JP2016123213A - リニアモータ - Google Patents

Abstract

【課題】高推力でコギングも低減できるリニアモータを提供する。【解決手段】固定子１は、コアユニット２１ａ，２１ｂ，２１ｃをストローク方向に複数備える。各コアユニット２１ａ，２１ｂ，２１ｃは、第一の磁極３４ａ及び第一の磁極３４ａと極性が異なる第二の磁極３４ｂを有する第一のコア３１と、第一のコア３１に巻かれるコイル４１ａ，４１ｂと、第三の磁極３５ａ及び第三の磁極３５ａと極性が異なる第四の磁極３５ｂを有する第二のコア３２と、第二のコア３２に巻かれるコイル４２ａ，４２ｂと、を備える。第一の磁極３４ａに第三の磁極３５ａが対向し、第二の磁極３４ｂに第四の磁極３５ｂが対向する。可動子２は、第一の磁極３４ａと第三の磁極３５ａとに挟まれると共に、第二の磁極３４ｂと第四の磁極３５ｂとに挟まれる。【選択図】図７

Description

本発明は、第一部材に対して第二部材が一方向に相対的に移動可能なリニアモータに関する。

界磁に磁石を使用した同期型リニアモータが知られている。このリニアモータは、磁石を有する可動子と、コア及びコアに巻かれるコイルを有する固定子と、を備える。コアには、可動子の磁石に対向する突極が設けられる。突極にはコイルが巻かれる。典型的なコイルは三相コイルである。三相コイルに位相が１２０度ずれた三相交流を流すと、磁石に発生する磁束とコアに発生する磁束との相互作用によって、可動子が固定子に対して一方向に移動する。

従来のリニアモータにあっては、固定子のコアが可動子の磁石に対面するので、コアと磁石との間に推力よりも大きな磁気的な吸引力が働くという課題がある。この磁気的な吸引力を低減するために、特許文献１には、可動子が固定子のコアによって閉じられた空間内を移動する所謂トンネル式のリニアモータが開示されている。このリニアモータの特徴は、コアの構造にある。すなわち、固定子のコアは、上部磁極歯と下部磁極歯が対向する第一の対向部と、上部磁極歯と下部磁極歯が対向する第二の対向部と、を備える。第一の対向部と第二の対向部とは、極性が反対になるように互い違いに形成される。コイルに通電すると、第一及び第二の対向部の上部磁極歯と下部磁極歯とに挟まれた空間には、上下に交番する磁束が発生する。この磁束トンネル内を可動子が移動する。

固定子のコアと可動子の磁石とに働く吸引力を低減する他の発明として、特許文献２には、可動子の上下に２つの固定子を配置したリニアモータが開示されている（特許文献２、図８参照）。可動子は、磁性体のヨークと、ヨークに配置された磁石を備える。２つの固定子それぞれは、コアと、コアの突極に巻かれるコイルと、を備える。可動子の上下に２つの固定子を配置することで、上側の固定子と可動子との間に働く吸引力を、下側の固定子と可動子との間に働く吸引力で相殺することができる。

特開２００２−１２５３６０号公報 特開２００４−１７２５５７号公報

しかし、特許文献１に記載のトンネル式のリニアモータにあっては、コアの磁気回路が長く、コアが磁気飽和（すなわちコイルに流す電流を大きくしても磁束が強くならない現象）を起こし易いという課題がある。コアが磁気飽和を起こすと、コイルにいくら電流を流しても推力を大きくすることができない。

特許文献２に記載のリニアモータにあっては、リニアモータの推力の変動であるコギングが発生するので、テーブルを高精度に位置決めすることが困難である、という課題がある。

そこで、本発明は、高推力でコギングも低減できるリニアモータを提供することを目的とする。

本発明の一態様は、第一部材に対して第二部材が一方向に相対的に移動可能なリニアモータであって、前記第一部材は、第一の磁極及び前記第一の磁極と極性が異なる第二の磁極を有する第一のコア、前記第一のコアに巻かれるコイル、第三の磁極及び前記第三の磁極と極性が異なる第四の磁極を有する第二のコア、並びに前記第二のコアに巻かれるコイルを含み、前記第一の磁極に前記第三の磁極が対向し、前記第二の磁極に前記第四の磁極が対向するコアユニットを前記一方向に複数備え、前記第二部材は、前記第一の磁極と前記第三の磁極とに挟まれると共に、前記第二の磁極と前記第四の磁極とに挟まれるリニアモータである。

本発明によれば、第二部材を挟む第一のコアと第二のコアとで磁気回路が構成されるので、第一及び第二のコアの磁束経路を短くすることができる。第一及び第二のコアのそれぞれにコイルを巻くことで、推力を大きくすることができる。また、第二部材を挟む第一のコアと第二のコアとに働く吸引力はほぼ同じ大きさであり、方向が反対であるので、全体の吸引力をほぼキャンセルすることができる。このため、コギング力を低減することができる。さらに、一方向に隣接する第一のコア同士又は第二のコア同士には、磁気回路が形成され難いので、磁気漏洩によるノイズを低減することができる。

本発明の第一の実施形態のリニアモータの斜視図である。 図１のＣ矢視図（平面図）である。 図１のＡ矢視図（側面図）である。 図１のＢ矢視図（側面図）である。 本実施形態のリニアモータの可動子の斜視図である。 図５のＤ−Ｄ線断面図である。 本実施形態のリニアモータの固定子のコアユニットと可動子の２つの磁石列を示す斜視図である（図７（ａ）は全体図であり、図７（ｂ）は図７（ａ）の拡大図である）。 従来のリニアモータの固定子のコアユニットと可動子の磁石を示す斜視図である（図８（ａ）は全体図であり、図８（ｂ）は図８（ａ）の拡大図であり、図８（ｃ）は側面図である）。 本発明の第二の実施形態のリニアモータのストローク方向から見た側面図である。

以下、添付図面に基づいて、本発明の実施形態のリニアモータを説明する。ただし、本発明のリニアモータは種々の形態で具体化することができ、本明細書に記載される実施形態に限定されるものではない。この実施形態は、明細書の開示を十分にすることによって、当業者が発明の範囲を十分に理解できるようにする意図をもって提供されるものである。

図１は本発明の第一の実施形態のリニアモータの斜視図を示し、図２は図１のＣ矢視図（平面図）を示し、図３は図１のＡ矢視図（側面図）を示し、図４は図１のＢ矢視図（側面図）を示す。これらの図面及び明細書を通して同一の構成には同一の符号を附す。

図１に示すように、リニアモータは、第一部材としての固定子１と、第二部材としての可動子２と、を備える。固定子１は、ベース３に固定される。可動子２は、ベース３に一方向（矢印Ｂの方向であり、以下ストローク方向という）に移動可能に支持される。なお、以下においては、説明の便宜上、可動子２をストローク方向から見たときの各方向、すなわち図１に示す左右方向、上下方向及び前後方向を用いてリニアモータの構成を説明する。もちろん、リニアモータの配置は、このような左右、上下及び前後に限定されるものではない。

可動子２の構成は以下の通りである。図５は可動子２の斜視図を示す。可動子２は、複数の磁石４ａ，４ｂが並べられた２つの磁石列４−１，４−２を備える。２つの磁石列４−１，４−２は平行である。各磁石列４−１，４−２において、磁石４ａ，４ｂはストローク方向（図５の前後方向）に一定のピッチＰで並べられる。上側の磁石列４−１の磁石４ａ，４ｂの前後方向の位置と下側の磁石列４−２の磁石４ａ，４ｂの前後方向の位置とは、互いに一致する。

磁石４ａ，４ｂは四角形の板状に形成されており、その厚み方向（図５の左右方向）に着磁される。磁石４ａはその右側の表面がＮ極であり、その左側の表面がＳ極である。磁石４ｂはその右側の表面がＳ極であり、その左側の表面がＮ極である。図５においては磁石４ｂのＳ極にドット模様が付けられている。上側の磁石列４−１の極性は、前後方向にＮ、Ｓ、Ｎ、Ｓ、Ｎ…に形成される。下側の磁石列４−２の極性は前後方向にＳ、Ｎ、Ｓ、Ｎ、Ｓ…である。すなわち、前後方向に隣接する磁石４ａ，４ｂの極性は反対である。また、上下方向に隣接する磁石の極性も反対である。なお、磁石４ａ，４ｂを配置する際にスキュー（skew）をさせる（斜めに配置する）ことも可能である。

四角形の板状の基材６には、磁石４ａ，４ｂが嵌められる開口７が形成される。基材６はジュラルミン等の非磁性体からなる。基材６の幅方向（図５の上下方向）の両端部６ａ，６ｂは中央部よりも厚い。両端部６ａ，６ｂには、支持機構としてのリニアガイド８，９（図４参照）が取り付けられる。例えば、基材６の上端部６ｂには、リニアガイド９のレール９ａが取り付けられる。基材６の下端部６ａには、断面Ｓ字形のブラケット１０を介してリニガイド８のブロック８ｂ（図４参照）が取り付けられる。

図６は、可動子２のＤ−Ｄ線断面図を示す。上記のように基材６の開口７には磁石４ａ，４ｂが嵌められる。基材６の表面には板材又はシート材１１が接着される。板材又はシート材１１は、炭素繊維強化プラスチック（carbon-fiber-reinforced plastic, CFRP）製である。磁石４ａ，４ｂを基材６の開口７に嵌めても、磁石４ａ，４ｂと基材６との接着面積は、磁石４ａ，４ｂに対向する基材６の開口７の枠の面積しかない。基材６に板材又はシート材１１を接着することで、基材６から磁石４ａ，４ｂが抜けるのを防止することができる。

図１に示すように、可動子２の上側の磁石列４−１と下側の磁石列４−２との間には、可動子２の位置を検出するためのスケール１２が配置される。固定子１には、スケール１２と協働して位置信号を出力するセンサ１３が取り付けられる。スケール１２及びセンサ１３がエンコーダを構成する。センサ１３の位置信号は例えば公知のフィードバック制御に用いられる。

固定子１の構成は以下のとおりである。図１に示すように、固定子１は、ストローク方向（図１の前後方向）に並べられた複数のコアユニット２１ａ〜２１ｃを備える。コアユニット２１ａ〜２１ｃはベース３に固定されたＬ字形の架台２３に取り付けられる。

この実施形態では、固定子１には、２個の電機子２１−１，２１−２が配置される。リニアモータは三相のリニアモータであり、各電機子２１−１，２１−２のコアユニットは、Ｕ相コアユニット２１ａ、Ｖ相コアユニット２１ｂ、及びＷ相コアユニット２１ｃに分類される。磁石４ａ，４ｂの極ピッチをＰ（図５参照）とするとき、隣り合うコアユニット２１ａ，２１ｂのピッチＰ１（図２参照）は２Ｐ／３、４Ｐ／３等である。隣り合うコアユニット２１ｂ，２１ｃのピッチもＰ１である。なお、リニアモータの相数は３相に限られることはなく、２相、４相、５相等にすることができる。電機子２１−１，２１−２の数も２個に限られることはなく、１個、３個、４個等にすることができる。

図４に示すように、コアユニット２１ａは、可動子２を挟む第一及び第二のコア３１，３２を備える。第一のコア３１はＣ字形に形成されており、基部３１ｃと、基部３１ｃから可動子２に向かって突出する２つの突極３１ａ，３１ｂを備える。図１に示すように、複数の第一のコア３１はストローク方向（図１の前後方向）に互いに離れている。なお、隣り合う第一のコア３１間に非磁性体を介在させることもできる。第一のコア３１は積層鋼板によって製造される。

図４に示すように、第一のコア３１の２つの突極３１ａ，３１ｂには、２つのコイル４１ａ，４１ｂが巻かれる。より詳しくいえば、図７（ａ）に示すように、Ｕ相コアユニット２１ａの第一のコア３１にはＵ相のコイル４１ａ，４１ｂが巻かれ、Ｖ相コアユニット２１ｂの第一のコア３１にはＶ相のコイル４１ａ，４１ｂが巻かれ、Ｗ相コアユニット２１ｃの第一のコア３１にはＷ相のコイル４１ａ，４１ｂが巻かれる。図４に示すように、コイル４１ａに電流を流すと、突極３１ａの先端には第一の磁極３４ａ（例えばＮ極）が形成され、突極３１ｂの先端には第一の磁極３４ａと極性が異なる第二の磁極３４ｂ（例えばＳ極）が形成される。２つのコイル４１ａ，４１ｂには、第一及び第二の磁極３４ａ，３４ｂを強めるように同一位相の交流が流される。第一及び第二の磁極３４ａ，３４ｂの極性は周期的に反転する。

図４に示すように、第二のコア３２もＣ字形に形成されており、基部３２ｃと、基部３２ｃから可動子２に向かって突出する２つの突極３２ａ，３２ｂを備える。複数の第二のコア３２はストローク方向に互いに離れている（図７（ａ）参照）。なお、隣り合う第二のコア３２間に非磁性体を介在させることもできる。第二のコア３２は積層鋼板によって製造される。

第二のコア３２の２つの突極３２ａ，３２ｂには、２つのコイル４２ａ，４２ｂが巻かれる。より詳しくいえば、図７（ａ）に示すように、Ｕ相コアユニット２１ａの第二のコア３２にはＵ相のコイル４２ａ，４２ｂが巻かれ、Ｖ相コアユニット２１ｂの第二のコア３２にはＶ相のコイル４２ａ，４２ｂが巻かれ、Ｗ相コアユニット２１ｃの第二のコア３２にはＷ相のコイル４２ａ，４２ｂが巻かれる。図４に示すように、コイル４２ａ，４２ｂに電流を流すと、突極３２ａの先端には第三の磁極３５ａ（例えばＳ極）が形成され、突極３２ｂの先端には第三の磁極３５ａと極性が異なる第四の磁極３５ｂ（例えばＮ極）が形成される。２つのコイル４２ａ，４２ｂには、第三及び第四の磁極３５ａ，３５ｂを強めるように同一位相の交流が流される。第三及び第四の磁極３５ａ，３５ｂの極性は周期的に反転する。

第一の磁極３４ａは第三の磁極３５ａと極性が異なり、第一の磁極３４ａと第三の磁極３５ａとの間で磁束が流れる。第二の磁極３４ｂは第四の磁極３５ｂと極性が異なり、第第二の磁極３４ｂと第四の磁極３５ｂとの間で磁束が流れる。第一の磁極３４ａと第三の磁極３５ａとの間の磁束の向きは、第二の磁極３４ｂと第四の磁極３５ｂとの間の磁束の向きと反対である。第一のコア３１と第二のコア３２とが磁気回路５１（図７（ｂ）参照）を構成する。

第一のコア３１と第二のコア３２との間には可動子２が挟まれる。第一の磁極３４ａと第三の磁極３５ａとの間には、可動子２の上側の磁石列４−１（図５参照）が挟まれる。第二の磁極３４ｂと第四の磁極３５ｂとの間には、可動子２の下側の磁石列４−２（図５参照）が挟まれる。

図４に示すように、可動子２の幅方向（図４の上下方向）の両端部には、可動子２の移動を案内するリニアガイド８，９が取り付けられる。リニアガイド８，９は、レール８ａ，９ａと、レール８ａ，９ａに沿って移動するブロック８ｂ，９ｂと、を備える。リニアガイドは公知のものであり、レール８ａ，９ａとブロック８ｂ，９ｂとの間には転がり運動可能に多数の転動体が介在する。可動子２の幅方向（図４の上下方向）の両端部６ａ，６ｂは、第一及び第二のコア３１，３２の外側に突出する。可動子２の両端部６ａ，６ｂに取り付けられるリニアガイド８，９も、第一及び第二のコア３１，３２の外側に配置される。なお、リニアガイド８，９の替わりにボールスプライン、ボールブッシュ等を用いることも可能である。

図７（ａ）は、固定子１のコアユニット２１ａ〜２１ｃと可動子２の２つの磁石列４−１，４−２を示す斜視図である。図７（ｂ）は、図７（ａ）の拡大図である。上記のように、第一のコア３１の第一の磁極３４ａと第二の磁極３４ｂとは極性が異なる。また、第二のコア３２の第三の磁極３５ａと第四の磁極３５ｂとは極性が異なる。さらに、第一の磁極３４ａと第三の磁極３５ａとは極性が異なり、第二の磁極３４ｂと第四の磁極３５ｂとは極性が異なる。コアユニットの４つのコイル４１ａ，４１ｂ，４２ａ，４２ｂに電流を流すと、第一の磁極３４ａから第三の磁極３５ａへ磁束が流れ、第四の磁極３５ｂから第二の磁極３４ｂへ磁束が流れる。そして、第一のコア３１と第二のコア３２とで磁気回路５１が構成される。Ｕ相コアユニット２１ａ、Ｖ相コアユニット２１ｂ、Ｗ相コアユニット２１ｃに１２０度ずつ位相がずれた交流を流すと、磁気回路５１と可動子２の磁石列４−１，４−２の磁束との相互作用によって可動子２がストローク方向に移動する。

本実施形態のリニアモータによれば以下の効果を奏する。可動子２を挟む第一のコア３１と第二のコア３２とで磁気回路５１が構成されるので、第一及び第二のコア３１，３２の磁束経路を短くすることができる。第一及び第二のコア３１，３２のそれぞれにコイル４１ａ，４１ｂ，４２ａ，４２ｂを巻くことで、推力を大きくすることができる。また、可動子２を挟む第一のコア３１と第二のコア３２とに働く吸引力はほぼ同じ大きさであり、方向が反対であるので、全体の吸引力をほぼキャンセルすることができる。このため、コギング力を低減することができる。さらに、可動子２のストローク方向に隣接する第一のコア３１同士又は第二のコア３２同士には、磁気回路が形成されにくいので、磁気漏洩によるノイズを低減することができる。

コギングを低減できる理由を図８の比較例を参照しつつ説明する。図８（ａ）は従来のリニアモータを示す。このリニアモータの固定子６０は、磁性体のヨーク６１と、ヨーク６１に並べられた複数の磁石６２と、を備える。可動子６５は、磁石６２に対向するＵ，Ｖ，Ｗ相の突極６３ａ〜６３ｃを有するコア６３と、突極６３ａ〜６３ｃに巻かれるＵ，Ｖ，Ｗ相のコイル６４ａ〜６４ｃと、を備える。図８（ｃ）に示すように、従来のリニアモータにおいては、磁石６２とコア６３との間に磁気吸引力が働く。磁石６２がコア６３の直下にあるときは（図８（ｃ）の左図参照）、磁気的に安定するので、コギング力は発生しない。しかし、コア６３が安定した位置から離れたときは（図８（ｃ）の右図参照）、コア６３が元の位置に戻ろうとするので、コギング力が発生する。図７（ｂ）に示すように、本実施形態のリニアモータのように、可動子２を挟むように第一のコア３１と第二のコア３２を配置することで、磁気吸引力をキャンセルすることができ、コギング力を低減することができる。

また、図８（ｂ）の拡大図に示すように、従来のリニアモータにおいては、可動子６５のストローク方向に隣接するＵ，Ｖ，Ｗ相の突極６３ａ〜６３ｃを通る磁気回路７１が形成され、磁束漏洩によるノイズが発生する。本実施形態のリニアモータによれば、図７（ｂ）に示すように、可動子２のストローク方向に隣接する第一のコア３１同士又は第二のコア３２同士に磁気回路が形成されにくいので、磁束漏洩によるノイズを低減することができる。

本実施形態のリニアモータによればさらに以下の効果を奏する。可動子２が２つの磁石列４−１，４−２を備え、一方の磁石列４−１が第一の磁極３４ａと第三の磁極３５ａとに挟まれ、他方の磁石列４−２が第二の磁極３４ｂと第四の磁極３５ｂとに挟まれる。磁気回路５１がストローク方向と直交し、ストローク方向には磁気回路５１が存在しないので、コギングをより低減できる。

コアユニット２１ａ〜２１ｃの第一のコア３１が互いに離れていて、コアユニット２１ａ〜２１ｃの第二のコア３２が互いに離れている。コアユニット２１ａ〜２１ｃが互いに独立しているので、ある相のコアユニット（例えばＵ相コアユニット２１ａ）が他の相のコアユニット（例えばＶ相コアユニット２１ｂ及びＷ相コアユニット２１ｃ）の漏れ磁束の影響を受けるのを防止することができる。

可動子２の基材６を非磁性体にすることで、可動子２を挟む第一のコア３１と第二のコア３２とが磁気回路を構成し易くなる。

基材６に板材又はシート材１１を接着することで、基材６から磁石４ａ，４ｂが抜けるのを防止することができる。

リニアモータをストローク方向から見たとき、可動子２の幅方向の両端部６ａ，６ｂが第一及び第二のコア３１，３２の外側に突出しており、可動子２が移動するのを案内するリニアガイド８，９が可動子２の両端部６ａ，６ｂに配置されるので、リニアガイド８，９に磁束が漏れるのを防止でき、またリニアガイド８，９で可動子２の移動を安定して案内することができる。

Ｃ字形の第一のコア３１の２つの突極３１ａ，３１ｂに２つのコイル４１ａ，４１ｂを巻き、Ｃ字形の第二のコア３２の２つの突極３２ａ，３２ｂに２つのコイル４２ａ，４２ｂを巻くので、可動子２の近くにコイル４１ａ，４１ｂ，４２ａ，４２ｂを配置することができ、磁束経路を短くすることができる。

可動子２の２つの磁石列４−１，４−２の間にスケール１２を配置するので、可動子２の位置を高精度に測定することができる。可動子２の力が作用する部分の近くにスケール１２を配置できるからである。

図９は、本発明の第二の実施形態のリニアモータを示す。この図９は、ストローク方向から見たリニアモータの側面図を示す。上記第一の実施形態では、固定子１がベース３に固定され、可動子２が移動するが、第二の実施形態では、固定子１が移動し、可動子２がベース３に固定される。その他の構成は第一の実施形態のリニアモータと略同一である。可動子２の下端部はベース３に固定される。可動子２の上端部と固定子１との間には、リニアガイド７２が介在する。固定子１の下端部とベース３との間には、リニアガイド７３が介在する。固定子１の移動はリニアガイド７２，７３によって案内される。

なお、本発明は上記実施形態に具体化されるのに限られることはない。例えば、上記実施形態のリニアモータでは、第一及び第二のコアそれぞれに２つのコイルを巻いているが、１つのみのコイルを巻くこともできる。

また、上記実施形態のリニアモータでは、複数の第一のコアをストローク方向に離しているが、複数の第一のコアの製造のし易さを考慮して、複数の第一のコアを磁性体で繋げてもよい。複数の第二のコアも同様である。

さらに、上記実施形態のリニアモータでは、可動子に磁石を配置しているが、可動子に磁石の替わりにコイルを配置することも、可動子に磁性体の凸部を有する平板を配置することもできる。

さらに、上記実施形態では、位置信号をフィードバックするフィードバック制御の例を説明したが、オープンループ制御を使用し、リニアモータをリニアステッピングモータとして使用することもできる。また、位置センサレス制御を使用することも可能である。

１…固定子（第一部材）、２…可動子（第二部材）、３…ベース、４−１…一方の磁石列、４−２…他方の磁石列、４ａ，４ｂ…磁石、６…基材、６ａ，６ｂ…可動子の両端部、７…開口、８，９…リニアガイド（支持機構）、１１…板材又はシート材、１２…スケール、２１−１，２１−２…電機子、２１ａ〜２１ｃ…コアユニット、３１…第一のコア、３１ａ，３１ｂ…第一のコアの突極、３２…第二のコア、３２ａ，３２ｂ…第二のコアの突極、３４ａ…第一の磁極、３４ｂ…第二の磁極、３５ａ…第三の磁極、３５ｂ…第四の磁極、４１ａ，４１ｂ，４２ａ，４２ｂ…コイル、５１…磁気回路、７２，７３…リニアガイド（支持機構）

Claims (8)

1. 第一部材に対して第二部材が一方向に相対的に移動可能なリニアモータであって、
   前記第一部材は、第一の磁極及び前記第一の磁極と極性が異なる第二の磁極を有する第一のコア、前記第一のコアに巻かれるコイル、第三の磁極及び前記第三の磁極と極性が異なる第四の磁極を有する第二のコア、並びに前記第二のコアに巻かれるコイルを含み、前記第一の磁極に前記第三の磁極が対向し、前記第二の磁極に前記第四の磁極が対向するコアユニットを前記一方向に複数備え、
   前記第二部材は、前記第一の磁極と前記第三の磁極とに挟まれると共に、前記第二の磁極と前記第四の磁極とに挟まれるリニアモータ。
2. 前記第二部材は、複数の磁石が並べられた２つの磁石列を備え、
   一方の磁石列が、前記第一の磁極と前記第三の磁極とに挟まれ、
   他方の磁石列が、前記第二の磁極と前記第四の磁極とに挟まれることを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ。
3. 複数の前記第一のコアは互いに離れているか、又は隣り合う前記第一のコア間には非磁性体が介在し、
   複数の前記第二のコアは互いに離れているか、又は隣り合う前記第二のコア間には非磁性体が介在することを特徴とする請求項１又は２に記載のリニアモータ。
4. 前記第二部材の前記複数の磁石は、非磁性体からなる基材に固定されることを特徴とする請求項２に記載のリニアモータ。
5. 前記第二部材の前記複数の磁石は、前記基材の複数の開口に嵌められており、
   前記基材には、板材又はシート材が接着されることを特徴とする請求項４に記載のリニアモータ。
6. 前記リニアモータを前記一方向から見たとき、前記第二部材の幅方向の両端部が前記第一のコア及び前記第二のコアの外側に突出しており、
   前記第二部材が移動するのを案内する支持機構が前記第二部材の前記両端部に配置されることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載のリニアモータ。
7. Ｃ字形の前記第一のコアの２つの突極に２つのコイルが巻かれ、
   Ｃ字形の前記第二のコアの２つの突極に２つのコイルが巻かれることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載のリニアモータ。
8. 前記２つの磁石列の間に、可動子の位置を検出するためのスケールが配置されることを特徴とする請求項２，４，５のいずれかに記載のリニアモータ。
   
   

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