以下、本発明に係る測定結果報知装置、測定システムおよび測定結果報知方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
図1に示す基板検査システム100は、「測定システム」の一例であって、測定装置1およびデータ処理装置2を備え、測定装置1による被検査基板Xについての測定結果に基づき、データ処理装置2において被検査基板Xの良否を特定可能に報知する構成が採用されている。この場合、被検査基板Xは、「被検査基板」に相当し、導体パターンやビア等で構成される導体路(図示せず)の良否を検査するために、数百箇所から数千箇所の検査箇所が規定されている。
測定装置1は、「測定装置」の一例であって、図1に示すように、測定用治具11、スキャナ12、測定部13、記憶部14および処理部15を備えて被検査基板X等を対象とする測定処理を実行可能に構成されている。測定用治具11は、被検査基板Xにおける各検査箇所についての測定処理のために規定された複数のプロービングポイントに対してプロービング可能に植設された複数の測定用プローブ11aを備えている。
スキャナ12は、処理部15の制御に従い、測定用治具11における任意の測定用プローブ11aを測定部13に接続させる。測定部13は、処理部15の制御に従い、スキャナ12によって接続される測定用プローブ11aを介して被検査基板Xにおける任意の検査箇所についての電気的パラメータ(一例として、抵抗値)を測定する。
記憶部14は、被検査基板Xについての測定手順(検査手順)が記録された測定手順データDaや、処理部15の演算結果などを一時的に記憶する。処理部15は、測定装置1を総括的に制御する。具体的には、処理部15は、測定手順データDaに従ってスキャナ12を制御して任意の測定用プローブ11aを測定部13に接続させると共に、測定部13を制御して抵抗値の測定処理を実行させる。
この場合、本例の基板検査システム100(測定装置1)では、被検査基板Xにおける各検査箇所に対して測定ステップ番号(「各検査箇所に対して個別的に付与された符号」の一例)が付与されており、処理部15は、測定手順データDaに記録されている測定ステップ番号の順で測定部13による測定処理が実行されるようにスキャナ12を制御する。また、処理部15は、測定部13から出力される測定値を、その測定値が測定された検査箇所の測定ステップ番号に関連付けて記録して測定値データD1(「測定値データ」の一例)を生成すると共に、生成した測定値データD1をデータ処理装置2に出力する。
一方、データ処理装置2は、「測定結果報知装置」に相当し、一例として、データ処理用のプログラムがインストールされた汎用のパーソナルコンピュータで構成されている。具体的には、データ処理装置2は、操作部21、表示部22、印刷部23、記憶部24および処理部25を備えて構成されている。操作部21は、マウスやタッチパッド等のポインティングデバイスおよびキーボードなどで構成され、使用者による操作に応じた操作信号を処理部25に出力する。表示部22は、処理部25の制御に従い、後述するように測定結果の表示画面などを表示する。印刷部23は、処理部25の制御に従い、後述する測定結果などを印刷する。
記憶部24は、上記のデータ処理用のプログラム、および測定装置1から出力される測定値データD1や、基準値データD0、カラーバー画像データD2および報知用画像データD3,D3aなどを記憶する。この場合、基準値データD0は、「基準値データ」の一例であって、被検査基板Xにおける上記の各検査箇所毎に予め規定された基準値が記録されている。この基準値データD0は、一例として、被検査基板Xの設計データ等に基づいて外部装置において生成されてデータ処理装置2の記憶部24に記憶させられる。
また、カラーバー画像データD2は、後述するように測定結果の報知を目的として処理部25によって描画されるセル群像G1内の各単位表示セルC(図2参照)に対して規定される明度の範囲を特定可能なカラーバーG2(図2参照)の画像データ構成されている。なお、このカラーバー画像データD2のカラーバーG2と、セル群像G1内の各単位表示セルCの明度との関係については、後に詳細に説明する。報知用画像データD3,D3aは、「報知用画像データ」の一例であって、後述するように処理部25によって実行されるデータ処理によって生成される。
処理部25は、データ処理装置2を総括的に制御する。この処理部25は、「処理部」の一例であって、上記のデータ処理用のプログラムに従い、基準値データD0および測定値データD1に基づいて報知用画像データD3,D3aを生成し、生成した報知用画像データD3,D3aを使用して被検査基板Xにおける各検査箇所についての測定結果を表示部22に表示させたり印刷部23に印刷させたりする(「測定結果を視覚的に報知する」との処理の一例)。なお、処理部25による測定結果の報知処理については、後に具体的な例を挙げて詳細に説明する。
この基板検査システム100によって、複数枚の被検査基板X(「各検査箇所が等しく規定された同種で複数枚の被検査基板」の一例)についての測定処理、およびその測定結果の報知を実行する際には、まず、1枚目の被検査基板Xを測定装置1にセットして各検査箇所についての抵抗値を測定させる。なお、実際の測定装置1では、図示しない基板保持部による被検査基板Xの保持や、図示しない移動機構による測定用治具11の移動(各検査箇所毎に規定されたプロービングポイントに対する各測定用プローブ11aのプロービング)などが行われるが、これらの動作については公知のため説明を省略する。
この際に、処理部15は、測定手順データDaに従ってスキャナ12および測定部13を制御することにより、測定手順データDaに記録されている測定ステップ番号の番号順で各検査箇所についての測定処理を実行させる。また、処理部15は、測定部13から測定値が出力される都度、その測定値が測定された検査箇所の測定ステップ番号に関連付けて測定値データD1に記録する。これにより、1枚目の被検査基板Xにおける各検査箇所についての測定値が記録された測定値データD1が生成される。この後、2枚目以降の被検査基板Xについても上記の手順と同様の手順で各検査箇所についての測定処理を実行することにより、各被検査基板X毎に測定値データD1がそれぞれ生成される。
一方、各被検査基板Xについての測定結果を報知する際には、1枚の被検査基板Xについての測定処理(測定値データD1の生成)が完了したとき、または、検査すべき複数枚の被検査基板Xについての測定処理(測定値データD1の生成)が完了したときに、測定装置1からデータ処理装置2に測定値データD1を転送して測定結果を表示または印刷させる。具体的には、一例として、測定順序が1番目の被検査基板X(「基板番号=1」の被検査基板X)から測定順序が100番目の被検査基板X(「基板番号=100」の被検査基板X)までの100枚の被検査基板Xについての測定処理が完了した時点において測定結果を報知する際には、100枚の被検査基板Xについての100個の測定値データD1を測定装置1からデータ処理装置2に転送する。
この際に、データ処理装置2では、処理部25が、測定装置1から転送された測定値データD1,D1・・を記憶部24に順次記憶させる。また、処理部25は、1番目に測定処理が行われた被検査基板X(「基板番号=1」の被検査基板X)についての測定値データD1の値と、記憶部24に記憶されている基準値データD0の値とに基づき、各検査箇所(各導体パターンや各ビア)の良否の程度を特定可能な「特定用の値」を各検査箇所の測定ステップ番号毎にそれぞれ演算する。
より具体的には、本例のデータ処理装置2(基板検査システム100)では、一例として、測定値データD1に記録されている測定値から基準値データD0に記録されている基準値を差し引いた値を基準値で除した値(以下、この値を「相違率」ともいう)を「特定用の値」として各検査箇所毎にそれぞれ演算する。なお、上記の「相違率」に代えて、測定値から基準値を差し引いた値を基準値で除した値に「100」を乗じた値を「相違率」としてもよい。このような演算処理を、2番目以降に測定処理が行われた被検査基板Xについても同様に実行することにより、100枚の被検査基板Xにおける各検査箇所毎の相違率がそれぞれ演算される。
また、処理部25は、上記の相違率の演算処理と並行して、図2に示すように、各検査箇所毎の良否の程度を示すドット状の単位表示セルC(「単位表示セル」の一例)を測定ステップ番号の順序で整列させたセル列Cl(「表示セル群」の一例)を被検査基板Xの測定順序(基板番号の順序)に対応させて並べたセル群像G1を描画する。このセル群像G1は、1つの単位表示セルCによって1つの検査箇所についての良否を特定することができるように各単位表示セルCが描画される画像であって、各被検査基板X(各測定値データD1)毎に各検査箇所に対応する単位表示セルCが上下方向に並べられてセル列Clが描画されている。
具体的には、本例では、各被検査基板X毎に「測定ステップ番号=1」から「測定ステップ番号=200」までの200箇所の検査箇所が規定されており、「測定ステップ番号=1」の検査箇所に対応する単位表示セルCから「測定ステップ番号=200」の検査箇所に対応する単位表示セルCまでの200個の単位表示セルCが測定ステップ番号の順(「整列順序」の一例)で上から下に向かって並べられて1枚の被検査基板Xについての1つのセル列Clが描画されている。
また、本例では、各被検査基板X毎の各検査箇所についての測定結果を示すセル列Clが、セル列Clにおける各単位表示セルCの整列方向と交差する方向(本例では、「整列方向」の一例である上下方向に対して直交する左右方向)で並んで描画されている。なお、図2に示すセル群像G1では、「基板番号=1(測定順序が1番目)」の被検査基板Xについてのセル列Clから、「基板番号=100(測定順序が100番目)」の被検査基板Xについてのセル列Clまでの100個のセル列Clが左から右に向かって並んで描画されている。
さらに、本例のセル群像G1では、明度(「色相、明度および彩度のうちの予め規定された1つ」が「明度」である処理の一例)が相違率に対応するように各単位表示セルCが描画されている。具体的には、本例のデータ処理装置2(基板検査システム100)では、一例として、絶対値が大きい負の値の相違率に対応する単位表示セルCほど明度を低く規定すると共に、絶対値が大きい正の値の相違率に対応する単位表示セルCほど明度を高く規定し、かつ「0」に近い相違率(絶対値が小さい相違率)が中間の明度となるように規定することにより、図2に示すように、グレースケール画像のセル群像G1が描画される。これにより、描画されたセル群像G1では、各単位表示セルCの明度が、対応する検査箇所の良否の程度(本例では、相違率)に応じて相違する状態となる。
続いて、処理部25は、上記のように各被検査基板X毎のセル列Clを描画したセル群像G1と並べて、記憶部24から読み出したカラーバー画像データD2のカラーバーG2を描画する。この場合、カラーバーG2は、「カラーバー」の一例であって、被検査基板Xについての基準値データD0や測定値データD1に基づいて算出され得る「相違率」の範囲と、各単位表示セルCに規定する明度の範囲(この例では、白色から黒色の範囲)との対応関係を特定可能に構成されている。具体的には、本例のカラーバーG2では、絶対値が大きい負の値の相違率ほど、低い明度(黒色寄りの明度)が対応付けられ、絶対値が大きい正の値の相違率ほど、高い明度(白色寄りの明度)が対応付けられていることを特定可能に構成されている。つまり、本例のカラーバーG2では、相違率が低いほど明度が漸減し、かつ相違率が高いほど明度が漸増している。
以上の処理により、図2の例では、100枚の被検査基板Xにおける各検査箇所についての測定結果を示す報知用画像G3(セル群像G1およびカラーバーG2)の報知用画像データD3が生成される。
次いで、処理部25は、生成した報知用画像データD3に基づき、図2に示すように、報知用画像G3(セル群像G1およびカラーバーG2)を表示部22に表示させる。これにより、100枚の被検査基板Xにおける「測定ステップ番号=1〜200」の各検査箇所毎の測定結果を示すセル群像G1がカラーバーG2と並んで表示される(「測定結果を視覚的に報知する」との処理の一例)。
この報知用画像G3(セル群像G1)では、各検査箇所(測定ステップ)毎の基準値および測定値に基づいて演算された相違率に応じて、対応する単位表示セルCの明度が相違させられている。したがって、報知用画像G3(セル群像G1)内の単位表示セルCをカラーバーG2と共に参照することにより、各検査箇所の良否の程度(相違率)を直感的に把握することが可能となっている。
この場合、各検査箇所毎の相違率が同程度の場合には、その被検査基板Xについての測定結果を示しているセル列Clの各単位表示セルCが同程度の明度となっている。このため、各検査箇所の相違率が同程度であった場合には、その旨を直感的に把握することが可能となっている。また、被検査基板Xにおける各検査箇所のうちのいずれかの相違率が他の検査箇所の相違率と大きく異なる場合には、その被検査基板Xについてのセル列Clにおける各単位表示セルCのうちの相違率が大きく異なる検査箇所に対応する単位表示セルCの明度が他の単位表示セルCの明度とは大きく異なる状態となる。このため、相違率が大きく異なる検査箇所が存在していた場合には、そのような検査箇所が存在することを直感的に把握することが可能となっている。
また、この報知用画像G3(セル群像G1)では、各被検査基板Xについての同じ「測定ステップ番号」の検査箇所についての単位表示セルCが左右方向で並んで描画されている。したがって、例えば、複数枚の被検査基板Xの製造に際して、製造設備や製造条件の不備に起因していずれかの検査箇所に不良が生じ易い傾向があったときには、その検査箇所についての左右方向で並んでいる各単位表示セルCの明度が、その他の検査箇所についての単位表示セルCの明度とは異なる状態となる。このため、いずれかの検査箇所に不良が生じ易い傾向があったことを直感的に把握することが可能となっている。
なお、本例の基板検査システム100(データ処理装置2)では、表示部22への表示に代えて、報知用画像データD3を印刷部23に出力することで上記の報知用画像G3(セル群像G1およびカラーバーG2)を紙面に印刷させることもできる(「測定結果を視覚的に報知する」との処理の他の一例)。これにより、表示部22に表示された報知用画像G3を参照したときと同様にして、紙面に印刷された報知用画像G3を参照することで、各検査箇所の良否の程度(相違率)、相違率が大きく異なる検査箇所が存在するか否か、およびいずれかの検査箇所に不良が生じ易い傾向があったか否かなどを直感的に把握することが可能となっている。
一方、本例の基板検査システム100では、各検査箇所が等しく規定された同種の被検査基板Xが並んで形成された多面取り基板Xaを検査対象として測定処理および測定結果の報知処理を実行することもできるように構成されている。例えば、4×3=12枚の被検査基板Xが並んで形成された多面取り基板Xaを検査する際には、一例として、多面取り基板Xaを測定装置1にセットすると共に、予め規定された測定順序で、各被検査基板X毎に測定処理を実行する。なお、測定処理の内容については、前述した例と同様のため、詳細な説明を省略する。これにより、1枚の多面取り基板Xaを構成する12枚の被検査基板Xについての12個の測定値データD1が生成される。
また、各被検査基板Xについての測定結果の報知に際しては、1枚の被検査基板Xについての測定処理(測定値データD1の生成)が完了したとき、または、多面取り基板Xaを構成するすべての被検査基板X,X・・についての測定処理(測定値データD1の生成)が完了したときに、測定装置1からデータ処理装置2に測定値データD1を転送して測定結果を表示または印刷させる。この際に、データ処理装置2では、前述した例における測定結果の報知処理時と同様にして、まず、測定値データD1および基準値データD0に基づき、各検査箇所毎(各測定ステップ番号毎)の相違率をそれぞれ演算する。
また、処理部25は、上記の相違率の演算処理と並行して、図3に示すように、各検査箇所毎の良否の程度を示す単位表示セルC(「単位表示セル」の一例)を測定ステップ番号の順序で整列させたセル列Cl,Cl・・からなるセル群像Cla(「表示セル群」の一例)を被検査基板Xの測定順序(基板番号の順序)に対応させて並べたセル群像G1aを描画する。この場合、本例では、一例として、多面取り基板Xaを構成する各被検査基板X毎に、「測定ステップ番号=1」から「測定ステップ番号=1024」までの1024箇所の検査箇所が規定されており、測定装置1による上記の測定処理において被検査基板X毎に1024箇所の検査箇所についての測定値が記録されて測定値データD1が生成されているものとする。
また、上記のセル群像G1aは、1つの単位表示セルCによって1つの検査箇所についての良否を特定することができるように各単位表示セルCが描画される画像であって、多面取り基板Xaを構成する各被検査基板X(各測定値データD1)毎に各検査箇所に対応する単位表示セルCが並べられた複数のセル列Cl,Clからなるセル群像Claが描画されている。
この場合、本例のセル群像G1aでは、一例として、32箇所の検査箇所についての良否の程度を示す32個の単位表示セルCが測定ステップ番号の順で上から下に向かって並べられて1本のセル列Clが構成されている。また、被検査基板X毎に1024箇所の検査箇所が規定されている本例では、32本のセル列Clが左から右に向かって並べられて1つのセル群像Claが構成されている。なお、本例のセル群像Claでは、32本のセル列Clのうち、左側に位置するセル列Clほど、そのセル列Clを構成する単位表示セルCの測定ステップ番号が小さく、右側に位置するセル列Clほど、そのセル列Clを構成する単位表示セルCの測定ステップ番号が大きくなるようにセル列Clの順序(「整列順序」の他の一例)が規定されている。
さらに、このセル群像G1a(各セル群像Cla,Cla・・)では、明度(「色相、明度および彩度のうちの予め規定された1つ」が「明度」である処理の一例)が相違率に対応するように各単位表示セルCが描画されている。具体的には、本例のデータ処理装置2(基板検査システム100)では、一例として、絶対値が大きい負の値の相違率に対応する単位表示セルCほど明度を低く規定すると共に、絶対値が大きい正の値の相違率に対応する単位表示セルCほど明度を高く規定することにより、図3に示すように、グレースケール画像のセル群像G1a(セル群像Cla,Cla・・)が描画される。これにより、描画されたセル群像G1a(セル群像Cla)では、各単位表示セルCの明度が、対応する検査箇所の良否の程度(本例では、相違率)に応じて相違する状態となる。
また、本例のセル群像G1aでは、各被検査基板X毎の各検査箇所についての測定結果を示すセル群像Claが、多面取り基板Xaにおける各被検査基板Xの位置に対応して並んで描画されている。なお、図3に示すセル群像G1aでは、「基板番号=1(測定順序が1番目)」の被検査基板Xについてのセル群像Claから、「基板番号=12(測定順序が12番目)」の被検査基板Xについてのセル群像Claまでの4行×3列=12個のセル群像Claが並んで描画されている。
続いて、処理部25は、上記のように各被検査基板X毎のセル群像Claを描画したセル群像G1aと並べて、記憶部24から読み出したカラーバー画像データD2のカラーバーG2を描画する。以上の処理により、図3の例では、12枚の被検査基板Xからなる多面取り基板Xaの各被検査基板X毎の各検査箇所についての測定結果を示す報知用画像G3a(セル群像G1aおよびカラーバーG2)の報知用画像データD3aが生成される。
次いで、処理部25は、生成した報知用画像データD3aに基づき、図3に示すように、報知用画像G3a(セル群像G1aおよびカラーバーG2)を表示部22に表示させる。これにより、多面取り基板Xaを構成する12枚の被検査基板Xにおける「測定ステップ番号=1〜1024」の各検査箇所毎の測定結果を示す12個のセル群像Claからなるセル群像G1aがカラーバーG2と並んで表示される(「測定結果を視覚的に報知する」との処理の他の一例)。
この報知用画像G3a(セル群像G1a)では、前述した例の報知用画像G3と同様にして、各検査箇所(測定ステップ)毎の基準値および測定値に基づいて演算された相違率に応じて、対応する単位表示セルCの明度が相違させられている。したがって、報知用画像G3a(セル群像G1a)内の単位表示セルCをカラーバーG2と共に参照することにより、各検査箇所の良否の程度(相違率)を直感的に把握することが可能となっている。
この場合、各検査箇所毎の相違率が同程度の場合には、その被検査基板Xについての測定結果を示しているセル群像Claの各単位表示セルCが同程度の明度となっている。このため、この報知用画像G3aにおいても、各検査箇所の相違率が同程度であった場合には、その旨を直感的に把握することが可能となっている。また、各検査箇所のうちのいずれかの相違率が他の検査箇所の相違率と大きく異なる場合には、その被検査基板Xについてのセル群像Claにおける各単位表示セルCのうちの相違率が大きく異なる検査箇所に対応する単位表示セルCの明度が他の単位表示セルCの明度とは大きく異なる状態となる。このため、相違率が大きく異なる検査箇所が存在していた場合には、そのような検査箇所が存在することを直感的に把握することが可能となっている。
また、この報知用画像G3a(セル群像G1a)では、各被検査基板Xについての同じ「測定ステップ番号」の検査箇所についての単位表示セルCが、各セル群像Cla内の同じ位置に描画されている。したがって、例えば、複数枚の被検査基板Xの製造に際して、製造設備や製造条件の不備に起因していずれかの検査箇所に不良が生じ易い傾向があったときには、各セル群像Cla内の所定の位置に描画されている単位表示セルCの明度が、その他の検査箇所についての単位表示セルCの明度とは異なる状態となる。このため、いずれかの検査箇所に不良が生じ易い傾向があったことを直感的に把握することが可能となっている。
さらに、この報知用画像G3a(セル群像G1a)では、多面取り基板Xaを構成する各被検査基板Xの位置に応じて、各被検査基板Xにおける各検査箇所毎(測定ステップ番号毎)の良否の程度を示す単位表示セルC,C・・からなるセル群像Cla,Cla・・が並べて描画されている。したがって、セル群像G1a内の各セル群像Claを参照することにより、多面取り基板Xaにおけるいずれの位置の被検査基板Xが良好で、いずれの位置の被検査基板Xに不良が生じているかを直感的に把握することが可能となっている。
なお、本例の基板検査システム100(データ処理装置2)では、表示部22への表示に代えて、報知用画像データD3aを印刷部23に出力することで上記の報知用画像G3a(セル群像G1aおよびカラーバーG2)を紙面に印刷させることもできる(「測定結果を視覚的に報知する」との処理のさらに他の一例)。これにより、表示部22に表示された報知用画像G3aを参照したときと同様にして、紙面に印刷された報知用画像G3aを参照することで、各検査箇所の良否の程度(相違率)、相違率が大きく異なる検査箇所が存在するか否か、いずれかの検査箇所に不良が生じ易い傾向があったか否か、およびいずれの被検査基板Xが正常でいずれの被検査基板Xに不良が生じているかなどを直感的に把握することが可能となっている。
このように、このデータ処理装置2、およびその測定結果報知方法では、被検査基板Xに規定された複数の各検査箇所の良否の程度を特定可能な「特定用の値(本例では、相違率)」を測定値および基準値に基づいて演算すると共に、各検査箇所毎の良否の程度を示す単位表示セルCを、測定ステップ番号に基づいて特定される整列順序(本例では、「測定ステップ番号の順」)で整列させたセル列Clについて、各単位表示セルCの色相、明度および彩度のうちの予め規定された1つ(本例では、明度)を相違率に対応させた状態で描画して報知用画像データD3を生成し、生成した報知用画像データD3に基づいて各検査箇所についての測定結果を報知する。また、この基板検査システム100では、上記のデータ処理装置2と、各検査箇所についての測定処理を実行して測定値を記録した測定値データD1を生成する測定装置1とを備えて構成されている。
したがって、このデータ処理装置2、基板検査システム100および測定結果報知方法によれば、各検査箇所についての測定結果を一覧表形式(数値)で表示・印刷される測定結果(検査結果)とは異なり、表示または印刷した報知用画像G3,G3aの各単位表示セルC,C・・を参照させることで、単位表示セルCの色相、明度または彩度の相違によって、対応する検査箇所の不良度合い(良好度合い)について直感的に把握させることができる。これにより、被検査基板Xに規定されている検査箇所の数が多数の場合であっても、測定結果(一覧表)をスクロールさせたりページ送りしたりする操作を行うことなく、多数の検査箇所についての測定結果を容易に把握させることができる。
また、このデータ処理装置2、基板検査システム100および測定結果報知方法によれば、各検査箇所が等しく規定された同種で複数枚の被検査基板Xについての測定結果を報知する報知用画像データD3を生成するときに、各被検査基板X毎の各検査箇所についての測定結果を示すセル列Clについて、各セル列Clにおける各単位表示セルCの整列方向と交差する方向で並べて描画することにより、表示または印刷した報知用画像G3におけるセル列Cl,Cl・・の各単位表示セルC,C・・を参照させることで、各被検査基板X毎の検査箇所の不良度合い(良好度合い)を容易に比較させることができる。
さらに、このデータ処理装置2、基板検査システム100および測定結果報知方法によれば、各検査箇所が等しく規定された同種で複数枚の被検査基板Xが並んで形成された多面取り基板Xaについての測定結果を報知する報知用画像データD3aを生成するときに、各被検査基板X毎の各検査箇所についての測定結果を示すセル群像Claについて、多面取り基板Xaにおける各被検査基板Xの位置に対応させて並べて描画することにより、表示または印刷した報知用画像G3aにおけるセル群像Cla,Cla・・の各単位表示セルC,C・・を参照させることで、各被検査基板X毎の検査箇所の不良度合い(良好度合い)を容易に比較させることができる。また、多面取り基板Xaのいずれの位置に形成された被検査基板Xに不良が生じ、いずれの位置に形成された被検査基板Xに不良が生じていないかを容易に特定させることができる。
また、このデータ処理装置2、基板検査システム100および測定結果報知方法によれば、各単位表示セルCの色相、明度および彩度のうちの予め規定された1つ(本例では、明度)と相違率との対応関係を特定可能なカラーバーG2をセル列Clやセル群像Claと並べて描画して報知用画像データD3や報知用画像データD3aを生成することにより、各検査箇所にどの程度の不良が生じているか(各検査箇所がどの程度良好であるか)を一層容易に把握させることができる。
なお、「測定結果報知装置」および「測定システム」の構成や、「測定結果報知方法」の処理内容については、上記の例に限定されない。例えば、測定値から基準値を差し引いた値を基準値で除した値、または、その値に「100」を乗じた値(相違率)を「特定用の値」として演算して報知用画像データD3を生成する例について説明したが、「特定用の値」は、上記の「相違率」に限定されない。例えば、「測定値を基準値で除した値(上記特許文献に開示のインサーキットテスタにおいて演算される「充足率」と同様の値)」、または、その値に「100」を乗じた値を「特定用の値」として演算して使用することができる。
また、「色相、明度および彩度のうちの予め規定された1つ」の一例として、単位表示セルCの「明度」を「特定用の値(上記の例では、相違率)」に応じて異ならせてグレースケール画像の報知用画像データD3を生成する処理を例に挙げて説明したが、グレー(モノトーン)以外の任意の色の「単位表示セル」の「明度」を「特定用の値」に応じて異ならせて「報知用画像データ」を生成することもできる。
さらに、「明度」を異ならせる処理に代えて、「単位表示セル」の色の「色相」または「彩度」を「特定用の値」に応じて異ならせて「報知用画像データ」を生成することもできる。また、ドット状の単位表示セルCを並べたセル列Clを「表示セル群」とする例について説明したが、バー状の「単位表示セル」や、任意の図柄の「単位表示セル」を並べて「表示セル群」とすることもできる。
さらに、各検査ステップ毎に付与された「測定ステップ番号」を「各検査箇所に対して個別的に付与された符号」として使用して測定処理や測定結果の報知処理を実行する例について説明したが、「符号」はこの例に限定されない。個別的に識別可能である限り、例えば、「測定ステップ番号」に代えて、被検査基板Xの設計時に各導体路に付与したパターン番号を対応する検査箇所の符号として使用したり、各検査箇所に対して測定ステップ番号とは別個に任意に付与した番号を符号として使用したりすることもできる。
また、単位表示セルCを測定ステップ順で上から下に向かって並べたセル列Clを、基板番号順で左から右に向かって並べてセル群像G1を描画する例について説明したが、これらの並び順は、上記の例に限定されず、例えば、単位表示セルCを測定ステップ順で下から上に向かって並べてセル列Clを描画することもできるし、セル列Clを基板番号順で右から左に向かって並べてセル群像G1を描画することもできる。また、同様にして、単位表示セルCを測定ステップ順で上から下に向かって並べたセル列Clを、測定ステップ番号の小さい順で左から右に向かって並べてセル群像Claを描画する例について説明したが、これらの並び順も、上記の例に限定されず、例えば、単位表示セルCを測定ステップ順で下から上に向かって並べたセル列Clを描画することもできるし、セル列Clを、測定ステップ番号の小さい順で右から左に向かって並べてセル群像Claを描画することもできる。
さらに、複数枚の被検査基板Xについての測定結果を示すセル列Cl(図2に示す報知用画像G3の形態)やセル群像Cla(図3に示す報知用画像G3aの形態)を表示・印刷することで測定結果を報知する例について説明したが、前述したセル群像G1における各セル列Clのうちのいずれか1つや、前述したセル群像G1aにおける各セル群像Claのうちのいずれか1つとカラーバーG2とを並べて描画した「報知用画像」(図示せず)の報知用画像データを生成し、その報知用画像データを使用して1枚の被検査基板Xについての測定結果を単独で報知することもできる。
加えて、測定用治具11およびスキャナ12を介して被検査基板Xについての測定処理を実行する測定装置1を例に挙げて説明したが、「測定システム」における「測定装置」の構成はこれに限定されず、プローブ移動機構によって各測定用プローブを別個独立して移動させて任意のプロービングポイントにプロービングさせて「被検査基板」についての測定処理を実行可能な「測定装置」を備えて構成することもできる。