポインティングデバイスおよびキーボードなどで構成され、使用者による操作に応じた操作信号を処理部２５に出力する。表示部２２は、処理部２５の制御に従い、後述するように測定結果の表示画面などを表示する。印刷部２３は、処理部２５の制御に従い、後述する測定結果などを印刷する。

記憶部２４は、上記のデータ処理用のプログラム、および測定装置１から出力される測定値データＤ１や、基準値データＤ０、カラーバー画像データＤ２および報知用画像データＤ３，Ｄ３ａなどを記憶する。この場合、基準値データＤ０は、「基準値データ」の一例であって、被検査基板Ｘにおける上記の各検査箇所毎に予め規定された基準値が記録されている。この基準値データＤ０は、一例として、被検査基板Ｘの設計データ等に基づいて外部装置において生成されてデータ処理装置２の記憶部２４に記憶させられる。

また、カラーバー画像データＤ２は、後述するように測定結果の報知を目的として処理部２５によって描画されるセル群像Ｇ１内の各単位表示セルＣ（図２参照）に対して規定される明度の範囲を特定可能なカラーバーＧ２（図２参照）の画像データ構成されている。なお、このカラーバー画像データＤ２のカラーバーＧ２と、セル群像Ｇ１内の各単位表示セルＣの明度との関係については、後に詳細に説明する。報知用画像データＤ３，Ｄ３ａは、「報知用画像データ」の一例であって、後述するように処理部２５によって実行されるデータ処理によって生成される。

処理部２５は、データ処理装置２を総括的に制御する。この処理部２５は、「処理部」の一例であって、上記のデータ処理用のプログラムに従い、基準値データＤ０および測定値データＤ１に基づいて報知用画像データＤ３，Ｄ３ａを生成し、生成した報知用画像データＤ３，Ｄ３ａを使用して被検査基板Ｘにおける各検査箇所についての測定結果を表示部２２に表示させたり印刷部２３に印刷させたりする（「測定結果を視覚的に報知する」との処理の一例）。なお、処理部２５による測定結果の報知処理については、後に具体的な例を挙げて詳細に説明する。

この基板検査システム１００によって、複数枚の被検査基板Ｘ（「各検査箇所が等しく規定された同種で複数枚の被検査基板」の一例）についての測定処理、およびその測定結果の報知を実行する際には、まず、１枚目の被検査基板Ｘを測定装置１にセットして各検査箇所についての抵抗値を測定させる。なお、実際の測定装置１では、図示しない基板保持部による被検査基板Ｘの保持や、図示しない移動機構による測定用治具１１の移動（各検査箇所毎に規定されたプロービングポイントに対する各測定用プローブ１１ａのプロービング）などが行われるが、これらの動作については公知のため説明を省略する。

この際に、処理部１５は、測定手順データＤａに従ってスキャナ１２および測定部１３を制御することにより、測定手順データＤａに記録されている測定ステップ番号の番号順で各検査箇所についての測定処理を実行させる。また、処理部１５は、測定部１３から測定値が出力される都度、その測定値が測定された検査箇所の測定ステップ番号に関連付けて測定値データＤ１に記録する。これにより、１枚目の被検査基板Ｘにおける各検査箇所についての測定値が記録された測定値データＤ１が生成される。この後、２枚目以降の被検査基板Ｘについても上記の手順と同様の手順で各検査箇所についての測定処理を実行することにより、各被検査基板Ｘ毎に測定値データＤ１がそれぞれ生成される。

一方、各被検査基板Ｘについての測定結果を報知する際には、１枚の被検査基板Ｘについての測定処理（測定値データＤ１の生成）が完了したとき、または、検査すべき複数枚の被検査基板Ｘについての測定処理（測定値データＤ１の生成）が完了したときに、測定装置１からデータ処理装置２に測定値データＤ１を転送して測定結果を表示または印刷させる。具体的には、一例として、測定順序が１番目の被検査基板Ｘ（「基板番号＝１」の被検査基板Ｘ）から測定順序が１００番目の被検査基板Ｘ（「基板番号＝１００」の被検査基板Ｘ）までの１００枚の被検査基板Ｘについての測定処理が完了した時点において測定結果を報知する際には、１００枚の被検査基板Ｘについての１００個の測定値データＤ１を測定装置１からデータ処理装置２に転送する。

この際に、データ処理装置２では、処理部２５が、測定装置１から転送された測定値データＤ１，Ｄ１・・を記憶部２４に順次記憶させる。また、処理部２５は、１番目に測定処理が行われた被検査基板Ｘ（「基板番号＝１」の被検査基板Ｘ）についての測定値データＤ１の値と、記憶部２４に記憶されている基準値データＤ０の値とに基づき、各検査箇所（各導体パターンや各ビア）の良否の程度を特定可能な「特定用の値」を各検査箇所の測定ステップ番号毎にそれぞれ演算する。

より具体的には、本例のデータ処理装置２（基板検査システム１００）では、一例として、測定値データＤ１に記録されている測定値から基準値データＤ０に記録されている基準値を差し引いた値を基準値で除した値（以下、この値を「相違率」ともいう）を「特定用の値」として各検査箇所毎にそれぞれ演算する。なお、上記の「相違率」に代えて、測定値から基準値を差し引いた値を基準値で除した値に「１００」を乗じた値を「相違率」としてもよい。このような演算処理を、２番目以降に測定処理が行われた被検査基板Ｘについても同様に実行することにより、１００枚の被検査基板Ｘにおける各検査箇所毎の相違率がそれぞれ演算される。

また、処理部２５は、上記の相違率の演算処理と並行して、図２に示すように、各検査箇所毎の良否の程度を示すドット状の単位表示セルＣ（「単位表示セル」の一例）を測定ステップ番号の順序で整列させたセル列Ｃｌ（「表示セル群」の一例）を被検査基板Ｘの測定順序（基板番号の順序）に対応させて並べたセル群像Ｇ１を描画する。このセル群像Ｇ１は、１つの単位表示セルＣによって１つの検査箇所についての良否を特定することができるように各単位表示セルＣが描画される画像であって、各被検査基板Ｘ（各測定値データＤ１）毎に各検査箇所に対応する単位表示セルＣが上下方向に並べられてセル列Ｃｌが描画されている。

具体的には、本例では、各被検査基板Ｘ毎に「測定ステップ番号＝１」から「測定ステップ番号＝２００」までの２００箇所の検査箇所が規定されており、「測定ステップ番号＝１」の検査箇所に対応する単位表示セルＣから「測定ステップ番号＝２００」の検査箇所に対応する単位表示セルＣまでの２００個の単位表示セルＣが測定ステップ番号の順（「整列順序」の一例）で上から下に向かって並べられて１枚の被検査基板Ｘについての１つのセル列Ｃｌが描画されている。

また、本例では、各被検査基板Ｘ毎の各検査箇所についての測定結果を示すセル列Ｃｌが、セル列Ｃｌにおける各単位表示セルＣの整列方向と交差する方向（本例では、「整列方向」の一例である上下方向に対して直交する左右方向）で並んで描画されている。なお、図２に示すセル群像Ｇ１では、「基板番号＝１（測定順序が１番目）」の被検査基板Ｘについてのセル列Ｃｌから、「基板番号＝１００（測定順序が１００番目）」の被検査基板Ｘについてのセル列Ｃｌまでの１００個のセル列Ｃｌが左から右に向かって並んで描画されている。

さらに、本例のセル群像Ｇ１では、明度（「色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つ」が「明度」である処理の一例）が相違率に対応するように各単位表示セルＣが描画されている。具体的には、本例のデータ処理装置２（基板検査システム１００）では、一例として、絶対値が大きい負の値の相違率に対応する単位表示セルＣほど明度を低く規定すると共に、絶対値が大きい正の値の相違率に対応する単位表示セルＣほど明度を高く規定し、かつ「０」に近い相違率（絶対値が小さい相違率）が中間の明度となるように規定することにより、図２に示すように、グレースケール画像のセル群像Ｇ１が描画される。これにより、描画されたセル群像Ｇ１では、各単位表示セルＣの明度が、対応する検査箇所の良否の程度（本例では、相違率）に応じて相違する状態となる。

続いて、処理部２５は、上記のように各被検査基板Ｘ毎のセル列Ｃｌを描画したセル群像Ｇ１と並べて、記憶部２４から読み出したカラーバー画像データＤ２のカラーバーＧ２を描画する。この場合、カラーバーＧ２は、「カラーバー」の一例であって、被検査基板Ｘについての基準値データＤ０や測定値データＤ１に基づいて算出され得る「相違率」の範囲と、各単位表示セルＣに規定する明度の範囲（この例では、白色から黒色の範囲）との対応関係を特定可能に構成されている。具体的には、本例のカラーバーＧ２では、絶対値が大きい負の値の相違率ほど、低い明度（黒色寄りの明度）が対応付けられ、絶対値が大きい正の値の相違率ほど、高い明度（白色寄りの明度）が対応付けられていることを特定可能に構成されている。つまり、本例のカラーバーＧ２では、相違率が低いほど明度が漸減し、かつ相違率が高いほど明度が漸増している。

以上の処理により、図２の例では、１００枚の被検査基板Ｘにおける各検査箇所についての測定結果を示す報知用画像Ｇ３（セル群像Ｇ１およびカラーバーＧ２）の報知用画像データＤ３が生成される。

次いで、処理部２５は、生成した報知用画像データＤ３に基づき、図２に示すように、報知用画像Ｇ３（セル群像Ｇ１およびカラーバーＧ２）を表示部２２に表示させる。これにより、１００枚の被検査基板Ｘにおける「測定ステップ番号＝１〜２００」の各検査箇所毎の測定結果を示すセル群像Ｇ１がカラーバーＧ２と並んで表示される（「測定結果を視覚的に報知する」との処理の一例）。

この報知用画像Ｇ３（セル群像Ｇ１）では、各検査箇所（測定ステップ）毎の基準値および測定値に基づいて演算された相違率に応じて、対応する単位表示セルＣの明度が相違させられている。したがって、報知用画像Ｇ３（セル群像Ｇ１）内の単位表示セルＣをカラーバーＧ２と共に参照することにより、各検査箇所の良否の程度（相違率）を直感的に把握することが可能となっている。

この場合、各検査箇所毎の相違率が同程度の場合には、その被検査基板Ｘについての測定結果を示しているセル列Ｃｌの各単位表示セルＣが同程度の明度となっている。このため、各検査箇所の相違率が同程度であった場合には、その旨を直感的に把握することが可能となっている。また、被検査基板Ｘにおける各検査箇所のうちのいずれかの相違率が他の検査箇所の相違率と大きく異なる場合には、その被検査基板Ｘについてのセル列Ｃｌにおける各単位表示セルＣのうちの相違率が大きく異なる検査箇所に対応する単位表示セルＣの明度が他の単位表示セルＣの明度とは大きく異なる状態となる。このため、相違率が大きく異なる検査箇所が存在していた場合には、そのような検査箇所が存在することを直感的に把握することが可能となっている。

また、この報知用画像Ｇ３（セル群像Ｇ１）では、各被検査基板Ｘについての同じ「測定ステップ番号」の検査箇所についての単位表示セルＣが左右方向で並んで描画されている。したがって、例えば、複数枚の被検査基板Ｘの製造に際して、製造設備や製造条件の不備に起因していずれかの検査箇所に不良が生じ易い傾向があったときには、その検査箇所についての左右方向で並んでいる各単位表示セルＣの明度が、その他の検査箇所についての単位表示セルＣの明度とは異なる状態となる。このため、いずれかの検査箇所に不良が生じ易い傾向があったことを直感的に把握することが可能となっている。

なお、本例の基板検査システム１００（データ処理装置２）では、表示部２２への表示に代えて、報知用画像データＤ３を印刷部２３に出力することで上記の報知用画像Ｇ３（セル群像Ｇ１およびカラーバーＧ２）を紙面に印刷させることもできる（「測定結果を視覚的に報知する」との処理の他の一例）。これにより、表示部２２に表示された報知用画像Ｇ３を参照したときと同様にして、紙面に印刷された報知用画像Ｇ３を参照することで、各検査箇所の良否の程度（相違率）、相違率が大きく異なる検査箇所が存在するか否か、およびいずれかの検査箇所に不良が生じ易い傾向があったか否かなどを直感的に把握することが可能となっている。

一方、本例の基板検査システム１００では、各検査箇所が等しく規定された同種の被検査基板Ｘが並んで形成された多面取り基板Ｘａを検査対象として測定処理および測定結果の報知処理を実行することもできるように構成されている。例えば、４×３＝１２枚の被検査基板Ｘが並んで形成された多面取り基板Ｘａを検査する際には、一例として、多面取り基板Ｘａを測定装置１にセットすると共に、予め規定された測定順序で、各被検査基板Ｘ毎に測定処理を実行する。なお、測定処理の内容については、前述した例と同様のため、詳細な説明を省略する。これにより、１枚の多面取り基板Ｘａを構成する１２枚の被検査基板Ｘについての１２個の測定値データＤ１が生成される。

また、各被検査基板Ｘについての測定結果の報知に際しては、１枚の被検査基板Ｘについての測定処理（測定値データＤ１の生成）が完了したとき、または、多面取り基板Ｘａを構成するすべての被検査基板Ｘ，Ｘ・・についての測定処理（測定値データＤ１の生成）が完了したときに、測定装置１からデータ処理装置２に測定値データＤ１を転送して測定結果を表示または印刷させる。この際に、データ処理装置２では、前述した例における測定結果の報知処理時と同様にして、まず、測定値データＤ１および基準値データＤ０に基づき、各検査箇所毎（各測定ステップ番号毎）の相違率をそれぞれ演算する。

また、処理部２５は、上記の相違率の演算処理と並行して、図３に示すように、各検査箇所毎の良否の程度を示す単位表示セルＣ（「単位表示セル」の一例）を測定ステップ番号の順序で整列させたセル列Ｃｌ，Ｃｌ・・からなるセル群像Ｃｌａ（「表示セル群」の一例）を被検査基板Ｘの測定順序（基板番号の順序）に対応させて並べたセル群像Ｇ１ａを描画する。この場合、本例では、一例として、多面取り基板Ｘａを構成する各被検査基板Ｘ毎に、「測定ステップ番号＝１」から「測定ステップ番号＝１０２４」までの１０２４箇所の検査箇所が規定されており、測定装置１による上記の測定処理において被検査基板Ｘ毎に１０２４箇所の検査箇所についての測定値が記録されて測定値データＤ１が生成されているものとする。

また、上記のセル群像Ｇ１ａは、１つの単位表示セルＣによって１つの検査箇所についての良否を特定することができるように各単位表示セルＣが描画される画像であって、多面取り基板Ｘａを構成する各被検査基板Ｘ（各測定値データＤ１）毎に各検査箇所に対応する単位表示セルＣが並べられた複数のセル列Ｃｌ，Ｃｌからなるセル群像Ｃｌａが描画されている。

この場合、本例のセル群像Ｇ１ａでは、一例として、３２箇所の検査箇所についての良否の程度を示す３２個の単位表示セルＣが測定ステップ番号の順で上から下に向かって並べられて１本のセル列Ｃｌが構成されている。また、被検査基板Ｘ毎に１０２４箇所の検査箇所が規定されている本例では、３２本のセル列Ｃｌが左から右に向かって並べられて１つのセル群像Ｃｌａが構成されている。なお、本例のセル群像Ｃｌａでは、３２本のセル列Ｃｌのうち、左側に位置するセル列Ｃｌほど、そのセル列Ｃｌを構成する単位表示セルＣの測定ステップ番号が小さく、右側に位置するセル列Ｃｌほど、そのセル列Ｃｌを構成する単位表示セルＣの測定ステップ番号が大きくなるようにセル列Ｃｌの順序（「整列順序」の他の一例）が規定されている。

さらに、このセル群像Ｇ１ａ（各セル群像Ｃｌａ，Ｃｌａ・・）では、明度（「色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つ」が「明度」である処理の一例）が相違率に対応するように各単位表示セルＣが描画されている。具体的には、本例のデータ処理装置２（基板検査システム１００）では、一例として、絶対値が大きい負の値の相違率に対応する単位表示セルＣほど明度を低く規定すると共に、絶対値が大きい正の値の相違率に対応する単位表示セルＣほど明度を高く規定することにより、図３に示すように、グレースケール画像のセル群像Ｇ１ａ（セル群像Ｃｌａ，Ｃｌａ・・）が描画される。これにより、描画されたセル群像Ｇ１ａ（セル群像Ｃｌａ）では、各単位表示セルＣの明度が、対応する検査箇所の良否の程度（本例では、相違率）に応じて相違する状態となる。

また、本例のセル群像Ｇ１ａでは、各被検査基板Ｘ毎の各検査箇所についての測定結果を示すセル群像Ｃｌａが、多面取り基板Ｘａにおける各被検査基板Ｘの位置に対応して並んで描画されている。なお、図３に示すセル群像Ｇ１ａでは、「基板番号＝１（測定順序が１番目）」の被検査基板Ｘについてのセル群像Ｃｌａから、「基板番号＝１２（測定順序が１２番目）」の被検査基板Ｘについてのセル群像Ｃｌａまでの４行×３列＝１２個のセル群像Ｃｌａが並んで描画されている。

続いて、処理部２５は、上記のように各被検査基板Ｘ毎のセル群像Ｃｌａを描画したセル群像Ｇ１ａと並べて、記憶部２４から読み出したカラーバー画像データＤ２のカラーバーＧ２を描画する。以上の処理により、図３の例では、１２枚の被検査基板Ｘからなる多面取り基板Ｘａの各被検査基板Ｘ毎の各検査箇所についての測定結果を示す報知用画像Ｇ３ａ（セル群像Ｇ１ａおよびカラーバーＧ２）の報知用画像データＤ３ａが生成される。

次いで、処理部２５は、生成した報知用画像データＤ３ａに基づき、図３に示すように、報知用画像Ｇ３ａ（セル群像Ｇ１ａおよびカラーバーＧ２）を表示部２２に表示させる。これにより、多面取り基板Ｘａを構成する１２枚の被検査基板Ｘにおける「測定ステップ番号＝１〜１０２４」の各検査箇所毎の測定結果を示す１２個のセル群像Ｃｌａからなるセル群像Ｇ１ａがカラーバーＧ２と並んで表示される（「測定結果を視覚的に報知する」との処理の他の一例）。

この報知用画像Ｇ３ａ（セル群像Ｇ１ａ）では、前述した例の報知用画像Ｇ３と同様にして、各検査箇所（測定ステップ）毎の基準値および測定値に基づいて演算された相違率に応じて、対応する単位表示セルＣの明度が相違させられている。したがって、報知用画像Ｇ３ａ（セル群像Ｇ１ａ）内の単位表示セルＣをカラーバーＧ２と共に参照することにより、各検査箇所の良否の程度（相違率）を直感的に把握することが可能となっている。

この場合、各検査箇所毎の相違率が同程度の場合には、その被検査基板Ｘについての測定結果を示しているセル群像Ｃｌａの各単位表示セルＣが同程度の明度となっている。このため、この報知用画像Ｇ３ａにおいても、各検査箇所の相違率が同程度であった場合には、その旨を直感的に把握することが可能となっている。また、各検査箇所のうちのいずれかの相違率が他の検査箇所の相違率と大きく異なる場合には、その被検査基板Ｘについてのセル群像Ｃｌａにおける各単位表示セルＣのうちの相違率が大きく異なる検査箇所に対応する単位表示セルＣの明度が他の単位表示セルＣの明度とは大きく異なる状態となる。このため、相違率が大きく異なる検査箇所が存在していた場合には、そのような検査箇所が存在することを直感的に把握することが可能となっている。

また、この報知用画像Ｇ３ａ（セル群像Ｇ１ａ）では、各被検査基板Ｘについての同じ「測定ステップ番号」の検査箇所についての単位表示セルＣが、各セル群像Ｃｌａ内の同じ位置に描画されている。したがって、例えば、複数枚の被検査基板Ｘの製造に際して、製造設備や製造条件の不備に起因していずれかの検査箇所に不良が生じ易い傾向があったときには、各セル群像Ｃｌａ内の所定の位置に描画されている単位表示セルＣの明度が、その他の検査箇所についての単位表示セルＣの明度とは異なる状態となる。このため、いずれかの検査箇所に不良が生じ易い傾向があったことを直感的に把握することが可能となっている。

さらに、この報知用画像Ｇ３ａ（セル群像Ｇ１ａ）では、多面取り基板Ｘａを構成する各被検査基板Ｘの位置に応じて、各被検査基板Ｘにおける各検査箇所毎（測定ステップ番号毎）の良否の程度を示す単位表示セルＣ，Ｃ・・からなるセル群像Ｃｌａ，Ｃｌａ・・が並べて描画されている。したがって、セル群像Ｇ１ａ内の各セル群像Ｃｌａを参照することにより、多面取り基板Ｘａにおけるいずれの位置の被検査基板Ｘが良好で、いずれの位置の被検査基板Ｘに不良が生じているかを直感的に把握することが可能となっている。

なお、本例の基板検査システム１００（データ処理装置２）では、表示部２２への表示に代えて、報知用画像データＤ３ａを印刷部２３に出力することで上記の報知用画像Ｇ３ａ（セル群像Ｇ１ａおよびカラーバーＧ２）を紙面に印刷させることもできる（「測定結果を視覚的に報知する」との処理のさらに他の一例）。これにより、表示部２２に表示された報知用画像Ｇ３ａを参照したときと同様にして、紙面に印刷された報知用画像Ｇ３ａを参照することで、各検査箇所の良否の程度（相違率）、相違率が大きく異なる検査箇所が存在するか否か、いずれかの検査箇所に不良が生じ易い傾向があったか否か、およびいずれの被検査基板Ｘが正常でいずれの被検査基板Ｘに不良が生じているかなどを直感的に把握することが可能となっている。

このように、このデータ処理装置２、およびその測定結果報知方法では、被検査基板Ｘに規定された複数の各検査箇所の良否の程度を特定可能な「特定用の値（本例では、相違率）」を測定値および基準値に基づいて演算すると共に、各検査箇所毎の良否の程度を示す単位表示セルＣを、測定ステップ番号に基づいて特定される整列順序（本例では、「測定ステップ番号の順」）で整列させたセル列Ｃｌについて、各単位表示セルＣの色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つ（本例では、明度）を相違率に対応させた状態で描画して報知用画像データＤ３を生成し、生成した報知用画像データＤ３に基づいて各検査箇所についての測定結果を報知する。また、この基板検査システム１００では、上記のデータ処理装置２と、各検査箇所についての測定処理を実行して測定値を記録した測定値データＤ１を生成する測定装置１とを備えて構成されている。

したがって、このデータ処理装置２、基板検査システム１００および測定結果報知方法によれば、各検査箇所についての測定結果を一覧表形式（数値）で表示・印刷される測定結果（検査結果）とは異なり、表示または印刷した報知用画像Ｇ３，Ｇ３ａの各単位表示セルＣ，Ｃ・・を参照させることで、単位表示セルＣの色相、明度または彩度の相違によって、対応する検査箇所の不良度合い（良好度合い）について直感的に把握させることができる。これにより、被検査基板Ｘに規定されている検査箇所の数が多数の場合であっても、測定結果（一覧表）をスクロールさせたりページ送りしたりする操作を行うことなく、多数の検査箇所についての測定結果を容易に把握させることができる。

また、このデータ処理装置２、基板検査システム１００および測定結果報知方法によれば、各検査箇所が等しく規定された同種で複数枚の被検査基板Ｘについての測定結果を報知する報知用画像データＤ３を生成するときに、各被検査基板Ｘ毎の各検査箇所についての測定結果を示すセル列Ｃｌについて、各セル列Ｃｌにおける各単位表示セルＣの整列方向と交差する方向で並べて描画することにより、表示または印刷した報知用画像Ｇ３におけるセル列Ｃｌ，Ｃｌ・・の各単位表示セルＣ，Ｃ・・を参照させることで、各被検査基板Ｘ毎の検査箇所の不良度合い（良好度合い）を容易に比較させることができる。

さらに、このデータ処理装置２、基板検査システム１００および測定結果報知方法によれば、各検査箇所が等しく規定された同種で複数枚の被検査基板Ｘが並んで形成された多面取り基板Ｘａについての測定結果を報知する報知用画像データＤ３ａを生成するときに、各被検査基板Ｘ毎の各検査箇所についての測定結果を示すセル群像Ｃｌａについて、多面取り基板Ｘａにおける各被検査基板Ｘの位置に対応させて並べて描画することにより、表示または印刷した報知用画像Ｇ３ａにおけるセル群像Ｃｌａ，Ｃｌａ・・の各単位表示セルＣ，Ｃ・・を参照させることで、各被検査基板Ｘ毎の検査箇所の不良度合い（良好度合い）を容易に比較させることができる。また、多面取り基板Ｘａのいずれの位置に形成された被検査基板Ｘに不良が生じ、いずれの位置に形成された被検査基板Ｘに不良が生じていないかを容易に特定させることができる。

また、このデータ処理装置２、基板検査システム１００および測定結果報知方法によれば、各単位表示セルＣの色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つ（本例では、明度）と相違率との対応関係を特定可能なカラーバーＧ２をセル列Ｃｌやセル群像Ｃｌａと並べて描画して報知用画像データＤ３や報知用画像データＤ３ａを生成することにより、各検査箇所にどの程度の不良が生じているか（各検査箇所がどの程度良好であるか）を一層容易に把握させることができる。

なお、「測定結果報知装置」および「測定システム」の構成や、「測定結果報知方法」の処理内容については、上記の例に限定されない。例えば、測定値から基準値を差し引いた値を基準値で除した値、または、その値に「１００」を乗じた値（相違率）を「特定用の値」として演算して報知用画像データＤ３を生成する例について説明したが、「特定用の値」は、上記の「相違率」に限定されない。例えば、「測定値を基準値で除した値（上記特許文献に開示のインサーキットテスタにおいて演算される「充足率」と同様の値）」、または、その値に「１００」を乗じた値を「特定用の値」として演算して使用することができる。

また、「色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つ」の一例として、単位表示セルＣの「明度」を「特定用の値（上記の例では、相違率）」に応じて異ならせてグレースケール画像の報知用画像データＤ３を生成する処理を例に挙げて説明したが、グレー（モノトーン）以外の任意の色の「単位表示セル」の「明度」を「特定用の値」に応じて異ならせて「報知用画像データ」を生成することもできる。

さらに、「明度」を異ならせる処理に代えて、「単位表示セル」の色の「色相」または「彩度」を「特定用の値」に応じて異ならせて「報知用画像データ」を生成することもできる。また、ドット状の単位表示セルＣを並べたセル列Ｃｌを「表示セル群」とする例について説明したが、バー状の「単位表示セル」や、任意の図柄の「単位表示セル」を並べて「表示セル群」とすることもできる。

さらに、各検査ステップ毎に付与された「測定ステップ番号」を「各検査箇所に対して個別的に付与された符号」として使用して測定処理や測定結果の報知処理を実行する例について説明したが、「符号」はこの例に限定されない。個別的に識別可能である限り、例えば、「測定ステップ番号」に代えて、被検査基板Ｘの設計時に各導体路に付与したパターン番号を対応する検査箇所の符号として使用したり、各検査箇所に対して測定ステップ番号とは別個に任意に付与した番号を符号として使用したりすることもできる。

また、単位表示セルＣを測定ステップ順で上から下に向かって並べたセル列Ｃｌを、基板番号順で左から右に向かって並べてセル群像Ｇ１を描画する例について説明したが、これらの並び順は、上記の例に限定されず、例えば、単位表示セルＣを測定ステップ順で下から上に向かって並べてセル列Ｃｌを描画することもできるし、セル列Ｃｌを基板番号順で右から左に向かって並べてセル群像Ｇ１を描画することもできる。また、同様にして、単位表示セルＣを測定ステップ順で上から下に向かって並べたセル列Ｃｌを、測定ステップ番号の小さい順で左から右に向かって並べてセル群像Ｃｌａを描画する例について説明したが、これらの並び順も、上記の例に限定されず、例えば、単位表示セルＣを測定ステップ順で下から上に向かって並べたセル列Ｃｌを描画することもできるし、セル列Ｃｌを、測定ステップ番号の小さい順で右から左に向かって並べてセル群像Ｃｌａを描画することもできる。

さらに、複数枚の被検査基板Ｘについての測定結果を示すセル列Ｃｌ（図２に示す報知用画像Ｇ３の形態）やセル群像Ｃｌａ（図３に示す報知用画像Ｇ３ａの形態）を表示・印刷することで測定結果を報知する例について説明したが、前述したセル群像Ｇ１における各セル列Ｃｌのうちのいずれか１つや、前述したセル群像Ｇ１ａにおける各セル群像Ｃｌａのうちのいずれか１つとカラーバーＧ２とを並べて描画した「報知用画像」（図示せず）の報知用画像データを生成し、その報知用画像データを使用して１枚の被検査基板Ｘについての測定結果を単独で報知することもできる。

加えて、測定用治具１１およびスキャナ１２を介して被検査基板Ｘについての測定処理を実行する測定装置１を例に挙げて説明したが、「測定システム」における「測定装置」の構成はこれに限定されず、プローブ移動機構によって各測定用プローブを別個独立して移動させて任意のプロービングポイントにプロービングさせて「被検査基板」についての測定処理を実行可能な「測定装置」を備えて構成することもできる。

１００ 基板検査システム
１ 測定装置
２ データ処理装置
１１ 測定用治具
１３ 測定部
１５，２５ 処理部
２２ 表示部
２３ 印刷部
２４ 記憶部
Ｃ 単位表示セル
Ｃｌ セル列
Ｃｌａ，Ｇ１，Ｇ１ａ セル群像
Ｄ０ 基準値データ
Ｄ１ 測定値データ
Ｄ２ カラーバー画像データ
Ｄ３，Ｄ３ａ 報知用画像データ
Ｄａ 測定手順データ
Ｇ２ カラーバー
Ｇ３，Ｇ３ａ 報知用画像
Ｘ 被検査基板
Ｘａ 多面取り基板

Claims (6)

1. 被検査基板に規定された複数の検査箇所についてそれぞれ測定された測定値が当該各検査箇所に対して個別的に付与された符号に関連付けられて記録された測定値データ、および前記各検査箇所毎の基準値が前記符号に関連付けられて記録された基準値データに基づき、前記各検査箇所の良否を特定可能に測定結果を視覚的に報知する処理部を備えた測定結果報知装置であって、
   前記処理部は、前記各検査箇所の良否の程度を特定可能な特定用の値を前記測定値および前記基準値に基づいて演算すると共に、前記各検査箇所毎の良否の程度を示す単位表示セルを前記符号に基づいて特定される整列順序で整列させた表示セル群について、当該各単位表示セルの色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つを前記特定用の値に対応させた状態で描画して報知用画像データを生成し、生成した当該報知用画像データに基づいて前記各検査箇所についての前記測定結果を報知する測定結果報知装置。
2. 前記処理部は、前記各検査箇所が等しく規定された同種で複数枚の前記被検査基板についての前記測定結果を報知する前記報知用画像データを生成するときに、当該各被検査基板毎の前記各検査箇所についての前記測定結果を示す前記表示セル群について、当該各表示セル群における前記各単位表示セルの整列方向と交差する方向で並べて描画する請求項１記載の測定結果報知装置。
3. 前記処理部は、前記各検査箇所が等しく規定された同種で複数枚の前記被検査基板が並んで形成された多面取り基板についての前記測定結果を報知する前記報知用画像データを生成するときに、当該各被検査基板毎の前記各検査箇所についての前記測定結果を示す前記表示セル群について、当該多面取り基板における当該各被検査基板の位置に対応させて並べて描画する請求項１記載の測定結果報知装置。
4. 前記処理部は、前記予め規定された１つと前記特定用の値との対応関係を特定可能なカラーバーを前記表示セル群と並べて描画して前記報知用画像データを生成する請求項１から３のいずれかに記載の測定結果報知装置。
5. 請求項１から４のいずれかに記載の測定結果報知装置と、前記各検査箇所についての測定処理を実行して前記測定値を記録した前記測定値データを生成する測定装置とを備えて構成された測定システム。
6. 被検査基板に規定された複数の検査箇所についてそれぞれ測定された測定値が当該各検査箇所に対して個別的に付与された符号に関連付けられて記録された測定値データ、および前記各検査箇所毎の基準値が前記符号に関連付けられて記録された基準値データに基づき、前記各検査箇所の良否を特定可能に測定結果を視覚的に報知する測定結果報知方法であって、
   前記各検査箇所の良否の程度を特定可能な特定用の値を前記測定値および前記基準値に基づいて演算すると共に、前記各検査箇所毎の良否の程度を示す単位表示セルを前記符号に基づいて特定される整列順序で整列させた表示セル群について、当該各単位表示セルの色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つを前記特定用の値に対応させた状態で描画して報知用画像データを生成し、生成した当該報知用画像データに基づいて前記各検査箇所についての前記測定結果を報知する測定結果報知方法。