JP2017003977A - Euvリソグラフィ用反射型マスクブランク - Google Patents
Euvリソグラフィ用反射型マスクブランク Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017003977A JP2017003977A JP2016103127A JP2016103127A JP2017003977A JP 2017003977 A JP2017003977 A JP 2017003977A JP 2016103127 A JP2016103127 A JP 2016103127A JP 2016103127 A JP2016103127 A JP 2016103127A JP 2017003977 A JP2017003977 A JP 2017003977A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- mask blank
- main surface
- reflective
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001900 extreme ultraviolet lithography Methods 0.000 title claims abstract description 86
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 78
- 238000012887 quadratic function Methods 0.000 claims abstract description 51
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 249
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 79
- 238000000275 quality assurance Methods 0.000 claims description 65
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 40
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 31
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 28
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 24
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 15
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 238000001459 lithography Methods 0.000 claims description 5
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 8
- 238000012546 transfer Methods 0.000 abstract description 5
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 214
- 238000000034 method Methods 0.000 description 58
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 28
- 239000000463 material Substances 0.000 description 25
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 23
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 14
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 14
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 13
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 12
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 12
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 10
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 10
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 9
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 9
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 9
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 8
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 8
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 7
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 7
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 6
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 6
- 238000001659 ion-beam spectroscopy Methods 0.000 description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 6
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 6
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910003071 TaON Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 5
- -1 TaSi Inorganic materials 0.000 description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 4
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 4
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 4
- 229910019895 RuSi Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 3
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 3
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 3
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 2
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000007687 exposure technique Methods 0.000 description 2
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N hafnium atom Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 2
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004143 HfON Inorganic materials 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910005883 NiSi Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004535 TaBN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004200 TaSiN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 238000001579 optical reflectometry Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 1
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 229910000500 β-quartz Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/22—Masks or mask blanks for imaging by radiation of 100nm or shorter wavelength, e.g. X-ray masks, extreme ultraviolet [EUV] masks; Preparation thereof
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/22—Masks or mask blanks for imaging by radiation of 100nm or shorter wavelength, e.g. X-ray masks, extreme ultraviolet [EUV] masks; Preparation thereof
- G03F1/24—Reflection masks; Preparation thereof
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/38—Masks having auxiliary features, e.g. special coatings or marks for alignment or testing; Preparation thereof
- G03F1/48—Protective coatings
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/002—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor using materials containing microcapsules; Preparing or processing such materials, e.g. by pressure; Devices or apparatus specially designed therefor
- G03F7/0022—Devices or apparatus
- G03F7/0032—Devices or apparatus characterised by heat providing or glossing means
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
- G03F7/2002—Exposure; Apparatus therefor with visible light or UV light, through an original having an opaque pattern on a transparent support, e.g. film printing, projection printing; by reflection of visible or UV light from an original such as a printed image
- G03F7/2008—Exposure; Apparatus therefor with visible light or UV light, through an original having an opaque pattern on a transparent support, e.g. film printing, projection printing; by reflection of visible or UV light from an original such as a printed image characterised by the reflectors, diffusers, light or heat filtering means or anti-reflective means used
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70008—Production of exposure light, i.e. light sources
- G03F7/70033—Production of exposure light, i.e. light sources by plasma extreme ultraviolet [EUV] sources
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
- H01L21/033—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising inorganic layers
- H01L21/0334—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising inorganic layers characterised by their size, orientation, disposition, behaviour, shape, in horizontal or vertical plane
- H01L21/0337—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising inorganic layers characterised by their size, orientation, disposition, behaviour, shape, in horizontal or vertical plane characterised by the process involved to create the mask, e.g. lift-off masks, sidewalls, or to modify the mask, e.g. pre-treatment, post-treatment
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
吸収層には、EUV光に対する吸収係数の高い材料、具体的にはたとえば、クロム(Cr)やタンタル(Ta)を主成分とする材料が用いられる。
多層反射膜および吸収層の形成には、イオンビームスパッタリング法、マグネトロンスパッタリング法といったスパッタリング法が通常使用される。
しかしながら、パターンの微細化の要請によって、従来問題視されなかった基板の微小な変形(膜応力が加わることによって生じる基板の変形)によるマスクブランクの平坦度の悪化が問題となってきた。具体的には、基板の変形によりマスクブランクの平坦度が悪化すると、縮小投影露光機を用いて、該EUVマスクブランクから作製した反射型マスクのマスクパターンをウェハー上に転写する際に、パターンの結像位置がウェハー表面からずれるためにパターン転写精度が劣化し、ウェハー上に形成される回路パターンの寸法にずれが生じ、期待する性能を有する半導体デバイスが得られないため、問題である。また基板の変形によりマスクブランクの平坦度が悪化すると、該EUVマスクブランクから作製した反射型マスクのマスクパターンをウェハー上に転写する際に、パターンを形成する位置が所望の位置からずれる。ここで、半導体デバイスはリソグラフィプロセスにて形成された回路パターンが層状に積層した構造を有しており、上層の回路パターンは下層パターンの形成位置に応じて所望の位置に形成されることにより、期待する性能を有する半導体デバイスが作製される。このため、マスクブランクの平坦度が悪化しパターンを形成する位置が所望の位置からずれると、トランジスタのスイッチング速度やリーク電流などの特性が期待通り発揮できる半導体デバイスを得られないため、問題である(特許文献1)。
オーバーレイ精度(重ね合わせ精度)
=EUVマスクブランクの平坦度×1/40 式(1)
により算出することができ(非特許文献1)、EUVマスクブランクの平坦度が小さいほどオーバーレイ精度(重ね合わせ精度)は小さくなり好ましい。このため、半導体デバイスの回路寸法が年々小さることに応じて、EUVマスクブランクの平坦度要求値も小さくなる。たとえば、半導体技術ロードマップ(The International Technology Roadmap for Semiconductors)2012年版によれば、EUVマスクブランクの平坦度(Blank Bow)要求値は、2015年400nm以下、2018年300nm以下、2021年200nm以下と年々厳しくなっている。EUVマスクブランクの平坦度がこれら要求値の場合、マスクブランク平坦度要求値に起因するオーバーレイ精度(重ね合わせ精度)は、式(1)を用いて算出すると、10nm、7.5nm、5nmとなり、同ロードマップのLogicにおけるオーバーレイ精度(重ね合わせ精度)要求値(2015年4.2nm以下、2018年3.0nm以下、2021年2.1nm以下)と比べて約2.4〜2.5倍大きく、問題である。
前記EUVL用反射型マスクブランクの前記主面および前記裏面の品質保証領域の形状、ならびに、前記反射層、前記吸収層、および、前記導電膜を形成する前の前記基板の前記主面および前記裏面の品質保証領域の形状を、それぞれレーザ干渉計で測定し、前記EUVL用反射型マスクブランクの前記主面および前記裏面の品質保証領域の形状と、前記基板の前記主面および前記裏面の品質保証領域の形状と、の差分を二次関数フィッティングした場合に得られる中心座標ΔF,ΔBと、基板中央座標Cとの距離が0.5mm以下であり、かつ、前記主面および裏面の品質保証領域の平坦度が600nm以下であることを特徴とするEUVL用反射型マスクブランク(3)、を提供する。
図1は、本発明のEUVL用反射型マスクブランクの一実施形態を示す概略断面図である。図1に示すEUVL用反射型マスクブランクは、基板1の主面(図中、基板1の上面)上にEUV光を反射する反射層2と、EUV光を吸収する吸収層3と、がこの順に形成されている。基板1の主面に対向する裏面(図中、基板1の下面)上に導電膜(裏面導電膜)4が形成されている。
以下、本発明のEUVL用反射型マスクブランクの個々の構成要素について説明する。
そのため、基板1は、低熱膨張係数(具体的には、20℃における熱膨張係数が0±1.0×10-7/℃が好ましく、より好ましくは0±0.5×10-7/℃、さらに好ましくは0±0.2×10-7/℃、さらに好ましくは0±0.05×10-7/℃)を有し、表面粗さ(Root Mean Square)がJIS−B0601−2001の規格において0.15nm以下の平滑性、100nm以下の平坦度、およびマスクブランクまたはパターン形成後のフォトマスクの洗浄等に用いる酸性やアルカリ性など各種洗浄液への耐性に優れたものが好ましい。基板1としては、具体的には低熱膨張係数を有するガラス、例えばSiO2−TiO2系ガラス等を公知の方法で研削研磨したものを用いるが、これに限定されず、β石英固溶体を析出した結晶化ガラスや石英ガラスやシリコンや金属などを公知の方法で研削研磨した基板も使用できる。また、基板1上に応力補正膜や表面平滑化膜のような膜を形成してもよい。
基板1の反射層2が形成される側の表面には欠点が存在しないことが好ましい。しかし、存在している場合であっても、凹状欠点および/または凸状欠点によって位相欠点が生じないように、凹状欠点および凸状欠点の球相当直径(通称SEVD。定義は、たとえばProc. SPIE. 7969, Extreme Ultraviolet(EUV) Lithography II, 796902.を参照)以下であることが好ましい。
上記の特性を達成するため、吸収層3は、EUV光の吸収係数が高い材料で構成される。EUV光の吸収係数が高い材料としては、タンタル(Ta)、クロム(Cr)、アルミニウム(Al)、チタン(Ti)、タングステン(W)、パラジウム(Pd)、ニッケル(Ni)、ハフニウム(Hf)を主成分とする材料を用いることが好ましい。本明細書において、上記元素を主成分とする材料と言った場合、当該材料中に上記元素を30at%以上含有する材料を意味する。
上記した構成の吸収層3は、マグネトロンスパッタリング法やイオンビームスパッタリング法のようなスパッタリング法などの成膜方法を用いて形成できる。
例えば、吸収層3として、マグネトロンスパッタリング法を用いてTaNH膜を形成する場合、ターゲットとしてTaターゲットを用い、スパッタリングガスとして、ArとN2とH2の混合ガス(H2ガス濃度1〜30vol%、N2ガス濃度5〜75vol%、Arガス濃度10〜94vol%、ガス圧0.5×10-1Pa〜1.0Pa)、投入電力300〜2000W、成膜速度0.5〜60nm/minで、厚さ20〜90nmとなるように成膜することが好ましい。
ターゲット:Crターゲット
スパッタガス:ArとN2の混合ガス(N2ガス濃度3〜45vol%、好ましくは5〜40vol%、より好ましくは10〜35vol%。ガス圧1.0×10-1Pa〜50×10-1Pa、好ましくは1.0×10-1Pa〜40×10-1Pa、より好ましくは1.0×10-1Pa〜30×10-1Pa。)
投入電力:30〜1000W、好ましくは50〜750W、より好ましくは80〜500W
成膜速度:2.0〜60nm/m
また、保護層を形成する場合、その厚さは1〜60nmが好ましく、1〜40nmがより好ましい。
低反射層はマスクパターンの検査に使用する検査光において、低反射となるような膜で構成される。EUVマスクを作製する際、吸収層にパターンを形成した後、このパターンが設計通りに形成されているかどうか検査する。このマスクパターンの検査では、検査光として通常257nm程度の光を使用した検査機が使用される。つまり、この257nm程度の光の反射率の差、具体的には、吸収層がパターン形成により除去されて露出した面と、パターン形成により除去されずに残った吸収層表面と、の反射率の差によって検査される。ここで、前者は反射層表面または保護層表面であり、通常は保護層表面である。したがって、検査光の波長に対する反射層表面または保護層表面と、吸収層表面と、の反射率の差が小さいと検査時のコントラストが悪くなり、正確な検査が出来ないことになる。検査光の波長に対する反射層表面または保護層表面と、吸収層表面と、の反射率の差が小さい場合は、低反射層の形成により、検査時のコントラストが良好となる。吸収層上に低反射層を形成する場合、該低反射層は、検査光の波長領域の光線を低反射層表面に照射した際に、該検査光の波長の最大反射率は、15%以下が好ましく、10%以下がより好ましく、5%以下がさらに好ましい。
この特性を満たす低反射層としては、タンタル(Ta)、クロム(Cr)、アルミニウム(Al)、チタン(Ti)、タングステン(W)、パラジウム(Pd)、ニッケル(Ni)、ハフニウム(Hf)、ケイ素(Si)からなる群から選ばれる少なくともひとつと、酸素(O)および窒素(N)からなる群から選ばれる少なくともひとつと、を含有するものがある。このような低反射層の好適例としては、TaO層、TaON層、TaBO層、TaSiO層、CrO層、CrON層、SiO層、SiON層、SiN層、HfO層、HfON層が挙げられる。
低反射層中のTa、Pd、Cr、Si、Hfの合計含有量は、10〜55at%、特に10〜50at%であると、パターン検査光の波長領域に対する光学特性を制御できるという理由で好ましい。
また、低反射層中におけるOおよびNの合計含有率が、45〜90at%、特に50〜90at%であると、パターン検査光の波長領域に対する光学特性を制御できるという理由で好ましい。なお、該低反射層中のTa、Pd、Cr、Si、Hf、OおよびNの合計含有率は95〜100at%が好ましく、97〜100at%がより好ましく、99〜100at%がさらに好ましい。
なお、2種類以上の金属ターゲットの使用は、低反射層の構成成分を調整するのに好都合である。なお、2種類以上の金属ターゲットを使用する場合、ターゲットへの投入電力を調整することによって、吸収層の構成成分を調整できる。一方、化合物ターゲットを使用する場合、形成される低反射層が所望の組成となるように、ターゲット組成をあらかじめ調整することが好ましい。
但し、低反射層がOを含有する場合、He、Ar、Ne、KrおよびXeのうち少なくともひとつと、O2と、を含む不活性ガス雰囲気中でスパッタリング法を実施する。低反射層がNを含有する場合、He、Ar、Ne、KrおよびXeのうち少なくともひとつと、N2と、を含む不活性ガス雰囲気中でスパッタリング法を実施する。低反射層がOおよびNを含有する場合、He、Ar、Ne、KrおよびXeのうち少なくともひとつと、O2およびN2と、を含む不活性ガス雰囲気中でスパッタリング法を実施する。
不活性ガス雰囲気がArとO2の混合ガス雰囲気の場合を例に低反射層の形成条件を以下に示す。
低反射層の形成条件
ガス圧:1.0×10-1Pa〜50×10-1Pa、好ましくは1.0×10-1Pa〜40×10-1Pa、より好ましくは1.0×10-1Pa〜30×10-1Pa。
スパッタリングガス:ArとO2の混合ガス(O2ガス濃度:3〜80vol%、好ましくは5〜60vol%、より好ましくは10〜40vol%)
投入電力:30〜1000W、好ましくは50〜750W、より好ましくは80〜500W
成膜速度:0.01〜60nm/min、好ましくは0.05〜45nm/min、より好ましくは0.1〜30nm/min
なお、Ar以外の不活性ガスあるいは複数の不活性ガスを使用する場合、その不活性ガスの合計濃度が上記したArガス濃度と同じ濃度範囲にする。
本発明のEUVL用反射型マスクブランクは、その主面および裏面の品質保証領域の形状をレーザ干渉計で測定し、得られた測定値を二次関数フィッティングした場合に、二次関数成分(以下、本明細書において、「表面形状の二次関数成分」という。)の占める比率が35%以上である。
なお、表面形状の二次関数成分は、下記式で表すことができる。
Z=a+bX+cY+dXY+eX2+fY2
上記式中、a,b,c,d,e,fは定数であり、X,Y,Zは変数である。ここで、X,Yは、マスクブランクの主面もしくは裏面の最小二乗平面において、基板中央を原点とする直交座標系である。Zは、X,Y軸と直交する座標系で、点(X,Y)におけるマスクブランクの主面もしくは裏面を表す。
上述したように、表面形状の二次関数成分は、下記式で表すことができる。
Z=a+bX+cY+dXY+eX2+fY2
上記式中、a,b,c,d,e,fは定数であり、X,Y,Zは変数である。ここで、X,Yは、マスクブランクの主面もしくは裏面の最小二乗平面において、基板中央を原点とする直交座標系である。Zは、X,Y軸と直交する座標系で、点(X,Y)におけるマスクブランクの主面もしくは裏面を表す。
測定結果を二次関数フィッティングして得られた定数a〜fより、中心座標(Xc,Yc)を下式から得る。
Xc=b/(2e)
Yc=c/(2f)
なお、基板中央座標Cは、EUVL用反射型マスクブランクの作製過程のいずれの段階で求めてもよい。したがって、反射層2、吸収層3、および、導電膜(裏面導電膜)4を形成する前の基板1の段階で測定してもよく、反射層2の形成後に測定してもよく、吸収層3の形成後に測定してもよく、導電膜(裏面導電膜)4の形成後に測定してもよく、作製後のEUVL用反射型マスクブランクの段階で測定してもよい。
以下に示す条件(1)を満たしていれば、上記で定義した表面形状の二次関数成分の占める比率が35%以上となる。
(1)上記の手順で求まる中心座標F,Bと、基板中央座標Cとの距離が0.5mm以下である。
条件(1)に関して、中心座標F,Bと、基板中央座標Cとの距離は0.4mm以下であることが好ましく、0.35mm以下であることがより好ましい。
まず始めに、反射層2、吸収層3、および、導電膜(裏面導電膜)4を形成する前の基板1の主面および裏面の品質保証領域の形状をレーザ干渉計で測定する(測定1)。基板1の主面の品質保証領域は、142×142mmの領域である。一方、基板1の裏面の品質保証領域は、146×146mmの領域である。
次に、反射層2、吸収層3、および、導電膜(裏面導電膜)4を形成した後のEUVL用反射型マスクブランクの主面および裏面の品質保証領域の形状をレーザ干渉計で測定する(測定2)。図1に示す構成の場合、EUVL用反射型マスクブランクの主面は吸収層3表面である。吸収層3上に低反射層が形成されている場合は低反射層表面である。一方、EUVL用反射型マスクブランクの裏面は導電膜(裏面導電膜)4表面である。吸収層3表面の品質保証領域は、および、低反射層表面の品質保証領域は142×142mmの領域である。一方、導電膜(裏面導電膜)4表面の品質保証領域、は、146×146mmの領域である。
上記測定1,2の結果の差分を取り、上述したのと同様の手順で二次関数フィッティングして中心座標ΔF,ΔBを得る。ここで、中心座標ΔFはEUVL用反射型マスクブランクの主面側の中心座標であり、中心座標ΔBはEUVL用反射型マスクブランクの裏面側の中心座標である。なお、中心座標ΔF,ΔBは、いずれも上述した手順では(Xc,Yc)とする。
以下に示す条件(2)を満たしていれば、上記で定義した表面形状の二次関数成分の占める比率が35%以上となる。
(2)上記の手順で求まる中心座標ΔF,ΔBと、基板中央座標Cとの距離が0.5mm以下である。
条件(2)に関して、中心座標ΔF,ΔBと、基板中央座標Cと、の距離は0.4mm以下であることが好ましく、0.35mm以下であることがより好ましい。
(a)反射層2として用いられる多層反射膜を構成する各層の膜厚分布を、該層の平均膜厚の0.5%以下とする方法。あるいは、多層反射膜を構成する各層の膜厚分布を累積したものが関係するEUV反射率の中心波長の面内分布と平均波長を用いて、EUV反射率の中心波長の面内分布を、平均中心波長の0.5%以下とする方法。
(b)吸収層3の膜厚分布を該吸収層3の平均膜厚の1.3%以下とする方法。吸収層3は、所望のマスクパターンを得るために膜応力(絶対値)は200MPa以下と規定されているため(たとえば、SEMIスタンダードP38−1102、表9)、膜応力による変形が比較的小さいため、400〜500MPaの膜応力を有する反射層(多層反射膜)2と比べて大きな膜厚分布が許容される。
(c)吸収層3上に低反射層が形成されている場合、該低反射層の膜厚分布を該低反射層の平均膜厚の1.3%以下とする方法。低反射層は、所望のマスクパターンを得るために膜応力(絶対値)は200MPa以下と規定されているため(たとえば、SEMIスタンダードP38−1102、表9)、膜応力による変形が比較的小さいため、400〜500MPaの膜応力を有する反射層(多層反射膜)2と比べて大きな膜厚分布が許容される。
(d)導電膜(裏面導電膜)4における膜厚分布を該導電膜(裏面導電膜)4の平均膜厚の0.5%以下とする方法。導電膜(裏面導電膜4)は、表面に形成される膜の応力を相殺し、小さなブランク平坦度を得るために、反射層(多層反射膜)2と同程度の比較的高い膜応力を有する。
(e)公知の方法(たとえば、特許4862892号に記載の方法)を用いて、反射層2、吸収層3、導電膜(裏面導電膜)4を、基板1の主面もしくは裏面の全面ではなくその一部のみに形成し、この際の膜形成エリアを基板中央に関して回転対称を有する形状とし、かつ膜形成エリアの中心を基板中心から0.5mm以下の位置とする方法。
上記(a)〜(e)のうち、いずれか1つを実施してもよいし、複数を実施してもよい。また、上記(e)については、反射層2、吸収層3、導電膜(裏面導電膜)4のうち、いずれか1つについてのみこの手順を採用してもよく、これらのうち、2以上についてこの手順を採用してもよい。また、反射層2上に保護層が形成されている場合、吸収層3上に低反射層が形成されている場合は、これらの形成を上記と同様の手順で実施してもよい。
この場合、加熱処理の実施前後に、主面および裏面の品質保証領域の形状をレーザ干渉計で測定し、加熱処理の形成前後の測定結果の差分を取り、上述したのと同様の手順で二次関数フィッティングして中心座標ΔFh,ΔBhを得る。
そして、中心座標ΔFh,ΔBhと、基板中央座標Cと、の距離が0.5mm以下であることが、上記で定義した表面形状の二次関数成分の占める比率が35%以上となる本発明のEUVL用反射型マスクブランクを得るうえで好ましく、0.4mm以下であることがより好ましく、0.35mm以下であることがさらに好ましい。
反射層2の形成後に加熱処理が施される場合は、EUVL用反射型マスクブランクの主面は、反射層2表面(反射層2上に保護層が形成される場合は該保護層表面)である。一方、EUVL用反射型マスクブランクの裏面は、基板1の裏面または導電膜(裏面導電膜)4表面である。なお、基板1の裏面が、EUVL用反射型マスクブランクの裏面となる場合は、反射層2形成後(保護層形成後)の加熱処理実施後に導電膜(裏面導電膜)4が形成される場合である。一方、導電膜(裏面導電膜)4表面が、EUVL用反射型マスクブランクの裏面となる場合は、反射層2形成後(保護層形成後)の加熱処理実施前に導電膜(裏面導電膜)4が形成される場合である。
吸収層3の形成後に加熱処理が施される場合は、EUVL用反射型マスクブランクの主面は、吸収層3表面(吸収層3上に低反射層が形成される場合は該低反射層表面)である。一方、EUVL用反射型マスクブランクの裏面は、基板1の裏面または導電膜(裏面導電膜)4表面である。なお、基板1の裏面が、EUVL用反射型マスクブランクの裏面となる場合は、吸収層3形成後(低反射層形成後)の加熱処理実施後に導電膜(裏面導電膜)4が形成される場合である。一方、導電膜(裏面導電膜)4表面が、EUVL用反射型マスクブランクの裏面となる場合は、吸収層3形成後(低反射層形成後)の加熱処理実施前に導電膜(裏面導電膜)4が形成される場合である。
導電膜(裏面導電膜)4の形成後に加熱処理が施される場合は、EUVL用反射型マスクブランクの主面は、基板1の主面、反射層2表面(反射層2上に保護層が形成される場合は該保護層表面)、または吸収層3表面(吸収層3上に低反射層が形成される場合は該低反射層表面)である。なお、基板1の主面が、導電膜(裏面導電膜)4の形成前後の主面となる場合は、導電膜(裏面導電膜)4の形成後に反射層2が形成される場合である。一方、反射層2表面(反射層2上に保護層が形成される場合は該保護層表面)が、導電膜(裏面導電膜)4の形成前後の主面となる場合は、導電膜(裏面導電膜)4の形成前に反射層2が形成される場合である。吸収層3表面(吸収層3上に低反射層が形成される場合は低反射層表面)が、導電膜(裏面導電膜)4の形成前後の主面となる場合は、導電膜(裏面導電膜)4の形成前に吸収層3(低反射層)が形成される場合である。
基板1の主面の品質保証領域、反射層2表面(保護層表面)の品質保証領域、吸収層3表面(低反射層表面)の品質保証領域、基板1の裏面の品質保証領域、および、導電膜(裏面導電膜)4の品質保証領域については上述した通りである。
本実施例では、成膜用の基板1として、SiO2−TiO2系のガラス基板(外形6インチ(152mm)角、厚さが6.35mm)を使用する。基板1の主面および裏面の品質保証領域の形状をレーザ干渉計(「Zygo社製Verifire、MarkIVや、フジノン社製G310S、Tropel社製FlatMasterなど」)で測定して、該主面および裏面の品質保証領域の平坦度を求める。また、レーザ干渉計による測定結果を二次関数フィッティングして、二次関数フィッティングの中心座標F0,B0を求める。基板1の主面の品質保証領域は142×142mmの領域である。基板1の裏面の品質保証領域は146×146mmの領域である。
次に、スパッタリング法を用いて、基板1の裏面に厚さ360nmのCrN膜を導電膜(裏面導電膜)4として形成する。次に、スパッタリング法を用いて、基板1の主面に、Si膜およびMo膜を交互に成膜することを40周期繰り返すことにより、合計膜厚272nm((4.5nm+2.3nm)×40)のMo/Si多層反射膜を反射層2として形成する。次に、スパッタリング法を用いて、Mo/Si多層反射膜(反射層2)上に、Ru膜(膜厚2.5nm)を保護層として形成する。次に、スパッタリング法を用いて、Ru膜(保護層)上に、TaN膜(膜厚77nm)を吸収層3として形成する。次に、スパッタリング法を用いて、TaN膜(吸収層3)上に、TaON膜(膜厚7nm)を低反射層として形成する。次に、TaON膜(低反射層)の形成後、大気雰囲気下、136℃で20分間加熱処理して、EUVL用反射型マスクブランクを作製する。なお、低反射層が構成材料に酸素を含まない場合は、該低反射層の形成後、窒素雰囲気下、若しくは、不活性ガス雰囲気下にて、加熱処理を実施する。
次に、加熱処理の実施後、EUVL用反射型マスクブランクの主面および裏面の品質保証領域の形状をレーザ干渉計で測定する。EUVL用反射型マスクブランクの主面は低反射層(TaON膜)表面である。一方、EUVL用反射型マスクブランクの裏面は導電膜(裏面導電膜)(CrN膜)4表面である。低反射層(TaON膜)表面の品質保証領域は142×142mmの領域である。一方、導電膜(裏面導電膜)(CrN膜)4表面の品質保証領域、は、146×146mmの領域である。
レーザ干渉計による測定結果から、EUVL用反射型マスクブランクの主面および裏面の品質保証領域の平坦度を求める。
また、レーザ干渉計による測定結果を二次関数フィッティングする。二次関数フィッティングの結果から、上記で定義した表面形状の二次関数成分の占める比率、および、二次関数フィッティングの中心座標F,Bを得る。
上記の手順で求まる中心座標F,Bのうち、上記で定義した表面形状の二次関数成分の占める比率が小さい側の中心座標(FまたはB)と、基板中央座標Cとの距離を求め、Lフ゛ランク(mm)とする。
また、上記の手順で求まる中心座標ΔF,ΔBのうち、上記で定義した表面形状の二次関数成分の占める比率が小さい側の中心座標(ΔFまたはΔB)と、基板中央座標Cと、の距離を求め、L変形(mm)とする。
また、マスクブランクの平坦度を多項式近似した場合に、縮小投影露光時に補正することができない3次以上の高次多項式成分による重ね合わせ誤差を以下の手順で求める。
非特許文献1に記載の手順でマスクを作製してウェハーへの露光試験を行い、重ね合せ精度を求めると表1に示す値となる。この際、二次関数成分は、非特許文献2および3に記載の手順にしたがって、露光時の倍率補正などにより補正できる。
これらの結果を下記表に示す。
また、ブランク平坦度起因の重ね合せ誤差と、ブランク平坦度のうち、二次関数成分が占める比率との関係を図2に示す。図2から明らかなように、ブランク平坦度のうち、二次関数成分が占める比率が35%以上であれば、ブランク平坦度起因の重ね合せ誤差が2.2nm以下と小さくなる。
ブランク平坦度のうち、二次関数成分が占める比率と、中心座標F,Bのうち、上記で定義した表面形状の二次関数成分の占める比率が小さい側の中心座標(FまたはB)と、基板中央座標Cと、の距離(Lフ゛ランク)、および、中心座標ΔF,ΔBのうち、上記で定義した表面形状の二次関数成分の占める比率が小さい側の中心座標(ΔFまたはΔB)と、基板中央座標Cと、の距離L変形との関係を図3に示す。図3から明らかなように、Lフ゛ランク、または、L変形を0.5mm以下とすれば、ブランク平坦度に占める二次関数成分の比率を安定して35%以上とすることができ、縮小投影露光機によるマスク上パターンをウェハー上に転写する際の重ね合わせ誤差を十分に小さくすることができる。
2:反射層(多層反射膜)
3:吸収層
4:(裏面)導電膜
Claims (6)
- 基板の主面上に、EUV光を反射する反射層と、EUV光を吸収する吸収層と、がこの順に形成され、前記基板の前記主面に対向する裏面上に導電膜が形成されたEUVリソグラフィ用反射型マスクブランクであって、前記EUVL用反射型マスクブランクの前記主面および前記裏面の品質保証領域の形状をレーザ干渉計で測定し、得られた測定値を二次関数フィッティングした場合に、二次関数成分の占める比率が35%以上であり、かつ、前記主面および裏面の品質保証領域の平坦度が600nm以下であることを特徴とするEUVL用反射型マスクブランク。
- 基板の主面上に、EUV光を反射する反射層と、EUV光を吸収する吸収層と、がこの順に形成され、前記基板の前記主面に対向する裏面上に導電膜が形成されたEUVリソグラフィ用反射型マスクブランクであって、前記EUVL用反射型マスクブランクの前記主面および前記裏面の品質保証領域の形状をレーザ干渉計で測定し、得られた測定値を二次関数フィッティングした場合に得られる中心座標F,Bと、基板中央座標Cとの距離が0.5mm以下であり、かつ、前記主面および裏面の品質保証領域の平坦度が600nm以下であることを特徴とするEUVL用反射型マスクブランク。
- 基板の主面上に、EUV光を反射する反射層と、EUV光を吸収する吸収層と、がこの順に形成され、前記基板の前記主面に対向する裏面上に導電膜が形成されたEUVリソグラフィ用反射型マスクブランクであって、
前記EUVL用反射型マスクブランクの前記主面および前記裏面の品質保証領域の形状、ならびに、前記反射層、前記吸収層、および、前記導電膜を形成する前の前記基板の前記主面および前記裏面の品質保証領域の形状を、それぞれレーザ干渉計で測定し、前記EUVL用反射型マスクブランクの前記主面および前記裏面の品質保証領域の形状と、前記基板の前記主面および前記裏面の品質保証領域の形状と、の差分を二次関数フィッティングした場合に得られる中心座標ΔF,ΔBと、基板中央座標Cとの距離が0.5mm以下であり、かつ、前記主面および裏面の品質保証領域の平坦度が600nm以下であることを特徴とするEUVL用反射型マスクブランク。 - 前記反射層、前記吸収層、および、前記導電膜からなる群から選択される少なくとも1つの形成後に加熱処理が施されており、前記加熱処理の実施前後に、前記主面および裏面の品質保証領域の形状を、それぞれレーザ干渉計で測定し、前記加熱処理の実施前後での前記主面および裏面の品質保証領域の形状の差分を二次関数フィッティングした場合に得られる中心座標ΔFh,ΔBhと、前記基板中央座標Cとの距離が0.5mm以下である、請求項2または3に記載のEUVL用反射型マスクブランク。
- 前記反射層と前記吸収層との間に、前記反射層の保護層が形成されている、請求項1〜4のいずれかに記載のEUVL用反射型マスクブランク。
- 前記吸収層上に、マスクパターンの検査に使用する検査光における低反射層が形成されている、請求項1〜5のいずれかに記載のEUVL用反射型マスクブランク。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015115884 | 2015-06-08 | ||
JP2015115884 | 2015-06-08 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017003977A true JP2017003977A (ja) | 2017-01-05 |
JP6601313B2 JP6601313B2 (ja) | 2019-11-06 |
Family
ID=57452593
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016103127A Active JP6601313B2 (ja) | 2015-06-08 | 2016-05-24 | Euvリソグラフィ用反射型マスクブランク |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10928721B2 (ja) |
JP (1) | JP6601313B2 (ja) |
KR (1) | KR102612131B1 (ja) |
TW (1) | TWI694304B (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019117296A (ja) * | 2017-12-27 | 2019-07-18 | Hoya株式会社 | 導電膜付き基板、多層反射膜付き基板、反射型マスクブランク、反射型マスク及び半導体装置の製造方法 |
JP2021056484A (ja) * | 2019-09-26 | 2021-04-08 | エスアンドエス テック カンパニー リミテッド | 極紫外線リソグラフィ用ペリクル及びその製造方法 |
Families Citing this family (39)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI763686B (zh) | 2016-07-27 | 2022-05-11 | 美商應用材料股份有限公司 | 具有合金吸收劑的極紫外線遮罩坯料、製造極紫外線遮罩坯料的方法以及極紫外線遮罩坯料生產系統 |
TWI811037B (zh) | 2016-07-27 | 2023-08-01 | 美商應用材料股份有限公司 | 具多層吸收劑的極紫外遮罩坯料及製造方法 |
JP6229807B1 (ja) * | 2017-02-22 | 2017-11-15 | 旭硝子株式会社 | マスクブランク |
EP3438749A1 (en) * | 2017-08-01 | 2019-02-06 | ASML Netherlands B.V. | Methods of determining a mechanical property of a layer applied to a substrate, control system for a lithographic apparatus and lithographic apparatus |
US10552569B2 (en) * | 2017-09-11 | 2020-02-04 | Globalfoundries Inc. | Method for calculating non-correctable EUV blank flatness for blank dispositioning |
KR102374206B1 (ko) | 2017-12-05 | 2022-03-14 | 삼성전자주식회사 | 반도체 장치 제조 방법 |
TW202008073A (zh) * | 2018-07-19 | 2020-02-16 | 美商應用材料股份有限公司 | 極紫外光遮罩吸收劑材料 |
US11119398B2 (en) * | 2018-09-28 | 2021-09-14 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | EUV photo masks |
TW202026770A (zh) | 2018-10-26 | 2020-07-16 | 美商應用材料股份有限公司 | 用於極紫外線掩模吸收劑的ta-cu合金材料 |
US11194244B2 (en) | 2018-12-21 | 2021-12-07 | Applied Materials, Inc. | Extreme ultraviolet mask absorber and processes for manufacture |
TWI828843B (zh) | 2019-01-31 | 2024-01-11 | 美商應用材料股份有限公司 | 極紫外線(euv)遮罩素材及其製造方法 |
TW202035792A (zh) | 2019-01-31 | 2020-10-01 | 美商應用材料股份有限公司 | 極紫外光遮罩吸收體材料 |
US11249390B2 (en) | 2019-01-31 | 2022-02-15 | Applied Materials, Inc. | Extreme ultraviolet mask absorber materials |
US11639544B2 (en) | 2019-03-01 | 2023-05-02 | Applied Materials, Inc. | Physical vapor deposition system and processes |
TWI818151B (zh) | 2019-03-01 | 2023-10-11 | 美商應用材料股份有限公司 | 物理氣相沉積腔室及其操作方法 |
TW202043905A (zh) | 2019-03-01 | 2020-12-01 | 美商應用材料股份有限公司 | 物理氣相沉積系統與處理 |
TW202104667A (zh) | 2019-05-22 | 2021-02-01 | 美商應用材料股份有限公司 | 極紫外光遮罩吸收材料 |
US11275304B2 (en) | 2019-05-22 | 2022-03-15 | Applied Materials Inc. | Extreme ultraviolet mask absorber matertals |
TWI836072B (zh) | 2019-05-22 | 2024-03-21 | 美商應用材料股份有限公司 | 具有嵌入吸收層之極紫外光遮罩 |
TW202104666A (zh) | 2019-05-22 | 2021-02-01 | 美商應用材料股份有限公司 | 極紫外光遮罩吸收劑材料 |
TWI836073B (zh) | 2019-05-22 | 2024-03-21 | 美商應用材料股份有限公司 | 極紫外光遮罩坯體及其製造方法 |
US11385536B2 (en) | 2019-08-08 | 2022-07-12 | Applied Materials, Inc. | EUV mask blanks and methods of manufacture |
US11630385B2 (en) | 2020-01-24 | 2023-04-18 | Applied Materials, Inc. | Extreme ultraviolet mask absorber materials |
TWI817073B (zh) | 2020-01-27 | 2023-10-01 | 美商應用材料股份有限公司 | 極紫外光遮罩坯體硬遮罩材料 |
TW202131087A (zh) | 2020-01-27 | 2021-08-16 | 美商應用材料股份有限公司 | 極紫外光遮罩吸收劑材料 |
TW202129401A (zh) | 2020-01-27 | 2021-08-01 | 美商應用材料股份有限公司 | 極紫外線遮罩坯體硬遮罩材料 |
US11111176B1 (en) * | 2020-02-27 | 2021-09-07 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus of processing transparent substrates |
TW202141165A (zh) | 2020-03-27 | 2021-11-01 | 美商應用材料股份有限公司 | 極紫外光遮罩吸收材料 |
TWI836207B (zh) | 2020-04-17 | 2024-03-21 | 美商應用材料股份有限公司 | 極紫外光遮罩吸收材料 |
US11300871B2 (en) | 2020-04-29 | 2022-04-12 | Applied Materials, Inc. | Extreme ultraviolet mask absorber materials |
TW202202641A (zh) | 2020-07-13 | 2022-01-16 | 美商應用材料股份有限公司 | 極紫外線遮罩吸收劑材料 |
US11609490B2 (en) | 2020-10-06 | 2023-03-21 | Applied Materials, Inc. | Extreme ultraviolet mask absorber materials |
US20220137500A1 (en) * | 2020-10-30 | 2022-05-05 | AGC Inc. | Glass substrate for euvl, and mask blank for euvl |
KR20220058424A (ko) * | 2020-10-30 | 2022-05-09 | 에이지씨 가부시키가이샤 | Euvl용 유리 기판, 및 euvl용 마스크 블랭크 |
US11513437B2 (en) | 2021-01-11 | 2022-11-29 | Applied Materials, Inc. | Extreme ultraviolet mask absorber materials |
US11592738B2 (en) | 2021-01-28 | 2023-02-28 | Applied Materials, Inc. | Extreme ultraviolet mask absorber materials |
US20220382148A1 (en) * | 2021-05-28 | 2022-12-01 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Extreme ultraviolet mask with alloy based absorbers |
US11815803B2 (en) | 2021-08-30 | 2023-11-14 | Applied Materials, Inc. | Multilayer extreme ultraviolet reflector materials |
US11782337B2 (en) | 2021-09-09 | 2023-10-10 | Applied Materials, Inc. | Multilayer extreme ultraviolet reflectors |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004296939A (ja) * | 2003-03-27 | 2004-10-21 | Toshiba Corp | 位置歪み補正装置、露光システム、露光方法及び位置歪み補正プログラム |
WO2004099874A1 (ja) * | 2003-04-16 | 2004-11-18 | Nikon Corporation | パターン決定方法及びシステム、マスクの製造方法、結像性能調整方法、露光方法及び装置、並びにプログラム及び情報記録媒体 |
WO2012102313A1 (ja) * | 2011-01-26 | 2012-08-02 | 旭硝子株式会社 | フォトマスクの製造方法 |
WO2013077430A1 (ja) * | 2011-11-25 | 2013-05-30 | 旭硝子株式会社 | Euvリソグラフィ用反射型マスクブランクおよびその製造方法 |
WO2014203961A1 (ja) * | 2013-06-21 | 2014-12-24 | Hoya株式会社 | マスクブランク用基板、マスクブランク、転写用マスク及びこれらの製造方法並びに半導体デバイスの製造方法 |
JP2015040985A (ja) * | 2013-08-22 | 2015-03-02 | Hoya株式会社 | マスクブランク用基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、転写用マスクの製造方法、及び半導体デバイスの製造方法 |
JP2015068919A (ja) * | 2013-09-27 | 2015-04-13 | Hoya株式会社 | マスクブランク用基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、転写用マスクの製造方法、及び半導体デバイスの製造方法 |
JP2016004821A (ja) * | 2014-06-13 | 2016-01-12 | 旭硝子株式会社 | マスクブランク用ガラス基板の製造方法 |
WO2016098452A1 (ja) * | 2014-12-19 | 2016-06-23 | Hoya株式会社 | マスクブランク用基板、マスクブランク及びこれらの製造方法、転写用マスクの製造方法並びに半導体デバイスの製造方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AU5597000A (en) | 1999-06-07 | 2000-12-28 | Regents Of The University Of California, The | Coatings on reflective mask substrates |
US6737201B2 (en) * | 2000-11-22 | 2004-05-18 | Hoya Corporation | Substrate with multilayer film, reflection type mask blank for exposure, reflection type mask for exposure and production method thereof as well as production method of semiconductor device |
JP2002299228A (ja) | 2001-04-03 | 2002-10-11 | Nikon Corp | レチクル、それを用いた露光装置及び露光方法 |
JP3806711B2 (ja) | 2002-09-11 | 2006-08-09 | Hoya株式会社 | 反射型マスクブランク及び反射型マスクの製造方法、並びに半導体装置の製造方法 |
EP2323138B1 (en) * | 2008-09-12 | 2013-10-23 | Asahi Glass Company, Limited | Method for smoothing optical member for euvl |
WO2013146990A1 (ja) * | 2012-03-28 | 2013-10-03 | Hoya株式会社 | マスクブランク用基板、多層反射膜付き基板、透過型マスクブランク、反射型マスクブランク、透過型マスク、反射型マスク及び半導体装置の製造方法 |
-
2016
- 2016-05-18 TW TW105115339A patent/TWI694304B/zh active
- 2016-05-24 JP JP2016103127A patent/JP6601313B2/ja active Active
- 2016-05-31 US US15/168,572 patent/US10928721B2/en active Active
- 2016-05-31 KR KR1020160067108A patent/KR102612131B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004296939A (ja) * | 2003-03-27 | 2004-10-21 | Toshiba Corp | 位置歪み補正装置、露光システム、露光方法及び位置歪み補正プログラム |
WO2004099874A1 (ja) * | 2003-04-16 | 2004-11-18 | Nikon Corporation | パターン決定方法及びシステム、マスクの製造方法、結像性能調整方法、露光方法及び装置、並びにプログラム及び情報記録媒体 |
WO2012102313A1 (ja) * | 2011-01-26 | 2012-08-02 | 旭硝子株式会社 | フォトマスクの製造方法 |
WO2013077430A1 (ja) * | 2011-11-25 | 2013-05-30 | 旭硝子株式会社 | Euvリソグラフィ用反射型マスクブランクおよびその製造方法 |
WO2014203961A1 (ja) * | 2013-06-21 | 2014-12-24 | Hoya株式会社 | マスクブランク用基板、マスクブランク、転写用マスク及びこれらの製造方法並びに半導体デバイスの製造方法 |
JP2015040985A (ja) * | 2013-08-22 | 2015-03-02 | Hoya株式会社 | マスクブランク用基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、転写用マスクの製造方法、及び半導体デバイスの製造方法 |
JP2015068919A (ja) * | 2013-09-27 | 2015-04-13 | Hoya株式会社 | マスクブランク用基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、転写用マスクの製造方法、及び半導体デバイスの製造方法 |
JP2016004821A (ja) * | 2014-06-13 | 2016-01-12 | 旭硝子株式会社 | マスクブランク用ガラス基板の製造方法 |
WO2016098452A1 (ja) * | 2014-12-19 | 2016-06-23 | Hoya株式会社 | マスクブランク用基板、マスクブランク及びこれらの製造方法、転写用マスクの製造方法並びに半導体デバイスの製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019117296A (ja) * | 2017-12-27 | 2019-07-18 | Hoya株式会社 | 導電膜付き基板、多層反射膜付き基板、反射型マスクブランク、反射型マスク及び半導体装置の製造方法 |
JP2021056484A (ja) * | 2019-09-26 | 2021-04-08 | エスアンドエス テック カンパニー リミテッド | 極紫外線リソグラフィ用ペリクル及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6601313B2 (ja) | 2019-11-06 |
TW201704851A (zh) | 2017-02-01 |
KR102612131B1 (ko) | 2023-12-08 |
TWI694304B (zh) | 2020-05-21 |
KR20160144312A (ko) | 2016-12-16 |
US20160357100A1 (en) | 2016-12-08 |
US10928721B2 (en) | 2021-02-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6601313B2 (ja) | Euvリソグラフィ用反射型マスクブランク | |
US9423684B2 (en) | Reflective mask blank for EUV lithography and process for its production | |
US7910264B2 (en) | Reflective mask blank for exposure, reflective mask for exposure, method of producing a semiconductor device, and substrate provided with multilayer reflective film | |
US8241821B2 (en) | Reflective mask blank for EUV lithography, process for producing the same and mask for EUV lithography | |
US6737201B2 (en) | Substrate with multilayer film, reflection type mask blank for exposure, reflection type mask for exposure and production method thereof as well as production method of semiconductor device | |
JP3939132B2 (ja) | 多層膜付き基板、露光用反射型マスクブランク、露光用反射型マスクおよびその製造方法、並びに半導体の製造方法 | |
TWI454833B (zh) | 反射型光罩基底及反射型光罩之製造方法 | |
US8389184B2 (en) | Reflective mask blank and method of manufacturing a reflective mask | |
JP4856798B2 (ja) | 反射型マスクブランクの製造方法及び反射型マスクの製造方法、並びに半導体装置の製造方法 | |
KR102476861B1 (ko) | Euv 리소그래피용 반사형 마스크 블랭크 및 그 제조 방법, 그리고 그 마스크 블랭크용의 반사층이 부착된 기판 및 그 제조 방법 | |
US9261773B2 (en) | Reflective mask blank for EUV lithography, and reflective layer-coated substrate for EUV lithography | |
KR20160054458A (ko) | 다층 반사막을 구비한 기판, euv 리소그래피용 반사형 마스크 블랭크, euv 리소그래피용 반사형 마스크 및 그 제조 방법과 반도체 장치의 제조 방법 | |
US20220121102A1 (en) | Reflective mask blank, reflective mask, method for producing same, and method for producing semiconductor device | |
JP2012159855A (ja) | マスクブランクの製造方法及びマスクの製造方法 | |
JP2021105727A (ja) | 反射型マスク、並びに反射型マスクブランク及び半導体装置の製造方法 | |
JP5761000B2 (ja) | Euvリソグラフィ用反射型マスクブランクの製造方法およびeuvリソグラフィ用反射型マスクの製造方法 | |
WO2022149417A1 (ja) | マスクブランク用基板、多層反射膜付基板、マスクブランク、転写用マスクの製造方法、及び半導体デバイスの製造方法 | |
US20220179304A1 (en) | Mask blank substrate, substrate with multi-layer reflective coating, reflection-type mask blank, reflection-type mask, transmission-type mask blank, transmission-type mask, and semiconductor device production method | |
WO2012114980A1 (ja) | Euvリソグラフィ用反射型マスクブランク |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190129 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190709 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190822 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20190822 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190910 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190923 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6601313 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |