JP2023134059A - 検査ロジック調整支援装置 - Google Patents

Abstract

【課題】検査ロジックの調整作業を効率化する。【解決手段】モデル画像と、モデル判定結果とを関連付けたモデル画像データと、被検査物を撮像した画像情報に基づいて良否を判定する検査ロジックと、検査パラメータと、を記憶した記憶部と、検査ロジックの性能テストを実行するテスト処理部と、モデル判定結果と、テスト判定結果とに基づいて、検査ロジックの選択及び検査パラメータの設定の少なくともいずれか一方を支援する支援情報を生成する調整支援処理部と、テスト判定結果と、モデル判定結果と、支援情報を含む結果確認画面を生成する結果確認画面生成部と、対象ロジック選択受付部と、パラメータ設定受付部と、表示部と、を備え、結果確認画面は、モデル画像ごとの、モデル判定結果と、複数の検査ロジック及び該検査ロジックに用いられる検査パラメータとに関連付けられた、テスト判定結果と、支援情報と、を含む検査ロジック調整支援装置。【選択図】図２

Description

本発明は、検査ロジックの調整を支援する検査ロジック調整支援装置に関する。

ＳＭＴ（Surface Mount Technology）におけるリフロー後検査工程に用いられる検査装置では、見過ぎや見逃しを抑制するためにチューニングと呼ばれる各検査ロジックの閾値調整を実施することが一般的である（例えば、特許文献１を参照）。
このようなチューニングでは主として以下の２つの手順で行われる。
（１）検査工程で発生した良品画像、実不良画像をモデル画像として登録する。
（２）モデル画像に対して各検査ロジックを仮想的に適用し（モデルテストという。）、良品画像をＯＫ、実不良画像をＮＧとして検出できるようにロジックを調整する。
特に、ロジック調整の工程において最適な設定を行えなかった場合には、歩留まりの低下や実不良の見逃しにつながる可能性があるため、閾値等を、可能な限り最適な設定に近い値に落とし込む必要がある。

特開２０１８－７７１４７号公報

しかしながら、ロジックのオン・オフの切り替えや、閾値、特徴パラメータの組み合わせが膨大である各ロジックに対し、最適な設定を行うことは難しい。検査装置の検出力を最大化し、見逃しを最小化するためには、それぞれの実不良画像から生成されたＮＧモデル画像の不良種に対し適切なロジックで検出すべきであるが、チューニング担当者はＮＧモデル画像の見逃しがないように設定することに終始し、適切なロジックで検出しようとすることまで意識できない場合が多い。

本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、検査ロジックの調整作業を効率化することを目的とする。

上記の課題を解決するための本発明は、
被検査物を撮像したモデル画像と、該被検査物の良否を判定したモデル判定結果とを関連付けたモデル画像データと、前記被検査物を撮像した画像情報に基づいて該被検査物を検査して良否を判定する検査ロジックと、前記検査ロジックを実行する際に用いられる検査パラメータと、を記憶した記憶部と、
所定の前記検査パラメータを用いた前記検査ロジックに基づいて、前記モデル画像に撮像された被検査物の良否を判定する該検査ロジックの性能テストを実行し、該良否をテスト判定結果として出力するテスト処理部と、
前記モデル判定結果と、前記テスト判定結果とに基づいて、前記検査ロジックの選択及び前記検査パラメータの設定の少なくともいずれか一方を支援する支援情報を生成する調整支援処理部と、
前記テスト処理部による、前記モデル画像に対する、所定の前記検査パラメータを用いた前記検査ロジックによる前記テスト判定結果と、該モデル画像に関連付けられた前記モデル判定結果と、前記支援情報を含む結果確認画面を生成する結果確認画面生成部と、
前記性能テストの対象とする前記検査ロジックの選択を受け付ける対象ロジック選択受
付部と、
前記性能テストの対象とする前記検査ロジックに用いられる前記検査パラメータの設定を受け付けるパラメータ設定受付部と、
前記結果確認画面を表示する表示部と、
を備え、
前記結果確認画面は、
前記モデル画像ごとの、該モデル画像に関連付けられた前記モデル判定結果と、前記性能テストの対象となった複数の前記検査ロジック及び該検査ロジックに用いられる前記検査パラメータとに関連付けられた、該性能テストによる前記テスト判定結果と、
前記支援情報と、
を含むことを特徴とする検査ロジック調整支援装置である。

これによれば、結果確認画面には、モデル画像ごとの、該モデル画像に関連付けられたモデル判定結果と、性能テストの対象となった複数の検査ロジック及び該検査ロジックに用いられる検査パラメータとに関連付けられた、該性能テストによるテスト判定結果が表示されるので、検査ロジックごとのテスト判定結果と、モデル判定結果とを対照することにより、検査ロジックの性能を一覧で把握することができる。また、これらの判定結果を含む情報に基づく支援情報を参考にして、検査パラメータを設定し、又は検査ロジックを選択することにより、効率的に検査ロジックを調整することができる。ここでは、ＡＩモデルを含め被検査物の検査に用いるアルゴリズムを検査ロジックという。

また、本発明において、
前記テスト処理部は、複数の前記検査ロジックによる前記テスト判定結果に基づいて、前記モデル画像に撮像された被検査物の良否を判定し、該良否をテスト総合判定結果として出力するようにしてもよい。

これによれば、複数の検査ロジックのそれぞれに応じたテスト判定結果のみならず、複数の検査ロジックのテスト判定結果に基づくテスト総合判定結果が表示されるので、より適切な検査ロジックの調整が可能となる。

また、本発明において、
前記テスト総合判定結果は、複数の前記検査ロジックによる前記テスト判定結果の論理計算によって導出されるようにしてもよい。

これによれば、論理計算のための論理式を適切に構築することで、複数の検査ロジックの特性に基づいて、所望の特性を有するテスト総合判定結果を得ることができる。

また、本発明において、
前記モデル画像データは、前記被検査物の不良の種別に関する不良種情報を含み、
前記結果確認画面は、前記モデル画像ごとの、前記不良種情報を含むようにしてもよい。

これによれば、モデル画像の良否の判定結果のみならず、不良種情報も確認結果画面に表示され、検査ロジックの性能を詳細に判断することができるので、より適切な検査ロジックの調整が可能となる。

また、本発明において、
前記記憶部は、前記検査ロジックと、該検査ロジックによって検出すべき前記不良の種別とを関連付けたロジック不良種対応情報を記憶し、
前記調整支援処理部は、前記ロジック不良種対応情報に基づいて、前記支援情報を生成
するようにしてもよい。

これによれば、テスト判定結果において、対象となる検査ロジックによって検出すべき不良種別が適切に検出できているか否かを考慮した支援情報を提供することができるので、より適切な検査ロジックの調整が可能となる。

また、本発明において、
前記検査ロジックはＡＩモデルを含み、
前記性能テストに用いられる前記ＡＩモデルの変更を受け付けるモデル変更受付部を備えるようにしてもよい。

これによれば、性能テストの結果によって、ＡＩモデルを変更することもできるので、より適切な検査ロジックの調整が可能となる。

また、本発明において、
前記結果確認画面は、前記性能テストによる見逃し及び見過ぎの少なくともいずれか一方に関する件数を含むようにしてもよい。

これによれば、性能テストによる見逃し及び見過ぎの少なくともいずれか一方に関する件数が結果確認画面に表示されるので、検査ロジックの性能をより的確に評価することができる。なお、見逃しとはモデル判定結果はＮＧ（不良）だが、テスト判定結果はＯＫ（良）になることをいい、見過ぎとはモデル判定結果はＯＫ（良）だが、テスト判定結果はＮＧ（不良）になることをいう。

また、本発明において、
前記結果確認画面は、前記検査ロジック及び該検査ロジックの設定された前記検査パラメータに基づく判定の余裕度に応じて異なる態様で表示される前記テスト判定結果を含むようにしてもよい。

これによれば、結果確認画面によって、単なる良否の判定結果のみならず、余裕度も把握することができるので、より的確に検査ロジックの性能を評価できる。

また、本発明において、
前記結果確認画面生成部は、前記モデル判定結果及び前記テスト判定結果に基づいて、前記モデル画像ごとの表示態様を変更するようにしてもよい。

これによれば、結果確認画面生成部は、モデル判定結果及びテスト判定結果に基づいて、モデル画像ごとの表示態様を変更するので、検査ロジックの性能の評価に必要な判定結果となったモデル画像に関する情報のみを表示させ、他のモデル画像に関する情報は簡略表示にしたり、展開によって表示させたりするというように表示態様を変更することができる。これによって、結果確認画面を通じて必要な情報を効率的に取得することができるので、より効率的に検査ロジックを調整することができる。

また、本発明において、
前記性能テストの対象として選択された前記検査ロジックと、該検査ロジックに用いられる設定された前記検査パラメータとに基づく、前記性能テストの実行の指示を受け付けるテスト指示受付部を備えるようにしてもよい。

これによれば、ユーザが検査ロジック等に対して所望の調整を行った段階で、性能テストの実行を指示することができるので、テスト処理部の処理負荷を低減することができる
。

また、本発明において、
前記テスト処理部は、前記モデル画像データに基づいて生成された補助モデル画像と補助モデル判定結果を含む補助モデル画像データを含めて、前記性能テストを実行するようにしてもよい。

これによれば、モデル画像データが少ない場合にも、補助モデル画像も加えて性能テストを実行できるので、検査ロジックの性能を適切に評価できる。

本発明によれば、検査ロジックの調整作業を効率化することが可能となる。

本発明の実施例に係る検査システムの概略構成図である。 本発明の実施例に係る検査システムの機能ブロック図である。 本発明の実施例に係る検査システムのデータベースのデータ構成を示す図である。 本発明の実施例に係る検査ロジック調整支援処理の手順を説明するフローチャートである。 本発明の実施例に係るロジック調整ガイド画面の表示例を示す図である。 本発明の実施例に係るロジック調整ガイド画面の他の表示例を示す図である。 本発明の実施例に係るロジック調整ガイド画面の他の表示例を示す図である。 本発明の実施例に係るロジック調整ガイド画面の他の表示例を示す図である。 本発明の実施例に係るロジック調整ガイド画面の他の表示例を示す図である。 本発明の実施例に係るロジック調整ガイド画面の他の表示例を示す図である。 本発明の実施例に係るロジック調整ガイド画面の他の表示例を示す図である。 本発明の実施例に係るロジック調整ガイド画面の他の表示例を示す図である。 本発明の実施例に係るロジック調整ガイド画面の他の表示例を示す図である。

〔適用例〕
以下、本発明の適用例について、図面を参照しつつ説明する。

本発明が適用される対象の一例である生産ライン１００は、図１に示すように、はんだ印刷装置１００ａ、はんだ印刷後検査装置１００ｂ、マウンタ１００ｃ、マウント後検査装置１００ｄ、リフロー炉１００ｅ、リフロー後検査装置１００ｆを含む。生産ライン１００における各装置は、ＬＡＮなどのネットワークを介してティーチング端末１０に接続されている。各検査装置１００ｂ、１００ｄ、１００ｆは各工程の出口でプリント基板の状態を検査し、不良あるいは不良のおそれを自動的に検出する。

なお、生産ライン１００の各検査装置における検査は、所定の検査ロジックや、予め学
習されたＡＩモデルを用いて行われる。検査ロジックは、ティーチング端末１０を用いて、事前にチューニングと呼ばれる閾値等のパラメータの調整が行われる。ＡＩモデルは、ティーチング端末１０を用いて、事前に学習データを用いて学習される。

このとき、検査ロジックやＡＩモデルのオン・オフの切り替え、閾値、特徴パラメータの組み合わせが膨大であるため、各検査ロジックやＡＩモデルに対して最適な設定を行うことは難しい。それに対し、本適用例は、モデル画像データ等を適切な検査ロジックで検出できるように、チューニング担当者の作業を適切な順序でガイドすることにより、短時間で最適なチューニングを実現できるようにしたものである。

〔実施例１〕
以下、図面を参照して本発明の実施例１に係る検査システム１の構成について説明する。ただし、この実施例に記載されている装置の構成は各種条件により適宜変更されるべきものである。すなわち、この発明の範囲を以下の実施例に限定する趣旨のものではない。

本実施例に係る生産ライン１００を図１に示す。上述のように、生産ライン１００は、例えばはんだ印刷装置１００ａ、はんだ印刷後検査装置１００ｂ、マウンタ１００ｃ、マウント後検査装置１００ｄ、リフロー炉１００ｅ、リフロー後検査装置１００ｆを含む。はんだ印刷装置１００ａは、プリント基板上の電極部はんだペーストを印刷する装置である。マウンタ１００ｃは、プリント基板に実装すべき多数の電子部品をはんだペーストの上に載置するための装置である。また、リフロー炉１００ｅは、プリント基板上に載置された電子部品を基板上のプリント配線にはんだ接合するための加熱装置である。そして、各検査装置１００ｂ、１００ｄ、１００ｆは各工程の出口でプリント基板の状態を検査し、不良あるいは不良のおそれを自動的に検出する。

上述したはんだ印刷後検査装置１００ｂ、マウント後検査装置１００ｄ、リフロー後検査装置１００ｆ（以下、これらをまとめて検査装置３０ともいう。）は、ＬＡＮなどのネットワークを介してティーチング端末１０及び、データベース２０（以下、簡単にＤＢ２０ともいう。）に接続されている。ティーチング端末１０は、ＣＰＵ（プロセッサ）、主記憶装置（メモリ）、補助記憶装置（ハードディスクなど）、入力装置（キーボード、マウス、コントローラ、タッチパネルなど）、出力装置（ディスプレイ、プリンタ、スピーカなど）などを具備する汎用的なコンピュータシステムにより構成されてもよい。あるいは、タブレット端末など可搬性を有するコンピュータシステムにより構成されてもよい。

なお、生産ライン１００の検査装置３０における検査は、所定の検査ロジックや、予め学習された学習済ＡＩモデル（以下、単にＡＩモデルともいう。）を用いて行われる。検査ロジックやＡＩモデルは、ＤＢ２０に格納されており、適宜選択されて検査装置３０における検査に使用される。また、検査ロジックは、ティーチング端末１０を用いて、事前にモデルデータに基づいて、検査装置３０においてプリント基板の良不良を判定可能なように閾値や特徴量等のパラメータが調整されている。また、ＡＩモデルは、ティーチング端末１０を用いて、事前に学習データに基づいて検査装置３０においてプリント基板の良不良を判定可能なように学習される。以下、特に断らない限り、ＡＩモデルも含めて、単に検査ロジックという。

図２に、検査システム１の機能ブロック構成を示す。
ティーチング端末１０は、調整された閾値等を用いた検査ロジックによってテストサンプルに対して検査を行い、テスト判定結果を出力する機能部である性能テスト処理部１０ａと、性能テスト処理部１０ａによるテスト結果と、テストサンプルデータとに基づいて、ユーザによる閾値等の調整を支援するサポート情報を出力するサポート処理部１０ｂと、テスト判定結果、テストサンプルデータ、サポート情報等を含むロジック調整ガイド画
面を生成し、表示部１０ｄに出力する画面生成部１０ｃと、ロジック調整ガイド画面等を表示する表示部１０ｄと、ユーザが閾値等の変更等を入力する入力部１０ｅを含む。性能テスト処理部１０ａ、サポート処理部１０ｂ、画面生成部１０ｃは、例えば、主記憶装置等に記憶された所定のプログラムを実行するＣＰＵを含んで構成され、表示部１０ｄはディスプレイやタッチパネルによって構成され、入力部１０ｅは、入力装置によって構成される。ここでは、プリント基板の画像（モデル画像）に対して目視等により良不良を判定し、その判定結果と不良の場合には該当する不良種をモデル画像に関連付けたモデル画像データに対して、性能テストの対象となったモデル画像をテストサンプルといい、テストサンプルに関連付けられたモデル画像データをテストサンプルデータといい、以下の説明でもこのように区別する。性能テスト処理部１０ａ、サポート処理部１０ｂ、画面生成部１０ｃ、表示部１０ｄは、それぞれ本発明のテスト処理部、調整支援処理部、結果確認画面生成部、表示部に相当する。また、ロジック調整ガイド画面が本発明の結果確認画面に相当する。本発明の検査ロジック調整支援装置は、ティーチング端末１０及びデータベース２０を含んで構成される。

データベース２０は、モデル画像データを記憶するモデル画像データ記憶部２０ａ、閾値等の検査パラメータを記憶するパラメータ情報記憶部２０ｂ、ＡＩモデル及び検査ロジックを記憶するＡＩモデル・ロジック情報記憶部２０ｃを含む。図３（Ａ）、図３（Ｂ）及び図３（Ｃ）にデータベースに記憶されたデータ構成を模式的に示す。図３（Ａ）に示すように、モデル画像データ記憶部２０ａには、プリント基板の画像（モデル画像）と、判定結果がＮＧである場合のぬれ、電極ズレ、電極浮き等の不良の種別である不良種とが関連付けられたモデル画像データが記憶されている。ロジック性能テストが行われた場合には、それぞれの検査ロジックによる計測値もモデル画像と関連付けて、モデル画像データ記憶部２０ａに記憶される。図３（Ｂ）に示すように、検査ロジック及びＡＩモデルやそれらに用いる閾値等の検査パラメータが、計測検査、色検査、ＡＩ検査等の検査タイプごとに、電極ズレ、ぬれ等のロジック名と、閾値と、ＤＬＬ（Dynamic Link Library）と関連付けられて記憶されている。図３（Ｂ）には、パラメータ情報記憶部２０ｂ及びＡＩモデル・ロジック情報記憶部２０ｃにそれぞれ記憶されている検査パラメータと、ＡＩモデル及び検査ロジックとを含むデータ構成例を示しているが、これらは互いに関連付けられていればよく、データ構成はこれに限られない。図３（Ｃ）に示すように、検査ロジック及びＡＩモデルや、検査ロジック及びＡＩモデルで検出すべき不良種が、計測検査、色検査、ＡＩ検査等の検査タイプごとに、電極高さ、ぬれ等のロジック名と、対応する不良種というようにそれぞれ関連付けられて記憶されている。これらの検査ロジック等と検出すべき不良種との対応関係に関する情報は、例えば、ＡＩモデル・ロジック情報記憶部２０ｃに記憶することができる。これらの各記憶部２０ａ～２０ｃは、ティーチング端末１０の補助記憶装置に構成されてもよいし、独立したデータベースとして構成されてもよい。データベース２０は、本発明の記憶部に相当する。また、検査ロジック等と検出すべき不良種との対応関係に関する情報は、本発明のロジック不良種対応情報に相当する。

検査装置３０は、調整された閾値等の検査パラメータを適用したＡＩモデルや検査ロジックによって、量産時に取得された画像データに対して検査を行う量産検査部３０ａを有する。

次に、本実施例に係る検査システム１を用いた処理の手順を、図４に示す。以下の処理の前提として、プリント基板の画像（モデル画像）に対して目視等により良不良を判定し、その判定結果と不良の場合には該当する不良の種別である不良種を画像情報に関連付けたモデル画像データを準備しておく。ここでは、モデル画像が本発明のモデル画像に相当し、モデル画像に対する目視等による判定結果が本発明のモデル判定結果に相当し、プリント基板の画像（モデル画像）に対して目視等により特定された不良種が本発明の不良種情報に相当する。

まず、現状の検査ロジックによって、モデル画像に対して性能テスト処理部１０ａが、性能テストを実行する（ステップＳ１）。このとき、閾値等としてはデータベースに記憶された過去のデータ又はデフォルトの値が用いられる。
そして、画面生成部１０ｃが性能テストの結果を含むロジック調整ガイド画面を生成し、表示部１０ｄに表示する（ステップＳ２）。

ユーザは、性能テストの結果を確認し、調整を行う際に、ガイド機能を使用するか否かを、入力部１０ｅを通じて選択する（ステップＳ３）。調整の経験や知識を有するユーザのように、ガイドの使用を望まない場合もあり得るので、ガイド機能を使用せずに閾値等の調整ができるようになっている。
ガイドを使用する場合には、ステップＳ４に進み、ガイドを使用しない場合には、ステップＳ１１に進む。

ステップＳ４～ステップＳ１０の処理は、計測検査、色検査、ＡＩ検査の各検査タイプについて検査ロジックごとに行われる。

まず、計測検査について、サポート処理部１０ｂが出力したサポート情報が表示部１０ｄに表示される（ステップＳ５）。
次に、ユーザが、サポート情報を参考に閾値等を、入力部１０ｅを通じて調整する（ステップＳ６）。
そして、性能テスト処理部１０ａが、変更された閾値等に基づいて、上述のテストサンプルに対して、ロジック性能テストを実行する（ステップＳ７）。

ロジック性能テストが終了すると、画面生成部１０ｃがテスト結果を含むロジック調整ガイド画面を生成し表示部１０ｄに表示される（ステップＳ８）。
ユーザが、テスト結果は十分なものである、すなわち、調整の対象となっている検査ロジックについてはそれ以上の調整が不要であると判断した場合には、色検査、ＡＩ検査と、次の検査タイプの検査について、ステップＳ５～Ｓ８の処理を同様に行う。検査のタイプはこれらに限られない。
ユーザが、テスト結果は十分なものではないと判断した場合には、ステップＳ５に戻り、表示部１０ｄに表示されたサポート情報に基づいて、さらに閾値等の調整を行うというように、テスト結果が十分なものと判断できるまで、ステップＳ５～Ｓ９の処理を繰り返す。

計測検査、色検査、ＡＩ検査について、閾値等を調整し、性能テストの結果として性能が十分であると判断された場合には、ステップＳ４～Ｓ１０の処理を終了し、手動で閾値等を調整する（ステップＳ１１）。ステップＳ３においてガイドの利用を選択せずに、手動で閾値等を調整してもよいし、ステップＳ３においてガイドの利用を選択し、ガイドを利用して閾値等を調整した後に、微調整等のためにさらに手動で閾値等を調整してもよい。

手動で調整された閾値等に基づいて再度性能テストを実行する場合には、ステップＳ１に戻って性能テスト処理部１０ａが性能テストを実行する。
手動で調整された閾値等に基づく再度の性能テストを行わない場合には、データベースのパラメータ情報記憶部２０ｂ及びＡＩモデル・ロジック情報記憶部２０ｃに記憶された、調整された閾値等及び対象となった検査ロジック、ＡＩモデルがリリースされ（ステップＳ１３）、検査装置３０の量産検査部３０ａにおいて、当該検査ロジック及びＡＩモデルと調整された閾値等を用いて量産検査が行われる（ステップＳ１４）。

（ロジック調整ガイド画面の構成）
以下、上述した処理を、画面の表示例を用いて説明する。
図５は、表示装置に表示されるロジック性能確認ツールと題されたロジック調整ガイド画面１１の基本的な表示例を示す。
ロジック調整ガイド画面１１は、主として、品番グループ欄１１１、見過ぎ数欄１１２、見逃し数欄１１３、判定結果詳細表示１１４、ガイド表示欄１１５、各種ボタン１１６～１１９を含む。

品番グループ欄１１１には、評価に用いられているテストサンプルの対象となっているプリント基板の品番グループが、「ＱＦＰ＿４０３２１」と表示される。そして、見過ぎ数欄１１２には、判定結果詳細表示１１４に表示された画像データ７件に対して見過ぎとなった件数が「４（１）／５」のように表示される（ここでは、かっこ内の数値は許容品の数を示す。）。同様に、見逃し数欄１１３には、真値（目視）でＮＧと判定されているサンプル２件に対する見逃した件数が「０／２」のように表示される。

判定結果詳細表示１１４は、テストサンプルごとに、各検査ロジックによる判定結果が横方向に並列して配置される表形式で表示される。判定結果詳細表示１１４の左端は、テストサンプルに付された番号が表示される番号欄１１４ａである。この番号欄１１４ａの右側には、対応するテストサンプルの画像が簡略表示されるテストサンプル画像表示欄１１４ｂが配置されている。テストサンプル画像表示欄１１４ｂの右側には、テストサンプルとなったモデル画像を目視して良否を判定した結果が真値として表示される真値（目視）欄１１４ｃが配置されている。真値（目視）欄１１４ｃには、ＯＫ、ＮＧにより良否の判定結果が表示されるともに、不良品については判定結果を示すＮＧととともに不良種に関する情報も表示される。これらの情報により、いずれの検査ロジックによって検出すべきかを判断することもできる。真値（目視）欄１１４ｃの三角マーク１１４ｃ１は、真値（目視）欄１１４ｃの判定結果ごとにテストサンプルに関する情報をソートするためのものである。真値（目視）欄１１４ｃの右側には、現在評価の対象となっている検査ロジックによる判定結果を表示する判定結果欄１１４ｄが配置されている。判定結果欄１１４ｄの三角マーク１１４ｄ１は、判定結果欄１１４ｄの判定結果ごとにテストサンプルに関する情報をソートするためのものである。

判定結果欄１１４ｄに表示する判定結果としては、後述する電極高さ等の個別の検査ロジックによる判定結果に基づいて総合的判定結果を表示する。総合的判定は、特定の検査ロジックによる判定結果でもよいし、例えば、検査ロジックＡの判定結果がＮＧ又は検査ロジックＢの判定結果がＮＧのときに総合的判定をＮＧとするというように、複数の検査ロジックの判定結果の論理計算によって導出されるものであってもよい。以下に説明する例では、電極高さ、電極ズレ、ぬれ、ランド露出、ぬれ（ＡＩ）の５つの検査ロジックの判定結果のＯＲによって総合的判定結果を導出している。ここでは、総合的判定結果が、本発明のテスト総合判定結果に相当する。

判定結果詳細表示１１４では、これらの欄の右側には、カテゴリーごとの検査ロジックによる判定結果が表示される。左から順に、計測検査ロジックによる判定結果を表示する計測検査欄１１４ｅ、色検査ロジックによる判定結果を表示する色検査欄１１４ｆ、ＡＩモデル検査による判定結果を表示するＡＩ検査欄１１４ｇが配置されている。また、計測検査欄１１４ｅは、さらに、電極高さ検査欄１１４ｈと電極ズレ検査欄１１４ｉと、より詳細（具体的）な検査ロジックごとの判定結果表示欄に区分されている。同様に、色検査欄１１４ｆは、ぬれ検査欄１１４ｊ、ランド露出検査欄１１４ｋに区分されている。また、ＡＩ検査欄１１４ｇは、ＡＩモデルによるぬれ検査としてぬれ（ＡＩ）検査欄１１４ｍが配置されている。検査ロジックによる判定結果が、本発明のテスト判定結果に相当する。

これらのタイトル行とテストサンプルごとの判定結果表示との間には、各検査ロジックの閾値行１１４ｎが配置されている。各検査ロジックの欄における、この閾値行１１４ｎには、各検査ロジックについて設定されている閾値が表示されており、ユーザは、入力装置から適宜の数値を入力することにより、この閾値行１１４ｎに表示された閾値を変更することができる。ロジック調整ガイド画面１１では、電極高さ１００－２００、電極ズレ０－１００、ぬれ０－４０、ランド露出０－１０、ぬれ（ＡＩ）０－５０の各閾値が表示されている。ここでは、各閾値が本発明の検査パラメータに相当する。また、このロジック調整ガイド画面１１における閾値行１１４ｎの、各検査ロジックに対応する列の表示に関連付けて、閾値の変更・設定の情報が入力される入力部１０ｅが本発明のパラメータ設定受付部に相当する。

判定結果詳細表示１１４の閾値行１１４ｎの下には、テストサンプルごとの判定結果が、上述した各欄について表示されている。ここでは、Ｎｏ．１からＮｏ．７までの７件のテストサンプルについて、判定結果が表示されている。例えば、Ｎｏ．１のテストサンプルについては、真値（目視）欄１１４ｃにＯＫ、判定結果欄１１４ｄにＮＧ、電極高さ検査欄１１４ｈにＮＧ、電極ズレ検査欄１１４ｉにＯＫ、ぬれ検査欄１１４ｊにＯＫ、ランド露出検査欄１１４ｋにＯＫ、ぬれ（ＡＩ）検査欄１１４ｍにＮＧという判定結果がそれぞれ表示されている。ここでは、各検査欄１１４ｈ～１１４ｍにＯＫ又はＮＧの判定結果のみを表示しているが、Ｎｏ．１のテストサンプルの電極ズレ検査欄１１４ｉを例にするとＯＫ［１０］のように、判定結果とともに角かっこ内に各検査ロジックによる計測値を併記してもよい。なお、Ｎｏ．３のテストサンプルの真値（目視）欄１１４ｃには、許容品との判定結果が表示されている。また、Ｎｏ．６及びＮｏ．７のテストサンプルの真値（目視）欄１１４ｃにはそれぞれＮＧ（ぬれ・電極ズレ）及びＮＧ（電極浮き）と判定結果とともに不良種も表示されている。このように、真値（目視）欄１１４ｃには、テストサンプルデータに良否以外の情報も関連付けて記憶されている場合には、それらも表示される。各テストサンプルに対する、各検査ロジックによる判定結果の表示には、Ｎｏ．６のテストサンプルの電極高さ検査欄１１４ｈによる判定結果表示１１４ｏのＯＫのような通常表示以外に、特別の表示態様で表示される判定結果も含まれる。例えば、同じくＮｏ．６のテストサンプルのぬれ検査欄１１４ｊにおける判定結果表示１１４ｐのように灰色の太字で通常表示に比べて大きいフォントによる第１種判定結果表示と、ぬれ（ＡＩ）検査欄１１４ｍにおける判定結果表示１１４ｑのように黒色の太字で通常表示に比べて大きいフォントによる第２種判定結果表示がある。この第１種判定結果表示と第２種判定結果表示は、検出の余裕度を示しており、第１種判定結果表示は余裕度１０％未満で検出されたことを示し、第２種判定結果表示は余裕度１０％以上で検出できたことを示す。また、図７のロジック調整ガイド画面１３におけるＮｏ．７のテストサンプルの電極高さ検査欄１１４ｈの判定結果表示１３２のように黒色の斜体太字で通常表示に比べて大きいフォントによる第３種判定結果表示がある。この第３種判定結果表示は、見逃しを示している。ここでは、図面の表記の都合上、上述のような態様で表記しているが、実際には、例えば、第１種判定結果表示は黄色、第２種判定結果表示は緑色、第３種判定結果表示は赤色というように通常表示とは表示色を種類ごとに変更してもよく、特別の表示態様はこれらに限られない。
余裕度とは、対象とする不良をＮＧとするのに閾値にどの程度の余裕を持たせるかを示す指標である。余裕度は基本的にはＮＧ判定の結果に対する数値であり、以下の式で表される。
余裕度＝１００×｜計測値－上限閾値又は下限閾値の計測値に近い方｜／計測値

図５に示すロジック調整ガイド画面１１では、判定結果に関わらず、対象となっている品番グループに含まれる全てのテストサンプルに関する判定結果を示す行が表示されているが、テストサンプルの判定結果の表示態様はこれに限られない。例えば、調整の対象と
なっている検査ロジックによって検出すべき不良に関連するテストサンプルのみを表示を表示するようにしてもよいし、見逃し又は見過ぎ、若しくはその両方の判定結果を示すテストサンプルに関する判定結果のみを表示し、ユーザが選択した場合に、他のテストサンプルに関する判定結果が展開して表示されるようにしてもよい。このようなテストサンプルごとの表示態様はこれに限られない。

テストサンプルごとの判定結果表示の下の行には、単独見過ぎ数行１１４ｒが配置されている。この単独見過ぎ数行１１４ｒには、検査ロジックごとの見過ぎ数が表示され、許容品についてはかっこ内に表示される。このように検査ロジックごとの見過ぎ数を表示することにより、見過ぎの原因となっている検査ロジックを視覚的に確認することができる。

単独見過ぎ数行１１４ｒの下の行には、対象不良の見逃し数行１１４ｓが配置されている。この対象不良の見逃し数行１１４ｓには、検査ロジックごとに、当該検査ロジックが対象としている不良の見逃し数が表示される。

対象不良見逃し数行１１４ｓの下の行には、ロジックＯＮ／ＯＦＦ行１１４ｔが配置されている。このロジックＯＮ／ＯＦＦ行１１４ｔには、各欄の検査ロジックが実行されているか否か、すなわち、オンされているかオフされているかが表示される。この欄に表示された各検査ロジックのオン・オフは、ユーザが入力装置を通じて切り替えることができる。このロジック調整ガイド画面１１におけるロジックＯＮ／ＯＦＦ行１１４ｔの、各検査ロジックに対応する列の表示に関連付けて、オン・オフの選択の情報が入力される入力部１０ｅが本発明の対象ロジック選択受付部に相当する。

色検査欄１１４ｆのぬれ検査欄１１４ｊとランド露出検査欄１１４ｋの下段の欄外には色パラ調整ボタン１１４ｕ、１１４ｖが配置されている。これは、後述する色検査ロジックの調整の際に、この色パラ調整ボタン１１４ｕ、１１４ｖを押下（クリック）することにより、閾値以外に、色パラメータを調整することができる。なお、画面上のボタンについては、タッチパネルに触れる場合、カーソルをボタンまで移動させてクリックする等を含むが以下では単に押下という。この色パラメータは本発明の検査パラメータに相当し、このロジック調整ガイド画面１１における色パラ調整ボタン１１４ｕ、１１４ｖに関連付けて、色パラメータの調整の情報が入力される入力部１０ｅが本発明のパラメータ設定受付部に相当する。

ＡＩ検査欄１１４ｇの下段の欄外には、モデル変更ボタン１１４ｗが配置されている。これは、後述するＡＩモデル調整の際に、このモデル変更ボタン１１４ｗを押下することにより、閾値調整以外に、ＡＩモデルを変更することができる。このロジック調整ガイド画面１１におけるモデル変更ボタン１１４ｗに関連付けて、ＡＩモデルの変更に関する情報が入力される入力部１０ｅが本発明のモデル変更受付部に相当する。

ロジック調整ガイド画面１１の判定結果詳細表示１１４の右側には、ガイド表示欄１１５が配置されている。このガイド表示欄１１５は、後述するように、ユーザがガイドの利用を選択した場合に、最適なロジック調整を実現するための種々のガイド情報が表示される領域である。

ロジック調整ガイド画面１１の最下段には、左から順に、ロジック性能テストボタン１１６、ガイドボタン１１７、画像水増しボタン１１８、量産検査へ適用ボタン１１９が配置されている。

ロジック性能テストボタン１１６を押下ことにより、図４に示すフローチャートで説明
したステップＳ１においてロジック性能テストが実行される。ステップＳ７におけるロジック性能テストは、ステップＳ６において閾値等を変更すると、変更された閾値等の設定に基づいて自動的に実行されるが、このロジック性能テストボタン１１６が押下されるのを待って実行してもよい。このロジック調整ガイド画面１１におけるロジック性能テストボタン１１６に関連付けて、ロジック性能テストの指示が入力される入力部１０ｅが本発明のテスト指示受付部に相当する。

ガイドボタン１１７については、図４に示すフローチャートで説明したステップＳ３において、ユーザがガイドの使用を選択する場合には、このガイドボタン１１７を押下する。

画像水増しボタン１１８は、テストサンプルの数が少ない場合に、既存のモデル画像データを用いてテストサンプルデータの数を増やす処理を指示するためのボタンである。ここでデータ数を増やすためにモデル画像データから生成された画像及び判定結果が、本発明の補助モデル画像及び補助モデル判定結果に相当し、これらを含んで本発明の補助モデル画像データが構成される。

量産検査へ適用ボタン１１９は、図４に示すフローチャートで説明したステップＳ１３において、検査ロジックの性能評価が終了し、検査装置での量産検査に適用すべくリリースしようとする場合に押下する。これにより、ステップＳ４～Ｓ１１による調整を通じて設定された閾値等がデータベースに記憶され、対応する検査ロジックにより検査装置３０で量産検査を行う際に利用されることになる。

（ロジック調整ガイド画面の遷移）
以下、ロジック調整ガイド画面を用いたロジック調整の手順と、ロジック調整ガイド画面の遷移とを図４に示したフローチャートを参照しながら説明する。図５に示すロジック調整ガイド画面１１は、例えば、データベースから取得した、モデル画像データと、調整対象となる検査ロジックと、当該検査ロジックの所定の閾値等の検査パラメータに対し、ユーザがロジック性能テストボタン１１６を押下することにより、所定の閾値等に基づいて、調整対象である検査ロジックについてロジック性能テストを実行して得られた、調整の基礎となる判定結果が表示部１０ｄに表示された状態で表示される画面である。ここで、所定の閾値等とは、過去に調整され、パラメータ情報記憶部２０ｂに記憶されていたものでもよいし、デフォルト値として用意されたものでもよい。これは、図４に示すフローチャートにおけるステップＳ１及びＳ２に対応する。

次に、図５に示すロジック調整ガイド画面１１が表示部１０ｄに表示された状態で、ユーザがガイドボタン１１７を押下した場合について説明する。ユーザがガイドボタン１１７を押下すると、表示部１０ｄの表示は図６に示すロジック調整ガイド画面１２に遷移する。これは、図４に示すフローチャートのステップＳ３において、ガイドを使うことが選択されたことに対応する。

図６に示すロジック調整ガイド画面１２では、ガイド表示欄１１５に、ウィザード形式でガイド情報が表示される。ここでは、「計測検査の調整を行います。」とのメッセージ１１５ａがガイド表示欄１１５に表示され、まず、計測検査から調整を始める旨が案内される。そして、判定結果詳細表示１１４に含まれる情報に基づいて、「電極高さでＮｏ１が見過ぎているので、閾値を調整してください。」とのメッセージ１１５ｂもガイド表示欄１１５に表示され、調整すべき対象が具体的に案内される。これらメッセージの表示は、図４に示すフローチャートのステップＳ５におけるサポート情報の表示に対応する。このとき、図６に示すように、Ｎｏ．１のサンプルテストデータについては、真値（目視）欄１１４ｃがＯＫとなっているにも関わらず、電極高さ検査欄１１４ｈはＮＧとなってお
り、単独見過ぎ数行１１４ｒの電極高さ検査欄１１４ｈも１（０）と表示されている。なお、メッセージ１１５ｂにかかわらず、電極高さ検査ロジックについては調整の必要がないとユーザが判断する場合には、ガイド表示欄１１５に表示された許容して次へボタン１１５１を押下すると、次の調整事項に関するガイドが表示される。これは、図４に示すフローチャートにおいて、ステップＳ６及びステップＳ７をスキップして、ステップＳ９において、電極高さ検査ロジックの性能が十分であると判断し、ステップＳ５に戻る処理に対応する。上述のようなガイド情報（サポート情報）は、性能テスト処理部１０ａによるテスト結果と、テストサンプルデータとに基づいてサポート処理部１０ｂから出力されるが、ガイド情報の生成に際しては、図３（Ｃ）に示した検査ロジック等と検出すべき不良種にとの対応関係に関する情報が参照され、見過ぎや見逃しに関するメッセージが生成される。

図６に示すロジック調整ガイド画面１２において、ユーザが電極高さ検査欄１１４ｈの閾値行１１４ｎに表示された閾値１００～２００を１００～４００に変更し、ロジック性能テストボタン１１６を押下すると、変更された閾値に基づいてロジック性能テストが実行され、表示部１０ｄの表示は図７に示すロジック調整ガイド画面１３に遷移する（このとき、電極高さ検査欄１１４ｈの変更された閾値行１３１では、変更されたことが容易に視認できるように、変更された閾値４００が太字で表示される。）。ここでは、図６に示すロジック調整ガイド画面１２では、ＮＧとなっていた、Ｎｏ．１のテストサンプルの電極高さ検査欄１１４ｈの表示が閾値の変更によりＯＫに変化している。このとき、Ｎｏ．７のテストサンプルについて、真値（目視）欄１１４ｃの表示はＮＧ（電極浮き）であるのに対して、電極高さ検査欄１１４ｈの表示はＯＫである。電極浮きは電極高さ検査で検出すべき不良種として関連付けられているため、見逃しを示す黒色の斜体太字で、通常表示に比べて大きいフォント（第３種判定結果表示）により表示されている。このため、ロジック調整ガイド画面１３のガイド表示欄１１５には、メッセージ１１５ｂに代えて「電極高さでＮｏ７が見逃しているので、閾値を調整してください。」とのメッセージ１１５ｃが表示されている。また、Ｎｏ．７のテストサンプルについて見逃しが発生しているので、見逃し数欄１１３の表示が、図６に示すロジック調整ガイド画面１２における０／２から１／２に変化している。これは、図４に示すフローチャートにおいて、ステップＳ６からステップＳ７を経てステップＳ８に進んだことに対応する。さらに、図６に示すロジック調整ガイド画面１２のガイド表示欄１１５に表示されていた、Ｎｏ．１のテストサンプルに対する電極高さ検査ロジックの見過ぎは閾値の変更により解消されているので、見過ぎに関する表示がなくなっている。

図７に示すロジック調整ガイド画面１３において、ユーザが電極高さ検査欄１１４ｈの閾値行１１４ｎに表示された閾値１００～４００を１００～３００に変更し、ロジック性能テストボタン１１６を押下すると、変更された閾値に基づいてロジック性能テストが実行され、表示部１０ｄの表示は図８に示すロジック調整ガイド画面１４に遷移する（このとき、電極高さ検査欄１１４ｈの変更された閾値行１４１では、変更されたことが容易に視認できるように、変更された閾値３００が太字で表示される。）。ここでは、図７に示すロジック調整ガイド画面１３では、ＯＫとなっていた、Ｎｏ．７のテストサンプルの電極高さ検査欄１４ｈの判定結果表示１４２がＮＧに変化している。これに伴い、図７に示すロジック調整ガイド画面１３ではＯＫとなっていた、Ｎｏ．７のテストサンプルの判定結果欄１１４ｄの判定結果表示１４３がＮＧに変化している。これは、図４に示すフローチャートにおいて、ステップＳ６からステップＳ７を経てステップＳ８に進んだことに対応する。このようにして、電極高さ検査ロジックにおける、Ｎｏ．７のテストサンプルについての電極浮き不良の見逃しは解消しているので、ガイド表示欄１１５の表示は、「計測検査の調整を行います。」とのメッセージ１１５ｄと、「計測検査の見過ぎ、見逃しがなくなりました。」とのメッセージ１１５ｅに変化している。メッセージ１１５ｄは、現在調整の対象となっているのが計測検査ロジックであることを示し、メッセージ１１５ｅ
は、ガイド情報により案内された電極高さ検査ロジックの見過ぎ、見逃しについては解消したことを示している。また、Ｎｏ．７のテストサンプルについて、電極浮きの見逃しが解消したため、見逃し数欄１１３の表示が、図７に示すロジック調整ガイド画面１３における１／２から０／２に変化している。ここで、ユーザが、判定結果詳細表示１１４を含むロジック調整ガイド画面１４の表示を確認して、電極高さ検査ロジックについては、性能が十分であり、調整の必要がないと判断する場合には、ガイド表示欄１１５に表示された許容して次へボタン１１５１を押下する。これは、図４に示すフローチャートのステップＳ９において、性能は十分であると判断された場合に対応し、処理は、ステップＳ５に戻り、次の検査ロジックに対する調整へと進むことになる。

図８に示すロジック調整ガイド画面１４において、ユーザが許容して次へボタン１１５１を押下すると、表示部１０ｄの表示は、図９に示すロジック調整ガイド画面１５に遷移する。図９に示すロジック調整ガイド画面１５では、ガイド表示欄１１５には、「次に色検査の調整を行います。」とのメッセージ１１５ｆが表示される。このメッセージ１１５ｆによって、次に調整対象となる検査ロジックがユーザに案内される。このとき、Ｎｏ．２、Ｎｏ．４、Ｎｏ．５のテストサンプル（Ｎｏ．３の許容品は除く。）については、真値（目視）欄１１４ｃの表示がＯＫであるにも関わらず、ぬれ検査欄１１４ｊの表示がいずれもＮＧとなっており、単独見過ぎ数行１１４ｒには３（１）と表示されている。このため、ガイド表示欄１１５には、「ぬれでＮｏ２，４，５が見過ぎているので、閾値・色パラを調整してください。」とのメッセージ１１５ｇが表示される。

図９に示すロジック調整ガイド画面１５において、ユーザがぬれ検査欄１１４ｊの閾値行１１４ｎに表示された閾値０－４０を０－６０に変更（色パラ調整ボタン１１４ｖを押下して、色パラメータを変更してもよい。）し、ロジック性能テストボタン１１６を押下すると、表示部１０ｄの表示は図１０に示すロジック調整ガイド画面１６に遷移する（このとき、ぬれ検査欄１１４ｊの変更された閾値行１６１では、変更されたことが容易に視認できるように、変更された閾値６０が太字で表示される。）。ここでは、図９に示すロジック調整ガイド画面１５では、ＮＧとなっていたＮｏ．２、Ｎｏ．４、Ｎｏ．５のテストサンプルのぬれ検査欄１１４ｊの判定結果表示１６２、１６３、１６４が、閾値（色パラメータ）の変更によりそれぞれＯＫに変化し、単独見過ぎ数行１１４ｒの表示も０（１）に変化している。また、判定結果欄１１４ｄのＮｏ．２、Ｎｏ．４、Ｎｏ．５のテストサンプルの判定結果表示１６５、１６６、１６７も、図９に示すロジック調整ガイド画面１５におけるＮＧから、それぞれＯＫに変化している。これに伴い、見過ぎ数欄１１２の表示が図９に示すロジック調整ガイド画面１５における４（１）／５から１（１）／５に変化している。このとき、ロジック調整ガイド画面１６のガイド表示欄１１５には、メッセージ１１５ｇに代えて「色検査の見過ぎ、見逃しがなくなりました。」とのメッセージ１１５ｈが表示されている。これは、図４に示すフローチャートにおいて、ステップＳ６からステップＳ７を経てステップＳ８に進んだことに対応する。ここで、ユーザが、判定結果詳細表示１１４を含むロジック調整ガイド画面１６の表示を確認して、ぬれ検査ロジックについては、性能が十分であり、調整の必要がないと判断する場合には、ガイド表示欄１１５に表示された許容して次へボタン１１５１を押下する。これは、図４に示すフローチャートのステップＳ９において、性能は十分であると判断された場合に対応し、処理は、ステップＳ５に戻り、次の検査ロジックに対する調整へと進むことになる。

図１０に示すロジック調整ガイド画面１６において、ユーザが許容して次へボタン１１５１を押下すると、表示部１０ｄの表示は、図１１に示すロジック調整ガイド画面１７に遷移する。図１１に示すロジック調整ガイド画面１７では、ガイド表示欄１１５には、「次にＡＩ検査の調整を行います。」とのメッセージ１１５ｉが表示される。このメッセージ１１５ｉによって、次に対象となるＡＩモデルがユーザに案内される。このとき、Ｎｏ．１のテストサンプルについては、真値（目視）欄１１４ｃの表示がＯＫであるにも関わ
らず、ぬれ（ＡＩ）検査欄１１４ｍの表示がＮＧとなっており、単独見過ぎ数行１１４ｒには１（０）と表示されている。このため、ガイド表示欄１１５には、「ぬれ（ＡＩ）でＮｏ１を見過ぎているので、閾値調整、モデル変更をしてください。」とのメッセージ１１５ｊが表示されている。

図１１に示すロジック調整ガイド画面１７において、ユーザがぬれ（ＡＩ）検査欄１１４ｍの閾値行１１４ｎに表示された閾値０－５０を０－４０に変更（モデル変更ボタン１１４ｗを押下して、ＡＩモデルを変更してもよい。）し、ロジック性能テストボタン１１６を押下すると、表示部１０ｄの表示は図１２に示すロジック調整ガイド画面１８に遷移する（このとき、ぬれ（ＡＩ）検査欄１１４ｍの変更された閾値行１８１では、変更されたことが容易に視認できるように、変更された閾値４０が太字で表示される。）。ここでは、図１１に示すロジック調整ガイド画面１６では、ＮＧとなっていたＮｏ．１のテストサンプルのぬれ（ＡＩ）検査欄１１４ｍの判定結果表示１８２が閾値（ＡＩモデル）の変更によりＯＫに変化し、単独見過ぎ数行１１４ｒの表示も０（０）に変化している。また、判定結果欄１１４ｄのＮｏ．１のテストサンプルの判定結果表示１８３も、図１１に示すロジック調整ガイド画面１７におけるＮＧからＯＫに変化している。これに伴い、見過ぎ数欄１１２の表示が図１１に示すロジック調整ガイド画面１７における１（１）／５から０（１）／５に変化している。このとき、ロジック調整ガイド画面１８のガイド表示欄１１５には、メッセージ１１５ｊに代えて「ＡＩ検査の見過ぎ、見逃しがなくなりました。」とのメッセージ１１５ｋが表示されている。これは、図４に示すフローチャートにおいて、ステップＳ６からステップＳ７を経てステップＳ８に進んだことに対応する。ここで、ユーザが、判定結果詳細表示１１４を含むロジック調整ガイド画面１８の表示を確認して、ぬれ（ＡＩ）検査ロジックについては、性能が十分であり、調整の必要がないと判断する場合には、ガイド表示欄１１５に表示された許容して次へボタン１１５１を押下する。これは、図４に示すフローチャートのステップＳ９において、性能は十分であると判断された場合に対応する。

図１２に示すロジック調整ガイド画面１８において、ユーザが許容して次へボタン１１５１を押下すると、表示部１０ｄの表示は、図１３に示すロジック調整ガイド画面１９に遷移する。ここでは、ガイド表示欄１１５には、「全体の性能を確認してください。」とのメッセージ１１５ｍが表示される。ユーザが判定結果詳細表示１１４を含むロジック調整ガイド画面１９の表示を確認して、計測検査ロジック、色検査ロジック、ＡＩ検査ロジックの全てについて、ガイドを利用した調整は必要がないと判断する場合には、ガイド表示欄１１５に表示されたガイド終了ボタン１１５２を押下する。ここまでの処理で、計測検査、色検査、ＡＩ検査について、ガイド情報を利用した検査ロジックの調整が終了したので、図４に示すフローチャートにおいて、ステップＳ４～Ｓ１０のループを抜けて、ステップＳ１１に進む。

そして、上述したように、ガイドを利用せずに手動で、さらに閾値等の調整が必要であれば、これを行い（ステップＳ１１）、さらに、必要に応じて再度性能テストを実行し（ステップＳ１２）、調整された検査ロジックがリリースされ（ステップＳ１３）、調整された検査ロジックを利用した量産検査が行われる（ステップＳ１４）。

このように、種々のサポート情報を含むロジック調整ガイド画面１１～１９を利用することにより、モデル画像データ等を適切な検査ロジックで検出できるように、チューニング担当者の作業が、適切な順序でガイドされる。これにより、短時間で検査ロジックの最適なチューニングが実現できる。

＜付記１＞
被検査物を撮像したモデル画像と、該被検査物の良否を判定したモデル判定結果とを関
連付けたモデル画像データと、前記被検査物を撮像した画像情報に基づいて該被検査物を検査して良否を判定する検査ロジックと、前記検査ロジックを実行する際に用いられる検査パラメータと、を記憶した記憶部（２０）と、
所定の前記検査パラメータを用いた前記検査ロジックに基づいて、前記モデル画像に撮像された被検査物の良否を判定する該検査ロジックの性能テストを実行し、該良否をテスト判定結果として出力するテスト処理部（１０ａ）と、
前記モデル判定結果と、前記テスト判定結果とに基づいて、前記検査ロジックの選択及び前記検査パラメータの設定の少なくともいずれか一方を支援する支援情報を生成する調整支援処理部（１０ｂ）と、
前記テスト処理部による、前記モデル画像に対する、前記所定の検査パラメータを用いた前記検査ロジックによる前記テスト判定結果と、該モデル画像に関連付けられた前記モデル判定結果と、前記支援情報を含む結果確認画面を生成する結果確認画面生成部（１０ｃ）と、
前記性能テストの対象とする前記検査ロジックの選択を受け付ける対象ロジック選択受付部（１０ｅ）と、
前記性能テストの対象とする前記検査ロジックに用いられる前記検査パラメータの設定を受け付けるパラメータ設定受付部（１０ｅ）と、
前記結果確認画面（１１～１９）を表示する表示部（１０ｄ）と、
を備え、
前記結果確認画面（１１～１９）は、
前記モデル画像ごとの、該モデル画像に関連付けられた前記モデル判定結果と、前記性能テストの対象となった複数の前記検査ロジック及び該検査ロジックに用いられる前記検査パラメータとに関連付けられた、該性能テストによる前記テスト判定結果と、
前記支援情報と、
を含むことを特徴とする検査ロジック調整支援装置（１０）。

１０ ：ティーチング端末
１０ａ ：性能テスト処理部
１０ｂ ：サポート処理部
１０ｃ ：画面生成部
１０ｄ ：表示部
１０ｅ ：入力部
１１～１９ ：結果確認画面
２０ ：データベース

Claims (11)

1. 被検査物を撮像したモデル画像と、該被検査物の良否を判定したモデル判定結果とを関連付けたモデル画像データと、前記被検査物を撮像した画像情報に基づいて該被検査物を検査して良否を判定する検査ロジックと、前記検査ロジックを実行する際に用いられる検査パラメータと、を記憶した記憶部と、
   所定の前記検査パラメータを用いた前記検査ロジックに基づいて、前記モデル画像に撮像された被検査物の良否を判定する該検査ロジックの性能テストを実行し、該良否をテスト判定結果として出力するテスト処理部と、
   前記モデル判定結果と、前記テスト判定結果とに基づいて、前記検査ロジックの選択及び前記検査パラメータの設定の少なくともいずれか一方を支援する支援情報を生成する調整支援処理部と、
   前記テスト処理部による、前記モデル画像に対する、所定の前記検査パラメータを用いた前記検査ロジックによる前記テスト判定結果と、該モデル画像に関連付けられた前記モデル判定結果と、前記支援情報を含む結果確認画面を生成する結果確認画面生成部と、
   前記性能テストの対象とする前記検査ロジックの選択を受け付ける対象ロジック選択受付部と、
   前記性能テストの対象とする前記検査ロジックに用いられる前記検査パラメータの設定を受け付けるパラメータ設定受付部と、
   前記結果確認画面を表示する表示部と、
   を備え、
   前記結果確認画面は、
   前記モデル画像ごとの、該モデル画像に関連付けられた前記モデル判定結果と、前記性能テストの対象となった複数の前記検査ロジック及び該検査ロジックに用いられる前記検査パラメータとに関連付けられた、該性能テストによる前記テスト判定結果と、
   前記支援情報と、
   を含むことを特徴とする検査ロジック調整支援装置。
2. 前記テスト処理部は、複数の前記検査ロジックによる前記テスト判定結果に基づいて、前記モデル画像に撮像された被検査物の良否を判定し、該良否をテスト総合判定結果として出力することを特徴とする請求項１に記載の検査ロジック調整支援装置。
3. 前記テスト総合判定結果は、複数の前記検査ロジックによる前記テスト判定結果の論理計算によって導出されることを特徴とする請求項２に記載の検査ロジック調整支援装置。
4. 前記モデル画像データは、前記被検査物の不良の種別に関する不良種情報を含み、
   前記結果確認画面は、前記モデル画像ごとの、前記不良種情報を含むことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の検査ロジック調整支援装置。
5. 前記記憶部は、前記検査ロジックと、該検査ロジックによって検出すべき前記不良の種別とを関連付けたロジック不良種対応情報を記憶し、
   前記調整支援処理部は、前記ロジック不良種対応情報に基づいて、前記支援情報を生成することを特徴とする請求項４に記載の検査ロジック調整支援装置。
6. 前記検査ロジックはＡＩモデルを含み、
   前記性能テストに用いられる前記ＡＩモデルの変更を受け付けるモデル変更受付部を備えたことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の検査ロジック調整支援装置。
7. 前記結果確認画面は、前記性能テストによる見逃し及び見過ぎの少なくともいずれか一
   方に関する件数を含むことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の検査ロジック調整支援装置。
8. 前記結果確認画面は、前記検査ロジック及び該検査ロジックの設定された前記検査パラメータに基づく判定の余裕度に応じて異なる態様で表示される前記テスト判定結果を含むことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の検査ロジック調整支援装置。
9. 前記結果確認画面生成部は、前記モデル判定結果及び前記テスト判定結果に基づいて、前記モデル画像ごとの表示態様を変更することを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の検査ロジック調整支援装置。
10. 前記性能テストの対象として選択された前記検査ロジックと、該検査ロジックに用いられる設定された前記検査パラメータとに基づく、前記性能テストの実行の指示を受け付けるテスト指示受付部を備えたことを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の検査ロジック調整支援装置。
11. 前記テスト処理部は、前記モデル画像データに基づいて生成された補助モデル画像と補助モデル判定結果を含む補助モデル画像データを含めて、前記性能テストを実行することを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の検査ロジック調整支援装置。
    

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