JP2016129159A - 電界効果トランジスタ - Google Patents
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Abstract
【課題】チップ外周部分での基本トランジスタの耐絶縁性を高めることによって、素子全体での寿命を長くできる電界効果トランジスタを提供する。【解決手段】チャネル層、キャリア供給層、ソース電極(4)、ドレイン電極(2)およびゲート電極(3)で複数の基本トランジスタを形成する。上記複数の基本トランジスタのうちの点線6で囲まれた最外周の基本トランジスタは、それ以外の基本トランジスタよりも耐絶縁性を高くした構成をしている。【選択図】図1
Description
この発明は、電界効果トランジスタに関し、詳しくは、窒化ガリウム(GaN)系のヘテロ接合を有するヘテロ接合電界効果トランジスタなどに関する。
電界効果トランジスタとして用いられるGaN系半導体は、バンドギャップが大きく、絶縁破壊電界が高く、電子の飽和ドリフト速度が大きいといった特性がある。また、ヘテロ接合界面に発生する2次元電子ガスを利用することが可能である。そのため、GaN系半導体は、高温動作、高速スイッチング動作、大電力動作等の点で優れる半導体素子を実現する材料として期待を集めている。
その一方で、従来用いられているSiに比べてGaN系半導体は高価であり、コストがかかることが分かっている。そのため、従来より、Si基板上にGaNをエピタキシャル成長させることでコストを抑える取り組みがなされている。
そして、GaN系半導体を用いたヘテロ接合電界効果トランジスタの開発が行われ、高いトランジスタ特性を得るため、いろいろな工夫がなされている。
例えば、従来の第1の電界効果トランジスタとしては、ドレイン電極付近のチャネル層のn型不純物濃度をドレイン電極直下より低くすることで絶縁破壊しにくい構造としたものがある(例えば、特開2011−71307号公報(特許文献1)参照)。
また、従来の第2の電界効果トランジスタとしては、バッファ層に炭素を添加することで高抵抗化することで絶縁破壊しにくい構造としたものがある(例えば、特開2007−251144号公報(特許文献2)参照)。
こうしたSiウェハ上にGaNをエピタキシャル成長させたGaN-on-Si基板を用いた電界効果トランジスタの開発を本発明者が鋭意行っていたところ、大電流用素子において、複数の基本トランジスタが形成された素子チップの外側に位置する基本トランジスタがオフバイアス試験に対して弱いことを見出した。
大電流用素子は、通常、基本構成となる基本トランジスタを複数並列に配置することで形成されるが、作成した素子チップを用いてオフバイアス寿命試験を実施したところ、大半の電界効果トランジスタにおいて、素子チップの外周付近に位置する部分で絶縁破壊による破壊痕が見られた。
これは、同一の基本トランジスタを並列に形成した電界効果トランジスタにおいて、破壊した外周部分はそれ以外の部分に比べ相対的に寿命が短いということである。
Siウェハ上に格子定数の異なるGaNをエピ成長させたGaN-on-Si基板では、電界効果トランジスタを形成した後、Siウェハをダイシングしてチップ化することで、チップ端に近い部分でGaNに対して応力のかかり方が変わるために、トランジスタ特性が変化して絶縁破壊に対する寿命が短くなったと考えられる。
上記特許文献1や特許文献2に係る電界効果トランジスタの構造では、チップ内の複数の基本トランジスタを均一に形成することになり、チップ端に近い部分の絶縁破壊に対する寿命が短いという問題は残ってしまう。
また、上記特許文献1においてチップ端に近い部分でも十分な寿命を確保するには、1000℃を超える熱処理が必要となり、結晶成長時と同等の熱処理により安定したトランジスタ作製が困難になるという問題がある。
また、上記特許文献2においてチップ端に近い部分でも十分な寿命を確保するためには、不純物濃度を高めることになるが、GaNの結晶性が低下するという問題がある。
そこで、この発明の課題は、チップ外周部分での基本トランジスタの耐絶縁性を高めることによって、素子全体での寿命を長くできる電界効果トランジスタを提供することにある。
上記課題を解決するため、この発明の電界効果トランジスタは、
基板と、
上記基板上に形成され、キャリアが走行するチャネル層と、
上記チャネル層上に形成され、上記チャネル層に上記キャリアを供給するキャリア供給層と、
上記キャリア供給層または上記チャネル層のうちの少なくとも上記キャリア供給層に接合されたソース電極と、
上記ソース電極に対向して配置され、上記キャリア供給層または上記チャネル層のうちの少なくとも上記キャリア供給層に接合されたドレイン電極と、
上記ソース電極と上記ドレイン電極との間に配置され、上記チャネル層の上記キャリアの走行を制御するためのゲート電極と
を備え、
上記チャネル層、上記キャリア供給層、上記ソース電極、上記ドレイン電極および上記ゲート電極で複数の基本トランジスタが形成されており、
上記複数の基本トランジスタのうちの最外周の基本トランジスタは、それ以外の基本トランジスタよりも耐絶縁性を高くした構成をしていることを特徴とする。
基板と、
上記基板上に形成され、キャリアが走行するチャネル層と、
上記チャネル層上に形成され、上記チャネル層に上記キャリアを供給するキャリア供給層と、
上記キャリア供給層または上記チャネル層のうちの少なくとも上記キャリア供給層に接合されたソース電極と、
上記ソース電極に対向して配置され、上記キャリア供給層または上記チャネル層のうちの少なくとも上記キャリア供給層に接合されたドレイン電極と、
上記ソース電極と上記ドレイン電極との間に配置され、上記チャネル層の上記キャリアの走行を制御するためのゲート電極と
を備え、
上記チャネル層、上記キャリア供給層、上記ソース電極、上記ドレイン電極および上記ゲート電極で複数の基本トランジスタが形成されており、
上記複数の基本トランジスタのうちの最外周の基本トランジスタは、それ以外の基本トランジスタよりも耐絶縁性を高くした構成をしていることを特徴とする。
また、一実施形態の電界効果トランジスタでは、
上記複数の基本トランジスタのうちの最外周の基本トランジスタは、それ以外の基本トランジスタよりも上記ゲート電極と上記ドレイン電極との間の距離を長くすることにより耐絶縁性を高くしている。
上記複数の基本トランジスタのうちの最外周の基本トランジスタは、それ以外の基本トランジスタよりも上記ゲート電極と上記ドレイン電極との間の距離を長くすることにより耐絶縁性を高くしている。
また、一実施形態の電界効果トランジスタでは、
上記複数の基本トランジスタのうちの最外周の基本トランジスタは、上記ゲート電極と他の基本トランジスタのソース電極とが接続されたダイオード接続トランジスタとした。
上記複数の基本トランジスタのうちの最外周の基本トランジスタは、上記ゲート電極と他の基本トランジスタのソース電極とが接続されたダイオード接続トランジスタとした。
また、一実施形態の電界効果トランジスタでは、
上記ダイオード接続トランジスタとなる上記最外周の基本トランジスタは、それ以外の基本トランジスタよりも上記ゲート電極と上記ドレイン電極との間の距離を長くすることにより耐絶縁性を高くしている。
上記ダイオード接続トランジスタとなる上記最外周の基本トランジスタは、それ以外の基本トランジスタよりも上記ゲート電極と上記ドレイン電極との間の距離を長くすることにより耐絶縁性を高くしている。
また、一実施形態の電界効果トランジスタでは、
上記基板はSi基板である。
上記基板はSi基板である。
また、一実施形態の電界効果トランジスタでは、
上記基本トランジスタはヘテロ接合電界効果トランジスタである。
上記基本トランジスタはヘテロ接合電界効果トランジスタである。
以上より明らかなように、この発明によれば、複数の基本トランジスタのうちの最外周の基本トランジスタを、それ以外の基本トランジスタよりも耐絶縁性を高めることによって、素子全体での寿命を長くできる電界効果トランジスタを実現することができる。
以下、この発明の電界効果トランジスタを図示の実施の形態により詳細に説明する。
〔第1実施形態〕
図1はこの発明の第1実施形態の電界効果トランジスタ1の平面図を示している。
図1はこの発明の第1実施形態の電界効果トランジスタ1の平面図を示している。
この第1実施形態の電界効果トランジスタ1は、図1に示すように、基板(図示せず)上に積層された窒化物半導体層(図示せず)上に、互いに略平行にかつ間隔をあけて設けられた直線状の複数のドレイン電極2と、ドレイン電極2夫々の外側を囲むように間隔をあけて設けられた複数のゲート電極3と、ゲート電極3夫々の外側を囲むように間隔をあけて設けられたソース電極4とを備える。さらに、上記電界効果トランジスタ1は、ドレイン電極2をドレインパッド21にドレイン配線(図示せず)を介して接続し、ソース電極4をソースパッド41にソース配線(図示せず)を介して接続している。
また、上記電界効果トランジスタ1は、点線5で囲われた部分で1つの基本トランジスタとなっており、大電流を扱えるように複数の基本トランジスタが並列に接続された構造となっている。
図2は上記電界効果トランジスタの基本トランジスタの要部の断面図を示している。
この半導体装置は、図2に示すように、Si基板101上に、アンドープAlGaNからなるバッファ層102と、アンドープGaNからなるチャネル層103と、アンドープAlGaNからなるキャリア供給層104を形成している。このチャネル層103とキャリア供給層104との界面に2DEG(2次元電子ガス)が発生する。
また、キャリア供給層104上に、互いに間隔をあけてソース電極4とドレイン電極2とを形成している。また、キャリア供給層104上に、ソース電極4とドレイン電極2との間かつソース電極4側にゲート電極3を形成している。ソース電極4とドレイン電極2はオーミック電極であり、ゲート電極3はショットキー電極である。上記ソース電極4と、ドレイン電極2と、ゲート電極3と、そのソース電極4,ドレイン電極2,ゲート電極3が形成されたチャネル層103,キャリア供給層104の活性領域でHFET(Hetero-junction Field Effect Transistor;ヘテロ接合電界効果トランジスタ)を構成している。
ここで、活性領域とは、キャリア供給層104上のソース電極4とドレイン電極2との間に配置されたゲート電極3に印加される電圧によって、ソース電極4とドレイン電極2との間でキャリアが流れる窒化物半導体層(チャネル層103,キャリア供給層104)の領域である。
そして、ソース電極4とドレイン電極2とゲート電極3が形成された領域を除くキャリア供給層104上に、キャリア供給層104を保護するため、SiO2からなる絶縁膜105を形成している。
上記電界効果トランジスタでは、チャネル層103とキャリア供給層104との界面に形成された2次元電子ガス(2DEG)が発生してチャネルが形成される。このチャネルをゲート電極3に電圧を印加することにより制御して、ソース電極4とドレイン電極2とゲート電極3を有するHFETをオンオフさせる。このHFETは、ゲート電極3に負電圧が印加されているときにゲート電極3下のチャネル層103に空乏層が形成されてオフ状態となる一方、ゲート電極3の電圧がゼロのときにゲート電極3下のチャネル層103に空乏層がなくなってオン状態となるノーマリーオンタイプのトランジスタである。
上記構成の電界効果トランジスタにおいて、基本トランジスタのゲート電極3とドレイン電極2との間の距離Lgdを10μmとしている。
さらに、並列に配置された複数の基本トランジスタのうち、一番外側に位置する基本トランジスタ(点線6で囲われた部分)は、他の基本トランジスタよりもゲート電極3とドレイン電極2との間の距離Lgdを大きくしている(この実施の形態ではLgd=20μm)。
上記基本トランジスタ単体について、温度150℃、ソース電極を0V、基板電位を0V、ドレイン電極を600V、ゲート電極を−10Vの条件でバイアス試験を実施した。このバイアス試験の結果は、ゲート電極3とドレイン電極2との間の距離Lgd=10μmでは、平均寿命が45時間5分だったところ、Lgd=20μmでは573時間であった。
このようにすることで、最外周の基本トランジスタの寿命を相対的に長くなるようにすることで、早々に破壊することを防ぐことができるようになるため、寿命の長い大電流素子を実現することができる。
比較のため、従来の基本トランジスタが全て同一構造の電界効果トランジスタにおいて同様のバイアス試験を実施したところ、多くのサンプルにおいて最外周の基本トランジスタで破壊が生じた。
上記構成の電界効果トランジスタ1によれば、複数の基本トランジスタのうちの点線6で囲まれた最外周の基本トランジスタを、それ以外の基本トランジスタよりも耐絶縁性を高くした構成とすることによって、素子全体での寿命を長くできる。
また、上記最外周の基本トランジスタを、それ以外の基本トランジスタよりもゲート電極3とドレイン電極2との間の距離Lgdを長くすることにより絶縁距離を広げて、耐絶縁性を高めることができる。
また、Siウェハ上にGaNをエピタキシャル成長させたGaN-on-Si基板を用いることでコストを抑えることができる。
また、上記チャネル層103とキャリア供給層104とのヘテロ接合界面に形成された2次元電子ガス(2DEG)が発生することによって、電子移動度が高く高速動作が可能な電界効果トランジスタ1を実現できる。
〔第2実施形態〕
図3はこの発明の第2実施形態の電界効果トランジスタ100の平面図を示している。
図3はこの発明の第2実施形態の電界効果トランジスタ100の平面図を示している。
この第2実施形態の電界効果トランジスタ100は、外側に位置する基本トランジスタを除いて第1実施形態の電界効果トランジスタ1と同一の構成をしている。
この第2実施形態の電界効果トランジスタ100は、点線5で囲われた部分で1つの基本トランジスタとなっており、大電流を扱えるように複数の基本トランジスタが並列に接続された構造となっている。
さらに、複数の基本トランジスタのうちの一番外側に位置する基本トランジスタ(点線106で囲われた部分)は、ゲート電極30が隣接する基本トランジスタのソース電極4に接続されたダイオード接続トランジスタとなっている。点線106で囲まれた基本トランジスタのゲート電極30は、AlGaN層104とショットキー接合するようになっており、ショットキーダイオードとなるように形成されている。なお、このゲート電極30にはゲート電圧を印加するための配線は接続されていない。また、図3では、最外周の基本トランジスタのゲート電極30と他の基本トランジスタのソース電極4との配線は図示していない。
また、図4は上記電界効果トランジスタの最外周の基本トランジスタの要部の断面図を示している。図4において、ゲート電極3の左側に凹部40を設けることによって、この最外周の基本トランジスタの2次元電子ガス(2DEG)が他の基本トランジスタのソース電極と接続されないようにしている。
このような構造をとることで、点線106で囲まれた最外周の基本トランジスタにおけるドレイン−ゲート間の距離Lgdを、点線5で囲まれた他の基本トランジスタの場合より広く取ることが可能になるため、耐圧を高くすることが可能となる。
上記構成の電界効果トランジスタ100によれば、最外周部分(点線106で囲まれた最外周の基本トランジスタ)でドレイン−ゲート間の距離を相対的に長くなるようにすることで、早々に破壊することを防ぐことができるようになるため、寿命の長い大電流素子を実現することができる。また、製造プロセスの変更も小さく、フォトエッチング用マスクの変更のみで実現することができる。
さらに、GaNHFETでは、ソース電極4に高電圧が印加された場合、ドレイン電極2側に電流を流すことが可能となり、Si−IGBT(絶縁ゲートバイポーラトランジスタ)で見られたボディダイオードと同様の機能を持たせることが可能となる。
上記第2実施形態の電界効果トランジスタ100は、第1実施形態の電界効果トランジスタ1と同様の効果を有する。
また、上記ダイオード接続トランジスタとなる最外周の基本トランジスタを、それ以外の基本トランジスタよりもゲート電極3とドレイン電極2との間の距離を長くすることにより絶縁距離を広げて、耐絶縁性を高くできる。
上記第1,第2実施形態では、Si基板101上にバッファ層102,チャネル層103,キャリア供給層104が積層された電界効果トランジスタについて説明したが、この発明の電界効果トランジスタの基板は、Si基板に限らず、サファイヤ基板やSiC基板を用いてもよく、サファイヤ基板やSiC基板上に窒化物半導体層を成長させてもよいし、GaN基板にAlGaN層を成長させる等のように、窒化物半導体からなる基板上に窒化物半導体層を成長させてもよい。また、基板と窒化物半導体層との間にバッファ層を形成してもよいし、窒化物半導体層の第1半導体層と第1半導体層と第2半導体層との間にヘテロ改善層を形成してもよい。
また、上記第1,第2実施の形態では、オーミック電極がGaN層に達するリセス構造のHFETについて説明したが、リセスを形成せずにアンドープAlGaN層上にソース電極およびドレイン電極となるオーミック電極を形成したHFETにこの発明を適用してもよい。また、この発明の窒化物半導体装置は、2DEGを利用するHFETに限らず、MIS(Metal Insulator Semiconductor)FET、MOS(Metal Oxide Semiconductor)FET、MES(Metal Semiconductor)FET等の他の構成の電界効果トランジスタであっても同様の効果が得られる。
また、上記第1実施形態では、ゲート電極と半導体の間に絶縁膜があるMIS−HFET構造でもよい。
また、上記第1,第2実施形態では、ノーマリーオンタイプのHFETについて説明したが、ノーマリーオフタイプの窒化物半導体装置にこの発明を適用してもよい。
また、上記第1,第2実施形態では、アンドープGaNからなるチャネル層103と、アンドープAlGaNからなるキャリア供給層104を用いた電界効果トランジスタについて説明したが、他の半導体材料を用いたチャネル層,キャリア供給層でもよく、例えば、AlxInyGa1−x−yN(x≧0、y≧0、0≦x+y≦1)で表される窒化物半導体でもよい。
この発明の具体的な実施の形態について説明したが、この発明は上記第1,第2実施形態に限定されるものではなく、この発明の範囲内で種々変更して実施することができる。
この発明の電界効果トランジスタは、
基板101と、
上記基板101上に形成され、キャリアが走行するチャネル層103と、
上記チャネル層103上に形成され、上記チャネル層103に上記キャリアを供給するキャリア供給層104と、
上記キャリア供給層104または上記チャネル層103のうちの少なくとも上記キャリア供給層104に接合されたソース電極4と、
上記ソース電極4に対向して配置され、上記キャリア供給層104または上記チャネル層103のうちの少なくとも上記キャリア供給層104に接合されたドレイン電極2と、
上記ソース電極4と上記ドレイン電極2との間に配置され、上記チャネル層103の上記キャリアの走行を制御するためのゲート電極3と
を備え、
上記チャネル層103、上記キャリア供給層104、上記ソース電極4、上記ドレイン電極2および上記ゲート電極3で複数の基本トランジスタが形成されており、
上記複数の基本トランジスタのうちの最外周の基本トランジスタは、それ以外の基本トランジスタよりも耐絶縁性を高くした構成をしていることを特徴とする。
基板101と、
上記基板101上に形成され、キャリアが走行するチャネル層103と、
上記チャネル層103上に形成され、上記チャネル層103に上記キャリアを供給するキャリア供給層104と、
上記キャリア供給層104または上記チャネル層103のうちの少なくとも上記キャリア供給層104に接合されたソース電極4と、
上記ソース電極4に対向して配置され、上記キャリア供給層104または上記チャネル層103のうちの少なくとも上記キャリア供給層104に接合されたドレイン電極2と、
上記ソース電極4と上記ドレイン電極2との間に配置され、上記チャネル層103の上記キャリアの走行を制御するためのゲート電極3と
を備え、
上記チャネル層103、上記キャリア供給層104、上記ソース電極4、上記ドレイン電極2および上記ゲート電極3で複数の基本トランジスタが形成されており、
上記複数の基本トランジスタのうちの最外周の基本トランジスタは、それ以外の基本トランジスタよりも耐絶縁性を高くした構成をしていることを特徴とする。
上記構成によれば、複数の基本トランジスタのうちの最外周の基本トランジスタを、それ以外の基本トランジスタよりも耐絶縁性を高くした構成とすることによって、素子全体での寿命を長くできる。
また、一実施形態の電界効果トランジスタでは、
上記複数の基本トランジスタのうちの最外周の基本トランジスタは、それ以外の基本トランジスタよりも上記ゲート電極3と上記ドレイン電極2との間の距離を長くすることにより耐絶縁性を高くしている。
上記複数の基本トランジスタのうちの最外周の基本トランジスタは、それ以外の基本トランジスタよりも上記ゲート電極3と上記ドレイン電極2との間の距離を長くすることにより耐絶縁性を高くしている。
上記実施形態によれば、複数の基本トランジスタのうちの最外周の基本トランジスタを、それ以外の基本トランジスタよりもゲート電極3とドレイン電極2との間の距離を長くすることにより絶縁距離を広げて、耐絶縁性を高めることができる。
また、一実施形態の電界効果トランジスタでは、
上記複数の基本トランジスタのうちの最外周の基本トランジスタは、上記ゲート電極30と他の基本トランジスタのソース電極4とが接続されたダイオード接続トランジスタとした。
上記複数の基本トランジスタのうちの最外周の基本トランジスタは、上記ゲート電極30と他の基本トランジスタのソース電極4とが接続されたダイオード接続トランジスタとした。
上記実施形態によれば、複数の基本トランジスタのうちの最外周の基本トランジスタを、ゲート電極30と他の基本トランジスタのソース電極4とが接続されたダイオード接続トランジスタとすることによって、ソース電極4に高電圧が印加されたときに、ドレイン電極2側に電流を流すことができる。
また、一実施形態の電界効果トランジスタでは、
上記ダイオード接続トランジスタとなる上記最外周の基本トランジスタは、それ以外の基本トランジスタよりも上記ゲート電極30と上記ドレイン電極2との間の距離を長くすることにより耐絶縁性を高くしている。
上記ダイオード接続トランジスタとなる上記最外周の基本トランジスタは、それ以外の基本トランジスタよりも上記ゲート電極30と上記ドレイン電極2との間の距離を長くすることにより耐絶縁性を高くしている。
上記実施形態によれば、ダイオード接続トランジスタとなる最外周の基本トランジスタを、それ以外の基本トランジスタよりもゲート電極3とドレイン電極2との間の距離を長くすることにより絶縁距離を広げて、耐絶縁性を高めることができる。
また、一実施形態の電界効果トランジスタでは、
上記基板はSi基板101である。
上記基板はSi基板101である。
上記実施形態によれば、Si基板101上にチャネル層103とキャリア供給層104を積層する電界効果トランジスタにおいて、例えばSiウェハ上にGaNをエピタキシャル成長させたGaN-on-Si基板を用いることでコストを抑えることができる。
また、一実施形態の電界効果トランジスタでは、
上記基本トランジスタはヘテロ接合電界効果トランジスタである。
上記基本トランジスタはヘテロ接合電界効果トランジスタである。
上記実施形態によれば、チャネル層103とキャリア供給層104とのヘテロ接合界面に形成された2次元電子ガス(2DEG)が発生することによって、電子移動度が高く高速動作が可能な電界効果トランジスタを実現できる。
1,100…電界効果トランジスタ
2…ドレイン電極
3,30…ゲート電極
4…ソース電極
21…ドレインパッド
40…凹部
41…ソースパッド
101…Si基板
102…バッファ層
103…チャネル層
104…キャリア供給層
105…絶縁膜
2…ドレイン電極
3,30…ゲート電極
4…ソース電極
21…ドレインパッド
40…凹部
41…ソースパッド
101…Si基板
102…バッファ層
103…チャネル層
104…キャリア供給層
105…絶縁膜
Claims (5)
- 基板と、
上記基板上に形成され、キャリアが走行するチャネル層と、
上記チャネル層上に形成され、上記チャネル層に上記キャリアを供給するキャリア供給層と、
上記キャリア供給層または上記チャネル層のうちの少なくとも上記キャリア供給層に接合されたソース電極と、
上記ソース電極に対向して配置され、上記キャリア供給層または上記チャネル層のうちの少なくとも上記キャリア供給層に接合されたドレイン電極と、
上記ソース電極と上記ドレイン電極との間に配置され、上記チャネル層の上記キャリアの走行を制御するためのゲート電極と
を備え、
上記チャネル層、上記キャリア供給層、上記ソース電極、上記ドレイン電極および上記ゲート電極で複数の基本トランジスタが形成されており、
上記複数の基本トランジスタのうちの最外周の基本トランジスタは、それ以外の基本トランジスタよりも耐絶縁性を高くした構成をしていることを特徴とする電界効果トランジスタ。 - 請求項1に記載の電界効果トランジスタにおいて、
上記複数の基本トランジスタのうちの最外周の基本トランジスタは、それ以外の基本トランジスタよりも上記ゲート電極と上記ドレイン電極との間の距離を長くすることにより耐絶縁性を高くしていることを特徴とする電界効果トランジスタ。 - 請求項1に記載の電界効果トランジスタにおいて、
上記複数の基本トランジスタのうちの最外周の基本トランジスタは、上記ゲート電極と他の基本トランジスタのソース電極とが接続されたダイオード接続トランジスタとしたことを特徴とする電界効果トランジスタ。 - 請求項3に記載の電界効果トランジスタにおいて、
上記ダイオード接続トランジスタとなる上記最外周の基本トランジスタは、それ以外の基本トランジスタよりも上記ゲート電極と上記ドレイン電極との間の距離を長くすることにより耐絶縁性を高くしていることを特徴とする電界効果トランジスタ。 - 請求項1から4までのいずれか1つに記載の電界効果トランジスタにおいて、
上記基板はSi基板であることを特徴とする電界効果トランジスタ。
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JP2013089566A JP2016129159A (ja) | 2013-04-22 | 2013-04-22 | 電界効果トランジスタ |
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-
2013
- 2013-04-22 JP JP2013089566A patent/JP2016129159A/ja active Pending
-
2014
- 2014-01-28 WO PCT/JP2014/051817 patent/WO2014174863A1/ja active Application Filing
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