JP2016019315A - リニアモータ、及びそれを用いた駆動システム - Google Patents

リニアモータ、及びそれを用いた駆動システム Download PDF

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Yasuaki Aoyama
康明 青山
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Abstract

【課題】リニアモータの体格が大きくなる、部品点数が増加することを解決する。【解決手段】磁性体で構成されるコア101と巻線102とからなる電機子100と、電機子100と対向する永久磁石201が複数並べられた磁石列200が相対的移動するリニアモータであって、電機子100と磁石列200の相対的に移動する長さが、電機子100と磁石列200とが相対的に移動する方向の電機子100の磁石対向部分の長さと電機子100と磁石列200とが相対的に移動する方向の磁石列200の長さより小さいことを特徴とするリニアモータ。【選択図】図3

Description

本発明はリニアモータ及びその駆動システムに係り、特に、永久磁石列と電機子との間に相対的に水平移動するための推力を発生するものに好適なリニアモータ及びその駆動システムに関する。
本技術分野の背景技術として、(特許文献1)がある。この公報には、「細長棒状の界磁マグネット11を有する軸状体Sの外周側に相対移動可能に配置した複数個の電機子コイル12を有する筒状体Cの中空ケース13を非磁性材料とし、その中空ケース13に対して磁性ヨークを介在することなく複数個の電機子コイル12を装着したことによって、通電駆動時におけるコギングの発生をほとんどなくしつつ推力のリップルを小さく抑えるとともに、軸状体Sの界磁マグネット11を吸引して適宜の位置に保持する磁性保持部材14を筒状体Cに設けて、リニアモータを垂直状態に立てた場合などにおいても軸状体Sと筒状体Cとを停止状態に維持して離脱を防止したもの。」と記載されている。
また、(特許文献2)がある。この公報には、「リニアモータ20は、電機子部を固定子1とし、界磁部を直線移動する可動子2とする。リニアモータ20は、可動子2のシャフト7に連結されたガイドレール11と、このガイドレール11を固定子1に対して軸方向に移動可能に支持するガイドブロック12と、可動子2のガイドレール11に設けられたリニアスケール13と、リニアスケール13に対向配置された位置センサ14と、を備える。」と記載されている。
特開2004−364399号公報 特開2013−198204号公報
しかしながら、(特許文献1)のリニアモータにおいては、磁性保持部材を設けて軸状体S(可動子)と筒状体C(固定子)との相対的な位置を保持する。そのため、リニアモータの体格が大きくなる、部品点数が増加するといった問題点がある。さらに、(特許文献2)のリニアモータにおいては、リニアモータのシャフトの真直度や反りの影響による位置検出不良を防止するため、可動子のガイドレールに設けられたリニアスケールと、リニアスケールに対向配置された位置センサと、を備える。そのため、リニアモータの体格が大きくなる、部品点数が増加するといった問題点がある。
上記課題を解決するために、 上記課題を解決するために本発明は、磁性体で構成されるコアと巻線とからなる電機子と、前記電機子と対向する永久磁石が複数並べられた磁石列が相対的移動するリニアモータにおいて、前記電機子と前記磁石列の相対的に移動する際の前記電機子と前記磁石列の対向長さLsと、前記電機子と前記磁石列とが相対的に移動する方向の前記電機子の磁石対向部分の長さLaとを足した値(Ls+La)が、前記電機子と前記磁石列とが相対的に移動する方向の前記磁石列の長さLmより大きい(Ls+La>Lm)ことを特徴とするものである。
また、上記課題を解決するために本発明は、磁性体で構成されるコアと巻線とからなる電機子と、前記電機子と対向する永久磁石が複数並べられた磁石列が相対的移動するリニアモータにおいて、前記電機子と前記磁石列の相対的に移動する際の前記電機子と前記磁石列の対向長さLsと、前記電機子と前記磁石列とが相対的に移動する方向の前記電機子の磁石対向部分の長さLaと、前記電機子と前記磁石列とが相対的に移動する方向に並んだ前記永久磁石の個数Nと、前記永久磁石のピッチをLpにおいて、Ls+La>N×Lpであることを特徴とするものである。
また、上記課題を解決するために本発明は、磁性体で構成されるコアと巻線とからなる電機子と、前記電機子と対向する永久磁石が複数並べられた磁石列が相対的移動するリニアモータにおいて、前記電機子と前記磁石列の相対的に移動する際の前記電機子と前記磁石列の対向長さLsと、前記電機子と前記磁石列とが相対的に移動する方向の前記電機子の磁石対向部分の長さLaと、前記電機子と前記磁石列とが相対的に移動する方向の前記磁石列の長さLmとが、Ls=Lm+Laの関係にあることを特徴とするものである。
また、上記課題を解決するために本発明は、磁性体で構成されるコアと巻線とからなる電機子と、前記電機子と対向する永久磁石が複数並べられた磁石列が相対的移動するリニアモータにおいて、前記電機子と前記磁石列の相対的に移動する際の前記電機子と前記磁石列の対向長さLsと、前記電機子と前記磁石列とが相対的に移動する方向の前記電機子の磁石対向部分の長さLaと、前記電機子と前記磁石列とが相対的に移動する方向に並んだ前記永久磁石の個数Nと、前記永久磁石のピッチをLpにおいて、Ls=La+N×Lpであることを特徴とするものである。
また、上記課題を解決するために本発明は、磁性体で構成されるコアと巻線とからなる電機子と、前記電機子と対向する永久磁石が複数並べられた磁石列が相対的移動するリニアモータにおいて、前記磁石列の端部の磁石の特性が、前記磁石列の中央部の磁石の特性と異なることを特徴とするものである。
また、上記課題を解決するために本発明は、磁性体で構成されるコアと巻線とからなる電機子と、前記電機子と対向する永久磁石が複数並べられた磁石列が相対的移動するリニアモータにおいて、前記電機子と前記磁石列の相対的に移動する方向に並べられた前記磁石の磁極方向が、前記磁石列端部で異なることを特徴とするものである。
更に、本発明はリニアモータにおいて、前記電機子と前記磁石列とが相対的に移動する方向に少なくとも2つ以上の電流位相が同相となる巻線を有することを特徴とするものである。
更に、本発明はリニアモータにおいて、前記電機子と前記磁石列とが相対的に移動する方向に少なくとも2つ以上の電機子を有することを特徴とするものである。
更に、本発明はリニアモータにおいて、前記磁石列を挟み込むように前記電機子を備えたことを特徴とするものである。
更に、本発明はリニアモータにおいて、前記磁石列を挟み込むように前記電機子をコアで連結したことを特徴とするものである。
更に、本発明はリニアモータにおいて、前記磁石列と前記電機子のコアに作用する磁気的な力を用いて、前記磁石列の位置保持をすることを特徴とするものである。
更に、本発明はリニアモータにおいて、前記電機子と前記磁石列の相対的に移動する長さLsの端部において前記磁石列と前記電機子のコアに作用する磁気的な力を用いて、前記磁石列の位置保持をすることを特徴とするものである。
更に、本発明はリニアモータにおいて、前記磁石列と前記電機子のコアに作用する磁気的な力を検出し、前記磁石列と前記電機子の相対的な位置関係を推定することを特徴とするものである。
更に、本発明はリニアモータにおいて、前記磁石列と前記電機子のコアに作用する磁気的な力により前記磁石列と前記電機子の相対的な駆動力を減衰させることを特徴とするものである。
更に、本発明は前述の構成のリニアモータを用いた駆動システムを提供することにある。
磁性保持部材や位置センサを取り付けることなく、小型のリニアモータ、及びそれを用いた駆動システムを提供することを実現する。
リニアモータの斜視図である。 図1のリニアモータをYZ平面で切り取った模式図である。 リニアモータの電機子と磁石列の相対的な位置関係例1を示す図である。 リニアモータの電機子と磁石列の相対的な位置関係例2を示す図である。 永久磁石の残留磁束密度を変化させた場合の実施例を示す図である。 磁石列の端部の磁束方向を変えた場合の実施例を示す図である。 電機子に同相となる巻線の配置した実施例を示す図である。 電機子に同相となる巻線の配置した実施例を示す図である。 1つの磁石列に対し電機子を2つ配置したリニアモータの構成例である 磁石列を電機子で挟み込んだ構成例を示す図である。 磁石列を電機子で挟み込んだ構成例を示す図である。 磁石列を挟み込む電機子を連結した実施例である。 本発明により生じる力の解析例を示す図である。
以下、本発明の実施例を図面を用いて説明する。
本発明のリニアモータの例を説明する。図1に本実施例のリニアモータの斜視図を示す。図2に斜視図をY−Z平面で切り取った模式図を示す。図1および図2は、3相駆動のリニアモータの例を示す。電機子100は、巻線102a、巻線102b、巻線102cおよびコア100で構成される。磁石列200は、永久磁石201およびバックプレート202で構成される。コア100およびバックプレート202は、ケイ素鋼板やSS400などの磁性体が材料に用いられる。また、永久磁石201は、希土類を用いたボンド磁石や焼結磁石およびフェライト磁石などを用いられるが、これらの材料に限定されるわけではない。電機子100の巻線に流して生じる磁束と、磁石列200の永久磁石201によって生じる磁束の相互作用によって、電機子100と磁石列200は相対駆動をする。電機子100と磁石列200は図示しないリニアガイド、直動のベアリング、カムフォロアおよびローラーなどでY軸方向の間隔が維持される。また、磁石列200は、磁性体からなるバックプレート202に永久磁石201を複数配置する。電機子100と磁石列200が相対運動する方向に永久磁石201が複数並べられ、隣り合う永久磁石間で磁極の向き203が交互になるように配置する。
電機子100の巻線102に電流を流さない場合においても、電機子100のコア101と、磁石列200の永久磁石201には、磁性体からなるコア101と永久磁石201に吸引力が生じる。3相リニアモータの場合の電機子100のコア101と、磁石列200の永久磁石201に働く吸引力を図3を用いて説明する。3相モータの場合、一般に、永久磁石201のピッチ504を電気角180°とした場合、各相の巻線および磁石に対向するコアは電気角で各々120°の位相差をもつように配置される。各相の巻線を巻いたコアを101a、101bおよび101cは、電機子100と磁石列200が相対運動する方向に併設される。ここで、電機子の長さ502をLa、電機子100と磁石列200が相対運動する移動長さ503をLs、磁石列200の電機子100と対向する部分の長さ501をLmとした場合、La+Ls>Lmの関係にある場合、電機子100と磁石列200は相対運動の端部で図3下部に示したように、永久磁石201aに対向しないコアが生じる。つまり、電機子100の一部もしくは全部が、磁石列200に対して、電機子100と磁石列200が相対移動する方向にはみ出る。コア101aとコア101bは、永久磁石201aに対向する位置にある。それに対し、コア101cは永久磁石201と対向しない。巻線102に電流を流さない場合において、電機子100のコア101に働くZ方向の吸引力は、ディテント力と呼ばれ、電流を流した時に生じる推力の脈動原因となるため小さくなるように設計する。一般に、3相のコアに生じる脈動成分は、各々120°の位相差を持つことで、相殺される仕組みになっている。つまり、各位相のコアに生じる脈動成分にばらつきがあると、ディテントが大きくなる。本発明は、電機子100と磁石列200との相対運動の端部で、各相のコアに生じるZ方向の吸引力にアンバランスを生じさせ、磁石列に働く力(ディテント力)を大きくする。この力により、電機子100と磁石列200の相対位置を保持するものである。本構成により、磁性保持部材など追加の部品を設けることなく、電機子100と磁石列200は相対運動の端部において、電機子100と磁石列200の位置関係を保持することが可能となる。
また、電機子100と磁石列200とが相対的に移動する方向に並んだ永久磁石201の個数をNと、永久磁石201のピッチ504をLpとした場合、電機子の長さ502をLa、電機子100と磁石列200が相対運動する移動長さ503をLsに対し、Ls+La>N×Lpの関係にする。これにより、電機子100と磁石列200との相対運動の端部において、電機子100に働く各相のコア101への力のアンバランスにより、電機子100と磁石列200の位置関係を保持することが可能となる。
実施例2として、小型のリニアモータの構成例を説明する。本実施例のリニアモータのうち、既に説明した実施例1に示された同一の符号を付された構成と、同一の機能を有する部分については、説明を省略する。
図4を用いて本実施例のリニアモータを説明する。図4の上部および下部に示す電子機100と磁石列200位置関係において、電子機100と磁石列200とのZ方向の距離が開くにつれて、子機100と磁石列200のZ方向の吸引力も小さくなる。また、電子機100と磁石列200とのZ方向の距離が開くにつれて、電機子100を磁石列200に対向する位置に戻す際の推力も小さくなる。したがって、電機子100と磁石列200の相対的に移動する際の電機子100と磁石列200の対向長さLsと、電機子100と磁石列200とが相対的に移動する方向の電機子100の磁石対向部分の長さLaと、電機子100と磁石列200とが相対的に移動する方向の磁石列200の長さLmは、Ls=Lm+Laの関係にあることがより良い。
また、電機子100と磁石列200の相対的に移動する際の電機子100と磁石列200の対向長さLsと、電機子100と磁石列200とが相対的に移動する方向の電機子100の磁石対向部分の長さLaと、電機子100と磁石列200とが相対的に移動する方向に並んだ永久磁石201の個数Nと、永久磁石201のピッチ504をLpとした場合、Ls=La+N×Lpを満足することが好ましい。
実施例3として、小型のリニアモータの構成例を説明する。本実施例のリニアモータのうち、既に説明した実施例1乃至実施例2に示された同一の符号を付された構成と、同一の機能を有する部分については説明を省略する。
図5を用いて本実施例のリニアモータを説明する。本実施例は、永久磁石201の残留磁束密度を磁石列端部で変えることにより、電機子のコアに作用する各相の吸引力をアンバランスにし、電機子100と磁石列200の位置関係を保持することが可能となる。図5に示した磁石列200のZ方向の端部の磁石203aの残留磁束密度を大きくした場合について示す。これにより、Z方向の吸引力(コギング力)が増大し、電機子100と磁石列200の位置関係を保持することが可能となる。図5において、磁石列200の両端の永久磁石203aの磁束密度を大きくした場合について示したが、これに限定されるわけではない。磁石列200において永久磁石201の残留磁束密度を部分的に変えることで、残留磁束密度が変わる磁石列に対向する位置に電機子100がある場合、各相の吸引力がアンバランスになり、電機子100と磁石列200の位置関係を保持する力が働く。図5においては、磁石列200の両端の永久磁石各1個の残留磁束密度を大きくした場合を示したが、この個数に限定されるわけではない。また、永久磁石の残留磁束密度を小さくし、アンバランスを生じされることも可能である。
図6に本実施例の変形例を示す。図6の磁石列200の左部の永久磁石の磁極の向きを変えた場合の実施例を示す。203aは、永久磁石の残留磁束密度を大きくし、かつ、隣りの永久磁石の磁極の向き203bとそろえた構成を示す。このように、磁石列200端部の永久磁石において、磁極の向きを変えることでもアンバランスが生じ、電機子100と磁石列200の位置関係を保持する力が働く。また、永久磁石の残留磁束密度を変えることと、磁極の向きを変えることと、を同時に実施することも可能である。
実施例4として、小型のリニアモータの構成例を説明する。本実施例のリニアモータのうち、既に説明した実施例1乃至実施例3に示された同一の符号を付された構成と、同一の機能を有する部分については、説明を省略する。
図7及び図8を用いて実施例のリニアモータを説明する。図7はリニアモータの斜視図を示し、図8にそのリニアモータをYZ平面で切り取った構成例を示す。図7は、本発明のリニアモータのコア配列を隣り合うコアで同位相に配置したものである。電機子100a,100b,100cは、図示しない部品で連結される。U相、V相およびW相は電気的な位相が各々120°ずれている。また、U+とU−は位相が180°ずれていることを示す。位相差が180°の場合、巻線の方向変えることにより、同位相の電流で駆動できる。たとえば、巻線102aを時計回りに巻いたとすると、巻線102bは反時計回りに巻くことで同一電流で位相差を180°にできる。このように、電機子100a,100b,100cと、磁石列200が相対的に動く方向(Z方向)に同位相となる巻線を併設配置することで、永久磁石201と電機子100a,100b,100cの対向範囲が広がり、電機子100a,100b,100cを磁石列200に対向する位置に戻す際の推力を大きくできる。
実施例5として、小型のリニアモータの構成例を説明する。本実施例のリニアモータのうち、既に説明した実施例1乃至実施例4に示された同一の符号を付された構成と、同一の機能を有する部分については、説明を省略する。
図9及び図10を用いて実施例のリニアモータを説明する。図9及び図10にリニアモータのYZ断面図を示す。本構成は電機子100aと、電機子100bを、電機子100a,100bと、磁石列200が相対的に動く方向(Z方向)に併設したものである。電機子100aと100bは図示しない部品で連結され、電機子100aおよび100bは一体となって磁石列200と相対的駆動する。例えば電機子100bが、図8下部に示すような位置にある場合、電機子100bの電機子によって電機子と磁石列200の位置関係を保持し、電機子が駆動する際の推力を電機子100aによって発生することが可能になる。電機子は少なくとも2つ以上で構成され、1つの電機子は単独で駆動できるものであればよい。たとえば、図9及び図10に示した電機子100aと電機子100bは、それぞれ単独でもリニアモータとして動作できれば、電機子100aと電機子100bを一体として電機子を構成してもかまわない。つまり、電機子の一部分がリニアモータとしての動作ができればよい。
実施例6として、小型のリニアモータの構成例を説明する。本実施例のリニアモータのうち、既に説明した実施例1乃至実施例5に示された同一の符号を付された構成と、同一の機能を有する部分については、説明を省略する。
図10及び図11を用いて実施例のリニアモータを説明する。例えば、図3および図5で説明したように、永久磁石とコアの吸引力のアンバランスを生じさせ、電機子と磁石列の位置関係を保持しようとした場合、図3および図5においてZ方向の力とY方向の力の成分が発生する。Y方向の力成分は、永久磁石とコアの吸引力で発生するため、コアの有る場合と無い場合、永久磁石の残留磁束密度が変わった場合、つまり図3および図5の紙面を貫く軸(図示しないX軸)周りにモーメントが発生する。このモーメント力を低位減するため、永久磁石を電機子で挟み込む構造がなお好適である。
図10及び図11に永久磁石を電機子で挟み込む構造のリニアモータを示す。図10及び図11に示すリニアモータは、磁石列200は、永久磁石201と、永久磁石ホルダ204で構成される。永久磁石ホルダ204は磁石の漏れ磁束を低減するため非磁性体が好適であるが、磁性体を用いることで電機子の作る磁束と、磁性体で構成された永久磁石ホルダの吸引力を利用することも可能である。磁石列200は、上側電機子100aと下側電機子100bに挟まれることにより、上側電機子100aに生じるY方向の力と、下側電機子100bに生じるY方向の力を相殺することが可能になる。
図12に応用例を示す。図12は、上側電機子と下側電機子をコア101fでつないだ構成であり、コア101fは上側電機子および下側電機子を保持するだけでなく、上下の電機子をつなぐ磁路の役割も得られるため、より好適である。
実施例7として、本発明のリニアモータに働く力の解析例を説明する。
図13に解析によって確認した電機子と磁石列に働く力を示す。相対位置Aでの電機子100と磁石列200の位置関係と、相対位置Bでの電機子100と磁石列200の位置関係とを、図13上段に示す。グラフの横軸は電機子100と磁石列200との基準点の距離を磁石ピッチLpで除した値を示す。したがって、ある基準点の位置を0とし、電機子100と磁石列200が相対的に磁石ピッチLpだけ移動した場合、横軸は1となる。一般に、3相のリニアモータは各相の電機子と永久磁石の脈動成分が正弦波であれば合成の力はほぼゼロになるが、実際は高次の脈動成分を含むためゼロにならない。相対位置Aから相対位置Bの区間は、電機子100に対し磁石列200の永久磁石が対向しているため脈動成分が小さい。しかし、相対位置Aから左と、相対位置Bから右の部分においては、電機子100に対し磁石列200の永久磁石が対向しないコアが存在し、脈動成分が大きくなる。この脈動成分を利用して、電機子100に対し磁石列200の相対的な位置を保持することができる。たとえば、一定速で磁石列200が、電機子100に対し相対的に移動している場合、相対位置Aから左と、相対位置Bから右の部分に入ると脈動成分が大きくなるため、移動するために必要な巻線に流す電流が増加する。この増加する電流を検知することで、機子100に対し磁石列200の相対的な位置を検出することが可能になる。また、相対位置Aから左と、相対位置Bから右の部分に入ると脈動成分の増加により移動を妨げようとする力が生じるため、この力を大きく設計することで減衰機構として作用することが可能となる。
以上、本発明の各実施例を図を用いて説明した。本発明は電機子と磁石列の位置関係の保持や、電機子と磁石列の相対的な位置関係を、リニアモータの電機子および磁石列のみで実現できる。
100、100a、100b、100c 電機子
101、101a、101b、101c、101d,101e,101f、101g、101f コア
102、102a、102b、102c,102d,102e,102f 巻線
200 磁石列
201、201a 磁石
202 バックプレート
203、203a、203b,203c 永久磁石の磁極の向き
204 永久磁石ホルダ
501 磁石列の電機子との対向する長さ
502 電機子の長さ
503 電機子と磁石列の相対的な移動長さ
504 永久磁石のピッチ

Claims (15)

  1. 磁性体で構成されるコアと巻線とからなる電機子と、
    前記電機子と対向する永久磁石が複数並べられた磁石列が相対的移動するリニアモータにおいて、
    前記電機子と前記磁石列の相対的に移動する際の前記電機子と前記磁石列の対向長さLsと、
    前記電機子と前記磁石列とが相対的に移動する方向の前記電機子の磁石対向部分の長さLaとを足した値(Ls+La)が、
    前記電機子と前記磁石列とが相対的に移動する方向の前記磁石列の長さLmより大きい(Ls+La>Lm)ことを特徴とするリニアモータ。
  2. 磁性体で構成されるコアと巻線とからなる電機子と、
    前記電機子と対向する永久磁石が複数並べられた磁石列が相対的移動するリニアモータにおいて、
    前記電機子と前記磁石列の相対的に移動する際の前記電機子と前記磁石列の対向長さLsと、
    前記電機子と前記磁石列とが相対的に移動する方向の前記電機子の磁石対向部分の長さLaと、
    前記電機子と前記磁石列とが相対的に移動する方向に並んだ前記永久磁石の個数Nと、
    前記永久磁石のピッチをLpにおいて、Ls+La>N×Lpであることを特徴とするリニアモータ。
  3. 磁性体で構成されるコアと巻線とからなる電機子と、
    前記電機子と対向する永久磁石が複数並べられた磁石列が相対的移動するリニアモータにおいて、
    前記電機子と前記磁石列の相対的に移動する際の前記電機子と前記磁石列の対向長さLsと、
    前記電機子と前記磁石列とが相対的に移動する方向の前記電機子の磁石対向部分の長さLaと、
    前記電機子と前記磁石列とが相対的に移動する方向の前記磁石列の長さLmとが、
    Ls=Lm+Laの関係にあることを特徴とするリニアモータ。
  4. 磁性体で構成されるコアと巻線とからなる電機子と、
    前記電機子と対向する永久磁石が複数並べられた磁石列が相対的移動するリニアモータにおいて、
    前記電機子と前記磁石列の相対的に移動する際の前記電機子と前記磁石列の対向長さLsと、
    前記電機子と前記磁石列とが相対的に移動する方向の前記電機子の磁石対向部分の長さLaと、
    前記電機子と前記磁石列とが相対的に移動する方向に並んだ前記永久磁石の個数Nと、
    前記永久磁石のピッチをLpにおいて、Ls=La+N×Lpであることを特徴とするリニアモータ。
  5. 磁性体で構成されるコアと巻線とからなる電機子と、
    前記電機子と対向する永久磁石が複数並べられた磁石列が相対的移動するリニアモータにおいて、
    前記磁石列の端部の磁石の特性が、前記磁石列の中央部の磁石の特性と異なることを特徴とするリニアモータ。
  6. 磁性体で構成されるコアと巻線とからなる電機子と、
    前記電機子と対向する永久磁石が複数並べられた磁石列が相対的移動するリニアモータにおいて、
    前記電機子と前記磁石列の相対的に移動する方向に並べられた前記磁石の磁極方向が、前記磁石列端部で異なることを特徴とするリニアモータ。
  7. 請求項1から請求項6のうちの1つのリニアモータにおいて、
    前記電機子と前記磁石列とが相対的に移動する方向に少なくとも2つ以上の電流位相が同相となる巻線を有することを特徴とするリニアモータ。
  8. 請求項1から請求項7のうちの1つのリニアモータにおいて、
    前記電機子と前記磁石列とが相対的に移動する方向に少なくとも2つ以上の電機子を有することを特徴とするリニアモータ。
  9. 請求項1から請求項8にのうちの1つのリニアモータにおいて、
    前記磁石列を挟み込むように前記電機子を備えたことを特徴とするリニアモータ。
  10. 請求項9に記載のリニアモータにおいて、
    前記磁石列を挟み込むように前記電機子をコアで連結したことを特徴とするリニアモータ。
  11. 請求項1から請求項10のうちの1つのリニアモータにおいて、前記磁石列と前記電機子のコアに作用する磁気的な力を用いて、前記磁石列の位置保持をすることを特徴とするリニアモータ。
  12. 請求項1から請求項10のうちの1つのリニアモータにおいて、
    前記電機子と前記磁石列の相対的に移動する長さLsの端部において前記磁石列と前記電機子のコアに作用する磁気的な力を用いて、前記磁石列の位置保持をすることを特徴とするリニアモータ。
  13. 請求項1から請求項10のうちの1つのリニアモータにおいて、
    前記磁石列と前記電機子のコアに作用する磁気的な力を検出し、前記磁石列と前記電機子の相対的な位置関係を推定することを特徴としたリニアモータ。
  14. 請求項1から請求項10のうちの1つのリニアモータにおいて、
    前記磁石列と前記電機子のコアに作用する磁気的な力により前記磁石列と前記電機子の相対的な駆動力を減衰させることを特徴としたリニアモータ。
  15. 請求項1から請求項14のうちの1つのリニアモータを用いたことを特徴とする駆動システム。
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