JP2016115736A - 半導体素子パッケージおよび半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
ージである。
配線導体6と結合する。これにより、信号配線導体6の内層部分では、両隣の同一面接地導体層7および主面接地導体層12と結合した状態で高周波信号が伝送される。
に半導体素子15を配置する必要があるので、基体2に半導体素子15を直接載置せず、ペルチェ素子やマウント部材14を介して載置することが好ましい。マウント部材14は、絶縁性を有する材料であればよく、基体2で説明した絶縁性基板と同様のセラミックス材料などを用いることができる。
2 基体
2a 一方主面
2b 載置領域
3 枠部材
3b 貫通孔
4 端子部材
5 第1誘電体層
6 信号配線導体
6a 一方端部
6b 他方端部
7 同一面接地導体層
8 貫通導体
9 第2誘電体層
9a 凹面
9b 平坦面
10 第3誘電体層
11 側面接地導体層
12 主面接地導体層
13 蓋体
14 マウント部材
15 半導体素子
16 ボンディングワイヤ
100 半導体装置
Claims (5)
- 半導体素子が載置される載置領域を含む主面を有する板状の基体と、
前記載置領域を囲むように前記基体の前記主面に設けられる矩形状の枠部材であって、内周面および外周面間の厚み方向に枠部材を貫通して切り欠かれた切り欠きを有する枠部材と、
前記半導体素子と外部配線とを電気的に接続する端子部材であって、前記切り欠きを塞いで前記基体と前記枠部材とに接合される端子部材と、を備え、
前記端子部材は、
第1誘電体層と、
第1誘電体層の一表面に設けられ、前記半導体素子と電気的に接続する一方端部および前記外部配線と電気的に接続する他方端部とを有する信号配線導体と、
前記信号配線導体の両側に前記信号配線導体から一定の間隔を空けて配置された同一面接地導体層と、
前記信号配線導体の前記一方端部および前記他方端部が露出するように前記信号配線導体および前記同一面接地導体層の中央部分を覆う第2誘電体層であって、前記信号配線導体が延びる方向に直交する2つの側面を有し、少なくとも一方の側面が、前記信号配線導体に対応する位置で前記信号配線導体が延びる方向に凹んだ凹面と前記凹面に連なる平坦面とからなる第2誘電体層と、
前記第2誘電体層の前記平坦面に設けられ、前記同一面接地導体層と電気的に接続する側面接地導体層と、を含むことを特徴とする半導体素子パッケージ。 - 前記端子部材は、前記第2誘電体層の前記信号配線導体および前記同一面接地導体層に対向する面とは反対側の面に設けられる、前記側面接地導体層と電気的に接続する主面接地導体層をさらに含むことを特徴とする請求項1記載の半導体素子パッケージ。
- 前記端子部材は、前記第2誘電体層を厚み方向に貫通し、前記同一面接地導体層および前記主面接地導体層と電気的に接続する貫通導体をさらに含むことを特徴とする請求項2記載の半導体素子パッケージ。
- 前記端子部材は、前記一方の側面が、前記信号配線導体の前記一方端部を臨むように構成されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の半導体素子パッケージ。
- 請求項1〜4のいずれか1つに記載の半導体素子パッケージと、
前記載置領域に載置された半導体素子と、を備えることを特徴とする半導体装置。
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2014
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