JP2017147372A - 基板収納容器用バルブ - Google Patents
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Abstract
Description
給排出バルブは、基板収納容器の取付口に嵌め通される少なくとも一つのハウジング筒と、このハウジング筒の中空部に収納され、弁座体に接離する逆止弁体が逆流を防止するよう作動する逆止弁機構とを含み、
逆止弁機構の弁座体が略中空筒形に形成され、この弁座体の開口した両端部がハウジング筒の中空部における流通口の両端部にシール可能に接触し、弁座体内に逆止弁体が弾性付勢体を介してスライド可能に嵌め入れられることを特徴としている。
逆止弁機構の弁座体がハウジング筒の中蓋と第二のハウジング筒との間の空間に収納され、弁座体の開口した両端部が中蓋の流通口と第二のハウジング筒の開口とにシール可能に接触すると良い。
また、中蓋の流通口の周縁部付近に係合リブが形成されるとともに、第二のハウジング筒の開口の周縁部付近に係止リブが形成され、逆止弁機構の弁座体の開口した両端部に切り欠きがそれぞれ形成されており、中蓋の係合リブと第二のハウジング筒の係止リブとに弁座体の切り欠きがそれぞれ嵌め合わされると良い。
また、逆止弁機構の逆止弁体が略ピン形に形成されて略コイル形の弾性付勢体と嵌め合わされ、逆止弁体の先端部が拡幅の接離部に形成されて弁座体の縮幅受部に干渉可能とされ、逆止弁体の末端部側に、弾性付勢体に干渉する脚部が形成されると良い。
請求項3記載の発明によれば、給排出バルブを容器本体や蓋体の仕様等に応じ、容器本体と蓋体のいずれかに選択的に取り付ければ、基板収納容器内を低湿度に維持することができる。
2 容器本体
3 正面
6 底板
7 取付口
8 保持リブ
12 蓋体
20 給排出バルブ
21 給気バルブ(流体を供給するバルブ)
22 排気バルブ(流体を排出するバルブ)
23 第一のハウジング筒(ハウジング筒)
24 開口
29 中蓋(ハウジング筒)
30 フィルタ
31 流通口
32 係合リブ
35 第二のハウジング筒(ハウジング筒)
37 開口
38 係止リブ
39 空間
40 逆止弁機構
41 弁座体
42 縮径受部(縮幅受部)
43 切り欠き
44 逆止弁体
45 接離部
46 脚部
47 コイルバネ(弾性付勢体)
W 半導体ウェーハ(基板)
Claims (7)
- 基板を収納可能な基板収納容器と、この基板収納容器に取り付けられる給排出バルブとを備え、この給排出バルブにより、基板収納容器の内外に流体を流通させる基板収納容器用バルブであって、
給排出バルブは、基板収納容器の取付口に嵌め通される少なくとも一つのハウジング筒と、このハウジング筒の中空部に収納され、弁座体に接離する逆止弁体が逆流を防止するよう作動する逆止弁機構とを含み、
逆止弁機構の弁座体が略中空筒形に形成され、この弁座体の開口した両端部がハウジング筒の中空部における流通口の両端部にシール可能に接触し、弁座体内に逆止弁体が弾性付勢体を介してスライド可能に嵌め入れられることを特徴とする基板収納容器用バルブ。 - 給排出バルブのハウジング筒は、基板収納容器の取付口に嵌め通される第一のハウジング筒と、この第一のハウジング筒内に嵌め入れられる流通口付きの中蓋と、第一のハウジング筒に取り付けられた中蓋に空間を介して対向する第二のハウジング筒とを含み、
逆止弁機構の弁座体がハウジング筒の中蓋と第二のハウジング筒との間の空間に収納され、弁座体の開口した両端部が中蓋の流通口と第二のハウジング筒の開口とにシール可能に接触する請求項1記載の基板収納容器用バルブ。 - 基板収納容器は、基板を収納可能な容器本体と、この容器本体の開口した正面を開閉する蓋体とを含み、容器本体と蓋体のいずれか一方に、給排出バルブ用の取付口が設けられる請求項1又は2記載の基板収納容器用バルブ。
- 中蓋の流通口の周縁部付近に係合リブが形成されるとともに、第二のハウジング筒の開口の周縁部付近に係止リブが形成され、逆止弁機構の弁座体の開口した両端部に切り欠きがそれぞれ形成されており、中蓋の係合リブと第二のハウジング筒の係止リブとに弁座体の切り欠きがそれぞれ嵌め合わされる請求項2又は3記載の基板収納容器用バルブ。
- 逆止弁機構の弁座体が樹脂材料により形成され、この弁座体の内面から内方向に逆止弁体用の縮幅受部が突出する請求項1ないし4いずれかに記載の基板収納容器用バルブ。
- 逆止弁機構の逆止弁体が略ピン形に形成されて略コイル形の弾性付勢体と嵌め合わされ、逆止弁体の先端部が拡幅の接離部に形成されて弁座体の縮幅受部に干渉可能とされ、逆止弁体の末端部側に、弾性付勢体に干渉する脚部が形成される請求項5記載の基板収納容器用バルブ。
- 給排出バルブが基板収納容器の外部から内部に流体を供給するバルブの場合には、逆止弁機構の弁座体の縮幅受部と逆止弁体の接離部とが中蓋寄りに位置し、給排出バルブが基板収納容器の内部から外部に流体を排出するバルブの場合には、逆止弁機構の弁座体の縮幅受部と逆止弁体の接離部とが第二のハウジング筒寄りに位置する請求項6記載の基板収納容器用バルブ。
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- 2016-02-18 JP JP2016029053A patent/JP6590728B2/ja active Active
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