KR102386695B1 - 가스 퍼지용 필터 - Google Patents

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Abstract

용기 본체 및 뚜껑체로 이루어지는 수납 용기(1)에 이용되는 가스 퍼지용 필터에 있어서, 수납 용기(1)의 외부 공간의 기체와 수납 공간(27)의 기체를 통기시킬 수 있는 통기 공간(110)을 갖는 필터 하우징(100), 및 필터 하우징(100)의 수납 공간의 외측에 형성되며 통기 공간(110)의 일부를 형성하는 노즐부(103)의 외주면을 덮도록 형성된 패드(300)를 가지며, 패드(300)는 탄성체로 형성되어 있다.

Description

가스 퍼지용 필터{GAS PURGE FILTER}
본 발명은 반도체 웨이퍼 등으로 이루어지는 기판을 수납, 보관, 반송(搬送), 수송 등 할 때 사용되는 수납 용기에 이용되는 가스 퍼지용 필터에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼로 이루어지는 기판을 수납하여 공장내 공정에서 반송하기 위한 수납 용기로서 용기 본체 및 뚜껑체를 구비하는 구성의 것이 종래에 알려져 있다.
용기 본체는 일단부에 용기 본체 개구부가 형성되고 타단부가 폐색(閉塞)된 통 형상의 벽부를 갖는다. 뚜껑체는 용기 본체 개구부에 대해 착탈 가능하며, 용기 본체 개구부를 폐색할 수 있다. 이 용기 본체를 뚜껑체로 폐색함으로써 수납 용기내에 기판 등을 수납하는 수납 공간이 형성되어 있다. 수납 공간은 용기 본체의 벽부 및 뚜껑체의 내면에 의해 둘러싸여 형성되어 있으며, 복수의 기판을 수납할 수 있다.
뚜껑체의 부분이며, 용기 본체 개구부를 폐색하고 있을 때 수납 공간과 대향하는 부분에는, 전방 리테이너가 설치되어 있다. 전방 리테이너는 뚜껑체에 의해 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때 복수의 기판의 연부를 지지할 수 있다. 또한, 전방 리테이너와 쌍을 이루도록 하여 내측 기판 지지부가 벽부에 설치되어 있다. 내측 기판 지지부는 복수의 기판의 연부를 지지할 수 있다. 내측 기판 지지부는 뚜껑체에 의해 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때 전방 리테이너와 협동하여 복수의 기판을 지지함으로써, 인접하는 기판끼리를 소정 간격으로 이격시켜 병렬시킨 상태에서 복수의 기판을 유지시킨다(특허 문헌 1~2 참조).
또한, 용기 본체에는 필터가 설치되어 있다. 필요에 따라 필터 내부에는 역지 밸브가 설치되어 있다. 필터를 통해 수납 용기의 외부로부터 수납 공간으로, 질소 등의 불활성 가스 혹은 수분을 제거(1% 이하)한 드라이 에어(이하, 퍼지 가스라고 함)로 가스 퍼지가 수행된다. 역지 밸브는 가스 퍼지에 의해 수납 공간에 충전된 가스가 누출되는 것을 방지한다(특허 문헌 3~4 참조).
용기 본체에 상기 필터를 장착하기 위해 설치된 관통공(액세스 개구)에 상기 필터가 장착되어 있다. 이 때, 용기 본체와 필터를 밀봉 구조로 하기 위해, 필터의 하우징(그로밋)이 탄성 재료로 형성되어 있는 것이 있다(특허 문헌 5). 또한, 가스 퍼지를 수행하기 위해서는, 가스 퍼지 장치의 퍼지 포트와 필터를 밀착시킬 필요가 있다. 이 경우에도 필터의 하우징이 탄성 재료로 형성되어 있기 때문에, 퍼지 포트가 필터에 눌렸을 때 퍼지 포트가 당접(當接)한 부분의 필터 하우징이 탄성 변형하여 퍼지 포트의 선단과 필터가 밀착될 수 있다. 이로써, 수납 용기의 수납 공간을 효율적으로 퍼지 가스로 가스 퍼지할 수 있다.
일본 특허 제4204302호공보 일본 특허 제4201583호공보 일본 특허 제5241607호공보 일본 특개2007-533166호공보 일본 특허 제5213440호공보
상술한 바와 같이, 필터 하우징의 재질로 탄성 재료를 이용함으로써, 수납 용기와 필터를 용이하게 밀봉할 수 있으며, 또한 필터와 퍼지 포트의 밀착성을 확보할 수 있어 효율적인 가스 퍼지를 할 수 있다. 그러나, 필터 하우징의 퍼지 가스가 통과하는 통기 공간도 탄성 재료로 형성되어 있어, 퍼지 가스가 이 탄성 재료에 닿아 수납 공간으로 흐른다. 탄성 재료는 흡습·흡수율이 높고, 또한 아웃가스가 많은 재료이다.
최근 반도체 프로세스의 미세화나 반도체 칩의 수율 향상이 요구되고 있다. 때문에, 반도체 웨이퍼를 수납하는 수납 용기에도 수납 용기를 구성하는 재질로부터의 유기 가스나 염소 가스 등의 아웃가스 또는 용기 내부의 습도를 최대한 저하시키는 것이 요구되고 있다.
이에, 퍼지 가스로의 가스 퍼지가 수행되고 있으나, 퍼지 가스가 탄성 재료로 성형된 필터 하우징의 통기 공간을 통과하기 때문에, 탄성 재료에 포함된 수분이나 반도체 웨이퍼에 좋지 않는 아웃가스가 퍼지 가스에 포함되어, 수납 용기 내부의 환경을 청정한 상태로 유지할 수 없게 되는 문제가 있었다. 이러한 문제로 인해, 반도체 칩의 수율이 저하되는 문제가 있었다.
필터 하우징을 저아웃가스, 저흡습·저흡수성의 수지로 구성하면 상기 문제가 해결되지만, 그 경우, 탄성이 저하되기 때문에 퍼지 포트와의 밀착성이 저하되어, 퍼지 포트와 필터의 틈새를 통해 파티클이나 바람직하지 않은 가스, 수분이 수납 용기 내부로 들어가는 문제가 있었다. 또는, 필터 하우징과 퍼지 포트의 밀착성의 저하로 인해, 퍼지 포트의 선단부에서 퍼지 가스가 누설되어 가스 퍼지의 효율이 저하되는 문제점이 있었다. 따라서, 종래에는 상기 문제점을 동시에 해결할 수 없다는 과제가 있었다.
본 발명은 수납 용기의 수납 공간내의 기체를 퍼지 가스로 효율적으로 치환하는 동시에, 수납 용기 내부의 청정도를 유지할 수 있는 가스 퍼지용 필터를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 일단부에 용기 본체 개구부를 갖는 용기 본체 및 상기 용기 본체 개구부에 대해 착탈 가능하며 상기 용기 본체 개구부를 폐색할 수 있는 뚜껑체에 의해 내부에 수납 공간이 형성된 수납 용기에 상기 용기 본체 혹은 상기 뚜껑체 중 적어도 어느 하나에 형성된 상기 수납 용기의 외부 공간과 상기 수납 공간을 연통시킬 수 있는 액세스 개구에 장착되는 가스 퍼지용 필터에 있어서, 상기 수납 용기의 외부 공간의 기체와 상기 수납 공간의 기체를 통기시킬 수 있는 통기 공간을 갖는 필터 하우징, 및 상기 필터 하우징의 상기 수납 공간의 외측에 형성되며 상기 통기 공간의 일부를 형성하는 노즐부의 외주면을 덮도록 형성된 패드를 가지며, 상기 필터 하우징은 열가소성 수지로 형성되고, 상기 패드는 탄성체로 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 노즐부의 선단부에서 상기 수납 공간 외측 방향에 형성된 노즐 선단부, 및 상기 패드의 선단부에서 상기 수납 공간 외측 방향에 형성된 패드 외측 선단부로 구성되는 가스 퍼지용 필터 선단부에 있어서, 상기 수납 용기 내부의 가스를 퍼지하기 위한 가스 퍼지 장치의 퍼지 포트가 상기 가스 퍼지용 필터 선단부에 당접하여 가스 퍼지가 실행될 때, 상기 노즐 선단부의 위치가 상기 가스 퍼지용 필터 선단부에 당접하는 상기 패드 외측 선단부의 위치와 동일하거나 혹은 상기 수납 공간 외측 방향으로 돌출되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 퍼지 포트가 상기 가스 퍼지용 필터 선단부에 당접하기 전에, 상기 패드 외측 선단부의 위치가 상기 노즐 선단부의 위치와 동일하거나 혹은 상기 수납 공간 외측 방향으로 돌출되어 있는 것이 바람직하다.
혹은, 상기 퍼지 포트가 상기 가스 퍼지용 필터 선단부에 당접하기 전에, 상기 노즐 선단부의 위치가 상기 패드 외측 선단부의 위치보다 상기 수납 공간 외측 방향으로 돌출되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 패드가 단일체인 상태에서의 상기 패드 외측 선단부의 내경의 형상은 상기 노즐 선단부의 외경보다 작은 것이 바람직하다.
그리고, 상기 필터 하우징의 상기 통기 공간에 기체의 유통 방향을 일정 방향으로 제한하는 역지 밸브 기구를 갖는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 퍼지 가스에 의한 수납 용기의 수납 공간내 기체의 치환을 효율적으로 수행하는 동시에, 수납 용기 내부의 청정도를 유지할 수 있는 가스 퍼지용 필터를 제공할 수 있다. 따라서, 반도체 웨이퍼가 불활성 가스나 드라이 에어에 노출되어 있는 비율을 늘릴 수 있기 때문에, 반도체 웨이퍼상에 제작되는 반도체 칩의 수율을 향상시킬 수 있다. 또한 단시간에 높은 효율로 퍼지 가스에 의한 기체 치환을 수행할 수 있기 때문에, 프로세스 시간을 단축시키고 비용 절감에도 기여한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80)가 수납 용기(1)에 장착되고, 기판(W)이 수납된 모습을 나타내는 분해 사시도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80)가 수납 용기(1)에 장착된 모습을 나타내는 하방 사시도이다.
도 3a는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80)를 나타내는 상방 사시도이다.
도 3b는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80)를 나타내는 하방 사시도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80)를 나타내는 분해 사시도이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80)를 수납 용기(1)에 장착한 부분을 나타내는 단면도이다.
도 6은 도 5에서 가스 퍼지용 필터 선단부(406) 근방을 확대한 단면도이다.
도 7a는 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80A)의 가스 퍼지용 필터 선단부(406A) 근방을 확대한 단면도로, 퍼지 포트(800)와 당접하기 전 상태를 나타내는 도면이다.
도 7b는 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80A)의 가스 퍼지용 필터 선단부(406A) 근방을 확대한 단면도로, 퍼지 포트(800)와 당접한 상태를 나타내는 도면이다.
도 8a는 본 발명의 제3 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80B)의 가스 퍼지용 필터 선단부(406B) 근방을 확대한 단면도로, 퍼지 포트(800B)와 당접하기 전 상태를 나타내는 도면이다.
도 8b는 본 발명의 제3 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80B)의 가스 퍼지용 필터 선단부(406B) 근방을 확대한 단면도로, 퍼지 포트(800B)와 당접한 상태를 나타내는 도면이다.
도 9는 본 발명의 제4 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80C)를 나타내는 분해 사시도이다.
도 10은 본 발명의 제4 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80C)의 급기(給氣)용 가스 퍼지용 필터의 단면도이다.
도 11은 본 발명의 제4 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80C)의 배기용 가스 퍼지용 필터의 단면도이다.
[제1 실시 형태]
이하, 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80)에 대해 도면을 참조하면서 설명한다. 도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80)가 수납 용기(1)에 장착되고, 기판(W)이 수납된 모습을 나타내는 분해 사시도이다. 도 2는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80)가 수납 용기(1)에 장착된 모습을 나타내는 하방 사시도이다. 도 3a는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80)를 나타내는 상방 사시도이다. 도 3b는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80)를 나타내는 하방 사시도이다. 도 4는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80)를 나타내는 분해 사시도이다. 도 5는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80)를 수납 용기(1)에 장착한 부분을 나타내는 단면도이다. 도 6은 도 5에서 가스 퍼지용 필터 선단부(406) 근방을 확대한 단면도이다.
여기서, 설명의 편의상, 후술하는 용기 본체(2)로부터 뚜껑체(3)로 향하는 방향(도 1에서 우상으로부터 좌하로 향하는 방향)을 전방향으로 정의하고, 그 반대 방향을 후방향으로 정의하고, 이들을 아울러 전후 방향으로 정의한다. 또한, 후술하는 하벽(24)으로부터 상벽(23)으로 향하는 방향(도 1에서 상방향)을 상방향으로 정의하고, 그 반대 방향을 하방향으로 정의하고, 이들을 아울러 상하 방향으로 정의한다. 또한, 후술하는 제2 측벽(26)으로부터 제1 측벽(25)으로 향하는 방향(도 1에서 우하로부터 좌상으로 향하는 방향)을 좌방향으로 정의하고, 그 반대 방향을 우방향으로 정의하고, 이들을 아울러 좌우 방향으로 정의한다.
또한, 수납 용기(1)에 수납되는 기판(W)(도 1 참조)은 원반 형상의 실리콘 웨이퍼, 글라스 웨이퍼, 사파이어 웨이퍼 등이며, 산업에 이용되는 얇은 것이다. 본 실시 형태에서의 기판(W)은 직경 300mm~450mm의 실리콘 웨이퍼이다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 수납 용기(1)는 상술한 바와 같은 실리콘 웨이퍼로 이루어지는 기판(W)을 수납하여 공장내 공정에서 반송하는 공정내 용기로서 이용되거나, 육상 운송 수단·항공 운송 수단·해상 운송 수단 등의 수송 수단에 의해 기판을 수송하기 위한 출하 용기로서 이용되는 것이며, 용기 본체(2), 뚜껑체(3), 측방 기판 지지부로서의 기판 지지 판형상부(5), 내측 기판 지지부(미도시), 뚜껑체측 기판 지지부로서의 전방 리테이너(미도시)를 갖는다.
용기 본체(2)는 일단부에 용기 본체 개구부(21)가 형성되고 타단부가 폐색된 통 형상의 벽부(20)를 갖는다. 용기 본체(2)내에는 수납 공간(27)이 형성되어 있다. 수납 공간(27)은 벽부(20)에 의해 둘러싸여 형성되어 있다. 벽부(20) 부분이며 수납 공간(27)을 형성하고 있는 부분에는, 기판 지지 판형상부(5)가 배치되어 있다. 수납 공간(27)에는 도 1에 나타내는 바와 같이 복수의 기판(W)을 수납할 수 있다.
기판 지지 판형상부(5)는 수납 공간(27)내에서 쌍을 이루도록 벽부(20)에 설치되어 있다. 기판 지지 판형상부(5)는 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있지 않을 때, 복수의 기판(W)의 연부에 당접함으로써 인접하는 기판(W)끼리를 소정 간격으로 이격시켜 병렬시킨 상태에서 복수의 기판(W)의 연부를 지지할 수 있다. 기판 지지 판형상부(5)의 내측에는 내측 기판 지지부(미도시)가 설치되어 있다.
내측 기판 지지부(미도시)는 수납 공간(27)내에서 전방 리테이너(미도시)와 쌍을 이루도록 벽부(20)에 설치되어 있다. 내측 기판 지지부(미도시)는 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때, 복수의 기판(W)의 연부에 당접함으로써 복수의 기판(W)의 연부의 뒷 부분을 지지할 수 있다.
뚜껑체(3)는 용기 본체 개구부(21)를 형성하는 개구 주연부(31, 도 1 등)에 대해 착탈 가능하며, 용기 본체 개구부(21)를 폐색할 수 있다. 전방 리테이너(미도시)는, 뚜껑체(3) 부분이며 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때 수납 공간(27)과 대향하는 부분에 설치되어 있다. 전방 리테이너(미도시)는 수납 공간(27)의 내부에서 내측 기판 지지부(미도시)와 쌍을 이루도록 배치되어 있다.
전방 리테이너(미도시)는 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때, 복수의 기판(W)의 연부에 당접함으로써 복수의 기판(W)의 연부의 앞 부분을 지지할 수 있다. 전방 리테이너(미도시)는 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때, 내측 기판 지지부(미도시)와 협동하여 복수의 기판(W)을 지지함으로써, 인접하는 기판(W)끼리를 소정 간격으로 이격시켜 병렬시킨 상태에서 복수의 기판(W)을 유지시킨다.
수납 용기(1)는 플라스틱재 등의 수지로 구성되며, 특별히 설명이 없는 경우에는, 그 재료의 수지로서 예를 들어, 폴리카보네이트, 사이클로올레핀 폴리머, 폴리에테르이미드, 폴리에테르케톤, 폴리부틸테레프탈레이트, 폴리에테르에테르케톤, 액정 폴리머와 같은 열가소성 수지나 이들의 합금 등을 들 수 있다. 이들 성형 재료의 수지에 도전성을 부여하는 경우에는, 카본 섬유, 카본 파우더, 카본 나노 튜브, 도전성 폴리머 등의 도전성 물질이 선택적으로 첨가된다. 또한, 강성을 높이기 위해 유리 섬유나 탄소 섬유 등을 첨가하는 것도 가능하다.
이하, 각 부에 대해 상세히 설명한다.
도 1 등에 나타내는 바와 같이, 용기 본체(2)의 벽부(20)는 내벽(22), 상벽(23), 하벽(24), 제1 측벽(25) 및 제2 측벽(26)을 갖는다. 내벽(22), 상벽(23), 하벽(24), 제1 측벽(25) 및 제2 측벽(26)은 상술한 재료로 구성되며, 일체 성형되어 구성된다.
제1 측벽(25)과 제2 측벽(26)이 대향하고 있으며, 상벽(23)과 하벽(24)이 대향하고 있다. 상벽(23)의 후단, 하벽(24)의 후단, 제1 측벽(25)의 후단 및 제2 측벽(26)의 후단은 모두 내벽(22)에 접속되어 있다. 상벽(23)의 전단, 하벽(24)의 전단, 제1 측벽(25)의 전단 및 제2 측벽(26)의 전단은 내벽(22)과 대향하는 위치 관계를 가지며 대략 직사각형 형상의 용기 본체 개구부(21)를 형성하는 개구 주연부(31)를 구성한다.
개구 주연부(31)는 용기 본체(2)의 일단부에 설치되어 있으며, 내벽(22)은 용기 본체(2)의 타단부에 위치한다. 벽부(20)의 외면에 의해 형성되는 용기 본체(2)의 외형은 박스 형상이다. 벽부(20)의 내면, 즉 내벽(22)의 내면, 상벽(23)의 내면, 하벽(24)의 내면, 제1 측벽(25)의 내면 및 제2 측벽(26)의 내면은 이들에 의해 둘러싸인 수납 공간(27)을 형성한다. 개구 주연부(31)에 형성된 용기 본체 개구부(21)는 벽부(20)에 의해 둘러싸여 용기 본체(2)의 내부에 형성된 수납 공간(27)과 연통된다. 수납 공간(27)에는 최대 25장의 기판(W)을 수납할 수 있다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 상벽(23) 및 하벽(24)의 부분이며 개구 주연부(31) 근방 부분에는, 수납 공간(27)의 바깥쪽을 향해 함몰된 래치 계합 오목부(40A, 40B, 41A, 41B)가 형성되어 있다. 래치 계합 오목부(40A, 40B, 41A, 41B)는 상벽(23) 및 하벽(24)의 좌우 양단부 근방에 1개씩 총 4개 형성되어 있다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 상벽(23)의 외면에는 리브(28)가 상벽(23)과 일체 성형되어 설치되어 있다. 이 리브(28)는 용기 본체의 강성을 높이기 위해 설치된다.
또한, 상벽(23)의 중앙부에는 탑 플랜지(29)가 고정된다. 탑 플랜지(29)는 AMHS(자동 웨이퍼 반송 시스템), PGV(웨이퍼 기판 반송 대차) 등에서 수납 용기(1)를 매달 때, 수납 용기(1)에서 걸려 매달리는 부분이 되는 부재이다.
도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 하벽(24)의 네 귀퉁이에는 통기로로서 액세스 개구인 관통공(45)이 형성되어 있다. 본 제1 실시 형태에서는, 하벽(24)의 전방 두 부분의 관통공(45)은 용기 내부의 기체를 배출하기 위한 배기공이며, 후방 두 부분의 관통공(45)은 용기 내부에 기체를 급기하기 위한 급기공이다. 급기공과 배기공의 관통공(45)에는 각각 가스 퍼지용 필터(80)가 배치되어 있다.
도 3a, 도 3b, 도 4, 도 5에 나타내는 바와 같이 가스 퍼지용 필터(80)는 필터 하우징(90)으로서의 제1 하우징(100) 및 제2 하우징(200), 필터체(150), 패드(300)를 갖는다. 제1 하우징(100)은 상부 제1 하우징(101)과 하부 제1 하우징(102)으로 이루어지며, 상부 제1 하우징(101)과 하부 제1 하우징(102) 사이에 필터체(150)가 협지(挾持)되어 있다. 상부 제1 하우징(101)과 하부 제1 하우징(102)은 초음파에 의해 용착 고정되어 있다.
도 1 또는 도 2에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에서 가스 퍼지용 필터(80)는 상부 제1 하우징(101)이 수납 공간(27)측이 되도록 용기 본체(2)의 하벽(24)에 배치되어 있다. 가스 퍼지용 필터(80)는 하벽(24) 이외의 벽부, 뚜껑체에 장착할 수도 있다.
가스 퍼지용 필터(80)의 수납 공간(27)측에 배치되는 상부 제1 하우징(101)에는 수납 공간측 개구(120)가 형성되며, 가스 퍼지용 필터(80)의 수납 용기(1)의 외부 공간측에는 수납 공간 외측 개구(121)가 형성되어 있다. 이들 개구는 가스 퍼지용 필터(80) 내부의 통기 공간(110)을 통해 수납 용기(1)의 내부와 외부의 공간을 연통시킨다.
상기 구성에 의해, 가스 퍼지용 필터(80)는 필터체(150)를 통해 용기 본체(2)의 외부 공간에서 수납 공간(27)으로의 방향(이하, '수납 공간 내측 방향'으로 정의함), 혹은 수납 공간(27)에서 용기 본체(2)의 외부 공간으로의 방향(이하, '수납 공간 외측 방향'으로 정의함)으로 기체를 통과시킬 수 있다. 이 때, 필터체(150)는 기체에 포함된 파티클 등의 통과를 저지한다.
도 5에 나타내는 바와 같이, 상부 제1 하우징(101)에는 수납 공간측 개구(120)에 연통된 상부 통기 공간(111)이 설치되어 있다. 하부 제1 하우징(102)에는 수납 공간 외측 방향(도 5에서는 하방향)을 향해 돌출되어 형성된 대략 고리형 통형상을 갖는 노즐부(103)가 형성되어 있다. 노즐부(103)의 수납 공간 외측 방향의 선단부에는 노즐 선단부(106)가 형성되어 있다. 또한, 하부 제1 하우징(102)에는 상부 통기 공간(111)과 접속된 하부 통기 공간(112)이 형성되어, 노즐부(103)의 내부에 형성된 노즐부 통기 공간(113)과 접속되어 있다. 따라서, 상부 통기 공간(111), 하부 통기 공간(112) 및 노즐부 통기 공간(113)에 의해, 가스 퍼지용 필터(80)의 수납 공간측 개구(120)와 수납 공간 외측 개구(121)를 연통하는 통기 공간(110)이 형성된다.
또한, 하부 제1 하우징(102)에는 노즐부(103)의 반지름 방향 외측에 고리 형상으로 덮도록 나사부(104)가 형성되어 있다. 노즐부(103)와 나사부(104) 사이에는 후술하는 패드(300)를 보유하기 위한 공간이 형성되며, 노즐부(103)와 나사부(104) 사이에는 수납 공간 내측 방향(도 5에서의 상방향)으로 패드가 당접하는 패드 당접부(105)가 설치되어 있다.
하부 제1 하우징(102)의 노즐부(103)의 외주면을 덮도록 대략 원통 형상의 탄성체인 패드(300)가 설치되어 있다. 이 대략 원통 형상의 패드(300)의 수납 공간 외측 방향에는 패드 외측 선단부(306)가, 수납 공간 내측 방향에는 패드 당접부(105)에 당접하는 패드 내측 선단부(305)가 형성되어 있다. 패드(300)를 제2 하우징(200)으로 제1 하우징(100)에 고정하기 위해, 패드 외측 선단부(306)보다 수납 공간 내측 방향으로 단차진 패드 견부(肩部, 304)가 형성되어 있다. 또한, 패드 외측 선단부(306)에는 하부 제1 하우징(102)의 노즐부(103)의 노즐 선단부(106)의 외주에 당접하는 패드 내경 볼록부(310)가 형성되어 있다. 패드 내경 볼록부(310)는 패드(300)와 노즐부(103)를 실링한다. 때문에, 패드(300)의 패드 내경 볼록부(310)의 내경(패드 외측 선단부(306)의 내경)은 노즐 선단부(106)의 외경보다 작게 성형되어 있다. 때문에, 패드(300)는 그 탄성을 이용하여 노즐 선단부(106)에 패드 외측 선단부(306)를 압입하도록 하여 조립되어 있다.
노즐 선단부(106)와 패드 외측 선단부(306)는 가스 퍼지용 필터 선단부(406)를 구성하며, 가스 퍼지 장치의 퍼지 포트(800)와 당접하여 가스 퍼지가 실행된다. 본 제1 실시 형태에서는 가스 퍼지용 필터 선단부(406)가 퍼지 포트(800)와 당접하기 전에, 노즐 선단부(106)와 패드 외측 선단부(306)의 위치가 동일해져, 노즐 선단부(106)와 패드 외측 선단부(306)의 수납 공간 외측 방향의 표면을 동일 높이로 하고 있다.
제2 하우징(200)의 내경면에는 하부 제1 하우징(102)의 나사부(104)와 맞물리는 나사가 설치되어 있다. 제2 하우징(200)을 나사부(104)에 돌려 넣음으로써, 패드(300)의 패드 견부(304)를 제2 하우징(200)의 제2 하우징 누름부(210)에 의해 누르고, 패드(300)의 패드 내측 선단부(305)를 하부 제1 하우징(102)의 패드 당접부(105)에 누름으로써, 패드(300)가 제1 하우징(100)에 고정된다. 이 때, 패드 견부(304)의 제2 하우징(200)의 제2 하우징 누름부(210)가 누르는 방향은 제2 하우징(200)이 제1 하우징(100)에 돌려 넣어질 때의 이동 방향이 되며, 제2 하우징(200)을 돌려 넣을 때 패드(300)에 가해지는 힘(제2 하우징 고정력)을 하부 제1 하우징(102)의 패드 당접부(105)에서 받는 구조로 되어 있다. 때문에, 패드(300)를 제1 하우징(100)에 고정해도 패드 외측 선단부(306)와 노즐 선단부(106)의 기밀성이 확보된다.
또한, 제2 하우징(200)은 패드(300)를 제1 하우징(100)에 고정할 뿐 아니라, 하벽(24)에 가스 퍼지용 필터(80)를 고정하기 위해서도 이용된다. 가스 퍼지용 필터(80)를 하벽(24)에 고정할 때에는 가스 퍼지용 필터(80)와 하벽(24)의 관통공(45) 사이에 O링(114)을 이용하여 실링한다.
제1 하우징(100), 제2 하우징(200)에는 아웃가스 발생량이 적고 흡수성·흡습성이 적은 사이클로올레핀 폴리머를 이용했다. 사이클로올레핀 폴리머 이외에는, 소정의 흡수율·흡습율 이하이고, 소정의 아웃가스 발생량 이하인 열가소성 수지이면 무방하며, 예를 들어 폴리카보네이트나 폴리에테르이미드, 폴리에테르에테르케톤 등의 수지를 이용할 수 있다. 또한, 패드(300)에는 탄성 부재로서 폴리올레핀 엘라스토머를 이용했다. 폴리올레핀 엘라스토머 이외에는, 폴리부틸렌테레프탈레이트나 폴리에틸렌 등의 수지나 폴리에틸렌 엘라스토머 등의 엘라스토머, 실리콘 고무나 불소 고무 등의 고무재를 이용할 수 있다.
상술한 바와 같은 가스 퍼지용 필터(80)에서 가스 퍼지 장치에 의한 기체의 치환(가스 퍼지)은 이하와 같이 수행된다.
공장내 공정에서 수납 용기(1)가 공정내 용기로 이용되고 있을 때에는, 용기 본체(2)에서 하벽(24)이 하부에 위치하고 상벽(23)이 상부에 위치한다. 이 수납 용기(1)의 가스 퍼지용 필터(80)를 이용한 가스 퍼지 방법은, 뚜껑체(3)로 용기 본체(2)의 용기 본체 개구부(21)를 막아 수행하는 경우, 및 수납 용기(1)에서 뚜껑체(3)를 제거한 상태에서 수행하는 경우의 2가지가 있다. 이하, 뚜껑체(3)로 용기 본체(2)를 막은 상태에서의 방법을 설명한다.
용기 본체(2)가 뚜껑체(3)에 의해 그 용기 본체 개구부가 닫혀진 상태에서, 용기 본체(2)의 하벽(24)의 관통공(45)에 설치된 가스 퍼지용 필터(80)의 가스 퍼지용 필터 선단부(406)에 가스 퍼지 장치의 퍼지 포트(800)의 퍼지 포트 선단부(802)가 당접한다. 제1 하우징(100)의 노즐부(103)의 개구 주변부에는 탄성체인 패드(300)가 설치되어 있기 때문에, 퍼지 포트(800)가 당접했을 때의 퍼지 포트 선단부(802)와 가스 퍼지용 필터 선단부(406) 사이의 기밀성(실링)을 확실히 수행할 수 있다. 그 후, 퍼지 가스가 가스 퍼지 장치에서 공급되고, 퍼지 가스 유통로(801)로부터 공급된 퍼지 가스는 통기 공간(110)인 노즐부 통기 공간(113), 하부 통기 공간(112), 상부 통기 공간(111)을 통과하여 수납 용기(1)의 수납 공간(27)에 공급된다. 이 때, 필터체(150)을 통과함으로서, 불필요한 파티클이 수납 공간(27)에 들어가지 않는다. 수납 용기(1) 내부의 기체는 다른 가스 퍼지용 필터(80)로부터 수납 용기(1) 외부로 배출되어, 가스 퍼지가 실시된다.
상술한 가스 퍼지가 수행될 때, 퍼지 가스 유통로(801)의 지름이 가스 퍼지용 필터(80)의 수납 공간 외측 개구(121)보다 작고, 퍼지 포트의 외형이 노즐 선단부(106)의 외형보다 크기 때문에, 퍼지 가스 유통로(801)로부터 방출되는 퍼지 가스는 노즐부 통기 공간(113)으로 모두 공급되며, 탄성체인 패드(300)에는 퍼지 가스가 전혀 닿지 않고 가스 퍼지가 수행된다.
상기 구성의 제1 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80)에 의하면, 이하와 같은 효과를 얻을 수 있다.
퍼지 포트(800)와 가스 퍼지용 필터(80)의 당접 시의 기밀성을 확실히 얻기 위해서는, 탄성체인 패드(300)가 유용하다. 그러나, 패드(300)가 탄성체이기 때문에, 이 탄성체의 패드(300)에 퍼지 가스가 접촉하면, 패드(300)에 포함된 수분이나 수납물인 기판에 악영향을 미치는 물질이 퍼지 가스내에 포함되어, 이것이 수납 용기(1)의 수납 공간(27)으로 방출된다. 이 때문에, 가스 퍼지의 목적인 수납 용기(1)의 수납 공간내의 수분(습도)의 저하를 저해할 가능성이 있다. 그러나, 본 실시 형태에서는 퍼지 가스가 통과하는 통기 공간내에 탄성체가 개재되지 않기 때문에, 가스 퍼지 중에 패드(300)로부터 방출되는 수분이나 기판에 악영향을 미치는 물질을 수납 용기(1)내의 수납 공간(27)으로 방출하지 않으며, 수납 용기(1)내의 수납 공간(27)에 저습도이면서 청정한 환경을 제공할 수 있다.
또한, 패드 외측 선단부(306)의 내경을 패드(300)가 단일체(즉, 패드(300)를 가스 퍼지용 필터(80)에 편입시키기 전)인 상태에서의 노즐 선단부(106)의 외경보다 작은 구성으로 함으로써, 패드(300)와 노즐부(103)의 밀착성이 향상된다. 따라서, 제2 하우징(200)에 의해 패드(300)를 제1 하우징(100)에 장착한 상태에서, 하부 제1 하우징(102)과 패드(300)의 기밀성이 확보된다. 이로써, 하부 제1 하우징(102)과 패드(300)의 틈새(301)로 가스 퍼지용 필터(80) 세정 시의 세정액이 침입하는 것을 방지하여, 그 후의 건조 시간을 단축할 수 있다.
[제2 실시 형태]
다음으로, 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80A)에 대해 도 7a 및 도 7b를 참조하면서 설명한다. 도 7a는 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80A)의 가스 퍼지용 필터 선단부(406A) 근방을 확대한 단면도로, 퍼지 포트(800)와 당접하기 전의 상태를 나타내는 도면이다. 도 7b는 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80A)의 가스 퍼지용 필터 선단부(406A) 근방을 확대한 단면도로, 퍼지 포트(800)와 당접한 상태를 나타내는 도면이다.
제2 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터는 가스 퍼지용 필터 선단부의 형상이 제1 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터와 상이한 실시예이다. 그 외 구성에 대해서는 제1 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80)의 구성과 동일하므로, 제1 실시 형태에서의 각 구성과 동일한 구성에 대해서는 동일한 부호를 붙이고 설명을 생략한다.
도 7a에 나타내는 바와 같이, 가스 퍼지용 필터(80A)와 퍼지 포트(800)가 당접하기 전 상태에서, 패드 외측 선단부(306A)가 제1 하우징(100)의 노즐부(103)의 노즐 선단부(106)보다 수납 공간 외측 방향으로 돌출되어 있다.
가스 퍼지를 수행하기 위해 가스 퍼지용 필터(80A)와 퍼지 포트(800)가 당접하면, 도 7b에 나타나는 바와 같이, 탄성체인 패드(300A)가 퍼지 포트(800)에 눌려 패드 외측 선단부(306A)의 일부가 변형된다(패드 외측 선단 변형부(307A)). 이 변형에 의해, 퍼지 포트(800)의 퍼지 포트 선단부(802)가 노즐부(103)와 당접한다.
노즐부(103)의 노즐 선단부(106)와 퍼지 포트(800)의 퍼지 포트 선단부(802)가 당접하고, 패드 외측 선단 변형부(307A)에 의해 퍼지 포트(800)의 외주가 실링된다. 따라서, 본 실시 형태에서 퍼지 포트(800)와 가스 퍼지용 필터(80A)가 당접하기 전에, 노즐 선단부(106)보다 패드 외측 선단부(306A)가 수납 공간 외측 방향으로 돌출되어 있어도, 가스 퍼지가 실시될 때는 제1 실시 형태와 마찬가지로 퍼지 가스가 탄성체인 패드(300A)와 닿지 않아, 가스 퍼지 중에 패드(300A)로부터 방출되는 수분이나 기판에 악영향을 미치는 물질을 수납 용기(1)내의 수납 공간(27)에 방출하지 않으며, 수납 용기(1)내의 수납 공간(27)에 저습도이면서 청정한 환경을 제공할 수 있다.
또한, 패드 외측 선단부(306A)를 변형시켜 퍼지 포트(800)를 노즐부(103)에 당접시키기 때문에, 퍼지 포트(800)와 패드 외측 선단부(306A)의 밀착성이 향상되어 퍼지 포트(800)로부터의 퍼지 가스를 보다 높은 효율로 수납 공간(27)으로 방출할 수 있다.
[제3 실시 형태]
다음으로, 본 발명의 제3 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80B)에 대해 도 8a 및 도 8b를 참조하면서 설명한다. 도 8a는 본 발명의 제3 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80B)의 가스 퍼지용 필터 선단부(406B) 근방을 확대한 단면도로, 퍼지 포트(800)와 당접하기 전의 상태를 나타내는 도면이다. 도 8b는 본 발명의 제3 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80B)의 가스 퍼지용 필터 선단부(406B) 근방을 확대한 단면도로, 퍼지 포트(800)와 당접한 상태를 나타내는 도면이다.
제3 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터는 가스 퍼지용 필터 선단부의 형상과 퍼지 포트 선단부의 형상이 제1 실시 형태의 경우와 상이한 실시예이다. 그 외 구성에 대해서는 제1 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80)의 구성과 동일하므로, 제1 실시 형태에서의 각 구성과 동일한 구성에 대해서는 동일한 부호를 붙이고 설명을 생략한다.
도 8a에 나타내는 바와 같이, 제1 하우징(100)의 노즐부(103)의 노즐 선단부(106)가 패드(300B)의 패드 외측 선단부(306B)보다 수납 공간 외측 방향으로 돌출되어 있다. 또한, 퍼지 포트 선단부(802B)는 평탄면이 아니라, 노즐부(103)의 외경보다 큰 내경을 갖는 퍼지 포트 고리 형상 볼록부(803B)가 형성되어 있다.
가스 퍼지를 수행하기 위해 가스 퍼지용 필터(80B)와 퍼지 포트(800B)가 당접하면, 도 8b에 나타나는 바와 같이, 퍼지 포트(800B)의 퍼지 포트 고리 형상 볼록부(803B) 내측의 퍼지 포트 선단부(802B)의 부분이 노즐부(103)의 노즐 선단부(106)에 당접한다. 이 때, 퍼지 포트 고리 형상 볼록부(803B)가 노즐 선단부보다 수납 공간 내측으로 들어간 탄성체인 패드(300B)의 패드 외측 선단부(306B)의 일부에 파고 들어가 변형된다(패드 외측 선단 변형부(307B)).
노즐부(103)의 노즐 선단부(106)와 퍼지 포트(800B)의 퍼지 포트 선단부(802B)가 당접하고, 패드 외측 선단 변형부(307B)에 의해 퍼지 포트(800B)의 외주가 실링된다. 따라서, 본 실시 형태에서 퍼지 포트(800B)와 가스 퍼지용 필터(80B)가 당접하기 전에, 패드 외측 선단부(306B)가 노즐 선단부(106)보다 수납 공간 외측 방향으로 돌출되어 있어도, 가스 퍼지가 실시될 때에는 제1 실시 형태와 마찬가지로 퍼지 가스가 탄성체인 패드(300B)와 닿지 않아, 가스 퍼지 중에 패드(300B)로부터 방출되는 수분이나 기판에 악영향을 미치는 물질을 수납 용기(1)내의 수납 공간(27)으로 방출하지 않고, 수납 용기(1)내의 수납 공간(27)에 있어서 저습도이면서 청정한 환경을 제공할 수 있다.
[제4 실시 형태]
다음으로, 본 발명의 제4 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80C, 80D)에 대해 도 9 내지 도 11을 참조하면서 설명한다. 도 9는 본 발명의 제4 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80C)를 나타내는 분해 사시도이다. 도 10은 본 발명의 제4 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80C)의 급기용 가스 퍼지용 필터의 단면도이다. 도 11은 본 발명의 제4 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80D)의 배기용 가스 퍼지용 필터의 단면도이다.
제4 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80C, 80D)는 제1 실시 형태의 가스 퍼지용 필터에 퍼지 가스의 유통 방향을 일정 방향으로 제어하는 역지 밸브 기구인 작동 부재(500C)를 추가한 경우의 실시예이다. 그 외 구성에 대해서는 제1 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80)의 구성과 동일하므로, 제1 실시 형태에서의 각 구성과 동일한 구성에 대해서는 동일한 부호를 붙이고 설명을 생략한다.
도 9, 도 10의 가스 퍼지용 필터(80C)는 수납 용기(1)의 외부 공간으로부터 수납 공간(27)으로 퍼지 가스를 공급하기 위한 가스 퍼지용 필터이다.
제1 실시 형태에서의 제1 필터 하우징(100C)의 통기 공간(110) 도중에 퍼지 가스의 유통 방향을 일정 방향으로 제어하는 역지 밸브 기구인 작동 부재(500C)를 배치하고 있다. 이 작동 부재(500C)를 제1 필터 하우징(100C)에 내장하기 위해, 제1 실시 형태의 하부 제1 하우징의 노즐부를 삭제한 하부 제1 하우징(102C)에, 상기 작동 부재(500C)를 내부에 보유하기 위한 내부 하우징(400C)을 설치했다.
내부 하우징(400C)의 수납 공간 외측 방향에는 노즐 선단부(106C)가 형성되며, 그 외주부를 덮도록 패드(300C)가 설치되어 있다. 패드(300C)에는 제1 실시 형태와 마찬가지로 패드 견부(304C)가 형성되어 있다. 패드(300C)를 제1 하우징에 고정하기 위해, 제2 하우징(200)의 제2 하우징 누름부(210)에 의해 패드(300C)의 패드 견부(304C)를 눌러, 내부 하우징(400C)과 함께 하부 제1 하우징의 수납 공간 내측 방향으로 밀어 넣는다.
역지 밸브 기구인 작동 부재(500C)는 밸브체(502C) 및 밸브체(502C)를 일정 방향으로 가압하기 위한 스프링(501C)으로 구성된다. 도 10의 실시 형태에서는, 내부 하우징(400C)의 내부의 통기 공간(110)에서, 수납 공간 외측 방향에 밸브체(502C)를 배치하고, 밸브체(502C)를 내부 하우징(400C)의 내면으로 가압하기 위한 스프링(501C)을 밸브체(502C)와 하부 제1 하우징(102C) 사이에 배치한다.
패드(300C)의 패드 외측 선단부(306C)와 내부 하우징(400C)의 노즐 선단부(106C)의 위치 관계는 제1 실시 형태와 동일하므로 설명을 생략한다.
이 가스 퍼지용 필터(80C)는 제1 실시 형태의 퍼지 방법과 동일한 방법으로 수납 공간(27)에 퍼지 가스가 공급된다. 이 때, 밸브체(502C)가 수납 공간 내측 방향으로 이동하여, 퍼지 가스가 통기 공간(110)을 지나 수납 용기(1)의 외부로부터 수납 공간(27)으로 공급된다. 퍼지 가스의 공급이 멈추면, 밸브체(502C)가 스프링(501C)에 의해 통기 공간(110)을 닫는다. 따라서, 수납 공간(27)으로부터 수납 용기(1)의 외부로의 기체의 방출을 방지한다.
또한, 도 11의 가스 퍼지용 필터(80D)는 수납 공간(27)으로부터 수납 용기(1)의 외측으로 퍼지 가스를 배출하기 위한 가스 퍼지용 필터이다. 도 9 또는 도 10의 가스 퍼지용 필터(80C)와의 차이는, 역지 밸브 기구인 작동 부재의 밸브체(502C)와 스프링(501C)이 상하 방향으로 반대로 된 것뿐 이다.
가스 퍼지용 필터(80C)로부터 수납 공간(27)으로 공급된 퍼지 가스가 수납 공간(27)에서 일정 압력 이상이 되면, 가스 퍼지용 필터(80D)의 작동 부재(500D)의 밸브체(502C)가 수납 공간 외측 방향으로 이동하여, 수납 공간(27)으로부터 수납 용기(1) 외부로 기체를 방출한다. 그 후, 일정 압력 이하가 되면, 밸브체(502C)가 원래의 위치로 되돌아가 수납 공간(27)으로부터 수납 용기(1) 외부로의 기체 방출이 멈춘다.
상기 구성의 제4 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터에 의하면, 제1 실시 형태의 효과에 더해, 필터 내부에 역지 밸브 기구를 내장하는 것이 가능해져, 수납 용기(1)의 수납 공간(27)으로의 퍼지 가스의 공급, 혹은 수납 공간(27)으로부터의 방출을 제어할 수 있어 보다 효율적인 가스 퍼지를 수행할 수 있다.
1: 수납 용기
2: 용기 본체
3: 뚜껑체
24: 하벽
45: 관통공(액세스 개구)
80, 80A, 80B, 80C, 80D: 가스 퍼지용 필터
90: 필터 하우징
100, 100C: 제1 하우징
101, 101C: 상부 제1 하우징
102, 102C: 하부 제1 하우징
103: 노즐부
105: 패드 당접부
106, 106C: 노즐 선단부
110: 통기 공간
111: 상부 통기 공간
112: 하부 통기 공간
113: 노즐부 통기 공간
120: 수납 공간측 개구
121: 수납 공간 외측 개구
150: 필터체
200: 제2 하우징
210: 제2 하우징 누름부
300, 300A, 300B, 300C: 패드
305: 패드 내측 선단부
306, 306A, 306B, 306C: 패드 외측 선단부
307A, 307B: 패드 외측 선단 변형부
310, 310A, 310B: 패드 내경 볼록부
400C: 내부 하우징
406, 406A, 406B, 406C: 가스 퍼지용 필터 선단부
500C, 500D: 작동 부재(역지 밸브 기구)
501C: 스프링
502C: 밸브체
800, 800B: 퍼지 포트
801, 801B: 퍼지 가스 유통로
802, 802B: 퍼지 포트 선단부
803B: 퍼지 포트 고리 형상 볼록부
W: 기판

Claims (6)

  1. 일단부에 용기 본체 개구부를 갖는 용기 본체 및 상기 용기 본체 개구부에 대해 착탈 가능하며 상기 용기 본체 개구부를 폐색할 수 있는 뚜껑체에 의해 내부에 수납 공간이 형성된 수납 용기에 상기 용기 본체 혹은 상기 뚜껑체 중 적어도 어느 하나에 형성된 상기 수납 용기의 외부 공간과 상기 수납 공간을 연통시킬 수 있는 액세스 개구에 장착되는 가스 퍼지용 필터에 있어서,
    상기 수납 용기의 외부 공간의 기체와 상기 수납 공간의 기체를 통기시킬 수 있는 통기 공간을 갖는 필터 하우징, 및
    상기 필터 하우징의 상기 수납 공간의 외측에 형성되며 상기 통기 공간의 일부를 형성하는 노즐부의 외주면을 덮도록 형성된 패드를 가지며,
    상기 필터 하우징은 열가소성 수지로 형성되고,
    상기 패드는 탄성체로 형성되고,
    상기 노즐부의 선단부에서 상기 수납 공간 외측 방향에 형성된 노즐 선단부, 및
    상기 패드의 선단부에서 상기 수납 공간 외측 방향에 형성된 패드 외측 선단부로 구성되는 가스 퍼지용 필터 선단부에 있어서,
    상기 수납 용기의 내부의 가스를 퍼지하기 위한 가스 퍼지 장치의 퍼지 포트가 상기 가스 퍼지용 필터 선단부에 당접하여 가스 퍼지가 실행될 때, 상기 노즐 선단부의 위치가 상기 가스 퍼지용 필터 선단부에 당접하는 상기 패드 외측 선단부의 위치와 동일하거나 혹은 상기 수납 공간 외측 방향으로 돌출되어 있고,
    상기 퍼지 포트가 상기 가스 퍼지용 필터 선단부에 당접하기 전에,
    상기 패드 외측 선단부의 위치가 상기 노즐 선단부의 위치와 동일하거나 혹은 상기 수납 공간 외측 방향으로 돌출되어 있는 것을 특징으로 하는 가스 퍼지용 필터.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 퍼지 포트가 상기 가스 퍼지용 필터 선단부에 당접하기 전에,
    상기 노즐 선단부의 위치가 상기 패드 외측 선단부의 위치보다 상기 수납 공간 외측 방향으로 돌출되어 있는 것을 특징으로 하는 가스 퍼지용 필터.
  5. 제1항 또는 제4항에 있어서,
    상기 패드가 단일체인 상태에서의 상기 패드 외측 선단부의 내경의 형상은 상기 노즐 선단부의 외경보다 작은 것을 특징으로 하는 가스 퍼지용 필터.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 필터 하우징의 상기 통기 공간에 기체의 유통 방향을 일정 방향으로 제한하는 역지 밸브 기구를 갖는 것을 특징으로 하는 가스 퍼지용 필터.
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