JP2017040849A - 投射光学系及びプロジェクター - Google Patents
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Abstract
Description
|f2|>|f3|>|f1|…(1)
φ2<φ3<φ1 (φk=|1/fk|) k=1,2,3
ただし、fkは条件式(1)に示す各反射光学系の焦点距離
と表記することもできる。すなわち、第2反射光学系のパワーが最も弱く、第1反射光学系のパワーが最も強く、第3反射光学系のパワーがその中間である。
0.05 < F/FL < 0.15…(2)
この場合、バックフォーカスを長くとりながら、装置全体の小型化を達成することができる。
0.0 < |F1−1/F1−2| < 1.0…(3)
この場合、像面湾曲や歪曲収差を補正することが可能となる。
第1光学群40aは、含まれるレンズ間に形成される空間のうち、レンズの移動により可変となる間隔のうち最も縮小側の可変間隔BDを境にして、縮小側に設けられ、正のパワーを有する第1−1レンズ群41と、拡大側に設けられ、第1−1レンズ群41のパワーと比較して弱い正のパワーを有する第1−2レンズ群42と、からなる屈折光学系である。
|f2|>|f3|>|f1|…(1)
なお、上記要件に関して、第1〜第3反射光学系MR1〜MR3のパワーをφ1,φ2,φ3とすると、条件式(1)を、
φ2<φ3<φ1 (φk=|1/fk|) k=1,2,3
ただし、fkは条件式(1)に示す各反射光学系の焦点距離
と表記することもできる。
0.05 < F/FL < 0.15…(2)
0.0 < |F1−1/F1−2| < 1.0…(3)
以下、投射光学系40の具体的な実施例について説明する。以下に説明する実施例1〜4に共通する諸元の意味を以下にまとめた。
f 全系の焦点距離
ω 半画角
NA 開口数
R 曲率半径
D 軸上面間隔(レンズ厚又はレンズ間隔)
Nd d線の屈折率
Vd d線のアッベ数
ただし、
c: 曲率(1/R)
h: 光軸からの高さ
k: 非球面の円錐係数
Ai:非球面の高次非球面係数
なお、OBJは、パネル面PIを意味し、STOは開口絞りSTを意味し、IMGは、スクリーン上の像面(被投射面)を意味する。また、面番号の前に「*」が記載されている面は、非球面形状を有する面である。
実施例1のレンズ面のデータを以下の表1に示す。
〔表1〕
f 4.002
ω 69.9゜
NA 0.278
R D Nd Vd
OBJ Infinity 3.000
1 Infinity 25.750 1.51633 64.14
2 Infinity 6.000
3 500.000 6.000 1.48749 70.24
4 -33.595 6.437
5 38.183 5.000 1.48749 70.24
6 -231.380 11.756
7 -89.984 1.200 1.83400 37.16
8 30.366 4.800 1.48749 70.24
9 -42.809 可変間隔
STO Infinity 0.000
11 154.620 3.000 1.48749 70.24
12 -54.531 可変間隔
13 37.909 7.000 1.48749 70.24
14 121.783 可変間隔
*15 -2040.867 4.500 1.53116 56.04
*16 259.706 65.000
*17 -54.241 -65.000 反射面
*18 259.706 65.000 反射面
*19 76.677 可変間隔 反射面
IMG Infinity
以上の表1及び以下の表において、10のべき乗数(例えば1.00×10+18)をE(例えば1.00E+18)を用いて表すものとする。
〔表2〕
非球面係数
K A04 A06 A08 A10 A12
15 0.000 -3.5564E-06 2.2000E-09 -8.3247E-12 2.1223E-15 0.0000E+00
16 -53.570 2.8784E-08 1.6122E-11 0.0000E+00 0.0000E+00 0.0000E+00
17 0.530 2.2300E-06 -1.4861E-11 5.6323E-13 -3.3721E-16 1.5459E-19
18 -53.570 2.8784E-08 1.6122E-11 0.0000E+00 0.0000E+00 0.0000E+00
19 -7.265 -2.6013E-08 1.2573E-12 0.0000E+00 0.0000E+00 0.0000E+00
〔表3〕
可変間隔
126x 162x 110x
9 9.334 11.486 7.885
12 43.758 42.278 44.052
14 30.200 29.187 31.014
19 -475.000 -639.126 -405.207
実施例2のレンズ面のデータを以下の表4に示す。
〔表4〕
f 4.029
ω 69.8゜
NA 0.278
R D Nd Vd
OBJ Infinity 3.000
1 Infinity 25.750 1.51633 64.15
2 Infinity 6.000
3 275.481 5.000 1.48749 70.24
4 -51.033 7.170
5 31.359 5.000 1.48749 70.24
6 154.035 12.005
7 -1189.534 1.200 1.83400 37.16
8 25.026 5.400 1.48749 70.24
9 -50.108 可変間隔
STO Infinity 1.000
11 50.553 4.500 1.48749 70.24
12 -73.676 可変間隔
*13 20.761 4.500 1.53116 56.04
*14 19.593 可変間隔
15 150.632 4.500 1.48749 70.24
16 475.035 65.000
*17 -57.867 -65.000 反射面
18 475.035 65.000 反射面
*19 83.144 可変間隔 反射面
IMG Infinity
〔表5〕
非球面係数
K A04 A06 A08 A10 A12
13 -2.3028 2.2111E-06 -4.9741E-08 0.0000E+00 0.0000E+00 0.0000E+00
14 -1.0905 -2.0101E-05 -2.8503E-08 -3.3262E-11 8.2831E-14 0.0000E+00
17 0.7179 2.0389E-06 -1.6612E-10 7.3513E-13 -4.9826E-16 1.9223E-19
19 -7.8729 -1.9238E-08 -3.4818E-12 8.4485E-16 -4.9184E-20 0.0000E+00
〔表6〕
可変間隔
125x 161x 110x
9 13.010 13.367 12.737
12 40.292 41.372 39.565
14 35.732 34.295 36.732
19 -475.000 -625.034 -410.197
実施例3のレンズ面のデータを以下の表7に示す。
〔表7〕
f 3.977
ω 69.9゜
NA 0.278
R D Nd Vd
OBJ Infinity 3.000
1 Infinity 25.750 1.51633 64.15
2 Infinity 6.000
3 278.584 5.000 1.48749 70.24
4 -41.800 10.100
5 40.324 3.000 1.48749 70.24
6 60.000 9.971
7 94.407 1.200 1.82690 31.49
8 25.499 5.400 1.48749 70.24
9 -47.353 可変間隔
STO Infinity 1.000
11 62.477 5.500 1.48749 70.24
12 -40.827 可変間隔
*13 -19.327 3.000 1.53116 56.04
*14 -32.894 可変間隔
15 255.708 4.500 1.48749 70.24
16 -865.000 49.466
*17 -51.850 -49.466 反射面
18 -865.000 44.393 反射面
*19 85.459 可変間隔 反射面
IMG Infinity
〔表8〕
非球面係数
K A04 A06 A08 A10 A12
13 0.2063 -2.1299E-05 1.0935E-07 -2.7180E-11 1.5034E-13 0.0000E+00
14 0.9028 -2.6396E-05 8.2473E-08 -1.0085E-10 0.0000E+00 0.0000E+00
17 0.3489 2.2064E-06 -3.5320E-10 7.6029E-13 -4.4273E-16 1.7042E-19
19 -13.2748 -1.1943E-07 1.6630E-11 -1.3146E-15 4.4883E-20 0.0000E+00
〔表9〕
可変間隔
126x 162x 110x
9 25.770 26.338 25.413
12 24.065 24.144 24.016
14 57.278 56.631 57.684
19 -475.000 -623.449 -411.384
実施例4のレンズ面のデータを以下の表10に示す。特に、本実施例及び次の実施例5では、第2反射光学系MR2は、第1光学群40aの一部と共有するものとしてではなく、単独で存在する。
〔表10〕
f 3.994
ω 70.0゜
NA 0.278
R D Nd Vd
OBJ Infinity 3.000
1 Infinity 25.750 1.51633 64.14
2 Infinity 6.200
3 116.093 6.000 1.48749 70.24
4 -38.077 21.734
5 100.111 1.200 2.00069 25.46
6 41.429 4.800 1.48749 70.24
7 -39.676 可変間隔
STO Infinity 1.000
9 97.248 3.000 1.48749 70.24
10 287.279 可変間隔
11 91.428 4.500 1.48749 70.24
12 -148.941 可変間隔
*13 -56.574 -65.000 反射面
*14 243.256 65.000 反射面
*15 70.214 可変間隔 反射面
IMG Infinity
〔表11〕
非球面係数
K A04 A06 A08 A10 A12
13 0.6140 2.2338E-06 2.6381E-11 3.9285E-13 -2.0072E-16 1.0323E-19
14 0.2723 -6.0201E-07 5.7969E-10 -4.0071E-13 0.0000E+00 0.0000E+00
15 -6.7963 -3.1365E-08 1.6458E-12 0.0000E+00 0.0000E+00 0.0000E+00
〔表12〕
可変間隔
126x 161x 110x
7 15.087 6.624 18.978
10 21.144 29.364 17.317
12 126.585 126.828 126.521
15 -475.000 -598.539 -419.978
実施例5のレンズ面のデータを以下の表13に示す。
〔表13〕
f 4.019
ω 70.7゜
NA 0.278
R D Nd Vd
OBJ Infinity 3.000
1 Infinity 25.750 1.51633 64.14
2 Infinity 6.300
3 166.812 6.000 1.48749 70.24
4 -31.324 17.167
5 106.422 4.800 1.48749 70.24
6 -25.930 1.200 1.84666 23.78
7 -57.089 可変間隔
STO Infinity 1.000
9 148.810 3.500 1.72000 50.23
10 -61.331 可変間隔
*11 -30.201 2.500 1.53116 56.04
*12 -42.213 可変間隔
*13 -62.087 -83.563 反射面
*14 207.720 55.627 反射面
*15 74.630 可変間隔 反射面
IMG Infinity
〔表14〕
非球面係数
K A04 A06 A08 A10 A12
11 -5.4707 -8.0145E-05 6.1463E-08 0.0000E+00 0.0000E+00 0.0000E+00
12 2.2146 -4.6768E-05 5.2811E-08 0.0000E+00 0.0000E+00 0.0000E+00
13 0.4070 1.3169E-06 -7.6337E-11 2.6518E-13 -1.2208E-16 3.4649E-20
14 -1.0000 -3.8248E-07 1.5359E-10 -4.2092E-14 0.0000E+00 0.0000E+00
15 -6.0599 -2.6499E-08 1.3266E-12 0.0000E+00 0.0000E+00 0.0000E+00
〔表15〕
可変間隔
125x 161x 110x
7 17.464 18.314 16.903
10 29.892 30.296 29.667
12 117.496 116.412 118.451
15 -475.000 -625.806 -410.412
実施例6のレンズ面のデータを以下の表16に示す。特に、本実施例では、例えば図29に示すように、第2反射光学系MR2は、第1光学群40aのうち最も拡大側のレンズ(レンズL10)よりも縮小側に位置するレンズ(レンズL9)と共有されるものとなっている。
〔表16〕
f 4.094
ω 70.2゜
NA 0.278
R D Nd Vd
OBJ Infinity 3.000
1 Infinity 25.750 1.51633 64.14
2 Infinity 6.000
3 115.000 5.200 1.51633 64.14
4 -55.000 0.200
5 33.190 4.500 1.48749 70.24
6 112.000 20.000
7 -194.000 1.200 1.83400 37.16
8 27.570 5.000 1.49700 81.54
9 -42.000 7.360
STO Infinity 0.000
11 42.000 4.000 1.48749 70.24
12 -138.000 可変間隔
13 53.500 4.000 1.58144 40.75
14 370.000 3.420
15 -55.000 2.000 1.51633 64.14
16 -82.500 可変間隔
17 -160.000 2.000 1.72342 37.95
18 -765.000 可変間隔
19 71.300 5.000 1.51633 64.14
20 205.000 6.320
21 -130.400 2.500 1.48749 70.24
22 -200.000 60.500
*23 -58.562 -60.500 反射面
24 -200.000 -2.500 1.48749 70.24
25 -130.400 -6.320
26 205.000 6.320 反射面
27 -130.400 2.500 1.48749 70.24
28 -200.000 67.000
*29 82.450 可変間隔 反射面
IMG Infinity 0
〔表17〕
非球面係数
K A04 A06 A08 A10 A12
23 0.7860 2.3470E-06 -2.2290E-10 6.0050E-13 -3.2890E-16 1.4560E-19
29 -6.0410 -6.4310E-08 1.3060E-11 -2.5160E-15 2.9150E-19 -1.3920E-23
〔表18〕
可変間隔
125x 171x 99x
12 38.774 40.637 36.953
16 24.413 26.922 22.069
18 8.800 4.422 12.959
29 -480.000 -675.194 -371.837
上記実施例1〜6について、焦点距離等についての条件式(1)〜(3)に関する項目は、下記の表19の通りである。なお、下欄の各数値から、条件式(1)〜(3)が満たされていることが分かる。
〔表19〕
Claims (12)
- 縮小側から順に設けられた、複数のレンズからなり正のパワーを有する屈折光学系と、反射光学系と、を備えた投射光学系であって、
前記反射光学系は、前記屈折光学系から射出された光の光路上に前記屈折光学系側から順に設けられた第1反射光学系と第2反射光学系と第3反射光学系とを含み、
前記第1反射光学系は、凹面形状を有する第1反射面を含み、
前記第2反射光学系は、曲面形状を有する第2反射面を含み、
前記第3反射光学系は、凸面形状を有する第3反射面を含み、
前記第1反射面、前記第2反射面及び前記第3反射面のうち少なくとも2つは非球面形状を有し、
前記第1反射光学系の焦点距離をf1、前記第2反射光学系の焦点距離をf2、前記第3反射光学系の焦点距離をf3、としたとき、f1,f2,f3が条件式(1)を満足することを特徴とする投射光学系。
|f2|>|f3|>|f1|…(1) - 請求項1に記載の投射光学系において、全系の焦点距離をF、前記屈折光学系の焦点距離をFLとするとき、条件式(2)を満足することを特徴とする投射用光学系。
0.05 < F/FL < 0.15…(2) - 請求項1または2に記載の投射光学系において、前記複数のレンズが全て回転対称系であることを特徴とする投射光学系。
- 請求項3に記載の投射光学系において、前記複数のレンズ及び前記第1〜第3反射光学系の全ての面は、回転対称面で構成され、同一の光軸を有する共軸光学系であることを特徴とする投射光学系。
- 請求項1から4までのいずれか一項に記載の投射光学系において、前記複数のレンズは、前記屈折光学系の一部として機能する光透過領域と前記第2反射面として機能する光反射領域とを有する光透過反射光学系を含むことを特徴とする投射光学系。
- 請求項5に記載の投射光学系において、前記光透過反射光学系は、前記屈折光学系において最も拡大側に配置されており、投射距離の変更に伴う変倍時のフォーカスの際、固定されていることを特徴とする投射光学系。
- 請求項1から6までのいずれか一項に記載の投射光学系において、前記屈折光学系は、変倍時に少なくとも1つの移動するレンズ群を有し、最も縮小側の可変間隔を境にして、縮小側から順に正のパワーを有する第1−1レンズ群と、正のパワーを有する第1−2レンズ群とから構成され、前記第1−1レンズ群の焦点距離をF1−1、前記第1−2レンズ群の焦点距離をF1−2とするとき、条件式(3)を満足することを特徴とする投射光学系。
0.0 < |F1−1/F1−2| < 1.0…(3) - 請求項1から7までのいずれか一項に記載の投射光学系において、物体側の開口数は0.27以上であることを特徴とする投射用光学系。
- 請求項1から8までのいずれか一項に記載の投射光学系において、縮小側は略テレセントリックであることを特徴とする投射光学系。
- 請求項1から9までのいずれか一項に記載の投射光学系において、変倍範囲が1.4倍以上あることを特徴とする投射光学系。
- 縮小側から順に設けられた、複数のレンズからなり正のパワーを有する屈折光学系と、少なくとも3面の反射面を有する反射光学系と、を備えた投射光学系であって、
前記屈折光学系を構成する前記複数のレンズは、前記屈折光学系の一部として機能する光透過領域と前記反射光学系の反射面として機能する光反射領域とを有する光透過反射光学系を含むことを特徴とする投射光学系。 - 光源と、
前記光源からの光を変調して画像光を形成する光変調素子と、
前記画像光を投射する請求項1から11までのいずれか一項に記載の投射光学系と
を備えることを特徴とするプロジェクター。
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