DE10211892A1 - Linearer Schrittmotor, Objektträgervorrichtung und Belichtungsvorrichtung - Google Patents

Abstract

Ein linearer Schrittmotor umfasst Primärständer (1), in welchen eine Vielzahl von Erregereinheiten (3a bis 3d) und Erregerspulen (5a bis 5d), die um die Erregereinheiten gewickelt sind, in einer Reihe aufgereiht sind, und ein sekundäres Bewegungselement (12) das mit einem vorbestimmten Luftspalt zu den Ständern (1) in Gegenüberlage zu den Seitenflächen der Ständer (1) angeordnet ist. Die Ständer (1) sind in der Bewegungsrichtung des Bewegungselements (12) angeordnet, und die Ständer (1) und das Bewegungselement (12) sind gelagert für eine Bewegung relativ zueinander in der Bewegungsrichtung des Bewegungselements (12). Eine Vielzahl von auf dem Bewegungselement (12) angeordneten Polzähnen (16) ist unterteilt, und es sind die Polzähne integral miteinander mittels eines nicht magnetischen Teils (17) verbunden. Das sekundäre Bewegungselement ist leicht gebaut und weist ein verbessertes Ansprechverhalten auf.

Description

Die Erfindung betrifft einen linearen Pulsmotor bzw. Schrittmotor mit variabler Reaktanz (nachstehend als VR- Linearschrittmotor bezeichnet), und insbesondere einen linearen Schrittmotor zur Verwendung in einem Antriebssystem für eine FA-Einrichtung, die eine hohe Schubkraft und eine große Beschleunigung und Verzögerung als Antriebseigenschaft aufweist, sowie ein Antriebssystem für eine Vorrichtung in Verbindung mit Halbleitern, die einfach durch Wärmeerzeugung zerstört werden können, und Verschiebung bzw. Versetzung (Fluktuationen in der Schubkraft, wenn keine Spannung angelegt ist) und die ein gutes Ansprechen auf eine starke Beschleunigung und Verzögerung erfordert, sowie eine Objektträgervorrichtung und eine Belichtungsvorrichtung zur Verwendung des linearen Schrittmotors.

Ein Beispiel eines zweiseitigen linearen Schrittmotors, wie er bekanntermaßen in einer FA-Einrichtung oder einer Belichtungsvorrichtung verwendet wird, umfasst einen vierphasigen linearen Schrittmotor mit einer Anordnung gemäß der Darstellung in Fig. 4. Gemäß Fig. 4 sind erste und zweite Primärständer in Sandwichbauweise mit einem dazwischen angeordneten zweiten beweglichen Element 2 vorgesehen. Erregungseinheiten 3a, 3b, 3c und 3d, die jeweils den Phasen A, B, C und D zugeordnet sind und die aus einem magnetischen Material bestehen sind entlang der Bewegungsrichtung des sekundären beweglichen Elements 2 angeordnet. Die Erregungseinheiten 3a, 3b, 3c und 3d weisen jeweils Erregerspulen 4a, 4b, 4c und 4d auf, die um die Erregungseinheiten gewickelt sind, und hervorstehende Primärständerpolzähne 5a, 5b, 5c und 5d, wobei von jedem zumindest einer auf der jeweiligen Oberfläche in Gegenüberlage zum sekundären Bewegungselement 2 ausgebildet ist.

Das sekundäre Bewegungselement 2 weist ein Sekundärbewegungselementjoch 6 auf, das sich kontinuierlich in der Bewegungsrichtung des sekundären Bewegungselements 2 erstreckt, und das eine Vielzahl von Sekundärbewegungselementpolzähnen 2a aufweist, die auf den beiden Seiten des Sekundärbewegungselementjochs 6 in Gegenüberlage zu den Primärständern 1 angeordnet sind. Das sekundäre Bewegungselement 2 ist für eine Beweglichkeit in der Bewegungsrichtung des sekundären Bewegungselements 2 bezüglich der Primärständer 1 gelagert. Zum Antreiben des Sekundärbewegungselements 2 wird den vierphasigen Erregerspulen 4a, 4b, 4c und 4d in einer bestimmten Reihenfolge Leistung zugeführt, so dass die Erregereinheiten 3a, 3b, 3c und 3d der jeweiligen Phasen erregt werden. Das sekundäre Bewegungselement 2 erhält eine Schubkraft in der Bewegungsrichtung von einer magnetischen Anziehungskraft, die durch die gegenüberliegenden magnetischen Funktionen der Bewegungselementpolzähne 2a und der Statorpolzähne 5a bis 5d erzeugt werden.

In dem bekannten zweiseitigen linearen Schrittmotor gemäß der vorstehenden Beschreibung weist das sekundäre Bewegungselement 2 eine Vielzahl von Sekundärbewegungselementpolzähnen 2a auf den beiden Seitenoberflächen auf, die in Gegenüberlage zu dem ersten und zweiten Primärständer 1 von dem sich in der Bewegungsrichtung erstreckenden Sekundärbewegungselementjoch 6 angeordnet sind. Da das Sekundärbewegungselementjoch 6 in seinen Abmessungen groß wird, vergrößern sich das Gewicht und das gesamte sekundäre Bewegungselement 2, und es vergrößert sich ferner die träge Masse des Bewegungselements 2. Somit kann der lineare Schrittmotor nicht die spezifische Geschwindigkeit innerhalb einer vorbestimmten Zeitdauer erreichen, oder er kann nicht verzögert werden zum Anhalten innerhalb einer vorbestimmten Zeitdauer, auch wenn dem linearen Schrittmotor ein Steuerungsbefehl für eine starke Beschleunigung/Verzögerung zugeführt wird. Insbesondere weist dieser lineare Schrittmotor ein ungünstiges Ansprechverhalten auf, d. h. ein schlechtes Beschleunigungs/Verzögerungs-Verhalten.

Als ein bekannter linearer Schrittmotor (Pulsmotor) mit variabler Reaktanz ist ein vierphasiger linearer Schrittmotor, wie er in Fig. 10 gezeigt ist, verfügbar. Bei diesem linearen Schrittmotor umfasst ein Bewegungselement 11 magnetische Teile 13a, 13b, 13c und 13d, die jeweils Phasen A, B, C und D zugeordnet und die entlang der Bewegungsrichtung des Bewegungselements 11 angeordnet sind, sowie Spulen 14a, 14b, 14c und 14d, die um den entsprechenden magnetischen Teil gewickelt sind, und hervorstehende Bewegungselementpolzähne 15a, 15b, 15d und 15d, von denen jeweils zumindest einer auf der Oberfläche des Bewegungselements 12 in Gegenüberlage zu einem Ständer 60 ausgebildet ist. Das bewegliche Element 11 ist derart gelagert, dass es bezüglich des Ständers 60 bewegbar ist. Der Ständer 60 umfasst eine Vielzahl von Ständerpolzähnen 12a an einer Seitenoberfläche eines Ständerjochs 20, das gegenüber den Bewegungselementpolzähnen 15a bis 15d angeordnet ist. Zum Antreiben des Bewegungselements 11 wird den vierphasigen Erregerspulen 14a bis 14d in einer bestimmten Reihenfolge Leistung zugeführt, so dass die Erregereinheiten 13a, 13b, 13c und 13d der jeweiligen Phasen erregt werden. Das Bewegungselement 11 erhält eine Schubkraft in der Bewegungsrichtung durch eine magnetische Anziehungskraft, die erzeugt wird durch gegenseitige magnetische Funktionen der Bewegungselementpolzähne 15a bis 15d und der Ständerpolzähne 12a. Es wird dabei angenommen, dass Leistung der Spule 14a, 14b, 14c oder 14d zugeführt wird, wobei sich die sogenannte A-, B-, C- oder D- Phasenerregung ergibt.

Das bekannte Erregungsverfahren umfasst drei Typen der Erregung, d. h. die 1-Phasenerregung, die 2-Phasenerregung und die 1-2-Phasenerregung. Bei der nachfolgenden Beschreibung wird das Schubkrafterzeugungsprinzip unter Verwendung der 1-Phasenerregung als Beispiel geklärt und es werden die damit verbundenen Probleme diskutiert. Bei der 1-Phasenerregung wird die Erregungsphase in der Reihenfolge Phase A → Phase B → Phase C → Phase D → Phase A, umgeschaltet, und während der Erregungsumschaltung kann das Bewegungselement um eine Raststufe (Teilung) P in der Bewegungsrichtung bewegt werden. Die Fig. 11a bis 11c zeigen, wie sich das Bewegungselement um 1/4 Raststufe bewegt. P (Raststufe, Teilung) bezeichnet hierbei den Abstand zwischen einem Ständerpohlzahn zu einem benachbarten Ständerpohlzahn.

Zuerst wird das Bewegungselement in der Phase A erregt, und es wird ein magnetischer Hauptkreis (gestrichelte Linie) gemäß der Darstellung in Fig. 11A gebildet, wobei in dieser Position ein stabiler Zustand beibehalten wird. Ein stabiler Zustand bedeutet ein Zustand, in welchem eine zwischen dem Bewegungselementpolzahn 15b und 15d und dem Ständerpohlzahn 12a nach einer Erregung der Phase A erzeugte magnetische Anziehungskraft in Bezug auf die Bewegungsrichtung ausgeglichen ist. Wird die Erregungsphase von der Phase A zur Phase B umgeschaltet, so wird bezüglich des zu bildenden Hauptmagnetkreises zusätzlich zu dem einen Kreis mit der Reihenfolge der magnetischen Teile: magnetischer Teil 13b → Bewegungselementpolzahn 15a → Ständerpohlzahn 12a → Ständerjoch 20 → Ständerpohlzahn 12a → Bewegungselementpolzahn 15b → Magnetteil 13b, ein neuer Magnetkreis gebildet mit der Reihenfolge der Magnetteile: Magnetteil 13b → Magnetteil 13d → Bewegungselementpolzahn 15d → Ständerpolzahn 12a → Ständerjoch 20 → Ständerpolzahn 12a → Bewegungselementpolzahn 15b → Magnetteil 13b (Fig. 11B). Von den durch die Magnetteile 13a, 13b, 13c und 13d fließenden Magnetflüsse ist der größte derjenige des Magnetteils 13b. Bezüglich der erzeugten Schubkraft, wenn die Bewegungselementpolzähne eine magnetische Anziehungskraft von den Ständerpolzähnen erfahren, ist in Relation zu Positionen der Bewegungselementpolzähne und der Ständerpolzähne relativ zueinander die Schubkraft im Bewegungselementpolzahn 15 gleich 0, eine große linksgerichtete Schubkraft wird in dem Bewegungselementpolzahn 15b erzeugt, und eine kleine nach rechts gerichtete Schubkraft wird in dem Bewegungselementpolzahn 15d erzeugt. Somit wird das Bewegungselement instabil. Nach Erhalten der nach rechts gerichteten Schubkraft bewegt sich das Bewegungselement 11 zu einer Position, in welcher die nach links und nach rechts gerichteten Schubkräfte ausgeglichen sind, wie es in Fig. 11c gezeigt ist. Danach werden nacheinander die Phasen C, D und A erregt.

Im linearen Schrittmotor wird eine Schubkraft erzeugt, während der gegenüberliegende Bewegungselementpolzahn und der Ständerpolzahn voneinander in der Bewegungsrichtung versetzt sind, wenn ein magnetischer Fluss von einem Polzahn zu einem gegenüberliegenden Polzahn über den Luftspalt fließt und der Ständerpolzahn eine magnetische Kraft auf den Bewegungselementpolzahn ausübt. In dem bekannten linearen Schrittmotor im Hinblick auf den in Fig. 11B gezeigten magnetischen Kreis fließt der durch die Phase B erzeugte magnetische Fluss zwischen dem Bewegungselement und dem Ständer durch den Luftspalt bei den Teilen der Bewegungselementpolzähne 15a, 15b, 15c und 15d. Der Magnetfluss jedoch, der tatsächlich zur Erzeugung der Schubkraft beiträgt, erzeugt eine Schubkraft lediglich in dem Bewegungselementpolzahn 15b. In den Bewegungselementpolzähnen 15a und 15d erzeugt der Magnetfluss keine Schubkraft oder er erzeugt eine Schubkraft in einer Richtung entgegengesetzt zur Bewegungsrichtung. Tritt in dem magnetischen Kreis ein Luftspalt auf, dann liegt ein entsprechender magnetischer Widerstand vor, und es ist eine magnetisierende Kraft durch Erregung erforderlich. Ist ein Luftspalt, der keine Schubkraft erzeugt oder ein Luftspalt, der eine Schubkraft in einer Richtung entgegengesetzt zur Bewegungsrichtung erzeugt, im magnetischen Kreis vorhanden, dann ist eine entsprechende magnetomotorische Kraft erforderlich, und der Umwandlungswirkungsgrad der magnetomotorischen Kraft in eine Schubkraft wird verschlechtert.

Die vorliegende Erfindung wurde vorgeschlagen zur Lösung der bekannten Probleme und ihr liegt die Aufgabe zugrunde, einen linearen Schrittmotor bereitzustellen mit einer hohen Beschleunigung/Verzögerung und einem guten Ansprechverhalten, in welchem die Masse des Sekundärbewegungselementjochs minimiert ist zur Bildung eines Sekundärbewegungselements mit geringem Gewicht.

Es ist eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen linearen Schrittmotor mit hoher Schubkraft und großem Wirkungsgrad bereitzustellen, der in effizienter Weise einen durch einen Luftspalt fließenden magnetischen Fluss nutzt. Ein wichtiger Punkt bei der Lösung der vorstehenden Probleme ist die Bildung eines geschlossenen magnetischen Kreises, so dass der magnetische Fluss daran gehindert wird, zu einem magnetischen Teil oder einem Polzahn zu fließen, die keinen Beitrag zur Erzeugung der Schubkraft leisten.

Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist die Verbesserung eines magnetischen Kreises in einem bekannten linearen Schrittmotor (Pulsmotor) mit variabler Reaktanz (nachstehend als VR-Linearschrittmotor bezeichnet) zum Erhalten einer Schubkraft aus einer Änderungsrate des magnetischen Widerstands unter Verwendung sowohl der magnetischen Teil als auch der nichtmagnetischen Teile, wobei ein linearer Schrittmotor mit hoher Schubkraft und hohem Wirkungsgrad bereitgestellt wird.

Zur Lösung der vorstehenden Aufgaben umfasst ein linearer Schrittmotor gemäß der vorliegenden Erfindung Primärständer, in welchen eine Vielzahl von Magnetteilen und um die Magnetteile gewickelte Spulen in einer Reihe linienförmige angeordnet sind, und ein sekundäres Bewegungselement, das mit einem vorbestimmten Luftspalt zu den Ständern gegenüber den Seitenflächen derselben angeordnet ist, wobei die Ständer in der Bewegungsrichtung des Bewegungselements angeordnet sind, und die Ständer und das Bewegungselement gelagert sind für eine Bewegung in der Bewegungsrichtung relativ zueinander, wobei eine Vielzahl von Polzähnen auf dem Bewegungselement angeordnet ist, die unterteilt und integral miteinander durch ein nichtmagnetisches Teil verbunden sind zur Bildung des Bewegungselements, wobei das Bewegungselement gebildet wird.

Vorzugsweise weist der lineare Schrittmotor einen zweiseitigen Aufbau auf, in welchem die Ständer an beiden Seiten des Bewegungselements angeordnet sind.

Vorzugsweise ist in dem linearen Schrittmotor das Bewegungselement geführt und gelagert durch entweder ein statisches Drucklager oder ein magnetisches Lager für eine Beweglichkeit in der Bewegungsrichtung.

Vorzugsweise umfasst der lineare Schrittmotor zumindest eine Kühleinrichtung aus den Möglichkeiten einer Kühleinrichtung zum Kühlen der Erregerspulen und einer Kühleinrichtung zum Kühlen des Bewegungselements.

Vorzugsweise sind in dem linearen Schrittmotor die durch zumindest einen der Ständer und das Bewegungselement verwendeten magnetischen Teile laminierte elektromagnetische Stahlbleche.

Vorzugsweise besteht in dem linearen Schrittmotor das von zumindest entweder den Primärständern oder dem sekundären Bewegungselement verwendete nicht magnetische Material entweder aus rostfreiem Stahl, Aluminium, einem keramischen Material oder einem Harz.

Eine Objektträgervorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst eine Steuerungseinheit zur Erzeugung eines Antriebssteuerungsbefehls für ein Antriebselement, und den vorstehenden linearen Schrittmotor zum Antreiben eines Objektträgers auf der Basis des mittels der Steuerungseinheit erzeugten Antriebssteuerungsbefehls.

Eine Belichtungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst die vorstehende Objektträgervorrichtung zum darauf Anbringen einer Halbleiterscheibe (Siliziumscheibe, Wafer) und zum Positionieren der Halbleiterscheibe in einer Belichtungsposition.

Mit der vorstehenden Anordnung in einem zweiseitigen linearen Schrittmotor wird die Masse des Sekundärbewegungselementjochs minimiert und die Polzähne sind integral miteinander mittels eines nichtmagnetischen Teils verbunden, so dass ein leichtgebautes sekundäres Bewegungselement gebildet werden kann. Somit wird ein hohes Ansprechverhalten erzielt, das auch in Verbindung mit einer starken Beschleunigung/Verzögerung gesteuert werden kann.

Während die Masse des Sekundärbewegungselementjochs minimiert ist, ist der magnetische Kreis bei dem Antrieb des Motors in keiner Weise geändert, und die Schubkraft des Motors vermindert sich nicht.

Zur Lösung der vorstehenden Aufgabe umfasst ein linearer Schrittmotor gemäß der vorliegenden Erfindung einen Primärteil, der erhalten wird durch Wickeln einer Spule um einen Primärmagnetabschnitt, der eine Vielzahl von hervorstehenden und in einer Richtung linienförmig angeordneten Primärpolzähnen verbindet, einen Sekundärteil, der erhalten wird durch Verbinden einer Vielzahl von hervorstehenden Sekundärpolzähnen, die linienförmig in einer Richtung angeordnet sind an einem Luftspalt von den Primärpolzähnen mit einem Sekundärmagnetabschnitt, wobei die Spule erregt wird zum Bewegen der primären und sekundären Teile relativ zueinander in einer Richtung, wobei ein erster Primärpolzahn, ein zweiter Primärpolzahn, der relativ zu dem ersten Primärpolzahn um eine Teilung P in einer Richtung versetzt ist, ein erster Primärmagnetabschnitt zum Verbinden des ersten und zweiten Primärpolzahns miteinander, und eine um den ersten Primärmagnetabschnitt gewickelte Spule eine Erregungseinheit bilden, wobei der Primärteil einer Gruppe von Erregungseinheiten einschließlich n-Erregungseinheiten aufweist, die in einer Richtung relativ zueinander um P/n versetzt angeordnet sind, wobei n eine ganze Zahl nicht kleiner als 3 ist, und wobei der Primärteil und der Sekundärteil für eine Bewegung relativ zueinander in einer Richtung gelagert sind.

Zur Lösung der vorstehenden Aufgaben umfasst ein linearer Schrittmotor gemäß der vorliegenden Erfindung einen Primärteil, der erhalten wird durch Wickeln einer Spule auf einen Primärmagnetabschnitt, der eine Vielzahl von hervorstehenden und in einer Richtung linienförmig angeordneten Primärpolzähne verbindet, und einen Sekundärteil, der erhalten wird durch Verbinden einer Vielzahl von hervorstehenden Sekundärpolzähnen, die in einer Richtung linienförmig angeordnet sind an einem Luftspalt von dem Primärpolzahn mit einem Sekundärmagnetabschnitt, wobei die Spule erregt wird zur Bewegung des Primär- und Sekundärteils relativ zueinander in einer Richtung, wobei ein erster Sekundärpolzahn, ein zweiter Sekundärpolzahn, der relativ vom ersten Sekundärpolzahn in einer Richtung um eine Teilung P versetzt ist, und ein erster Sekundärmagnetabschnitt zum Verbinden der ersten und zweiten Sekundärpolzähne miteinander eine Polzahneinheit bilden, wobei der Sekundärteil einer Gruppe von Polzahneinheiten einschließlich n-Polzahneinheiten aufweist, die relativ zueinander um P/n in einer Richtung versetzt angeordnet sind, wobei n eine ganze Zahl nicht kleiner als 3 ist, und wobei der Primärteil und der Sekundärteil für eine Bewegung relativ zueinander in eine Richtung gelagert sind.

Vorzugsweise sind in dem linearen Schrittmotor die n- Polzahneinheiten miteinander mit nichtmagnetischen Abschnitten verbunden.

In dem linearen Schrittmotor ist vorzugsweise n = 3, und der Sekundärteil umfasst eine Gruppe von Polzahneinheiten einschließlich 3 Polzahneinheiten, die relativ zueinander in einer Richtung um P/3 versetzt angeordnet sind.

Vorzugsweise ist in dem linearen Schrittmotor n = 4, und der Sekundärteil umfasst eine Polzahneinheit einschließlich 4 Polzahneinheiten, die relativ zueinander in einer Richtung um P/4 versetzt angeordnet sind.

Vorzugsweise besteht in dem linearen Schrittmotor ein nichtmagnetischer Abschnitt des Sekundärteils entweder aus rostfreiem Stahl, Aluminium oder einem keramischen Material.

Vorzugsweise umfasst der lineare Schrittmotor eine Kühleinrichtung zum Kühlen der Spule.

Vorzugsweise kühlt in dem linearen Schrittmotor die Kühleinrichtung den Sekundärteil.

Vorzugsweise bestehen in dem linearen Schrittmotor die von dem Primärteil und dem Sekundärteil verwendeten Magnetabschnitte aus laminierten elektromagnetischen Stahlblechen.

In dem linearen Schrittmotor gemäß der vorliegenden Erfindung ist der durch die Erregung gebildete magnetische Kreis ein geschlossener magnetische Kreis, so dass ein Magnetfluss daran gehindert wird, in Richtung eines Magnetabschnitts zu fließen (streuen), der keinen Beitrag zur Erzeugung einer Schubkraft leistet, und es wird ein den Luftspalt zwischen dem Bewegungselementpolzahn und dem Statorpolzahn durchlaufender magnetischer Fluss in effektive Weise verwendet, so dass eine hohe Schubkraft und ein hoher Wirkungsgrad erzielt werden.

Zur Lösung der vorstehenden Aufgaben umfasst eine Objektträgervorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung eine Steuerungseinheit zur Erzeugung eines Antriebssteuerungsbefehls für ein Antriebselement, und den linearen Schrittmotor zum Antreiben eines Objektträgers auf der Basis des mittels der Steuerungseinheit erzeugten Antriebssteuerungsbefehls.

Zur Lösung der vorstehenden Aufgaben umfasst eine Belichtungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung die vorstehende Objektträgervorrichtung zum darauf Anordnen einer Halbleiterscheibe (Wafer) und Positionieren der Halbleiterscheibe an einer Belichtungsposition.

Ein Halbleitereinrichtungsherstellungsverfahren gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst die Schritte: Einstellen einer Gruppe von Herstellungsvorrichtungen für verschiedene Typen von Abläufen einschließlich der vorstehenden Belichtungsvorrichtung in einer Halbleiterherstellungsanlage; und Herstellen einer Halbleitereinrichtung entsprechend einer Vielzahl von Abläufen unter Verwendung der Gruppe der Herstellungsvorrichtungen.

Vorzugsweise umfasst das vorstehende Halbleiterherstellungsverfahren die Schritte: Verbinden der Gruppe von Herstellungsvorrichtungen mittels eines lokalen Netzwerks; Verbinden des lokalen Netzwerks mit einem externen Netzwerk außerhalb der Halbleiterherstellungsanlage; Bereitstellen einer Information mittels Datenkommunikation zu zumindest einer der Gruppen von Herstellungsvorrichtungen aus einer Datenbank des externen Netzwerks und der Verwendung des lokalen Netzwerks und des externen Netzwerks; und Steuern der Belichtungsvorrichtung auf der Basis der über die Kommunikation erhaltenen Information.

Vorzugsweise wird in dem vorstehenden Halbleitereinrichtungsherstellungsverfahren eine Wartungsinformation für die Herstellungsvorrichtung erhalten durch eine Datenkommunikation mittels Zugriff auf eine Datenbank, die von einem Verkäufer oder einem Benutzer der Belichtungsvorrichtung über das externe Netzwerk bereitgestellt wird, oder es wird ein Produktionsmanagement mittels der Datenkommunikation mit einer weiteren Halbleiterherstellungsanlage über das externe Netzwerk durchgeführt.

Ferner umfasst die Halbleiterherstellungsanlage gemäß der vorliegenden Erfindung eine Gruppe von Herstellungsvorrichtungen von unterschiedlichen Typen von Abläufen, einschließlich der vorstehenden Belichtungsvorrichtung, ein lokales Netzwerk zur Verbindung der Gruppe der Herstellungsvorrichtungen, und ein Gateway zur Verbindung des lokalen Netzwerks mit einem externen Netzwerk außerhalb der Halbleiterherstellungsanlage für eine Datenkommunikation von Informationen bezüglich zumindest einer Gruppen der Herstellungsvorrichtungen.

Ferner umfasst ein Wartungsverfahren für eine in einer Halbleiterherstellungsanlage eingestellten Belichtungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung die Schritte des Bereitstellens einer Datenbank für gesammelte Information bezüglich der Wartung der Belichtungsvorrichtung auf einem externen Netzwerk außerhalb der Herstellungsanlage, in welcher die Belichtungsvorrichtung eingestellt ist, Verbindens der Belichtungsvorrichtung mit einem lokalen Netzwerk in der Fertigungsanlage, und Wartens der Belichtungsvorrichtung auf der Basis der in der Datenbank angesammelten Information durch Verwenden des externen Netzwerks und des lokalen Netzwerks.

Vorzugsweise umfasst die Belichtungsvorrichtung ferner eine Schnittstelle für eine Verbindung mit einem Netzwerk; einen Computer zur Verarbeitung der Netzwerksoftware zur Datenkommunikation von Wartungsinformation bezüglich der Belichtungsvorrichtung über das Netzwerk; und eine Anzeigeeinrichtung zum Anzeigen der Wartungsinformation bezüglich der Belichtungsvorrichtung, die mittels der durch den Computer verarbeiteten Netzwerksoftware übertragen wurde.

Vorzugsweise stellt in der Belichtungsvorrichtung die Netzwerksoftware eine Benutzerschnittstelle bereit, die mit einem externen Netzwerk außerhalb der Fertigungsanlage, in der die Belichtungsvorrichtung eingestellt ist, verbunden ist, und ermöglicht einen Zugriff auf eine durch einen Verkäufer oder einen Benutzer der Belichtungsvorrichtung bereitgestellte Wartungsdatenbank auf der Anzeige, so dass hiermit eine Information aus der Datenbank über das externe Netzwerk erhalten werden kann.

Andere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden durch die nachfolgende Beschreibung in Verbindung mit den zugehörigen Zeichnungen verständlich, in welchen gleiche Bezugszeichen gleiche oder gleichartige Teile in allen Figuren bezeichnen.

Die zugehörigen Zeichnungen, die in die Beschreibung eingefügt sind und Teile der Beschreibung sind, veranschaulichen Ausführungsbeispiele der Erfindung und dienen, zusammen der Beschreibung, zur Erklärung der Prinzipien der Erfindung.

Fig. 1 ist eine Darstellung zur Veranschaulichung der schematischen Anordnung eines linearen Schrittmotors gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;

Fig. 2 ist eine perspektivische Darstellung der schematischen Anordnung eines Bewegungselements in dem linearen Schrittmotor des dem Ausführungsbeispiels gemäß Fig. 1;

Fig. 3 ist eine perspektivische Darstellung zur Veranschaulichung einer weiteren schematischen Anordnung des Bewegungselements in dem linearen Schrittmotor gemäß der vorliegenden Erfindung;

Fig. 4 ist eine Darstellung der schematischen Anordnung eines bekannten linearen Schrittmotors;

Fig. 5 ist eine Darstellung der schematischen Anordnung eines linearen Schrittmotors gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;

Fig. 6A bis 6C sind Darstellungen zur Veranschaulichung des Grundprinzips des linearen Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 5;

Fig. 7 ist eine Darstellung der Anordnung einer Anwendung des linearen Schrittmotors entsprechend dem zweiten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;

Fig. 8 ist eine Darstellung der schematischen Anordnung eines linearen Schrittmotors gemäß dem dritten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;

Fig. 9 ist eine perspektivische Darstellung zur Veranschaulichung der schematischen Anordnung eines linearen Schrittmotors gemäß dem vierten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;

Fig. 10 ist eine Darstellung zur Veranschaulichung der schematischen Anordnung des bekannten linearen Schrittmotors;

Fig. 11A bis 11C sind Darstellungen zur Veranschaulichung der grundsätzlichen Wirkungsweise des bekannten linearen Schrittmotors;

Fig. 12 ist eine Darstellung eines Halbleitereinrichtungsherstellungssystems unter Verwendung einer Vorrichtung mit einem linearen Schrittmotor gemäß der vorliegenden Erfindung mit einer Ansicht aus einem bestimmten Winkel;

Fig. 13 ist eine Darstellung eins Halbleitereinrichtungsherstellungssystems unter Verwendung der Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung mit einer Ansicht aus einem anderen Winkel;

Fig. 14 ist eine Darstellung zur Veranschaulichung eines praktischen Beispiels einer Benutzerschnittstelle;

Fig. 15 ist ein Ablaufdiagramm zur Beschreibung eines Ablaufs eines Einrichtungsherstellungsprozesses; und

Fig. 16 ist ein Ablaufdiagramm zur Beschreibung des Halbleiterscheibenprozesses.

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachstehend im Einzelnen in Verbindung mit den zugehörigen Zeichnungen beschrieben.

Ein zweiseitiger linearer Schrittmotor (linearer Pulsmotor) gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung wird im Einzelnen zusammen mit den zugehörigen Zeichnungen und insbesondere unter Bezugnahme auf die Fig. 1, 2 und 3 beschrieben.

Ein zweiseitiger linearer Schrittmotor gemäß Fig. 1 umfasst erste und zweite Primärständer 1a und 1b und ein sekundäres Bewegungselement (bewegliches Element) 12. Der erste und zweite Primärständer 1a und 1b sind auf beiden Seiten des Bewegungselements 12 angeordnet und erstrecken sich in der Bewegungsrichtung des Bewegungselements 12, und umfassen eine Vielzahl von Bewegungseinheiten 3a, 3b, 3c und 3d, die entlang der Bewegungsrichtung des Bewegungselement 12 in äquidistanter Weise angeordnet sind, und wobei eine Vielzahl von Erregerspulen 4a, 4b, 4c und 4d jeweils um die Vielzahl der Erregereinheiten 3a, 3b, 3c und 3d gewickelt ist.

Gemäß diesem Ausführungsbeispiel besteht jede der Erregereinheiten 3a, 3b, 3c und 3d, die als Magnetteil dienen, aus laminierten elektromagnetischen Stahlblechen, und umfasst zwei Primärständerpolzähne 5 (5a, 5b, 5c oder 5d) auf ihrer Oberfläche, die gegenüber dem Sekundärbewegungselement 2 angeordnet sind. Die Primärständerpolzähne 5 (5a, 5b, 5c und 5d) sind in einer Reihe linienförmig und äquidistant entsprechend einer vorbestimmten Teilung angeordnet. Der erste und zweite Primärständer 1a und 1b sind miteinander verbunden, so dass sie sich nicht relativ zueinander bewegen können.

Das sekundäre Bewegungselement 12 ist zwischen dem ersten und zweiten Primärständer 1a und 1b in der Bewegungsrichtung und zu diesen in Gegenüberlage über vorbestimmte Luftspalte angeordnet. Das sekundäre Bewegungselement 12 wird mittels eines (nicht gezeigten) statischen Drucklagers in der Weise gelagert, dass es in der Bewegungsrichtung relativ zu den Primärständern 1a und 1b beweglich ist.

Gemäß der Darstellung in Fig. 1 umfasst das sekundäre Bewegungselement 12 eine Vielzahl von Sekundärbewegungselementpolzähnen 16 entsprechend den Primärstatorpolzähnen 5a, 5b, 5c und 5d in einer Reihe mit äquidistanter linienförmiger Anordnung in der Bewegungsrichtung mit einer vorbestimmten Teilung. Die beiden Endflächen jedes der Vielzahl der Sekundärbewegungselementpolzähne 16 steht gegenüber dem Primärständerpolzahn 5 auf den beiden Seiten über vorbestimmte Luftspalte. In dem sekundären Bewegungselement 12 ist die Vielzahl der Sekundärbewegungselementpolzähne 16 unterteilt und miteinander verbunden durch Verbindungsteile 17. Somit erstreckt sich das sekundäre Bewegungselement durchgehend in der Bewegungsrichtung. Die Sekundärbewegungselementpolzähne 16 bestehen aus einem magnetischen Material wie Kohlenstoffstahl oder Siliziumstahl, und die Verbindungsteile 17 bestehen aus einem nichtmagnetischen Material mit einer niedrigen magnetischen Permeabilität, und wobei dieses Material ausgewählt werden kann aus einem keramischen Material, einem rostfreien Stahl, Aluminium oder einem Harz.

In gleicher Weise sind die Vertiefungen zwischen den Polzähnen der Primärständer 1a und 1b mit einem Füllmaterial 18 gefüllt, bestehend aus einem Harz oder dergleichen oder sind mit vorgeformten Füllstücken 18 gefüllt, die eingesetzt werden. Abstände zwischen benachbarten Erregereinheiten, benachbarten Erregerspulen und Abstände zwischen der Erregereinheit 3a und der Erregerspule 4a und zwischen der Erregereinheit 3b und der Erregerspule 4b und dergleichen sind mit einem Füllmaterial 19 bestehend aus einem Harz oder dergleichen gefüllt, oder mit vorgeformten Füllstücken 19, die eingesetzt werden.

Die Anordnung des praktisch ausgeführten sekundären Bewegungselements 12 gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel ist in Fig. 2 gezeigt. Ein keramischer Rahmen 22 in Form eines rechteckigen Paralellepipeds dient als magnetischer Verbindungsteil und weist Öffnungen in der Form der Sekundärpolzähne auf, und die Öffnungen werden mit den Sekundärpolzähnen 16 bestehend aus dem magnetischen Material gefüllt, wobei diese darin eingesetzt werden.

Gemäß einer weiteren Anordnung des sekundären Bewegungselements 12 gemäß der Darstellung in Fig. 3 sind die Sekundärbewegungselementpolzähne 16, die linienförmig in der X-Richtung angeordnet sind, integral miteinander durch eine Sandwichbauweise von beiden Seiten in der Y- Richtung mittels zweier keramischer Rahmenteile 32a und 32b verbunden, die sich fortlaufend in der X-Richtung erstrecken und als nichtmagnetische Verbindungsteile dienen. Der sich ergebende Aufbau ist ferner mittels zweier keramischer Rahmenteile 33a und 33b fixiert, die sich in der Y-Richtung erstrecken. Spalte oder Löcher, die im sekundären Bewegungselement 12 in der z-Richtung vorliegen werden mit einem Füllmaterial 34 bestehend aus einem Harz oder dergleichen gefüllt oder mit vorgeformten Füllstücken 34, die darin eingesetzt werden. Die Vertiefungen zwischen den Polzähnen der Primärständer 1 und die Abstände zwischen benachbarten Erregereinheiten und Erregerspulen werden ebenfalls mit einem Füllmaterial bestehend aus einem Harz oder dergleichen gefüllt oder werden mit vorgeformten, darin eingesetzten Füllstücken in gleicher Weise wie es vorstehend beschrieben ist, gefüllt. Diese Oberflächen des ersten und zweiten Primärständers 1a und 1b und des sekundären Bewegungselements 2, die jeweils aneinander gegenüberliegen, sind glatte Oberflächen.

Das Füllmaterial verhindert das Eindringen von fremden Stoffen wie Abrieb oder Staub zwischen die Primärständerpolzähne 5 (5a, 5b, 5c oder 5d) und die Sekundärbewegungselementpolzähne 15, so dass eine Verminderung des Motorwirkungsgrads, die in Verbindung steht mit einer Vergrößerung des magnetischen Widerstands infolge des Eindringens von fremden Stoffen, somit verhindert werden kann.

Bezüglich des statischen Drucklagers zum Lagern des sekundären Bewegungselements 12 wird angenommen, dass Luft den zwischen den ersten und zweiten Primärständern 1 (1a, 1b) und dem sekundären Bewegungselement 12 gebildeten Luftspalten zugeführt wird zum Führen und Lagern des sekundären Bewegungselements 12. In diesem Fall füllt das Füllmaterial 34 die Vertiefungen und Luftspalte, und die einander gegenüberliegende Oberflächen der ersten und zweiten Primärständer und des sekundären Bewegungselements bilden glatte Oberflächen, so dass der Luftdruck in den Luftspalten vergrößert und damit die Widerstandsfähigkeit der Lagerung vergrößert wird. Zur weiteren Vergrößerung der Glattheit können Beschichtungsfilme auf diesen einander gegenüberliegenden Flächen angeordnet sein. Das Beschichtungsmaterial kann ein magnetisches Teil wie Nickel oder ein nicht magnetisches Material wie Harz sein. Werden die Vielzahl der Polzähne 5 und 16, die jeweils die Ständer 1a und 1b und das Bewegungselement 12 bilden, und das Joch aus laminierten Stahlblechen gebildet, dann können Wirbelstromverluste vermindert werden.

Gemäß der vorstehenden Beschreibung kann bei dem linearen Schrittmotor das sekundäre Bewegungselement 12 einschließlich des Sekundärbewegungselementjochs in Leichtbauweise ausgefüllt werden, wenn die Sekundärbewegungselementpolzähne 16 integral miteinander mittels eines nicht magnetischen Teils verbunden sind. Der Einfluss durch die Belastung mit der trägen Masse infolge des Eigengewichts wird ausgeschlossen, so dass ein gutes Ansprechverhalten erreicht werden kann, das einer starken Beschleunigung/Verzögerungssteuerung folgt.

Obwohl die Masse des Sekundärbewegungselementjochs minimiert ist, wird der magnetische Kreis bei der Motoransteuerung in keiner Weise geändert und die Schubkraft des Motors vermindert sich ebenfalls in keiner Weise.

Die vorliegende Erfindung ist nicht auf den Aufbau des vorstehend angegebenen Ausführungsbeispiels beschränkt. Das vorstehende Ausführungsbeispiel beschreibt beispielsweise einen zweiseitigen vierphasigen linearen Schrittmotor. Die Erfindung ist jedoch hierauf nicht beschränkt, sondern kann ebenfalls ausgeführt werden als ein n-phasiger linearer Schrittmotor, und kann in gleicher Weise auch bei einem einseitigen linearen Schrittmotor angewendet werden. Das Ansteuerungsverfahren des linearen Schrittmotors ist nicht beschränkt, und kann ein Verfahren mit variabler Reaktanz, ein Permanentmagnetverfahren oder ein Hybridverfahren sein. Ebenso kann der Lagerungsmechanismus zum Lagern des Bewegungselements ein Kugellager oder ein Magnetlager sein, und der Motor kann auch ohne Verwendung der vorstehend beschriebenen Füllmaterialien betrieben werden.

Zweites Ausführungsbeispiel

Ein n-phasiger linearer Schrittmotor und ein vierphasiger linearer Schrittmotor gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung werden nachstehend in Verbindung mit den zugehörigen Zeichnungen unter Bezugnahme auf Fig. 5, die Fig. 6A bis 6C und Fig. 7 beschrieben.

Der vier-phasige lineare Schrittmotor gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel besteht aus einem Bewegungselement (bewegliches Element) 118, das als ein Primärteil dient und gebildet wird aus einer Erregereinheitgruppe 116 bestehend aus einer Vielzahl von Erregereinheiten 116a, 116b, 116c und 116d und nicht magnetischen Teilen 117 zum integralen Verbinden der Erregereinheitgruppe 116, und aus einem Ständer 119, der als Sekundärteil dient, mit einer Vielzahl von hervorstehenden Ständerpolzähnen 112a bestehend aus magnetischen Körpern, die an einem vorbestimmten Luftspalt zur Erregereinheitgruppe 116 ausgebildet sind, und einem Ständerjoch 112 mit der Vielzahl der Ständerpolzähne 112a an seiner Seitenfläche entlang der Bewegungsrichtung. Das bewegliche Element 118 ist mittels eines (nicht gezeigten) Lagerungsmechanismus für eine Bewegung in der X-Richtung gelagert. Die vielen der Erregereinheiten 116a, 116b, 116c und 116d weisen dieselbe Form und Anordnung auf, wobei ihre Anordnung nachstehend beschrieben wird. Beispielsweise umfaßt die Erregereinheit 116a einen ersten A-Phasen- Bewegungselementpolzahn 115a1 über einem vorbestimmten Luftspalt gegenüber der Ständerseitenfläche, bei der die Ständerpolzähne aufgereiht sind, und einen zweiten A- Phasen-Bewegungselementpolzahn 115a2 über einem vorbestimmten Luftspalt gegenüber der Ständerseitenfläche, bei der die Ständerpolzähne aufgereiht sind, der relativ zu dem A-Phasen-Bewegungselementpolzahn 115a1 um eine Teilung P in der X-Richtung versetzt ist. Die entfernten Enden der Bewegungselementpolzähne 115a1 und 115a2 weisen Endflächen auf, die im wesentlichen parallel zu der gegenüberliegenden Ständerseitenoberfläche (den entfernten Enden der Ständerpolzähne) angeordnet sind. Ferner ist eine Läuferspule 114a (Ankerspule) um einen A-Phasemagnetteil 113 gewickelt, der integral den ersten und zweiten A- Phasenbewegungselementpolzahn 115a1 und 115a2 miteinander verbindet.

Die Erregereinheit 116b, die benachbart zur Erregereinheit 116a zur Bildung einer B-Phasenerregereinheit mit ihr angeordnet ist, weist einen ersten B- Phasenbewegungselementpolzahn 115b1 auf, der über einen vorbestimmten Luftspalt einer Ständerseitenoberfläche, bei der der Ständerpolzahn 112a aufgereiht ist, gegenüberliegt und angeordnet ist für eine große relative Versetzung von dem ersten A-Phasenbewegungselementpolzahn 115a1 um P/4 in der X-Richtung, und einen zweiten B- Phasenbewegungselementpolzahn 115b2, der über einen vorbestimmten Luftspalt der einen Ständerseitenoberfläche, bei der der Ständerpolzahn 112a aufgereiht ist, gegenüberliegt und angeordnet ist für eine relative Versetzung von dem ersten B-Phasenbewegungselementpolzahn 115b1 um die Teilung P in der X-Richtung. Die entfernten Enden der B-Phasenbewegungselementpolzähne 115b1 und 115b2 weisen Endoberflächen auf, die im wesentlichen parallel zu der gegenüberliegenden Ständerseitenoberfläche (den entfernten Enden der Statorpolzähne) angeordnet ist. Eine Läuferspule (Ankerspule) 114b ist um einen B- Phasenmagnetteil 113b gewickelt, der integral den ersten und zweiten B-Phasenbewegungselementpolzahn 115b1 und 115b2 miteinander verbindet.

Es wird nun angenommen, dass eine Vier- Phasenerregeransteuerung durchgeführt wird unter Verwendung von vier Erregereinheiten, von denen jede den vorstehend beschriebenen Aufbau aufweist. In der nachfolgenden Beschreibung werden die jeweiligen Erregereinheiten mit A-, B-, C- und D-Phasenerregereinheiten 116a, 116b, 116c und 116d gemäß Fig. 5 und den Fig. 6A bis 6C bezeichnet. Wie es aus dem Inhalt der vorstehenden Beschreibung und den Fig. 5 und 6A bis 6C erkennbar ist, umfasst die A- Phasenerregereinheit 116a die A- Phasenbewegungselementpolzähne 115a1 und 115a2. In gleicher Weise umfasst die B-Phaseerregereinheit 116b die B- Phasenbewegungselementpolzähne 115b1 und 115b2, die C- Phasenerregereinheit 116c umfasst die C- Phasenbewegungselementpolzähne 115c1 und 115c2, und die D- Phasenerregereinheit 116d umfasst die D- Phasenbewegungselementpolzähne 115d1 und 115d2. Bezüglich der relativen Beziehung der Anordnung unter dem jeweiligen Bewegungselementpolzähnen 115a1, 115a2, 115b1, 115b2, 115c1, 115c2, 115d1 und 115d2 sind die Polzähne 115a1 und 115a2, die Zähne 115b1 und 115b2, die Zähne 115c1 und 115c2 und die Zähne 115d1 und 115d2 voneinander um P beabstandet. Bezüglich der relativen Positionsbeziehung zwischen den Erregereinheiten 116a, 116b, 116c und 116d sind die Erregereinheiten 116a und 116b, die Erregereinheiten 116b und 116c, und die Erregereinheiten 116c und 116d miteinander durch dazwischen liegende magnetische Teile 117 mit jeweils einer dazwischen gebildeten Breite von 3P/4- Verteilung verbunden, so dass sie im Wesentlichen voneinander mit einem Abstand größer als 2P um P/4 getrennt sind.

In dem vorstehenden Aufbau wird das Ansteuerungsverfahren des linearen Schrittmotors gemäß der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Fig. 6A bis 6C beschrieben. Fig. 6A zeigt einen Zustand, in welchem ein Strom der Läuferspule 114a zugeführt wird, und es wird das Bewegungselement 118 stabilisiert. In diesem stabilen Zustand stehen die A-Phasenbewegungselementpolzähne 115a1 und 115a2 gegenüber den entsprechenden Ständerpolzähnen 112a. Ein durch Erregung erzeugter magnetischer Fluss fließt entsprechend der Darstellung mittels einer gestrichelten Linie in Fig. 6A von dem A- Phasenmagnetabschnitt 113a in den A- Phasenbewegungselementpolzahn 115a1, fließt in den gegenüberliegenden Ständerpolzahn 112 über den Luftspalt, fließt sodann in den anderen benachbarten Ständerpolzahn 112a über das Ständerjoch 112 zum Eintritt in den A- Phasenbewegungselementpolzahn 115a2 über den Luftspalt, und fließt zu dem A-Phasenmagnetabschnitt 113a, wodurch ein magnetischer Hauptkreis gebildet wird. Obwohl die A- Phasenbewegungselementpolzähne 115a1 und 115a2 eine magnetische Anziehungskraft von den ihnen gegenüberliegenden Ständerpolzähnen 112a erhalten, wird in der Bewegungsrichtung keine Schubkraft erzeugt.

Wird in diesem Zustand die Stromversorgung zur Läuferspule von der Läuferspule 114a zur Läuferspule 114b umgeschaltet, dann wird ein magnetischer Hauptkreis gemäß der Darstellung mittels einer gestrichelten Linie in Fig. 6d gebildet. Ein durch Erregung gebildeter magnetischer Fluss fließt von dem B-Phasenmagnetabschnitt 113b in dem B- Phasenbewegungselementpolzahn 115b1, fließt zu dem gegenüberliegenden Ständerpolzahn 112a über den Luftspalt, fließt sodann zu dem weiteren benachbarten Ständerpolzahn 112a über das Ständerjoch 112 und tritt in den B- Phasenbewegungselementpolzahn 115b2 über den Luftspalt ein und fließt zu dem B-Phasenmagnetabschnitt 113b. Hierbei erhalten die B-Phasenbewegungselementpolzähne 115b1 und 115b2 magnetische Anziehungskräfte der gleichen Größe und in der gleichen Richtung von den Ständerpolzähnen 112a, die ihnen gegenüberliegen und einen Versatz um P/4 in der X/Richtung aufweisen, zur Erzeugung von Schubkräften und dergleichen Größe in der Bewegungsrichtung. Infolge dieser Schubkräfte beginnt sich das Bewegungselement 118 in der Bewegungsrichtung zu bewegen von einem Zustand, in welchem die B-Phasenbewegungselementpolzähne 115b1 und 115b2 dem betreffenden Ständerpolzahn 112a mit einem Versatz um P/4 in der X-Richtung gegenüberstehen, zu einem Zustand, in welchem die B-Phasenbewegungselementpolzähne 115b1 und 115b2 dem entsprechenden Ständerpolzahn 112a gegenüberliegen. In gleichartiger Weise wird danach die Stromversorgung zur Läuferspule sequentiell zu den Läuferspulen 114c, 114d, 114a und 114b umgeschaltet, so dass die Erregerphase sequentiell zu den C-, B-, A- und B- Phasen geschaltet wird, zur Erzeugung einer Schubkraft in der Bewegungsrichtung des Bewegungselements, wodurch dieses bewegt wird.

Obwohl vorstehend der vierphasige lineare Schrittmotor mit Erregereinheiten für die jeweiligen Phasen beschrieben wurde ist die Erfindung hierauf nicht beschränkt. Gemäß der Darstellung in Fig. 7 könnend ebenfalls ein vierphasiger linearer Schrittmotor und eine Erregereinheitgruppe 116 mit A-, B-, C- und D-Phasen als Erregerphasen, und eine weitere Erregereinheitgruppe 116 mit A-, B-, C- und D-Phasen als Erregerphasen ausgebildet werden, die symmetrisch zur ersten Erregereinheitgruppe 116 in der X-Ebene senkrecht zu der X-Achse angeordnet sind. Wird der lineare Schrittmotor angesteuert, dann empfängt das Bewegungselement 118 eine Kraft in Z-Richtung infolge einer von dem Ständer 119 bereitgestellten magnetischen Anziehungskraft. Mit der Anordnung gemäß Fig. 7 kann das Bewegungselement angetrieben werden ohne Erzeugung eines Moments, und eine dynamische Lage kann mit hoher Genauigkeit aufrechterhalten werden.

Gemäß der vorstehenden Beschreibung werden in der Anordnung des linearen Schrittmotors sowohl magnetische als auch nicht magnetische Teile verwendet zur Verbesserung des magnetischen Kreises. Bezüglich des mittels Erregung gebildeten magnetischen Hauptkreises kann die magnetische Anziehungskraft infolge des magnetischen Flusses, der zwischen den Bewegungselementpolzähnen und den Statorpolzähnen fließt, vollständig verwendet werden zur Erzeugung einer Schubkraft für das Bewegungselement. Somit kann eine Vergrößerung der Schubkraft oder des Wirkungsgrad des Linearmotors erreicht werden.

Obwohl ein vierphasiger linearer Schrittmotor (Pulsmotor) vorstehend in dem Ausführungsbeispiel beschrieben wurde ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt, sondern kann auch als ein n-phasiger linearer Schrittmotor geführt werden. Bei der Ansteuerung des linearen Schrittmotors kann das bewegliche Element 118 festgelegt werden und somit als Ständer dienen, und der Ständer 119 kann beweglich in der Bewegungsrichtung angeordnet sein, um somit als Bewegungselement zu dienen. Ferner kann der Lagerungsmechanismus zum Lagern des Bewegungselements entweder ein Kugellager, ein statisches Drucklager oder ein Magnetlager sein.

Drittes Ausführungsbeispiel

Unter Bezugnahme auf Fig. 8 wird nachstehend das dritte Ausführungsbeispiel beschrieben. In einem vierphasigen linearen Schrittmotor gemäß dem dritten Ausführungsbeispiel sind auf beiden Seiten eines Ständers 30 eine Erregereinheitgruppe 26-1 einschließlich einer Vielzahl von Erregereinheiten 26a1, 26b1, 26c1 und 26d1, und eine Erregereinheitgruppe 26-2 einschließlich einer Vielzahl von Erregereinheiten 26a2, 26b2, 26c2 und 26d2 angeordnet. Insbesondere umfasst der lineare Schrittmotor ein einseitiges Bewegungselementteil 28a, bestehend aus der Erregereinheitgruppe 26-1, die aus der Vielzahl der Erregereinheiten 26a1, 26b1, 26c1 und 26d1 gebildet ist, sowie aus nicht magnetischen Teilen 27 zum integralen Verbinden der Erregereinheitgruppe 26-1 auf der Seite des Ständers 30, und der Ständer 30 umfasst eine Vielzahl von hervorstehenden Ständerpolzähnen 22a, bestehend aus magnetischen Körpern, die in der Bewegungsrichtung bei einem vorbestimmten Luftspalt zur Erregereinheitgruppe 26-1 aufgereiht sind, und ein Ständerjoch 22 mit einer Vielzahl von Ständerpolzähnen 22a auf einer der Seitenoberflächen entlang der Bewegungsrichtung.

Der Ständer 30 umfasst eine Vielzahl von vorstehenden Statorpolzähnen 22a auf der anderen Seite, bestehend aus magnetischen Körpern, auf der anderen Seitenoberfläche des Ständerjochs 22 gegenüber der einen Seitenoberfläche, an Positionen, die identisch sind mit denjenigen der Ständerpolzähne 22a auf der einen Seite bezüglich der Bewegungsrichtung. Ein Bewegungselementteil 28b auf der anderen Seite des Ständers 30 und bestehend aus der Erregereinheitgruppe 26-2 bestehend aus der Vielzahl der Erregereinheiten 26a2, 26b2, 26c2 und 26d2 sowie aus den nichtmagnetischen Abschnitten 27 zum integralen Verbinden der Erregereinheitgruppe 26-2, weist dieselbe Form und dieselbe Anordnung wie diejenige des Bewegungselementteils 28a auf. In gleicher Weise wie bei dem Bewegungselementteil 28a steht das Bewegungselementteil 28b einer Vielzahl von Statorpolzähnen 22 über einen vorbestimmten Luftspalt gegenüber. Bewegungselemente 29a und 29b weisen jeweils die Bewegungselementteile 28a und 28b auf, und Paare von Erregereinheiten 26a1 und 26a2, 26b1 und 26b2, 26c1 und 26c2 und 26d1 und 26d2 sind integral miteinander in der Weise verbunden, dass sie an identischen Positionen bezüglich der Bewegungsrichtung angeordnet sind.

Die Bewegungselemente 29a und 29b sind mittels eines (nicht gezeigten) Lagerungsmechanismus gelagert für eine Bewegung in der X-Richtung, so dass die mittels der entfernten Enden der beweglichen Polzähne der beweglichen Elementteile 28a und 28b und die mittels der entfernten Enden der Statorpolzähne gebildeten Spalte immer dieselbe Breite aufweisen.

Bei diesem Ausführungsbeispiel weist die Vielzahl der Erregereinheiten 26a1, 26b1, 26c1 und 26d1 auf der einen Seite (beispielsweise auf der Seite des Bewegungselements 29a) und die Vielzahl der Erregereinheiten 26a2, 26b2, 26c2 und 26d2 auf der anderen Seite (beispielsweise auf der Seite des Bewegungselement) 29b dieselbe Form und Anordnung auf. Die Anordnung, in welcher die Vielzahl der Erregereinheiten 26a1, 26b1, 26c1 und 26d1 auf der einen Seite integral verbunden sind und die Anordnung, in welcher die Vielzahl der Erregereinheit 26a2, 26b2, 26c2 und 26d2 auf der anderen Seite integral miteinander verbunden sind ist identisch mit der Anordnung, wie sie in Verbindung mit dem zweiten Ausführungsbeispiel beschrieben ist, in welchem die Erregereinheit 116a, 116b, 116c und 116d integral miteinander verbunden sind. Gemäß einem Beispiel der vierphasigen Erregeransteuerung unter Verwendung von acht Erregereinheiten mit einer Anordnung gemäß der vorstehenden Beschreibung bilden die Erregereinheit 26a1 auf der Seite des Bewegungselements 29a und die Erregereinheit 26a2 auf der Seite des Bewegungselements 29b die A- Phasenerregereinheit, und in gleicher Weise bilden die Erregereinheiten 26b1 und 26b2 eine B-Phasenerregereinheit, die Erregereinheiten 26c1 und 26c2 ein C- Phasenerregereinheit, und die Erregereinheiten 26d1 und 26d2 eine D-Phasenerregereinheit.

Ein Ansteuerungsverfahren für diese Anordnung wird nachstehend beschrieben. Gemäß Fig. 8 werden Ströme derselben Größe Läuferspulen 24a1 und 24a2 zugeführt und es wird ein geschlossener magnetischer Hauptkreis gemäß der Darstellung mittels der gestrichelten Linie in der Erregereinheit 26a1 auf einer Seite (beispielsweise auf der Seite des beweglichen Elements 29a), dem Ständer 30 und der Erregereinheit 26a2 auf der anderen Seite (beispielsweise der Seite des Bewegungselements 29b) gebildet, und die beweglichen Elemente 29a und 29b werden stabilisiert. In diesem stabilen Zustand erzeugt die dem Stator 30 zugeführte magnetische Anziehungskraft zu dem Paar von Erregereinheiten 26a1 und 26a2 keine Schubkraft in X- Richtung, sondern erzeugt entgegengesetzt gerichtete Anziehungskräfte der gleichen Größe in der Y-Richtung.

In diesem Zustand wird die Stromzufuhr zur Läuferspule umgeschaltet von den Läuferspulen 24a1 und 24a2 zu den Läuferspulen 24b1 und 24b2, zur Bildung eines geschlossenen magnetischen Hauptkreises in einer Erregereinheit 26b1 auf der einen Seite, dem Stator 30 und einer Erregereinheit 26b2 auf der anderen Seite. Sodann erzeugen die von dem Stator 30 auf die Erregereinheiten 26b1 und 26b2 ausgeübten magnetischen Anziehungskräfte eine Schubkraft in der X- Richtung in allen der vier Bewegungselementpolzähnen der Erregereinheiten 26b1 und 26b2, sowie entgegengesetzt gerichtete Anziehungskräfte derselben Größe in Y-Richtung. Infolge dieser Schubkraft beginnen die Bewegungselemente 29a und 29b eine Bewegung in der Bewegungsrichtung von einem Zustand, in welchem die Bewegungselementpolzahnerregereinheit 26b1 und 26b2 gegenüber den entsprechenden Ständerpolzähnen 112a angeordnet und gegenüber diesem um P/4 versetzt ist, zu einem Zustand, in welchem die Bewegungselementpolzähne der Erregereinheiten 26b1 und 26b2 gegenüber den Statorpolzähnen angeordnet sind. Danach wird die Stromzufuhr zu den Läuferspulen sequentiell in der gleichen Weise zu den Läuferspulen 24c1 und 24c2, 24d1 und 24d2, 24a1 und 24a2, und 24b1 und 24b2 umgeschaltet, d. h. die Erregerphase wird sequentiell zu der C-, B-, A- und B-Phase umgeschaltet zur Erzeugung einer Schubkraft in der Bewegungsrichtung der Bewegungselemente 29a und 29b, um diese zu bewegen.

Obwohl der vierphasige lineare Schrittmotor zwei Erregereinheiten gemäß der vorstehenden Beschreibung aufweist, ist die Erfindung hierauf nicht beschränkt. Ein vierphasiger linearer Schrittmotor mit einer Erregereinheitgruppe mit A-, B-, C- und D-Phasen als Erregerphasen, die symmetrisch zu einer X-Ebene senkrecht zur X-Achse sind, zusätzlich zu den Erregereinheiten 26-1 und 26-2, kann ebenfalls ausgeführt werden. Wird der lineare Schrittmotor angesteuert, dann erhalten die Bewegungselemente 29a und 29b Kräfte in Z-Richtung aus den magnetischen Anziehungskräften, die von dem Ständer zugeführt werden. Mit dieser Anordnung können die Bewegungselemente 29a und 29b ohne ein Moment angetrieben werden, und eine dynamische Lage kann mit hoher Präzision erhalten werden.

Obwohl ein vierphasiger linearer Schrittmotor in dem vorstehenden Ausführungsbeispiel beschrieben wurde, ist die vorliegende Erfindung jedoch hierauf nicht festgelegt, und es kann auch ein n-phasiger linearer Schrittmotor verwirklicht werden. Bei der Ansteuerung des linearen Schrittmotors können die Bewegungselemente 29a und 29b fixiert werden und als Stä 19830 00070 552 001000280000000200012000285911971900040 0002010211892 00004 19711nder dienen, und der Ständer 30 kann beweglich bezüglich der Bewegungsrichtung ausgeführt werden und als Bewegungselement (bewegliches Element) dienen. Ferner kann der Lagerungsmechanismus zum Lagern des beweglichen Elements entweder ein Kugellager, ein Statikdrucklager oder ein Magnetlager sein.

Viertes Ausführungsbeispiel

Das vierte Ausführungsbeispiel wird nachstehend unter Bezugnahme auf Fig. 9 beschrieben. Ein vierphasiger linearer Schrittmotor gemäß dem vierten Ausführungsbeispiel besteht aus einem X-Richtungsbewegungselement 31, das sich in X-Richtung bewegt, einem Y-Richtungsbewegungselement 32, das sich in der Y-Richtung bewegt, einer Bewegungseinrichtung zum integralen Verbinden des X- und Y- Richtungsbewegungselements 31 und 32 und die in der Lage ist, diese in der X- und Y-Richtung zu bewegen, und einer Platte 35 mit einer Vielzahl von hervorstehenden Ständerpolzähnen 33, bestehend aus magnetischen Körpern, die in der X- und der Y-Richtung aufgereiht sind mit einem vorbestimmten Luftspalt von der unteren Oberfläche der Bewegungseinrichtung, und einem Ständerjoch 34 zum Verbinden der Vielzahl der Ständerpolzähne 33 miteinander. Die Bewegungseinrichtung ist mittels eines (nicht gezeigten) Lagermechanismus gelagert für eine Bewegung in der X- und Y-Richtung. Die Anordnung der X- und Y- Richtungsbewegungselemente 31 und 32 ist identisch mit derjenigen des Bewegungselements 118 des vorstehend beschriebenen zweiten Ausführungsbeispiels. Das X- Richtungsbewegungselement 31 umfasst A-, B-, C- und D- Phasenerregereinheiten für die X-Richtung. Das Y- Richtungsbewegungselement 32 umfasst A-, B-, C- und D- Phasenerregereinheiten für die Y-Richtung. Die X- und Y- Richtungsbewegungselemente 31 und 32 werden in der gleichen Weise wie das Bewegungselement 118 des vorstehend beschriebenen zweiten Ausführungsbeispiels angetrieben. Die X- und Y-Bewegungselemente 31 und 32 können Antriebskräfte in der X- und Y-Richtung durch Erregen ihrer A-, B-, C- und D-Phasenerregereinheiten in Abhängigkeit von einer vorbestimmten Reihenfolge erzeugen. Somit kann sich die Bewegungseinrichtung in der X- und Y-Richtung bewegen.

Obwohl ein vierphasiger linearer Schrittmotor in dem vorstehenden Ausführungsbeispiel beschrieben ist, ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt, und es kann auch ein n-phasiger linearer Schrittmotor ausgeführt werden. Die Bewegungseinrichtung kann eine Vielzahl von X- Richtungsbewegungselementen und eine Vielzahl von Y- Richtungsbewegungselementen aufweisen. Ferner kann der Lagermechanismus zum Lagern der Bewegungseinrichtung entweder ein Kugellager, ein Statikdrucklager oder ein Magnetlager sein.

Ausführungsbeispiel eines Halbleiterfertigungssystem

Ein Beispiel eines Herstellungs- bzw. Fertigungssystems für eine Halbleitereinrichtung (einen Halbleiterchip wie ein IC oder ein LSI, ein Flüssigkristallpaneel, eine CCD, einen Dünnfilmmagnetkopf, eine Mikromaschine und dergleichen) unter Verwendung einer Vorrichtung mit einem linearen Schrittmotor gemäß der vorliegenden Erfindung wird nachstehend beschrieben. Mit diesem Fertigungssystem werden Wartungsarbeiten und Unterhaltungsarbeiten wie Fehlerbeseitigung, periodische Wartung oder Bereitstellung von Software für eine Fertigungsvorrichtung, die in einer Halbleiterfertigungsanlage vorgesehen ist, unter Verwendung eines Computernetzwerks außerhalb der Fertigungsanlage durchgeführt.

Fig. 12 veranschaulicht das gesamte System mit einer Ansicht aus einem bestimmten Winkel. Gemäß Fig. 12 bezeichnet Bezugszeichen 101 ein Geschäftsbüro eines Verkäufers (Lieferant der Vorrichtung), von welchem Halbleitereinrichtungsfertigungsvorrichtungen bezogen werden. Ein Beispiel der Fertigungsvorrichtung umfasst beispielsweise Halbleiterfertigungsvorrichtung für unterschiedliche Typen von in einer Halbleiterfertigungsanlage verwendeten Abläufen, beispielsweise eine Vorbereitungseinrichtung (Lithografieeinrichtung wie eine Belichtungsvorrichtung, eine Schutzschichtverarbeitungsvorrichtung und einer Ätzvorrichtung, eine Wärmebehandlungsvorrichtung, eine Filmerzeugungsvorrichtung, eine Planarisierungsvorrichtung und dergleichen) oder eine Nachverarbeitungseinrichtung (Montagevorrichtung, Untersuchungsvorrichtung und dergleichen). Das Geschäftsbüro 101 umfasst ein Hostmanagementsystem 108 zur Bereitstellung einer Wartungsdatenbank für die Fertigungsvorrichtung, eine Vielzahl von Betriebsterminalcomputer 110, ein lokales Netzwerk (LAN) 109 zur Verbindung des Hostmanagementsystems 108 und der Betriebsterminalcomputer 110 zur Bildung eines Intranet oder dergleichen. Das Hostmanagementsystem 108 umfasst ein Gateway zur Verbindung des lokalen Netzwerks (LAN) 109 mit dem Internet 105 als Netzwerk außerhalb des Geschäftsbüros, und eine Sicherheitsfunktion zur Begrenzung eines äußeren Zugriffs.

Die Bezugszeichen 102 bis 104 bezeichnen Herstellungsanlagen (Fabrikanlage) des Halbleiterherstellers als Benutzer der Fertigungsvorrichtung. Die Fertigungsanlagen 102 bis 104 können Anlagen sein, die unterschiedlichen Herstellern gehören, oder Anlagen (beispielsweise eine Vorbereitungsanlage, eine Nachbereitungsanlage, und dergleichen) die einem Hersteller gehören. Jede der Anlagen 102 bis 104 umfasst eine Vielzahl von Fertigungsvorrichtungen 106, ein lokales Netzwerk (LAN) 111 zum Verbinden der Fertigungsvorrichtungen 106 und zur Bildung eines Intranet oder dergleichen, und ein Hostmanagementsystem 107, das als Überwachungseinheit dient zur Überwachung der Betriebszustände der jeweiligen Fertigungsvorrichtungen 106. Das in jeder der Anlagen 102 bis 104 vorgesehene Hostmanagementsystem 107 umfasst ein Gateway zur Verbindung des lokalen Netzwerks LAN 111 in jeder Anlage mit dem Internet als Netzwerk außerhalb der Anlage. Somit kann das lokale Netzwerk LAN 111 jeder Anlage auf das Hostmanagementsystem 108 des Geschäftsbüros 101 des Verkäufers über das Internet 111 zugreifen. Dabei ist ein Zugriff auf das Hostmanagementsystem 108 durch lediglich die durch die Sicherheitsfunktion begrenzten Benutzer erlaubt. Insbesondere wird der Hersteller durch die Fertigungsanlage über eine Zustandsinformation (beispielsweise Symptome einer Fertigungsvorrichtung mit einem Fehler) informiert zur Angabe des Zustands jeder Fertigungsvorrichtung 106 über das Internet 105. Die Fertigungsanlage kann eine Antwortinformation (beispielsweise eine Information zur Bestimmung einer Abhilfe des Fehlers oder eine Hilfssoftware oder entsprechende Daten) bezüglich dieser Nachricht erhalten, sowie eine Wartungsinformation wie ein Softwareupdate oder eine Hilfeinformation von dem Verkäufer über das Internet 105. Eine Datenkommunikation zwischen den Fertigungsanlagen 102 und 104 und dem Verkäufer 101 und die Datenkommunikation in den lokalen Netzwerken 111 der jeweiligen Fertigungsgsanlagen erfolgen unter Verwendung eines Kommunikationsprotokolls (TCP/IP), das im Allgemeinen im Internet verwendet wird. Anstelle der Verwendung des Internet als Netzwerk außerhalb der Fertigungsanlage kann ein hochsicheres zugeordnetes Leitungsnetzwerk (beispielsweise ISDN) verwendet werden, das keinen Zugriff durch eine dritte Partei erlaubt. Das Hostmanagementsystem ist nicht auf das vom Verkäufer zur Verfügung gestellte beschränkt. Der Benutzer kann eine Datenbank erstellen und diese in einem externen Netzwerk anordnen, und der Vielzahl der Fertigungsanlagen des Benutzers kann der Zugriff auf diese Datenbank erlaubt werden.

Fig. 13 ist eine Darstellung zur Veranschaulichung des gesamten Systems dieses Ausführungsbeispiels entsprechend einem anderen Blickwinkel im Vergleich zu demjenigen von Fig. 12. Bei dem vorstehend angegebenen Beispiel sind die Vielzahl der Benutzerfertigungsanlagen, von denen jede die Fertigungsvorrichtungen umfasst, und das Managementsystem des Verkäufers der Herstellungsvorrichtungen miteinander über ein externes Netzwerk verbunden. Information bezüglich des Produktionsmanagements jeder Fertigungsanlage und zumindest einer Fertigungsvorrichtung werden mittels Datenkommunikation über das externe Netzwerk übertragen. Im Gegensatz dazu bei dem vorliegenden Beispiel sind Fertigungsanlagen, von denen jede Fertigungsvorrichtungen einer Vielzahl von Verkäufern aufweist, und die Managementsysteme der jeweiligen Verkäufer der Vielzahl der Fertigungsvorrichtungen miteinander über ein externes Netzwerk außerhalb der Fertigungsanlagen verbunden. Die Wartungsinformation bezüglich der jeweiligen Fertigungsvorrichtungen wird über das externe Netzwerk mittels Datenkommunikation übertragen. Gemäß der Darstellung in Fig. 13 bezeichnet Bezugszeichen 201 eine Fertigungsanlage eines Benutzers einer Fertigungsvorrichtung (Halbleitereinrichtungshersteller). Fertigungsvorrichtungen zur Durchführung unterschiedlicher Typen von Prozessen, beispielsweise eine Belichtungsvorrichtung 202, eine Beschichtungsverarbeitungsvorrichtung 203 und eine Filmerzeugungsverarbeitungsvorrichtung 204 sind in der Fertigungslinie in der Fertigungsanlage enthalten. Obwohl in der Darstellung in Fig. 13 lediglich eine Fertigungsanlage 201 veranschaulicht ist, können selbstverständlich eine Vielzahl von Fertigungsanlagen ein Netzwerk in dieser Weise bilden. Die Vorrichtungen jeder Fertigungsanlage sind alle miteinander über ein lokales Netzwerk LAN 206 zur Bildung eines Intranet verbunden. Ein Hostmanagementsystem 205 führt das Betriebsmanagement der Fertigungslinie durch.

Jedes Geschäftsbüro des Verkäufers (des Vorrichtungslieferanten), beispielsweise eines Belichtungsvorrichtungsherstellers 210, eines Beschichtungsverarbeitungsvorrichtungsherstellers 220, oder eines Filmerzeugungsvorrichtungsherstellers 230 umfasst ein Hostmanagementsystem 211, 221 oder 231 für eine Fernwartungssteuerung der Vorrichtungen, die die Benutzer verwenden. Das Hostmanagementsystem umfasst eine Wartungsdatenbank und ein Gateway zu einem externen Netzwerk, wie es vorstehend beschrieben ist. Das Hostmanagementsystem 205 zum Verwalten der jeweiligen Vorrichtungen in der Fertigungsanlage des Benutzers und die Managementsysteme 211, 221 und 231 der Verkäufer der jeweiligen Vorrichtungen sind miteinander über das Intranet als externes Netzwerk 200 verbunden, oder mittels eines gemieteten Telefonnetzwerks. Tritt in einem der Reihe von Fertigungsvorrichtungen der Fertigungslinie in diesem System ein Fehler auf, dann beendet die Fertigungslinie ihren Betrieb. Dieser Situation kann jedoch schnell entsprochen werden durch Empfangen einer Fernwartungssteuerung von dem Hersteller der Vorrichtung, bei welchem der Fehler über das Internet 200 aufgezeigt wird. Daher kann die Abschaltzeit der Fertigungslinie minimiert werden.

Jede Fertigungsvorrichtung, die in der Halbleiterfertigungsanlage eingestellt ist, umfasst eine Anzeige, eine Netzwerkschnittstelle und einen Computer zur Bearbeitung der Netzwerkzugriffssoftware und der Vorrichtungsbetriebssoftware, die in einer Speichereinrichtung gespeichert sind. Beispielsweise ist die Speichereinrichtung ein Speicher, eine Festplatte oder ein Netzwerkfileserver. Die Netzwerkszugriffssoftware umfasst einen gemieteten oder allgemeinen Webbrowser und bildet eine Benutzerschnittstelle auf dem Bildschirm, wobei Fig. 14 ein Beispiel zeigt. Der Anlagenbediener (Operator), der die Fertigungsvorrichtung in jeder Fertigungsanlage verwaltet, gibt Informationen wie den Typ der Fertigungsvorrichtung 401, die Seriennummer 402, den Fehlergegenstand 403, das Datum des Auftretens 404, den Grad der Dringlichkeit 405, das Symptom 406, die Abhilfe 407, den Ablauf 408 und dergleichen in die Eintragungsfelder (Maske) auf der Anzeige unter Bezugnahme auf die Anzeige ein. Die Eingabeinformation wird zur Wartungsdatenbank mittels des Internet übertragen. Eine angemessene Wartungsinformation entsprechend der übertragenen Information wird von der Wartungsdatenbank zurückgesandt und auf der Anzeige gezeigt. Die mittels des Webbrowsers bereitgestellte Benutzerschnittstelle umfasst ferner Hyperlinkfunktion 410 bis 412, wie dies in Fig. 14 dargestellt ist. Somit kann der Operator auf weitere Einzelheiten der Information zu jedem Punkt zugreifen und kann eine Updatesoftware zur Verwendung in der Fertigungsvorrichtung oder einer Maßnahmenführung (Hilfeinformation) zur Bezugnahme durch den Fertigungsanlagenoperator von der Softwarebibliothek des Verkäufers herunterladen. Die durch die Wartungsdatenbank bereitgestellte Wartungsinformation umfasst ferner eine Information bezüglich der vorstehend beschriebenen vorliegenden Erfindung. Die Softwarebibliothek stellt ebenfalls Updatesoftware zur Verfügung, die die vorliegende Erfindung verwirklicht.

Der Halbleiterfertigungsprozess unter Verwendung des vorstehenden Fertigungssystems wird nun beschrieben. Fig. 15 zeigt den Ablauf eines gesamten Halbleitereinrichtungsfertigungsprozesses. In Schritt 1 (Schaltung entwerfen) wird die Schaltung einer Halbleitereinrichtung entworfen. In Schritt 2 (Maske herstellen) wird eine Maske (Maskensatz) hergestellt, auf der das Muster der entwickelten Schaltung ausgebildet ist. In Schritt 3 (Scheibe bzw. Wafer herstellen) wird ein Wafer (Halbleiterscheibe) unter Verwendung eines Materials wie beispielsweise Silizium hergestellt. In Schritt 4 (Waferprozess) wird ein sogenannter Vorbereitungsprozess durchgeführt und es wird die tatsächliche Schaltung auf dem Wafer in einem lithografischen Verfahren unter Verwendung der vorbereiten Maske und des Wafers ausgebildet. In Schritt 5 (Montage), ein sogenannter Nachbereitungsprozess, wird ein Halbleiterchip aufgebaut unter Verwendung des in Schritt 4 hergestellten Wafers und umfasst Prozesse wie einen Montageprozess (Trennen und Bonden) und in ein Gehäuse einsetzen (Chipmontage). In Schritt 6 (Prüfung) findet eine Prüfung wie ein Betriebstauglichkeitstest und ein Haltbarkeitstest mittels der in Schritt 5 herstellten Halbleitereinrichtung statt. Nach diesen Schritten ist die Halbleitereinrichtung fertig und kann zum Versand gebracht werden (Schritt 7). Der Vorbereitungsprozess und der Nachbereitungsprozess werden in unterschiedlichen zugehörigen Fertigungsanlagen durchgeführt, und die Wartung dieses Prozesses wird in Einheiten dieser Fertigungsanlagen durchgeführt mittels der vorstehend beschriebenen Fernwartungssteuerung. Informationen bezüglich des Produktionsmanagements und der Vorrichtungswartung werden mittels Datenkommunikation zwischen der Vorbereitungs- Fertigungsanlage und der Nachbereitungs-Fertigungsanlage über das Internet oder ein gemietetes Fernsprechnetzwerk übertragen.

Fig. 16 zeigt im Einzelnen den Ablauf des Waferprozesses. In Schritt 11 (Oxidation) wird die Oberfläche des Wafers oxidiert. In Schritt 12 (CVD) wird ein Isolationsfilm auf der Waferoberfläche ausgebildet. In Schritt 13 (Elektrode ausbilden) wird eine Elektrode auf dem Wafer mittels eines Aufdampfverfahrens aufgebracht. In Schritt 14 (Ionen implantieren) werden Ionen in den Wafer implantiert. In Schritt 15 (Schutzschichtverarbeitung) wird eine fotoempfindliche Substanz auf den Wafer aufgetragen. In Schritt 16 (Belichtung) erfolgt mittels der vorstehend beschriebenen Belichtungsvorrichtung eine Belichtung des Schaltungsmusters der Maske auf den Wafer. In Schritt 17 (Entwicklung) wird der belichtete Wafer entwickelt. In Schritt 18 (Ätzen) wird die Schutzschicht mit Ausnahme des entwickelten Bilds auf der Schutzschicht D geätzt. In Schritt 19 (Schutzschicht entfernen) wird die nicht mehr benötigte Schutzschicht nach dem Ätzvorgang entfernt. Diese Schritte werden wiederholt durchgeführt zum Ausbilden einer Vielzahl von Schaltungsmustern auf den Wafer. Da die Wartung der Fertigungsvorrichtungen zur Verwendung bei den jeweiligen Schritten mittels des vorstehend beschriebenen Fernwartungssteuerungssystems durchgeführt wird, können Fehler vermieden werden. Auch wenn ein Fehler auftreten sollte, kann dieser berücksichtigt werden, und es können die normalen Betriebsbedingungen schnell wieder hergestellt werden. Die Produktivität der Halbleitereinrichtung kann somit verbessert werden und ist größer als bei dem Stand der Technik.

Gemäß der vorstehenden Beschreibung werden in der Anordnung des linearen Schrittmotors mit variabler Reaktanz sowohl magnetischer als auch nicht magnetischer Teile zur Verbesserung des magnetischen Kreises verwendet. Somit kann der über den Luftspalt zwischen dem Bewegungselement (bewegliches Element) und dem Ständer fließende magnetische Fluss in effektiver Weise verwendet werden, und es wird eine Vergrößerung der Schubkraft und des Wirkungsgrad des linearen Schrittmotors erzielt.

Da viele erheblich unterschiedliche Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung gebildet werden können, ohne von dem Geist und dem Bereich der Erfindung abzuweichen, ist es selbstverständlich, dass die Erfindung nicht auf die spezifischen Ausführungsbeispiele derselben mit Ausnahme der durch die Patentansprüche gegebenen Definition beschränkt ist.

Der lineare Schrittmotor umfasst somit Primärständer 1, in welchen eine Vielzahl von Erregereinheiten 3a bis 3d und Erregerspulen 5a bis 5d, die um die Erregereinheiten gewickelt sind, in einer Reihe aufgereiht sind, und ein sekundäres Bewegungselement 12, das mit einem vorbestimmten Luftspalt zu den Ständern 1 angeordnet ist in Gegenüberlage zu den Seitenflächen der Ständer 1. Die Ständer 1 sind in der Bewegungsrichtung des Bewegungselements 12 angeordnet, und die Ständer 1 und das Bewegungselement 12 sind gelagert für eine Bewegung relativ zueinander in der Bewegungsrichtung des Bewegungselements 12. Eine Vielzahl von auf dem Bewegungselement 12 angeordneten Polzähnen 16 ist unterteilt, und es sind die Polzähne integral miteinander mittels eines nicht magnetischen Teils 17 verbunden. Das sekundäre Bewegungselement ist leicht gebaut und weist ein verbessertes Ansprechverhalten auf.

Claims (47)

1. Linearer Schrittmotor, mit primären Ständern, in welchen eine Vielzahl von Magnetteilen und um die Magnetteile gewickelte Erregerspulen in einer Reihe angeordnet ist, und einem Sekundärbewegungselement, das mit einem vorbestimmten Luftspalt von den Ständern gegenüber den Seitenoberflächen derselben angeordnet ist und die Ständer in einer Bewegungsrichtung des Bewegungselements angeordnet sind, und die Ständer und das Bewegungselement gelagert sind für eine Bewegung in der Bewegungsrichtung relativ zueinander, wobei eine Vielzahl von auf dem Bewegungselement angeordneten Polzähnen unterteilt und integral miteinander über ein nicht magnetisches Teil verbunden ist, zur Bildung des Bewegungselements, wobei auf diese Weise das Bewegungselement gebildet wird.

2. Motor nach Anspruch 1, wobei der Motor einen zweiseitigen Aufbau aufweist, in welchem die Ständer auf zwei Seiten des Bewegungselements angeordnet sind.

3. Motor nach Anspruch 2, wobei das Bewegungselement durch entweder ein Statikdrucklager oder ein Magnetlager für eine Beweglichkeit in der Bewegungsrichtung geführt und gelagert ist.

4. Motor nach Anspruch 1, mit zumindest einer Kühleinrichtung aus der Kühleinrichtung zum Kühlen der Erregerspulen und der Kühleinrichtung zum Kühlen des Bewegungselements.

5. Motor nach Anspruch 1, wobei die von zumindest entweder den Ständern oder dem Bewegungselement verwendeten Magnetteile laminierte elektromagnetische Stahlbleche sind.

6. Motor nach Anspruch 1, wobei das von zumindest entweder den primären Ständern oder dem sekundären Bewegungselement verwendete nicht magnetische Material entweder rostfreier Stahl, Aluminium, ein Keramikmaterial oder ein Harz ist.

7. Objektträgervorrichtung, mit:
einer Steuerungseinheit zur Erzeugung eines Antriebssteuerungsbefehls für ein Antriebselement; und
einem linearen Schrittmotor mit primären Ständern, in welchen eine Vielzahl von magnetischen Teilen und um die magnetische Teile gewickelte Erregerspulen in einer Reihe angeordnet sind, und einem sekundären Bewegungselement, das mit einem vorbestimmten Luftspalt von den Ständern gegenüber den Seitenoberflächen derselben angeordnet ist, und wobei die Ständer in der Bewegungsrichtung des Bewegungselements angeordnet sind und die Ständer und das Bewegungselement gelagert sind für eine Bewegungsrichtung relativ zueinander, wobei eine Vielzahl von auf dem Bewegungselement angeordneten Polzähnen unterteilt und integral miteinander mittels eines nicht magnetischen Teils zur Bildung des Bewegungselements verbunden ist, wodurch das Bewegungselement gebildet wird.

8. Belichtungsvorrichtung, mit einer Objektträgervorrichtung zum darauf Anbringen einer Scheibe und Positionieren der Scheibe bei der Belichtungsposition,
wobei die Objektträgervorrichtung umfasst:
eine Steuerungseinheit zur Erzeugung eines Antriebssteuerungsbefehls für ein Antriebselement, und
einen linearen Schrittmotor zum Antreiben eines Objektträgers auf der Basis des mittels der Steuerungseinheit erzeugten Antriebssteuerungsbefehls,
wobei der lineare Schrittmotor umfasst: primäre Ständer, in welchen eine Vielzahl von Magnetteilen und um die Magnetteile gewickelte Erregerspulen in einer Reihe angeordnet sind, und ein sekundäres Bewegungselement, das mit einem vorbestimmten Luftspalt von den Ständern gegenüber den Seitenoberflächen derselben angeordnet ist, und die Ständer in einer Bewegungsrichtung des Bewegungselements angeordnet sind, und die Ständer und das Bewegungselement gelagert sind für eine Bewegung in der Bewegungsrichtung relativ zueinander,
wobei eine Vielzahl von auf dem Bewegungselement angeordneten Polzähnen unterteilt und integral miteinander mittels eines nicht magnetischen Teils zur Bildung des Bewegungselements verbunden sind, wodurch das Bewegungselement gebildet wird.

9. Halbleitereinrichtungsfertigungsverfahren, mit den Schritten:
Einsetzen einer Gruppen von den Fertigungsvorrichtungen für unterschiedliche Typen von Prozessen einschließlich einer Belichtungsvorrichtung in einer Halbleiterfertigungsanlage; und
Fertigen einer Halbleitereinrichtung in Abhängigkeit von einer Vielzahl von Prozessen unter Verwendung der Gruppe von den Fertigungsvorrichtungen,
wobei die Belichtungsvorrichtung eine Objektträgervorrichtung aufweist zum darauf Anbringen einer Scheibe und Positionieren der Scheibe bei einer Belichtungsposition,
wobei die Objektträgervorrichtung umfasst:
eine Steuerungsvorrichtung zur Erzeugung eines Antriebssteuerungsbefehls für ein Antriebselement, und
einen linearen Schrittmotor zum Antreiben eines Objektträgers auf der Basis des von der Steuerungseinheit erzeugten Antriebssteuerungsbefehls,
wobei der lineare Schrittmotor umfasst: primäre Ständer, in welchen eine Vielzahl von Magnetteilen und um die Magnetteile gewickelte Erregerspulen in einer Reihe angeordnet sind, und ein sekundäres Bewegungselement, das mit einem vorbestimmten Luftspalt von den Ständern gegenüber den Seitenoberflächen derselben angeordnet ist, und die Ständer in der Bewegungsrichtung des Bewegungselements angeordnet sind, und die Ständer und das Bewegungselement gelagert sind für eine Bewegung in der Bewegungsrichtung relativ zueinander,
wobei eine Vielzahl von auf dem Bewegungselement angeordneten Polzähnen unterteilt und integral miteinander mittels eines nicht magnetischen Teils zur Bildung des Bewegungselements verbunden sind, wodurch das Bewegungselement gebildet wird.

10. Verfahren nach Anspruch 9, ferner mit den Schritten:
Verbinden der Gruppe von Fertigungsvorrichtungen mittels eines lokalen Netzwerks;
Verbinden des lokalen Netzwerks und eines Netzwerks außerhalb der Halbleiterfertigungsanlage;
Übertragen einer Information mittels Datenkommunikation zu zumindest einer der Gruppen von Fertigungsvorrichtungen von einer Datenbank des externen Netzwerks unter Verwendung des lokalen Netzwerks und des externen Netzwerks; und
Steuern der Belichtungsvorrichtung auf der Basis der übertragenen Information.

11. Verfahren nach Anspruch 10, wobei eine Wartungsinformation bezüglich der Fertigungsvorrichtungen mittels Datenkommunikation erhalten wird durch einen Zugriff auf eine von einem Verkäufer oder Benutzer der Belichtungsvorrichtung bereitgestellten Datenbank mittels des externen Netzwerks, oder ein Produktionsmanagement durchgeführt wird mittels einer Datenkommunikation mit anderen Halbleiterfertigungsanlagen mittels des externen Netzwerks.

12. Halbleiterfertigungsanlage, mit
einer Gruppe von Fertigungsvorrichtungen für verschiedene Typen von Prozessen einschließlich einer Belichtungsvorrichtung,
einem lokalen Netzwerk zur Verbindung der Gruppe von Fertigungsvorrichtungen, und
einem Gateway zum Verbinden des lokalen Netzwerks und eines externen Netzwerks außerhalb der Halbleiterfertigungsanlage, um mittels einer Datenkommunikation eine Information auf zumindest eine der Gruppen der Fertigungsvorrichtungen zu übertragen,
wobei die Belichtungsvorrichtung eine Objektträgervorrichtung umfasst zum darauf Anbringen einer Scheibe und Positionieren der Scheibe bei einer Belichtungsposition,
wobei die Objektträgervorrichtung umfasst
eine Steuerungseinheit zur Erzeugung eines Antriebssteuerungsbefehls für ein Antriebselement, und
einen linearen Schrittmotor zum Antreiben eines Objektträgers auf der Basis des von der Steuerungseinheit erzeugten Antriebssteuerungsbefehls,
wobei der lineare Schrittmotor umfasst: primäre Ständern, in welchen eine Vielzahl von Magnetteilen und um die Magnetteile gewickelte Spulen in einer Reihe angeordnet sind, und ein sekundäres Bewegungselement, das mit einem vorbestimmten Luftspalt von den Ständern gegenüber den Seitenoberflächen derselben angeordnet ist, und die Ständer in einer Bewegungsrichtung des Bewegungselement angeordnet sind, und die Ständer und das Bewegungselement gelagert sind für eine Bewegung in der Bewegungsrichtung relativ zueinander,
wobei eine Vielzahl von auf dem Bewegungselement angeordneten Polzähnen unterteilt und integral miteinander mittels eines nicht magnetischen Teils zur Bildung des Bewegungselements verbunden sind, wodurch das Bewegungselement gebildet wird.

13. Wartungsverfahren für eine in einer Halbleiterfertigungsanlage eingesetzte Belichtungsvorrichtung, mit den Schritten:
Vorbereiten einer Datenbank zu Akkumulieren einer Information bezüglich einer Wartung der Belichtungsvorrichtung in einem externen Netzwerk außerhalb der Anlage, in der die Belichtungsvorrichtung eingesetzt ist;
Verbinden der Belichtungsvorrichtung mit einem lokalen Netzwerk in der Anlage; und
Warten der Belichtungsvorrichtung auf der Basis der in der Datenbank akkumulierten Information durch Verwenden des externen Netzwerks und des lokalen Netzwerks,
wobei die Belichtungsvorrichtung eine Objektträgervorrichtung aufweist zum darauf Anbringen einer Scheibe und Positionieren der Scheibe bei einer Belichtungsposition,
wobei die Objektträgervorrichtung umfasst:
eine Steuerungseinheit zur Erzeugung eines Antriebssteuerungsbefehls für ein Antriebselement und
einen linearen Schrittmotor zum Antreiben eines Objektträgers auf der Basis des von der Steuerungseinheit erzeugten Antriebssteuerungsbefehls,
wobei der lineare Schrittmotor umfasst: primäre Ständer, in welchen einen Vielzahl von Magnetteilen und um die Magnetteile gewickelte Erregerspulen in einer Reihe angeordnet sind, und ein sekundäres Bewegungselement, das mit einem vorbestimmten Luftspalt zu den Ständern gegenüber den Seitenoberflächen derselben angeordnet ist, wobei die Ständer in einer Bewegungsrichtung des Bewegungselements angeordnet sind, und die Ständer und das Bewegungselement gelagert sind für eine Bewegung in der Bewegungsrichtung relativ zueinander,
wobei die Vielzahl von auf dem Bewegungselement angeordneten Polzähnen aufgeteilt und integral miteinander mittels eines nicht magnetischen Teil zur Bildung des Bewegungselements verbunden sind, wodurch das Bewegungselement gebildet wird.

14. Vorrichtung nach Anspruch 8, ferner mit
einer mit einem Netzwerk zu verbindenden Schnittstelle,
einem Computer zur Verarbeitung einer Netzwerksoftware zur Übertragung einer Wartungsinformation mit der Datenkommunikation zu der Belichtungsvorrichtung mittels des Netzwerks, und
einer Anzeigeeinrichtung zur Anzeige der Wartungsinformation bezüglich der Belichtungsvorrichtung, die mittels der durch den Computer verarbeiteten Netzwerksoftware übertragen wurde.

15. Vorrichtung nach Anspruch 14, wobei die Netzwerksoftware eine Benutzerschnittstelle auf der Anzeigeeinrichtung bereitstellt, die mit einem externen Netzwerk außerhalb einer Fertigungsanlage, in der die Belichtungsvorrichtung eingesetzt ist, verbunden ist, und die einen Zugriff auf eine von einem Verkäufer oder Benutzer der Belichtungsvorrichtung bereitgestellte Wartungsdatenbank erlaubt, so dass hierdurch eine Information aus der Datenbank über das externe Netzwerk erhalten werden kann.

16. Linearer Schrittmotor, mit einem Primärteil, das erhalten wird durch Wickeln einer Spule um einen Primärmagnetteil, der eine Vielzahl von hervorstehenden und in einer Richtung aufgereihten Primärpolzähnen verbindet, und einem Sekundärteil, das erhalten wird durch Verbinden einer Vielzahl von hervorstehenden und in einer Richtung an einem Luftspalt zu den Primärpolzähnen aufgereihten Sekundärpolzähne mit einem Sekundärmagnetteil, wobei die Spulen erregt werden zur Bewegung des Primärteils und des Sekundärteils relativ zueinander in einer Richtung,
wobei ein erster Primärpolzahn und ein zweiter, relativ zu dem ersten Primärpolzahn um eine Teilung P in eine Richtung versetzter Primärpolzahn vorgesehen sind,
ein erster Primärmagnetteil zum Verbinden des ersten und zweiten Primärpolzahns miteinander und eine um den ersten Primärmagnetteil gewickelte Spule eine Erregereinheit bilden, und der Primärteil eine Gruppe von Erregerspulen einschließlich n-Erregereinheiten umfasst, die relativ zueinander um eine Teilung P/n in einer Richtung versetzt sind, wobei n eine ganze Zahl nicht kleiner als 3 ist, und
der Primärteil und der Sekundärteil gelagert sind für eine relative Bewegung zueinander in einer Richtung.

17. Motor nach Anspruch 16, wobei die n Erregereinheiten miteinander mittels nicht magnetischer Teile verbunden sind.

18. Motor nach Anspruch 16, wobei gilt n = 3, und der Primärteil eine Gruppe von Erregereinheiten einschließlich drei Erregereinheit aufweist, die relativ zueinander um eine Teilung P/3 in einer Richtung versetzt sind.

19. Motor nach Anspruch 16, wobei gilt n = 4, und der Primärteil eine Gruppe von Erregereinheiten einschließlich 4 Erregereinheiten aufweist, die zueinander relativ um eine Teilung P/4 in einer Richtung versetzt sind.

20. Motor nach Anspruch 16, wobei ein nicht magnetischer Teil des Primärteils entweder aus rostfreiem Stahl, Aluminium oder einem keramischen Material besteht.

21. Motor, mit einem Primärteil, das erhalten wird durch Umwickeln eines eine Vielzahl von in einer Linie in einer Richtung angeordneten Primärpolzähnen verbindenden Primärmagnetteils mit einer Spule, und einem Sekundärteil, das erhalten wird durch Verbinden einer Vielzahl von in einer Richtung an einem Luftspalt zu den Primärpolzähnen aufgereihten Sekundärpolzähne mit einem Sekundärmagnetteil, wobei die Spulen erregt werden zur Bewegung des Primär- und Sekundärteils relativ zueinander in einer Richtung,
wobei ein erster Sekundärpolzahn und ein zweiter, relativ zu dem ersten Sekundärpolzahn um eine Teilung P in einer Richtung versetzter zweiter Sekundärpolzahn vorgesehen sind, und
einem ersten Sekundärmagnetteil zum Verbinden der ersten und zweiten Sekundärpolzähne miteinander zur Bildung einer Polzahneinheit, wobei der Sekundärteil eine Gruppe von Polzahneinheiten einschließlich n-Polzahneinheiten aufweist, die relativ zueinander um P/n in einer Richtung versetzt sind, wobei n eine ganze Zahl nicht kleiner als 3 ist, und
der Primärteil und der Sekundärteil gelagert sind für eine Bewegung relativ zueinander in einer Richtung.

22. Motor nach Anspruch 21, wobei die n Polzahneinheiten miteinander mittels nicht magnetischer Teile verbunden sind.

23. Motor nach Anspruch 21, wobei gilt n = 3, und der Sekundärteil eine Gruppe von Polzahneinheiten einschließlich drei Polzahneinheiten aufweist, die vorgesehen sind für eine relative Versetzung zueinander um P/3 in einer Richtung.

24. Motor nach Anspruch 21, wobei gilt n = 4, und der Sekundärteil eine Polzahneinheit einschließlich vier Polzahneinheiten aufweist, die vorgesehen sind für eine relative Versetzung zueinander um P/4 in einer Richtung.

25. Motor nach Anspruch 21, wobei ein nicht magnetischer Teil des Sekundärteils entweder aus rostfreiem Stahl, Aluminium oder einem keramischen Material besteht.

26. Motor nach Anspruch 16, mit einer Kühleinrichtung zum Kühlen der Spule.

27. Motor nach Anspruch 26, wobei die Kühleinrichtung den Sekundärteil kühlt.

28. Motor nach Anspruch 16, wobei die für den Primärteil und den Sekundärteil verwendeten Magnetteile aus laminierten elektromagnetischen Stahlblechen bestehen.

29. Linearer Schrittmotor nach Anspruch 21, wobei die von dem Primärteil und dem Sekundärteil verwendeten Magnetteile laminierte elektromagnetische Stahlbleche sind.

30. Objektträgervorrichtung, mit:
einer Steuerungseinheit zur Erzeugung eines Ansteuerungssignals für ein Antriebselement; und
einem linearen Schrittmotor zum Antreiben eines Objektträgers auf der Basis des durch die Steuerungseinheit erzeugten Antriebssteuerungsbefehls,
wobei der Linearmotor umfasst:
einem Primärteil, der erhalten wird durch Umwickeln eines eine Vielzahl von hervorstehenden und in einer Richtung aufgereihten Primärpolzähnen verbindenden Primärmagnetteils mit einer Spule, und einem Sekundärteil, der erhalten wird durch Verbinden einer Vielzahl von in einer Richtung an einem Luftspalt zu den Primärpolzähnen aufgereihten hervorstehenden Sekundärpolzähnen mit einem Sekundärmagnetpolteil, wobei die Spule erregt wird zur Erregung des Primärteils und des Sekundärteils relativ zueinander in einer Richtung,
einem ersten Primärmagnetteil zum Verbinden der ersten und zweiten Primärpolzähne mit einander und einer um den ersten Primärmagnetteil gewickelte Spule zur Bildung einer Erregereinheit, wobei der Primärteil eine Gruppe von Erregereinheiten einschließlich n Erregereinheiten aufweist, die vorgesehen sind für eine relative Versetzung zueinander um P/n in einer Richtung, wobei n eine ganze Zahl nicht kleiner als 3 ist, und
der Primärteil und der Sekundärteil gelagert sind für eine Bewegung relativ zueinander in einer Richtung.

31. Objektträgervorrichtung, mit
einer Steuerungseinheit zur Erzeugung eines Antriebssteuerungsbefehls für ein Antriebselement; und
einem linearen Schrittmotor zum Antreiben eines Objektträgers auf der Basis des durch die Steuerungseinheit erzeugten Antriebssteuerungsbefehls,
wobei der lineare Schrittmotor umfasst: einen Primärteil, der erhalten wird durch Umwickeln eines Primärmagnetteils, der eine Vielzahl von vorstehenden, in einer Richtung aufgereihten Primärpolzähne verbindet, mit einer Spule, und einem Sekundärteil, der erhalten wird durch Verbinden einer Vielzahl von hervorstehenden und in einer Richtung aufgereihten Sekundärpolzähnen an einem Luftspalt zu den Primärpolzähnen mit einem Sekundärmagnetteil, wobei die Spulen erregt werden zur Bewegung des Primärteils und des Sekundärteils relativ zueinander in einer Richtung,
wobei ein erster Sekundärpolzahn und ein zweiter Sekundärpolzahn vorgesehen sind, der angeordnet ist für eine relative Versetzung von dem ersten Sekundärpolzahn um eine Teilung P in einer Richtung, und
einem ersten Sekundärmagnetteil zum Verbinden der ersten und zweiten Sekundärpolzähne miteinander zur Bildung einer Polzahneinheit, und einem zweiten Sekundärteil mit einer Gruppe von Polzahneinheiten einschließlich n Polzahneinheiten, die angeordnet sind für eine relative Versetzung zueinander um P/n in einer Richtung, wobei n eine ganze Zahl nicht kleiner als 3 ist, und
der Primärteil und der Sekundärteil gelagert sind für eine Bewegung relativ zueinander in einer Richtung.

32. Belichtungsvorrichtung mit einer
Objektträgervorrichtung zum darauf Anordnen einer Scheibe und Positionieren der Scheibe bei einer Belichtungsposition,
wobei die Objektträgervorrichtung umfasst:
eine Steuerungseinheit zur Erzeugung eines Antriebssteuerungsbefehls für ein Antriebselement, und
einen linearen Schrittmotor zum Antreiben eines Objektträgers auf der Basis des durch die Steuerungseinheit erzeugten Antriebssteuerungsbefehls,
wobei der lineare Schrittmotor umfasst: einen Primärteil, der erhalten wird durch Umwickeln einer Spule um einen Primärmagnetteil, der eine Vielzahl von in einer Richtung aufgereihten hervorstehenden Primärpolzähnen verbindet, und einen Sekundärteil, der erhalten wird durch Verbinden einer Vielzahl von hervorstehenden und in einer Richtung an einem Luftspalt zu den Primärpolzähnen aufgereihten Sekundärpolzähnen mit einem Sekundärmagnetteil, wobei die Spule erregt wird zum Bewegen des Primärteils und des Sekundärteils relativ zueinander in einer Richtung,
wobei ein erster Primärpolzahn und ein zweiter Primärpolzahl vorgesehen sind, der angeordnet ist für eine relative Versetzung von dem ersten Primärpolzahn um eine Teilung P in einer Richtung,
einem ersten Magnetteil zum Verbinden der ersten und zweiten Primärpolzähne miteinander, und eine um den ersten Primärmagnetteil gewickelte Spule zur Bildung einer Erregereinheit, wobei der Primärteil eine Gruppe von Erregereinheiten einschließlich n Erregereinheiten aufweist, die angeordnet sind für eine relative Versetzung zueinander um P/n in einer Richtung, wobei n eine ganze Zahl nicht kleiner als 3 ist, und
der Primärteil und der Sekundärteil gelagert sind für eine Bewegung relativ zueinander in einer Richtung.

33. Belichtungsvorrichtung mit einer
Objektträgervorrichtung zum darauf Anordnen einer Scheibe und Positionieren einer Scheibe bei einer Belichtungsposition,
wobei die Objektträgervorrichtung umfasst:
eine Steuerungseinheit zur Erzeugung eines Antriebssteuerungsbefehls für ein Antriebselement, und
einen linearen Schrittmotor zum Antreiben des Objektträgers auf der Basis des durch die Steuerungseinheit erzeugten Antriebssteuerungsbefehls,
wobei der lineare Schrittmotor umfasst: einen Primärteil, der erhalten wird durch Wickeln einer Spule auf einen Primärmagnetteil, der eine Vielzahl von in einer Richtung aufgereihten vorstehenden Primärpolzähnen verbindet, und einen Sekundärteil, der erhalten wird zum Verbinden einer Vielzahl von vorstehenden und in einer Richtung an einem Luftspalt aufgereihten Sekundärpolzähnen mit einem Sekundärmagnetteil, wobei die Spule erregt wird zur Bewegung des Primärteils und des Sekundärteils relativ zueinander in einer Richtung,
wobei ein erster Sekundärpolzahn und ein zweiter Sekundärpolzahn vorgesehen ist, der angeordnet ist für eine relative Versetzung bezüglich des ersten Sekundärpolzahns um eine Teilung P in einer Richtung, und
einem ersten Sekundärmagnetteil zum Verbinden der ersten und zweiten Sekundärpolzähne miteinander zur Bildung einer Polzahneinheit, wobei der zweite Sekundärteil eine Gruppe von Polzahneinheiten einschließlich n Polzahneinheiten aufweist, die vorgesehen sind für eine relative Versetzung zueinander um P/n in einer Richtung, wobei n eine ganze Zahl nicht kleiner als 3 ist, und
der Primärteil und der Sekundärteil gelagert sind für eine Bewegung relativ zueinander in einer Richtung.

34. Halbleitereinrichtungsfertigungsverfahren mit den Schritten:
Einsetzen einer Gruppe von Fertigungsvorrichtungen für verschiedene Arten von Prozessen einschließlich einer Belichtungsvorrichtung in einer Halbleiterfertigungsanlage; und
Fertigen einer Halbleitereinrichtung entsprechend einer Vielzahl von Prozessen unter Verwendung der Gruppe von Fertigungsvorrichtungen,
wobei die Belichtungsvorrichtung eine Objektträgervorrichtung aufweist zum darauf Anbringen einer Scheibe und Positionieren der Scheibe bei einer Belichtungsposition,
wobei die Objektträgervorrichtung umfasst:
eine Steuerungseinheit zur Erzeugung eines Antriebssteuerungsbefehls für ein Antriebselement, und
einen linearen Schrittmotor zum Antreiben eines Objektträgers auf der Basis des durch die Steuerungseinheit erzeugten Antriebssteuerungsbefehls,
wobei der lineare Schrittmotor umfasst: einen Primärteil, der erhalten wird durch Wickeln einer Spule auf einen Primärmagnetteil, der eine Vielzahl von vorstehenden und in einer Linie aufgereihten Primärpolzähnen verbindet, und ein Sekundärteil, der erhalten wird durch Verbinden einer Vielzahl von vorstehenden und in einer Richtung an einem Luftspalt zu den Primärpolzähnen aufgereihten Sekundärpolzähnen mit einem Sekundärmagnetteil, wobei die Spule erregt wird zur Bewegung des Primärteils und des Sekundärteils relativ zueinander in einer Richtung,
wobei ein erster Primärpolzahn und ein zweiter Primärpolzahn vorgesehen sind, der angeordnet ist für eine relative Versetzung von dem ersten Primärpolzahn um eine Teilung P in einer Richtung,
einen ersten Primärmagnetteil zum Verbinden der ersten und zweiten Primärpolzähne mit einander und eine um den ersten Primärmagnetteil gewickelte Spule zur Bildung einer Trägereinheit, wobei der Primärteil eine Gruppe von Erregereinheiten einschließlich n Erregereinheiten aufweist, die angeordnet sind für eine relative Versetzung zueinander um P/n in einer Richtung, wobei n eine ganze Zahl nicht kleiner als 3 ist, und
der Primärteil und der Sekundärteil gelagert sind für eine Bewegung relativ zueinander in einer Richtung.

35. Halbleitereinrichtungsfertigungsverfahren, mit den Schritten:
Einsetzen einer Gruppe von Fertigungsvorrichtungen für verschiedene Arten von Prozessen einschließlich einer Belichtungsvorrichtung in einer Halbleiterfertigungsanlage; und
Fertigen einer Halbleitereinrichtung entsprechend einer Vielzahl von Prozessen unter Verwendung der Gruppe von Fertigungsvorrichtungen,
wobei die Belichtungsvorrichtung eine Objektträgervorrichtung umfasst zum darauf Anordnen einer Scheibe und Positionieren der Scheibe bei einer Belichtungsposition,
wobei die Objektträgervorrichtung umfasst:
eine Steuerungseinheit zur Erzeugung eines Antriebssteuerungsbefehls für ein Antriebselement, und
einen linearen Schrittmotor zum Antreiben des Objektträgers auf der Basis des durch die Steuerungseinheit erzeugten Antriebssteuerungsbefehls,
wobei der lineare Schrittmotor umfasst: einen Primärteil, der erhalten wird durch Wickeln einer Spule auf einen Primärmagnetteil, der eine Vielzahl von vorstehenden und in einer Richtung aufgereihten Primärpolzähnen verbindet, und einen Sekundärteil, der erhalten wird durch Verbinden einer Vielzahl von vorstehenden und in einer Richtung an einem Luftspalt zu den Primärpolzähnen aufgereihten Sekundärpolzähnen mit einem Sekundärmagnetteil, wobei die Spule erregt wird zur Bewegung des Primärteils und des Sekundärteils relativ zueinander in einer Richtung,
wobei ein erster Sekundärpolzahn und ein zweiter Sekundärpolzahn vorgesehen sind, der angeordnet ist für eine relative Versetzung von dem ersten Sekundärpolzahn um eine Teilung P in einer Richtung, und
einem ersten Sekundärmagnetteil zum Verbinden der ersten und zweiten Sekundärpolzähne miteinander zur Bildung einer Polzahneinheit, wobei der Sekundärteil eine Gruppe von Polzahneinheiten einschließlich n Polzahneinheiten aufweist, die angeordnet sind für eine relative Versetzung zueinander um P/n in einer Richtung, wobei n eine ganze Zahl nicht kleiner als 3 ist, und
der Primärteil und der Sekundärteil gelagert sind für eine relative Bewegung zu einander in einer Richtung.

36. Verfahren nach Anspruch 34, ferner mit den Schritten:
Verbinden der Gruppe von Fertigungsvorrichtungen mittels eines lokalen Netzwerks;
Verbinden des lokalen Netzwerks und eines externen Netzwerks außerhalb der Halbleiterfertigungsanlage;
Übertragen von Informationen mittels Datenkommunikation zu zumindest einer der Gruppe von Fertigungsvorrichtungen aus einer Datenbank des externen Netzwerks unter Verwendung des lokalen Netzwerks und des externen Netzwerks, und
Steuern der Belichtungsvorrichtung auf der Basis der übertragenen Information.

37. Verfahren nach Anspruch 35, ferner mit den Schritten:
Verbinden der Gruppe von Fertigungsvorrichtungen mittels eines lokalen Netzwerks;
Verbinden des lokalen Netzwerks und eines externen Netzwerks außerhalb der Halbleiterfertigungsanlage;
Übertragen einer Information mittels Datenkommunikation zu zumindest einer der Gruppe der Fertigungsvorrichtungen aus einer Datenbank des externen Netzwerks unter Verwendung des lokalen Netzwerks und des externen Netzwerks; und
Steuern der Belichtungsvorrichtung auf der Basis der übertragenen Information.

38. Verfahren nach Anspruch 36, wobei eine Wartungsinformation bezüglich der Fertigungsvorrichtung mittels Datenkommunikation erhalten wird aus einem Zugriff auf eine von einem Verkäufer oder Benutzer der Belichtungsvorrichtung bereitgestellten Datenbank über das externe Netzwerk, oder ein Produktmanagement durchgeführt wird mittels Datenkommunikation mit einer anderen Halbleiterfertigungsanlage über das externe Netzwerk.

39. Verfahren nach Anspruch 37, wobei eine Wartungsinformation bezüglich der Fertigungsvorrichtung mittels einer Datenkommunikation erhalten wird durch Zugriff auf eine von einem Verkäufer oder Benutzer der Belichtungsvorrichtung bereitgestellten Datenbank über das externe Netzwerk, oder ein Produktmanagement durchgeführt wird mittels Datenkommunikation mit einer anderen Halbleiterfertigungsanlage über das externe Netzwerk.

40. Halbleiterfertigungsanlage mit
einer Gruppe von Fertigungsvorrichtung für verschiedene Arten von Prozessen einschließlich einer Belichtungsvorrichtung,
einem lokalen Netzwerk zur Verbindung der Gruppe von Fertigungsvorrichtungen, und einem Gateway zum Verbinden des lokalen Netzwerks und eines externen Netzwerks außerhalb der Halbleiterfertigungsanlage, um eine Informationsübertragung mittels Datenkommunikation zu zumindest einer der Gruppe der Fertigungsvorrichtungen zu ermöglichen,
wobei die Belichtungsvorrichtung eine Objektträgervorrichtung umfasst zum darauf Anbringen einer Scheibe und Positionieren der Scheibe bei einer Belichtungsposition,
wobei die Objektträgervorrichtung umfasst:
eine Steuerungseinheit zur Erzeugung eines Antriebssteuerungsbefehls für ein Antriebselement, und einen linearen Schrittmotor zum Antreiben eines Objektträgers auf der Basis des mittels der Steuerungseinheit erzeugten Antriebssteuerungsbefehls,
wobei der lineare Schrittmotor umfasst: einen Primärteil, der erhalten wird durch Wickeln einer Spule um ein Primärmagnetteil, der eine Vielzahl von vorstehenden, in einer Richtung aufgereihten Primärpolzähnen verbindet, mit einem Sekundärteil, der erhalten wird durch Verbinden einer Vielzahl von vorstehenden, in einer Linie an einem Luftspalt zu den Primärpolzähnen aufgereihten Sekundärpolzähnen mit einem Sekundärmagnetteil, wobei die Spule erregt wird zur Bewegung des Primärteils und des Sekundärteils relativ zueinander in einer Richtung,
wobei ein erster Primärpolzahn und ein zweiter Primärpolzahn vorgesehen ist, der angeordnet ist für eine relative Versetzung von dem ersten Primärpolzahn um eine Teilung P in einer Richtung,
einem ersten Primärmagnetteil zum Verbinden der ersten und zweiten Primärpolzähne miteinander und eine um den ersten Primärmagnetteil gewickelte Spule zur Bildung einer Erregereinheit, wobei der Primärteil eine Gruppe von Erregereinheiten einschließlich n Erregereinheiten aufweist, die angeordnet sind für eine relative Versetzung zueinander um P/n in einer Richtung, wobei n eine ganze Zahl nicht kleiner als 3 ist, und
der Primärteil und der Sekundärteil gelagert sind für eine Bewegung relativ zueinander in einer Richtung.

41. Halbleiterfertigungsanlage mit
einer Gruppe von Fertigungsvorrichtungen für unterschiedliche Arten von Prozessen einschließlich einer Belichtungsvorrichtung,
einem lokalen Netzwerk zum Verbinden der Gruppe von Fertigungsvorrichtungen, und
einem Gateway zum Verbinden des lokalen Netzwerks mit einem externen Netzwerk außerhalb der Halbleiterfertigungsanlage, um eine Informationsübertragung mittels Datenkommunikation zu zumindest einer der Gruppen von Fertigungsvorrichtungen zu ermöglichen,
wobei die Belichtungsvorrichtung eine Objektträgervorrichtung umfasst zum darauf Anbringen einer Scheibe und Positionieren der Scheibe bei einer Belichtungsposition,
wobei die Objektträgervorrichtung umfasst
eine Steuerungseinheit zum Erzeugen eines Antriebssteuerungsbefehls für ein Antriebselement, und
einen linearen Schrittmotor zum Antreiben eines Objektträgers auf der Basis des durch die Steuerungseinheit erzeugten Antriebssteuerungsbefehls,
wobei der lineare Schrittmotor umfasst: einen Primärteil, der erhalten wird durch Wickeln einer Spule um einen Primärmagnetteil, der eine Vielzahl von vorstehenden, in einer Richtung aufgereihten Primärpolzähnen verbindet, und einen Sekundärteil, der erhalten wird durch Verbinden einer Vielzahl von vorstehenden, in einer Richtung an einem Luftspalt zu den Primärpolzähnen aufgereihten Sekundärpolzähnen mit einem Sekundärmagnetteil, wobei die Spule erregt wird zum Bewegen des Primärteils und des Sekundärteils relativ zueinander in einer Richtung,
wobei ein erster Sekundärpolzahn und ein zweiter Sekundärpolzahn vorgesehen ist, der angeordnet ist für eine relative Versetzung zu dem ersten Sekundärpolzahn um eine Teilung P in einer Richtung, und
einen ersten Sekundärmagnetteil zum Verbinden der ersten und zweiten Sekundärpolzähne miteinander zur Bildung einer Polzahneinheit, wobei der Sekundärteil eine Gruppe von Polzahneinheiten einschließlich n-Polzahneinheiten umfasst, die angeordnet sind für eine relative Versetzung zueinander um P/n in einer Richtung, wobei n eine ganze Zahl nicht kleiner als 3 ist, und
der Primärteil und der Sekundärteil gelagert sind für eine Bewegung relativ zueinander in einer Richtung.

42. Wartungsverfahren für eine Belichtungsvorrichtung, die in einer Halbleiterfertigungsanlage eingesetzt ist, mit den Schritten:
Vorbereiten einer Datenbank zum Akkumulieren von Informationen bezüglich einer Wartung der Belichtungsvorrichtung in einem externen Netzwerk außerhalb der Anlage, in der die Vorrichtung eingesetzt ist;
Verbinden der Belichtungsvorrichtung mit einem lokalen Netzwerk in der Anlage; und
Warten der Belichtungsvorrichtung auf der Basis der akkumulierten Information in der Datenbank durch Verwenden des externen Netzwerks und des lokalen Netzwerks,
wobei die Belichtungsvorrichtung eine Objektträgervorrichtung umfasst zum darauf Anbringen einer Scheibe und Positionieren der Scheibe bei einer Belichtungsposition,
wobei die Objektträgervorrichtung umfasst:
eine Steuerungseinheit zum Erzeugen eines Antriebssteuerungsbefehls für ein Antriebselement, und
einen linearen Schrittmotor zum Antreiben eines Objektträgers auf der Basis des durch die Steuerungseinheit erzeugten Antriebssteuerungsbefehls,
wobei der lineare Motor umfasst: einen Primärteil, der erhalten wird durch Wickeln einer Spule um einem Primärmagnetteil, der eine Vielzahl von vorstehenden und in einer Richtung aufgereihten Primärpolzähnen verbindet, und einen Sekundärteil, der erhalten wird durch Verbinden einer Vielzahl von vorstehenden, in einer Richtung an einem Luftspalt zu den Primärpolzähnen aufgereihten Sekundärpolzähnen mit einem Sekundärmagnetteil, wobei die Spule erregt wird zur Bewegung des Primärteils und des Sekundärteils relativ zueinander in einer Richtung,
wobei ein erster Primärpolzahn und ein zweiter Primärpolzahn vorgesehen sind, der angeordnet ist für eine relative Versetzung zu dem ersten Primärpolzahn um eine Teilung P in einer Richtung,
einen ersten Primärmagnetteil zum Verbinden der ersten und zweiten Primärpolzähne miteinander und eine um den ersten Primärmagnetteil gewickelte Spule zur Bildung einer Erregereinheit, wobei der Primärteil eine Gruppe von Erregereinheiten einschließlich n-Erregereinheiten umfasst, die angeordnet sind für eine relative Versetzung zueinander um P/n in einer Richtung, wobei n eine gerade Zahl nicht kleiner als 3 ist, und
der Primärteil und der Sekundärteil gelagert werden für eine Bewegung relativ zueinander in einer Richtung.

43. Wartungsverfahren für eine Belichtungsvorrichtung, die in einer Halbleiterfertigungsanlage eingesetzt ist, mit den Schritten:
Vorbereiten einer Datenbank zum Akkumulieren von Informationen bezüglich einer Wartung der Belichtungsvorrichtung in einem externen Netzwerk außerhalb der Anlage, in der die Belichtungsvorrichtung eingesetzt ist;
Verbinden der Belichtungsvorrichtung mit einem lokalen Netzwerk in der Anlage;
Warten der Belichtungsvorrichtung auf der Basis der in der Datenbank akkumulierten Information unter Verwendung des externen Netzwerks und des lokalen Netzwerks,
wobei die Belichtungsvorrichtung eine Objektträgervorrichtung umfasst zum darauf Anbringen einer Scheibe und Positionieren einer Scheibe bei einer Belichtungsposition,
wobei die Objektträgervorrichtung umfasst
eine Steuerungseinheit zur Erzeugung eines Antriebssteuerungsbefehls für ein Antriebselement, und
einen linearen Schrittmotor zum Antreiben eines Objektträgers auf der Basis des durch die Steuerungseinheit erzeugten Antriebssteuerungsbefehls,
wobei der lineare Schrittmotor umfasst: einen Primärteil, der erhalten wird durch Wickeln einer Spule um einen Primärmagnetteil, der eine Vielzahl von vorstehenden und in einer Richtung aufgereihten Primärpolzähnen verbindet, und einen Sekundärteil, der erhalten wird durch eine Vielzahl von vorstehenden und in eine Richtung an einem Luftspalt zu den Primärpolzähnen aufgereihten Sekundärpolzähnen mit einem Sekundärmagnetteil, wobei die Spule erregt wird zur Bewegung des Primärteils und des Sekundärteils relativ zu einander in einer Richtung,
wobei ein erster Sekundärpolzahn und ein zweiter Sekundärpolzahn vorgesehen ist, der angeordnet ist für eine relative Versetzung zu dem ersten Sekundärpolzahn um eine Teilung P in einer Richtung, und
einen ersten Sekundärmagnetteil zum Verbinden der ersten und zweiten Sekundärpolzähne miteinander zur Bildung einer Polzahneinheit, wobei der Sekundärteil eine Gruppe von Polzahneinheiten einschließlich n Polzahneinheiten aufweist, die angeordnet sind für eine relative Versetzung zueinander um P/n in einer Richtung, wobei n eine ganze Zahl nicht kleiner als 3 ist, und
der Primärteil und der Sekundärteil gelagert sind für eine Bewegung relativ zueinander in einer Richtung.

44. Vorrichtung nach Anspruch 32, ferner mit:
einer mit einem Netzwerk zu verbindenden Schnittstelle;
einem Computer zur Verarbeitung einer Netzwerksoftware, die Wartungsinformation mittels Datenkommunikation über das Netzwerk zu der Belichtungsvorrichtung überträgt; und
einer Anzeigeeinrichtung zum Anzeigen der mit der durch den Computer verarbeiteten Netzwerksoftware übertragenen Wartungsinformation bezüglich der Belichtungsvorrichtung.

45. Vorrichtung nach Anspruch 44, wobei die Netzwerksoftware auf der Anzeigeeinrichtung eine Benutzerschnittstelle bereitstellt, die mit einem externen Netzwerk außerhalb einer Anlage, in der die Belichtungsvorrichtung eingesetzt ist, verbunden ist und einen Zugriff auf eine Wartungsdatenbank ermöglicht, die von einem Verkäufer oder Benutzer der Belichtungsvorrichtung bereitgestellt wurde, so dass das Erhalten einer Information aus der Datenbank über das externe Netzwerk ermöglicht wird.

46. Vorrichtung nach Anspruch 33, ferner mit:
einer mit einem Netzwerk zu verbindenden Schnittstelle;
einem Computer zur Verarbeitung einer Netzwerksoftware zur Datenübertragung mittels Datenkommunikation zur Belichtungsvorrichtung über das Netzwerk; und
einer Anzeigevorrichtung für eine Anzeige der mittels der durch den Computer verarbeiteten Netzwerksoftware übertragenen Wartungsinformation bezüglich der Belichtungsvorrichtung.

47. Vorrichtung nach Anspruch 46, wobei die Netzwerksoftware auf der Anzeigeeinrichtung eine Benutzerschnittstelle bereitstellt, die mit einem externen Netzwerk außerhalb einer Anlage, in der die Belichtungsvorrichtung eingesetzt ist, verbunden ist, und die einen Zugriff ermöglicht auf eine Wartungsdatenbank, die durch einen Verkäufer oder Benutzer der Belichtungsvorrichtung bereitgestellt wurde, wobei das Erhalten einer Information aus der Datenbank über das externe Netzwerk ermöglicht wird.