JP2019021735A - 基板収納容器 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 61
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims abstract description 53
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 35
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 73
- 239000000463 material Substances 0.000 description 15
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 11
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 9
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 9
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 8
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 7
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 5
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 5
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 4
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 4
- 229920006311 Urethane elastomer Polymers 0.000 description 3
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 description 3
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 3
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 3
- 229920002725 thermoplastic elastomer Polymers 0.000 description 3
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 3
- VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L Calcium carbonate Chemical compound [Ca+2].[O-]C([O-])=O VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000181 Ethylene propylene rubber Polymers 0.000 description 2
- 229920000106 Liquid crystal polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000004977 Liquid-crystal polymers (LCPs) Substances 0.000 description 2
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 2
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 2
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 2
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 2
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 2
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 229920006124 polyolefin elastomer Polymers 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000089 Cyclic olefin copolymer Polymers 0.000 description 1
- 229920002943 EPDM rubber Polymers 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229930182556 Polyacetal Natural products 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 description 1
- 239000002216 antistatic agent Substances 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 229910000019 calcium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 1
- 239000006258 conductive agent Substances 0.000 description 1
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical class C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010445 mica Substances 0.000 description 1
- 229910052618 mica group Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920006324 polyoxymethylene Polymers 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 239000000454 talc Substances 0.000 description 1
- 229910052623 talc Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N tetrafluoroethene Chemical group FC(F)=C(F)F BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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Abstract
Description
また、本発明は、気体の供給又は排気といった気体の両方向への流通を制御できるバルブ体を備える基板収納容器を提供することを目的とする。
(2)上記(1)の態様において、前記弾性体は、前記第1通路と前記第2通路とを仕切る仕切板を有し、前記仕切板は、少なくとも1本のスリットが形成され、前記スリットは、変形することで隙間が形成されてもよい。
(3)上記(2)の態様において、前記スリットは、0.1mmから1.0mm幅で形成されてもよい。
(4)上記(1)から(3)までのいずれか1つの態様において、前記弾性体は、内部通路を有する筒状であるとともに、前記第1通路と、前記内部通路と、前記第2通路と、のみを前記気体が流れるように、前記第1通路と前記第2通路との間を、シールしてもよい。
(5)上記(1)から(4)までのいずれか1つの態様において、前記第1通路は、前記容器本体に形成された貫通孔に嵌められる固定筒に形成され、前記第2通路は、前記固定筒に組み合わされる保持筒に形成されてもよい。
(6)上記(1)から(4)までのいずれか1つの態様において、前記第1通路は、前記容器本体に形成された貫通孔に嵌められる固定筒に形成され、前記第2通路は、前記固定筒に組み合わされる保持筒に連結された中蓋筒に形成されてもよい。
(7)上記(1)から(6)までのいずれか1つの態様において、前記バルブ体は、前記気体を濾過するフィルタを有してもよい。
(8)上記(1)から(4)までのいずれか1つの態様において、前記バルブ体は、前記容器本体に設けられた気体流路の途中に取り付けられてもよい。
基板Wを収納する容器本体10と、容器本体10の開口11を閉止する蓋体20と、容器本体10と蓋体20との間に設けられる環状のパッキン30と、を備えている。
図3及び図5(a)において、第1筒部410の第1通路4100及び第2筒部430の第2通路4300に陽圧が加わらないと、弾性体44は、スリット441を閉じ、仕切片443同士を密着させて、内部通路4400を遮断し、いずれの側に対しても気体の流通を遮断している。
上記実施形態では、バルブ体40の弾性体44は、第1筒部410の他端と、第2筒部430の他端と、を覆うように取り付けられていたが、固定筒41及び中蓋筒43に第1筒部410及び第2筒部430を形成することなく、固定筒41及び中蓋筒43で挟持されるように取り付けられてもよい。
図6に示すように、弾性体44は、外部に連通する固定筒41の上面と、内部に連通する中蓋筒43の下面との間に位置し、固定筒41と保持筒42とを組み合わせた際に、長手方向に若干押し潰され、挟持された状態で取り付けられている。このとき、第1通路4100又は第2通路4300は、固定筒41、保持筒42及び中蓋筒43のいずれかに直接形成される。
図7に示すように、容器本体10の開口11側に位置し、外部の気体供給源からの気体供給配管に連結される気体導入部50に連通する連通する配管の一端を第1筒部410とし、容器本体10の背面側に位置し、給気部16又は排気部17に連通する配管の一端を第2筒部430とし、これらを覆うように、弾性体44を設けて、略パイプ状の構成としてもよい。
10 容器本体、11 開口、12 シール面、13 支持体、14 ロボティックフランジ、15 マニュアルハンドル、16 給気部、17 排気部、18 貫通孔、180 リブ
20 蓋体、21 取付溝、22 凸部
30 パッキン
40 バルブ体
41 固定筒、410 第1筒部、411 通気口、412 螺子溝、413 フランジ、4100 第1通路、
42 保持筒、421 通気口、422 螺子溝、423 フランジ、424 区画リブ
43 中蓋筒、430 第2筒部、4300 第2通路
44 弾性体、440 仕切板、441 スリット、442 溝部、443 仕切片、4400 内部通路
45 シール部材、46 フィルタ、47 シール部材
50 気体導入部、5000 内部通路
W 基板
C 隙間
Claims (8)
- 基板を収納する容器本体と、
前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、
前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、
前記バルブ体は、
前記容器本体の外部に連通する第1通路と、前記容器本体の内部に連通する第2通路とを仕切る弾性体を有し、
前記弾性体は、前記第1通路に陽圧又は陰圧が加わる場合、及び、前記第2通路に陽圧又は陰圧が加わる場合のいずれでも、変形することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を可能にするとともに、前記第1通路及び前記第2通路に陽圧及び陰圧が加わらない場合に、前記容器本体に対する前記気体の流通を遮断する
ことを特徴とする基板収納容器。 - 前記弾性体は、前記第1通路と前記第2通路とを仕切る仕切板を有し、
前記仕切板は、少なくとも1本のスリットが形成され、
前記スリットは、変形することで隙間が形成される
ことを特徴とする請求項1に記載の基板収納容器。 - 前記スリットは、0.1mmから1.0mm幅で形成される
ことを特徴とする請求項2に記載の基板収納容器。 - 前記弾性体は、内部通路を有する筒状であるとともに、前記第1通路と、前記内部通路と、前記第2通路と、のみを前記気体が流れるように、前記第1通路と前記第2通路との間を、シールする
ことを特徴とする請求項1から3までのいずれか1項に記載の基板収納容器。 - 前記第1通路は、前記容器本体に形成された貫通孔に嵌められる固定筒に形成され、
前記第2通路は、前記固定筒に組み合わされる保持筒に形成される
ことを特徴とする請求項1から4までのいずれか1項に記載の基板収納容器。 - 前記第1通路は、前記容器本体に形成された貫通孔に嵌められる固定筒に形成され、
前記第2通路は、前記固定筒に組み合わされる保持筒に連結された中蓋筒に形成される
ことを特徴とする請求項1から4までのいずれか1項に記載の基板収納容器。 - 前記バルブ体は、前記気体を濾過するフィルタを有する
ことを特徴とする請求項1から6までのいずれか1項に記載の基板収納容器。 - 前記バルブ体は、前記容器本体に設けられた気体流路の途中に取り付けられている
ことを特徴とする請求項1から4までのいずれか1項に記載の基板収納容器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017138068A JP6915203B2 (ja) | 2017-07-14 | 2017-07-14 | 基板収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017138068A JP6915203B2 (ja) | 2017-07-14 | 2017-07-14 | 基板収納容器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019021735A true JP2019021735A (ja) | 2019-02-07 |
JP6915203B2 JP6915203B2 (ja) | 2021-08-04 |
Family
ID=65354489
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017138068A Active JP6915203B2 (ja) | 2017-07-14 | 2017-07-14 | 基板収納容器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6915203B2 (ja) |
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|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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