JP2016502136A - Euvコレクター - Google Patents
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Abstract
Description
に対してそれにも関わらず明示的には示されていないこれらの表現式は、反射の法則から簡単な方式でもたらされる。伝達率の評価に必要とされる入射角α1及びα2も同じく直接得られる。
14 EUV放射線
15 コレクター
23 法線入射ミラーコレクターサブユニット
30 かすめ入射ミラーコレクターサブユニット
Claims (12)
- EUV放射線源(3)からのEUV放射線(14)を照明遠視野(17a)内に伝達するためのEUVコレクター(15)であって、
前記放射線源(3)からの前記EUV放射線(14)を前記照明遠視野(17a)に伝達する法線入射のための少なくとも1つのミラー(23;23,45)を含む少なくとも1つの法線入射ミラーコレクターサブユニット(23;44;49)を含み、
前記放射線源(3)からの前記EUV放射線(14)を前記照明遠視野(17a)に伝達するかすめ入射のための少なくとも1つのミラー(30;30,36,37;30,36,37,42,43;30,48;30,51)を含む少なくとも1つのかすめ入射ミラーコレクターサブユニット(30;35;41;47;50)を含み、
前記コレクターサブユニット(23,30;23,35;23,41;44,47;49,30;49,50)の配置が、異なるコレクタービーム経路を通して少なくとも同じく前記法線入射ミラーコレクターサブユニット(23;44;49)での反射によって生成される法線入射ミラー強度分布(IN)と、少なくとも同じく前記かすめ入射ミラーコレクターサブユニット(30;35;41;47;50)での反射によって生成されるかすめ入射ミラー強度分布(IG)とで構成される前記遠視野(17a)にわたる前記EUV放射線(14)の全体強度分布(I(r))がもたらされるようなものであり、全体遠視野(17a)の40%よりも大きい少なくとも該遠視野(17a)の区画(r1<r<r3)にわたる該全体強度分布(I(r))は、該遠視野(17a)の該区画(r1<r<r3)内の平均強度(C・Imax)から20%未満だけずれる、
ことを特徴とするコレクター(15)。 - 前記遠視野(17a)内で前記法線入射ミラー強度分布(IN)が前記かすめ入射ミラー強度分布(IG)内に連続的に融合するような前記コレクターサブユニット(23,30;23,35;23,41;44,47;49,30;49,50)の配置を特徴とする請求項1に記載のコレクター。
- 前記法線入射ミラー強度分布(IN)を生成する前記コレクタービーム経路の前記EUV放射線(14)の反射の回数が、前記放射線源(3)と下流に配置することができる該EUV放射線(14)のためのビーム案内構成要素(17)との間で前記かすめ入射ミラー強度分布(IG)を生成する該コレクタービーム経路の該EUV放射線(14)の反射の回数からずれるような前記コレクターサブユニット(23,35;23,41;44,47)の配置を特徴とする請求項1又は請求項2に記載のコレクター。
- 前記EUV放射線(14)は、コレクター(15)の中心軸(24)に関して内側と外側の両方から前記コレクターサブユニット(47)のうちの1つのミラー(30,48)上に入射することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のコレクター。
- 前記サブユニットのうちの少なくとも1つ(50)が、外乱光の異なる成分を抑制するための異なる格子周期を有する回折格子(59,60)を有することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のコレクター。
- 少なくとも1つのサブユニット(35)に連続して入射される異なるミラー(36,37)が、外乱光の異なる成分を抑制するための異なる格子周期を有する回折格子(59,60)を有することを特徴とする請求項5に記載のコレクター。
- コレクター(15)によって集光されるEUV放射線(14)を照明光として案内するための少なくとも1つのファセットミラー(17,18)を有する結像光学ユニット(9)によって結像することができる物体視野(5)を照明するための請求項1から請求項6のいずれか1項に記載のコレクター(15)、
を含むことを特徴とする照明光学ユニット(4)。 - 前記ファセットミラー(17)の全体反射面(53)の外側輪郭(55)が、該ファセットミラー(17)の場所での前記コレクター(15)の照明遠視野(17a)の外側強度領域(56)と少なくとも同じサイズのものであることを特徴とする請求項7に記載の照明光学ユニット。
- 請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の照明光学ユニットを含み、かつ
少なくとも1つのEUV放射線源(3)を含む、
ことを特徴とする照明系。 - 請求項9に記載の照明系を含み、
物体視野(5)を像視野(10)内に結像するための結像光学ユニット(9)を含む、
ことを特徴とする投影露光装置(1)。 - 微細構造化構成要素を生成する方法であって、
レチクル(7)を与える段階と、
照明光ビーム(14)に対して感光性であるコーティングを有するウェーハ(12)を与える段階と、
請求項10に記載の投影露光装置を用いて前記レチクルの少なくとも1つの区画を前記ウェーハ(12)上に投影する段階と、
前記ウェーハ(12)上に前記照明光ビーム(14)によって露光された前記感光層を現像する段階と、
を含むことを特徴とする方法。 - 請求項11に記載の方法に従って生成された構成要素。
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