JP6807619B1 - プローバ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
ケガキ用ポジショナ150は、アーム部60の先端にケガキ針70を取り付けたマニュアル駆動のXYZステージである。ケガキ針70を用いた罫書き方法は、別途、第2実施形態で説明する。
図3は、本発明の第1実施形態であるケガキ用ポジショナを使用するプローバ装置の構成図である。
プローバ装置1000は、前記したケガキ用ポジショナ150と、測定用ポジショナ200と、プラテン台300と、チャック400と、電動ステージとしてのXYZステージ500と、制御装置600とを備えて構成される。
まず、作業者は、ケガキ用ポジショナ150及び測定用ポジショナ200を用いて、プローブピン210の先端210aとケガキ針70の先端70aとを、予め近接させておく(ステップS1)。具体的には、プローブピン210の先端210aを半導体チップ710の電極に接触させ、ケガキ針70の先端70aをその電極の近傍に接触させる。
本発明は前記した実施形態に限定されるものではなく、例えば以下のような種々の変形が可能である。
(1)前記第2実施形態では、作業者が、Zステージ10及びXYステージ20をマニュアル駆動していたが、リニアアクチュエータ30及びXYZステージ500と共に、制御装置600を用いて、位置制御させても構わない。
12 Z軸移動部(第1移動部)
20 XYステージ(第1XYステージ)
30 リニアアクチュエータ
31 電流駆動部
32 スライド部(第2移動部)
41 バネ保持部(上昇力付与手段)
45 バネ(上昇力付与手段)
50 アーム取付部(上昇力付与手段)
60 アーム部
62 針取付部
70 ケガキ針
100 Z軸移動機構
150 ケガキ用ポジショナ
200 測定用ポジショナ
210 プローブピン
500 XYZステージ
510 XYステージ(電動ステージ)
600 制御装置
710 半導体チップ
1000 プローバ装置
Claims (3)
- Z方向に移動する第1移動部を有するZステージと、
前記第1移動部に取り付けられ、磁力によりZ方向に移動する第2移動部を有するリニアアクチュエータと、
前記リニアアクチュエータに取り付けられる上昇力付与手段と、
前記第2移動部に取り付けられ、半導体チップに接触させられる部材と、
前記半導体チップの電気特性を計測するプローブと、
前記ZステージをさらにXY方向に移動させる第1マニュアルステージと、
前記プローブをXYZ方向に移動させる第2マニュアルステージと、
を備え、
前記上昇力付与手段は、前記第2移動部の自重に相当する上昇力を前記第2移動部に付与する
ことを特徴とするプローバ装置。 - 請求項1に記載のプローバ装置であって、
前記半導体チップをXYZ方向に移動させる電動ステージと、
前記電動ステージ及び前記リニアアクチュエータを制御する制御装置と
を備えることを特徴とするプローバ装置。 - 請求項1又は請求項2に記載のプローバ装置であって、
前記部材は、前記第2移動部に取り付けたアーム部と、該アーム部の先端に取り付けられ、前記半導体チップを罫書くケガキ針とから構成される
ことを特徴とするプローバ装置。
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