JP2016225355A - 試料保持具およびこれを用いたプラズマエッチング装置 - Google Patents
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Abstract
Description
う可能性を低減できる。
試料保持面11の均熱性を向上させることができる。
11 :試料保持面
12 :穴部
13 :凹部
2 :静電吸着用電極
3 :発熱抵抗体
4 :電極
41 :第1部分
42 :第2部分
5 :外部端子接続用ピン
6 :ベースプレート
7 :絶縁層
8 :樹脂層
10 :試料保持具
100:プラズマエッチング装置
Claims (4)
- 一方の主面に試料保持面を有するセラミック体と、該セラミック体の他方の主面に設けられた発熱抵抗体と、前記他方の主面に設けられて前記発熱抵抗体に接続された電極とを備えており、該電極は、一部が前記他方の主面から前記セラミック体の内部に入り込んでいることを特徴とする試料保持具。
- 前記セラミック体の前記他方の主面に凹部が設けられており、前記電極は、前記セラミック体の内部に入り込んでいる部分が前記凹部に向かって延びており、一部が前記凹部内に露出していることを特徴とする請求項1に記載の試料保持具。
- 前記凹部に絶縁性の樹脂が充填されていることを特徴とする請求項2に記載の試料保持具。
- 真空チャンバと、該真空チャンバ内に配置された高周波印加用電極を有するベースプレートと、該ベースプレートに搭載された請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の試料保持具とを備えたプラズマエッチング装置。
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