JP2020004809A - 保持装置 - Google Patents
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Abstract
Description
A−1.静電チャック100の構成:
図1は、第1実施形態における静電チャック100の外観構成を概略的に示す斜視図であり、図2は、第1実施形態における静電チャック100のXZ断面構成を概略的に示す説明図であり、図3は、第1実施形態における静電チャック100のXY平面(上面)構成を概略的に示す説明図である。各図には、方向を特定するための互いに直交するXYZ軸が示されている。本明細書では、便宜的に、Z軸正方向を上方向といい、Z軸負方向を下方向というものとするが、静電チャック100は実際にはそのような向きとは異なる向きで設置されてもよい。
次に、ヒータ電極層50の構成およびヒータ電極層50への給電のための構成について詳述する。上述したように、板状部材10には、ヒータ電極層50と、ヒータ電極層50への給電のためのドライバ51および各種ビア53,54とが配置されている。また、静電チャック100には、ヒータ電極層50への給電のための他の構成(後述する端子用孔Htに収容された給電端子72等)が設けられている。図4は、ヒータ電極層50およびヒータ電極層50への給電のための構成を模式的に示す説明図である。図4の上段には、板状部材10に配置されたヒータ電極層50の一部のYZ断面構成が模式的に示されており、図4の中段には、板状部材10に配置されたドライバ51の一部のXY平面構成が模式的に示されており、図4の下段には、ヒータ電極層50への給電のための他の構成のYZ断面構成が模式的に示されている。また、図5は、後述する端子用孔Htの周辺部(図4におけるX1部)のYZ断面構成を拡大して示す説明図である。
以上説明したように、第1実施形態の静電チャック100は、板状部材10と、ベース部材20と、接着部30とを備える。板状部材10は、Z軸方向に略直交する略平面状の吸着面S1と、吸着面S1とは反対側の下面S2とを有する。ベース部材20は、上面S3と、上面S3とは反対側の下面S4とを有し、上面S3が板状部材10の下面S2に対向するように配置されている。ベース部材20には、冷媒流路21と、上面S3から下面S4まで貫通する第1の貫通孔22とが形成されている。接着部30は、板状部材10の下面S2とベース部材20の上面S3との間に配置されて板状部材10とベース部材20とを接着する。接着部30には、ベース部材20の第1の貫通孔22と連通して、ベース部材20の第1の貫通孔22と共に端子用孔Htを構成する第2の貫通孔32が形成されている。また、第1実施形態の静電チャック100は、板状部材10に配置された複数のヒータ電極500と、ヒータ電極500に電気的に接続された複数の給電電極70と、凸状接続部76を有する給電端子72と、複数の凹状接続部91を有する接続部材90と、ケーブル80とを備える。複数の給電電極70は、板状部材10の下面S2の内、端子用孔Htの底面14を構成する領域に配置される。給電端子72の凸状接続部76は、端子用孔Ht内の各給電電極70上に設けられ、かつ、Z軸方向に延びている。接続部材90の各凹状接続部91は、給電端子72の凸状接続部76と嵌合して凸状接続部76と電気的に接続される。ケーブル80は、接続部材90の各凹状接続部91と電気的に接続される。また、本実施形態の静電チャック100では、各給電端子72の凸状接続部76は、所定の金属材料により形成されており、接続部材90の各凹状接続部91は、凸状接続部76の形成材料とは異なる所定の金属材料により形成されている。また、端子用孔Ht内の空間の内、Z軸方向において、少なくとも端子用孔Htの底面14から、接続部材90における上記底面14側とは反対側の端部96までの空間に、絶縁性樹脂82が充填されている。
図7は、第2実施形態の静電チャック100における端子用孔Htの周辺部のYZ断面構成を拡大して示す説明図である。以下では、第2実施形態の静電チャック100の構成の内、上述した第1実施形態の静電チャック100の構成と同一の構成については、同一の符号を付すことによってその説明を適宜省略する。
本明細書で開示される技術は、上述の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の形態に変形することができ、例えば次のような変形も可能である。
Claims (2)
- 第1の方向に略直交する略平面状の第1の表面と、前記第1の表面とは反対側の第2の表面と、を有する板状部材と、
前記板状部材に配置された複数のヒータ電極と、
第3の表面と、前記第3の表面とは反対側の第4の表面と、を有し、前記第3の表面が前記板状部材の前記第2の表面に対向するように配置され、前記第3の表面から前記第4の表面まで貫通する第1の貫通孔と、冷媒流路と、が形成されたベース部材と、
前記板状部材の前記第2の表面と前記ベース部材の前記第3の表面との間に配置されて前記板状部材と前記ベース部材とを接着すると共に、前記ベース部材の前記第1の貫通孔と連通して、前記第1の貫通孔と共に端子用孔を構成する第2の貫通孔が形成された接着部と、
前記板状部材の前記第2の表面の内、前記端子用孔の底面を構成する領域に配置され、前記ヒータ電極に電気的に接続された複数の給電電極と、
凸状接続部を有する給電端子であって、前記凸状接続部は、前記端子用孔内の各前記給電電極上に設けられ、かつ、前記第1の方向に延びている、給電端子と、
各前記凸状接続部と嵌合して前記凸状接続部と電気的に接続される複数の凹状接続部を有する接続部材と、
前記接続部材の各前記凹状接続部と電気的に接続されたケーブルと、
を備え、前記板状部材の前記第1の表面上に対象物を保持する保持装置において、
各前記給電端子の前記凸状接続部は、第1の金属材料により形成され、
前記接続部材の各前記凹状接続部は、前記第1の金属材料とは異なる第2の金属材料により形成され、
前記端子用孔内の空間の内、前記第1の方向において、少なくとも前記底面から、前記接続部材における前記底面側の端部までの空間に、絶縁性樹脂が充填されている、
ことを特徴とする保持装置。 - 請求項1に記載の保持装置において、
前記端子用孔内の空間の内、前記第1の方向において、少なくとも前記底面から、前記接続部材における前記底面側とは反対側の端部までの空間に、前記絶縁性樹脂が充填されている、
ことを特徴とする保持装置。
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JP2018121500A JP7139165B2 (ja) | 2018-06-27 | 2018-06-27 | 保持装置 |
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JP2018121500A JP7139165B2 (ja) | 2018-06-27 | 2018-06-27 | 保持装置 |
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JP7139165B2 JP7139165B2 (ja) | 2022-09-20 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2018121500A Active JP7139165B2 (ja) | 2018-06-27 | 2018-06-27 | 保持装置 |
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JP (1) | JP7139165B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022240536A1 (en) * | 2021-05-10 | 2022-11-17 | Applied Materials, Inc. | Cryogenic micro-zone electrostatic chuck connector assembly |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008047657A (ja) * | 2006-08-12 | 2008-02-28 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 静電チャック装置 |
JP2013175573A (ja) * | 2012-02-24 | 2013-09-05 | Tokyo Electron Ltd | 基板載置台及びプラズマエッチング装置 |
JP2015228398A (ja) * | 2014-05-30 | 2015-12-17 | 日本特殊陶業株式会社 | 半導体製造装置用部品 |
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2018
- 2018-06-27 JP JP2018121500A patent/JP7139165B2/ja active Active
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JP7139165B2 (ja) | 2022-09-20 |
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