JP2016130714A - 測定装置及び位置合わせ方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本実施例に係る測定装置100の概略構成図である。
次に、計測ステージ3Mの設置時における位置合わせについて説明する。概略的には、まず、基準ステージ3Sを測定位置に移動させた状態で、制御部40は、撮影画像Im内における基準ステージ3Sの位置を記憶する。そして、制御部40は、位置合わせの対象となる計測ステージ3Mを測定位置に移動させ、記憶した撮影画像Im内における基準ステージ3Sの位置に、撮影範囲内の計測ステージ3Mの位置を合わせる。
この場合、この位置を、「測定位置の原点」とする。
次に、基準ステージ3Sを利用した第1プローブ針12及び第2プローブ針22の位置合わせについて説明する。以下に説明する位置合わせは、測定ステージ3Mの位置合わせ後であってLEDチップ50の測定前に実行される。
まず、第1プローブ針12及び第2プローブ針22のXY平面での位置合わせについて説明する。
従って、この場合、図4(B)、(C)に示す位置合わせが行われた状態からの第1プローブ針12及び第2プローブ針22の移動量は短い。具体的には、図4(D)では、第1プローブ針12は、図4(C)の状態からX軸負方向に矢印70の幅だけ移動し、第2プローブ針22は、図4(C)の状態からX軸正方向に矢印71の幅だけ移動している。
次に、Z軸方向での第1プローブ針12及び第2プローブ針22の位置合わせについて、図5を参照して説明する。
次に、第1プローブ針12及び第2プローブ針22の位置合わせ後に実行する、各計測ステージ3Mの高さの測定処理について説明する。制御部40は、第1プローブ10及び第2プローブ20をプローブ待機高さから徐々に下降させ、第1プローブ針12及び第2プローブ針22、または第2プローブ針22が計測ステージ3Mへの接触を検知したときの高さを、当該計測ステージ3Mの高さとして認識する。
次に、LEDチップ50の検査時に実行する測定装置100の動作について説明する。
まず、第1プローブ針12及び第2プローブ針22の針先をLEDチップ50に押し当てる動作であるコンタクト動作について図7を参照して説明する。図7(A)、(B)は、コンタクト動作の実行前後における測定装置100の状態を示す。
次に、LEDチップ50の各電極に第1プローブ針12及び第2プローブ針22の針先を合わせる動作である針合わせ動作について説明する。
そして、図9(C)の状態では、第2プローブ針22は、LEDチップ50の表面上の電極と接触する。
以下、上述の実施例に好適な各変形例について説明する。なお、これらの各変形例は、任意に組み合わせて上述の実施例に適用することが可能である。
図2に示す計測ステージ3Ma〜3Mc及び基準ステージ3Sは、それぞれテーブル30の中心に対して90度回転した位置に配置されていた。しかし、本発明が適用可能な配置はこれに限られない。
[計測ステージの位置合わせ]のセクションの説明では、制御部40は、各計測ステージ3MのXY平面における位置を調整対象とした。これに加えて、制御部40は、各計測ステージ3Mの向き(回転角度)についても調整対象としてもよい。
[計測ステージの高さ測定]のセクションの説明では、制御部40は、各計測ステージ3Mの高さ(即ちZ軸方向での位置)を測定して記憶した。これに代えて、各計測ステージ3Mの高さ調整が可能である場合には、制御部40は、各計測ステージ3Mの高さを、基準ステージ3Sの高さと一致するように調整してもよい。この場合、例えば、制御部40は、各計測ステージ3M及び基準ステージ3Sの高低差に相当するオフセット値分だけ、各計測ステージ3Mの高さを調整することで、基準ステージ3Sの高さと一致させる。
測定装置100は、LEDチップ50に代えて、他の任意のチップを検査対象とし、第1プローブ針12及び第2プローブ針22を触針させることで、電気的特性を計測してもよい。
図3の説明では、制御部40は、ユーザ操作に基づき、マーク37Aの交点に、吸着穴38cの中心が合うように、計測ステージ3Mcの位置を調整した。これに代えて、制御部40は、ユーザ操作によらずに、計測ステージ3Mcの位置調整を行ってもよい。
[検査時の動作]のセクションの説明において、測定装置100は、LED50の位置を調整自在な機構を有し、LED50を「測定位置の原点」に移動させてもよい。
20 第2プローブ
30 テーブル
31 テーブル位置調整部
40 制御部
41 定点カメラ
42 フォトディテクタ
43 ディスプレイ
44 入力部
50 LEDチップ
100 測定装置
Claims (10)
- 測定対象物が載置されるステージである計測ステージと、
前記計測ステージの位置合わせを行うためのステージである基準ステージと、
前記計測ステージ及び前記基準ステージが設置され、前記計測ステージと前記基準ステージとのいずれかを測定位置に移動させる移動部と、を備え、
前記計測ステージは、前記基準ステージが前記測定位置に存在するときの位置と、前記計測ステージが前記測定位置に存在するときの位置とが一致するように、位置合わせが行われることを特徴とする測定装置。 - 前記測定位置を撮影範囲とする撮影部をさらに備え、
前記計測ステージは、前記基準ステージが前記測定位置に存在するときに前記撮影部が撮影した画像内での前記基準ステージの位置と、前記計測ステージが前記測定位置に存在するときに前記撮影部が撮影した画像内での前記計測ステージの位置とが一致するように、位置合わせが行われることを特徴とする請求項1に記載の測定装置。 - 前記撮影部は固定されており、
前記測定位置は、固定された前記撮影部の撮影範囲内であることを特徴とする請求項2に記載の測定装置。 - 前記撮影部が撮影した画像を表示する表示部をさらに備え、
前記表示部は、前記基準ステージが前記測定位置に移動した後、前記計測ステージが前記測定位置に移動した場合に、前記基準ステージの位置を示すマーク画像を前記画像に重ねて表示することを特徴とする請求項2または3に記載の測定装置。 - 前記基準ステージの上面にはマークが付されており、
前記表示部は、前記基準ステージが前記測定位置に存在するときに前記撮影部が撮影した画像内での前記マークの位置に基づき、前記マーク画像を前記画像に重ねて表示することを特徴とする請求項4に記載の測定装置。 - 前記測定対象物に電力を供給することで当該測定対象物を測定するためのプローブと、
前記プローブの針の位置を変更自在に保持する保持部と、をさらに有し、
前記移動部は、前記基準ステージが前記測定位置に存在する状態で前記プローブの位置合わせが行われた後、前記基準ステージに代えて前記計測ステージを前記測定位置に移動させ、
前記プローブは、前記位置合わせが行われた後、前記計測ステージが前記測定位置に存在する状態で、前記電力の供給を行うことを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の測定装置。 - 前記保持部は、前記針の位置を、前記基準ステージの上面と平行な面方向及び当該面方向と垂直な方向に移動自在であることを特徴とする請求項6に記載の測定装置。
- 前記基準ステージの上面にはマークが付されており、
前記プローブの針先は、前記マークの位置を基準として前記位置合わせが行われることを特徴とする請求項6または7に記載の測定装置。 - 前記プローブの針先はタッチセンサの位置検出部であり、
前記基準ステージが前記測定位置に存在する状態で前記プローブの位置を降下させたときに前記タッチセンサが反応した位置と、前記計測ステージが前記測定位置に存在する状態で前記プローブの位置を降下させたときに前記タッチセンサが反応した位置とに基づき、前記基準ステージと前記計測ステージとの高低差を算出する算出部をさらに備えることを特徴とする請求項6〜8のいずれか一項に記載の測定装置。 - 測定対象物が載置されるステージである計測ステージと、
前記計測ステージの位置合わせを行うためのステージである基準ステージと、
前記計測ステージ及び前記基準ステージが設置され、前記計測ステージと前記基準ステージとのいずれかを測定位置に移動させる移動部と、を備える測定装置が実行する位置合わせ方法であって、
前記計測ステージを、前記基準ステージが前記測定位置に存在するときの位置と、前記計測ステージが前記測定位置に存在するときの位置とが一致するように、位置合わせを行う位置合わせ工程
を有することを特徴とする位置合わせ方法。
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