JP2018120993A - 基板収納容器及びその管理方法 - Google Patents
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Abstract
Description
排気バルブの開放圧力と、容器本体と蓋体の間からガスが漏れ出す蓋体で嵌合閉鎖された容器本体の内圧との関係が、排気バルブの開放圧力<容器本体と蓋体の間からガスが漏れ出す蓋体で嵌合閉鎖された容器本体の内圧の関係であり、
シールガスケットがポリオレフィン系エラストマーにより成形され、このシールガスケットのデュロメータタイプAで測定された場合の硬度がA80以上90以下であることを特徴としている。
排気バルブの開放圧力と、容器本体と蓋体の間からガスが漏れ出す蓋体で嵌合閉鎖された容器本体の内圧との関係が、排気バルブの開放圧力<容器本体と蓋体の間からガスが漏れ出す蓋体で嵌合閉鎖された容器本体の内圧の関係であり、
シールガスケットの圧潰量が0.5mm以上であることを特徴としている。
排気バルブの開放圧力と、容器本体と蓋体の間からガスが漏れ出す蓋体で嵌合閉鎖された容器本体の内圧との関係が、排気バルブの開放圧力<容器本体と蓋体の間からガスが漏れ出す蓋体で嵌合閉鎖された容器本体の内圧の関係であり、
シールガスケットは、蓋体あるいは容器本体の嵌合溝に嵌合されるガスケット本体と、このガスケット本体から突出する延出片と、この延出片の先端部から伸びて容器本体あるいは蓋体のシール形成面に接触する第一のシール片と、延出片の先端部以外の部分から突出する第二のシール片とを含み、この第二のシール片が延出片に略直交して容器本体あるいは蓋体のシール形成面に隣接する隣接面に接触することを特徴としている。
2 正面(開口部)
4 給気バルブ
6 排気バルブ
7 シール形成面
8 隣接面
20 蓋体
21 蓋本体
25 施錠操作リール
26 施錠バー
27 施錠爪
28 蓋カバー
30 シールガスケット
31 ガスケット本体
33 延出片
35 第一のシール片
37 第二のシール片
W 半導体ウェーハ(基板)
Claims (5)
- 基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口部を嵌合閉鎖する蓋体と、これら容器本体と蓋体との間に圧潰されてシールするシールガスケットとを備え、容器本体に、容器本体の外部から内部にパージガスを供給する給気バルブが取り付けられるとともに、容器本体の内部から外部にガスを排気する排気バルブが取り付けられる基板収納容器であって、
排気バルブの開放圧力と、容器本体と蓋体の間からガスが漏れ出す蓋体で嵌合閉鎖された容器本体の内圧との関係が、排気バルブの開放圧力<容器本体と蓋体の間からガスが漏れ出す蓋体で嵌合閉鎖された容器本体の内圧の関係であり、
シールガスケットがポリオレフィン系エラストマーにより成形され、このシールガスケットのデュロメータタイプAで測定された場合の硬度がA80以上90以下であることを特徴とする基板収納容器。 - 基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口部を嵌合閉鎖する蓋体と、これら容器本体と蓋体との間に圧潰されてシールするシールガスケットとを備え、容器本体に、容器本体の外部から内部にパージガスを供給する給気バルブが取り付けられるとともに、容器本体の内部から外部にガスを排気する排気バルブが取り付けられる基板収納容器であって、
排気バルブの開放圧力と、容器本体と蓋体の間からガスが漏れ出す蓋体で嵌合閉鎖された容器本体の内圧との関係が、排気バルブの開放圧力<容器本体と蓋体の間からガスが漏れ出す蓋体で嵌合閉鎖された容器本体の内圧の関係であり、
シールガスケットの圧潰量が0.5mm以上であることを特徴とする基板収納容器。 - 基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口部を嵌合閉鎖する蓋体と、これら容器本体と蓋体との間に圧潰されてシールするシールガスケットとを備え、容器本体に、容器本体の外部から内部にパージガスを供給する給気バルブが取り付けられるとともに、容器本体の内部から外部にガスを排気する排気バルブが取り付けられる基板収納容器であって、
排気バルブの開放圧力と、容器本体と蓋体の間からガスが漏れ出す蓋体で嵌合閉鎖された容器本体の内圧との関係が、排気バルブの開放圧力<容器本体と蓋体の間からガスが漏れ出す蓋体で嵌合閉鎖された容器本体の内圧の関係であり、
シールガスケットは、蓋体あるいは容器本体の嵌合溝に嵌合されるガスケット本体と、このガスケット本体から突出する延出片と、この延出片の先端部から伸びて容器本体あるいは蓋体のシール形成面に接触する第一のシール片と、延出片の先端部以外の部分から突出する第二のシール片とを含み、この第二のシール片が延出片に略直交して容器本体あるいは蓋体のシール形成面に隣接する隣接面に接触することを特徴とする基板収納容器。 - 排気バルブの開放圧力と、容器本体と蓋体の間からガスが漏れ出す蓋体で嵌合閉鎖された容器本体の内圧との関係が、排気バルブの弁体の開放圧力<容器本体と蓋体の間からガスが漏れ出す基板収納容器の内圧である請求項1、2、又は3記載の基板収納容器。
- 請求項1ないし4いずれかに記載した基板収納容器の外部から内部にパージガスを給気バルブにより供給するとともに、基板収納容器の内部から外部にガスを排気バルブにより排気し、この排気バルブから排気されるガスを計測することにより、基板収納容器の内部を管理することを特徴とする基板収納容器の管理方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2022176244A1 (ja) * | 2021-02-19 | 2022-08-25 | 信越ポリマー株式会社 | パネル収納容器 |
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-
2017
- 2017-01-26 JP JP2017012393A patent/JP6709176B2/ja active Active
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JP7467367B2 (ja) | 2021-02-19 | 2024-04-15 | 信越ポリマー株式会社 | パネル収納容器 |
Also Published As
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JP6709176B2 (ja) | 2020-06-10 |
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