JP2016099492A - 液晶装置および電子機器 - Google Patents

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Abstract

【課題】非表示領域で延在する配線の構成を適正化することにより、表示品位の低下を抑制することのできる液晶装置および電子機器を提供すること。【解決手段】液晶装置の第1基板10(素子基板)では、表示領域10aとシール材の外縁107eとに挟まれた非表示領域10cで延在する配線のうち、共通電位線LVcomが画素電極9aとの間に層間絶縁膜(第1絶縁膜)を介在させるように設けられている。これに対して、共通電位Vcomと異なる電位を供給する配線LSPY、LVSSY、LVDDY、LCLY、LCLYINV、および配線106は、画素電極9aとの間に層間絶縁膜(第1絶縁膜)および層間絶縁膜(第2絶縁膜)を介在させるように配置されている。共通電位線LVcomにおいて、第2配線部分LVcom2は、非表示領域10cにおいて表示領域10aを全周にわたって囲むように延在している。【選択図】図2

Description

本発明は、第1基板と第2基板との間に液晶層が設けられた液晶装置、および当該液晶
装置を備えた電子機器に関するものである。
液晶装置では、一対の基板(第1基板および第2基板)の間においてシール材で囲まれ
た領域内に液晶層が設けられており、第1基板に設けた画素電極と第2基板に設けた共通
電極との間で液晶層を駆動する。また、第1基板と第2基板との間には基板間導通部が設
けられており、第1基板に形成した共通電位線および基板間導通部を介して共通電極に共
通電位を供給する。
かかる液晶装置において、シール材に含まれているイオン性不純物が液晶層内に侵入し
て表示領域まで到達すると、表示ムラやシミ等の表示品位の低下が発生する。そこで、表
示領域とシール材との間において、第1基板に画素電極と同層に設けた非表示領域電極と
第2基板の共通電極とを液晶層を介して対向させるとともに、非表示領域に共通電位を印
加することにより、イオン性不純物が表示領域まで進入することを抑制する技術が提案さ
れている(特許文献1参照)。
特開2005−275144号公報
しかしながら、本願発明者が検討した結果、表示領域とシール材との間において非表示
領域電極と共通電極とを液晶層を介して対向させるとともに、非表示領域に共通電位を印
加するだけでは、イオン性不純物が表示領域まで侵入することを確実に防止することが困
難であるという知見を得た。すなわち、画素電極より下層側で、共通電位以外の電位を供
給する配線が非表示領域で延在していると、かかる配線の電位の影響で、イオン性不純物
がシール材から滲みだして表示領域内に侵入してしまう。
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、非表示領域で延在する配線の構成を適正化す
ることにより、表示品位の低下を抑制することのできる液晶装置および電子機器を提供す
ることにある。
上記課題を解決するために、本発明に係る液晶装置は、第1基板と、該第1基板に対向
する第2基板と、前記第1基板と前記第2基板とを貼り合わせる枠状のシール材と、前記
シール材で囲まれた領域に配置された液晶層と、前記第1基板と前記第2基板との間にお
いて前記シール材より外側で前記第1基板の基板間導通電極と前記第2基板の共通電極と
を導通させる基板間導通部と、を有し、前記第1基板の前記第2基板と対向する面側に、
表示領域と前記シール材の外縁とに挟まれた非表示領域で延在して前記基板間導通電極と
ともに共通電位が印加された共通電位線と、該共通電位線の前記第2基板側に設けられた
第1絶縁膜と、該第1絶縁膜の前記第2基板側に設けられた画素電極と、を有し、前記非
表示領域では、前記共通電位以外の電位を供給する配線が前記共通電位線に対して前記第
2基板とは反対側に設けられていることを特徴とする。
本発明において、第1基板の第2基板と対向する面側では、表示領域とシール材の外縁
とに挟まれた非表示領域では、液晶層に近い位置で共通電位線が表示領域に沿って延在し
ているが、共通電位以外の電位を供給する配線は、共通電位線より液晶層から遠い位置に
配置されている。このため、液晶層は、非表示領域で共通電位線の影響を受ける一方、配
線の電位の影響を受けにくい。従って、非表示領域での液晶層の配向を均一化することが
できるので、配線の電位に起因する画像の品位の低下を抑制することができる。また、配
線の電位が液晶層やシール材に影響を及ぼしにくいので、シール材からのイオン性不純物
の滲み出しや、滲み出したイオン性不純物が表示領域に侵入することを抑制することがで
きる。それ故、画像の品位の経時的な低下を抑制することができる。
本発明において、前記共通電位線は、前記非表示領域において前記表示領域に沿って延
在していることが好ましい。かかる構成によれば、表示領域の外縁に沿って、非表示領域
での液晶層の配向を均一化することができる。
本発明において、前記共通電位線は、前記非表示領域において前記表示領域を全周にわ
たって囲むように延在していることが好ましい。かかる構成によれば、表示領域の全周に
わたって、非表示領域での液晶層の配向を均一化することができる。
本発明において、前記第1基板の前記第2基板と対向する面側に、前記共通電位線の前
記第2基板とは反対側に設けられた第2絶縁膜と、該第2絶縁膜の前記第2基板とは反対
側に設けられた第3絶縁膜と、を有し、前記配線は、前記非表示領域では前記第2絶縁膜
と前記第3絶縁膜との間に設けられている構成を採用することができる。
本発明において、前記共通電位線および前記配線は、例えば、アルミニウム配線である
本発明に係る液晶装置は、携帯電話機やモバイルコンピューター、カメラのファインダ
ー、投射型表示装置等の電子機器に用いることができる。これらの電子機器のうち、投射
型表示装置は、液晶装置に光を供給するための光源部と、液晶装置によって光変調された
光を投射する投射光学系とを備えている。
本発明を適用した液晶装置の液晶パネルの説明図である。 本発明を適用した第1基板の電気的構成を示す説明図である。 本発明を適用した液晶装置の画素の説明図である。 本発明を適用した液晶装置の配線の説明図である。 本発明を適用した投射型表示装置(電子機器)および光学ユニットの概略構成図である。
図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の説明で参照する図にお
いては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に
縮尺を異ならしめてある。また、以下の説明で参照する図においては、走査線、データ線
、信号線等の配線等については、それらの数を少なく表してある。また、第1基板10の
面内方向で交差する2方向をY方向(第1方向)とX方向(第2方向)とし、Y方向の一
方側をY1側とし、Y方向の他方側をY2とし、X方向の一方側をX1側とし、X方向の
他方側をX2として説明する。
[全体構成]
図1は、本発明を適用した液晶装置の液晶パネルの説明図であり、図1(a)、(b)
は各々、液晶パネルを各構成要素と共に対向基板の側から見た平面図、およびそのH−H
′断面図である。
図1(a)、(b)に示すように、本形態の液晶装置100において、液晶パネル10
0pは、第1基板10(素子基板)と第2基板20(対向基板)とが所定の隙間を介して
枠状のシール材107によって貼り合わされており、シール材107は第2基板20の外
縁に沿うように枠状に設けられている。シール材107は、光硬化性樹脂や熱硬化性樹脂
等からなる接着剤であり、両基板間の距離を所定値とするためのグラスファイバーあるい
はガラスビーズ等のギャップ材107aが配合されている。液晶パネル100pにおいて
、第1基板10と第2基板20との間のうち、シール材107によって囲まれた領域内に
は、液晶層50が設けられている。シール材107には、液晶注入口107cとして利用
される途切れ部分が形成されており、かかる液晶注入口107cは、液晶材料の注入後、
封止材107dによって封止されている。
液晶パネル100pにおいて、第1基板10および第2基板20はいずれも四角形であ
り、第1基板10は、Y方向(第1方向)で対向する2つの辺10e、10f(端部)と
、X方向(第2方向)で対向する2つの辺10g、10h(端部)とを備えている。液晶
パネル100pの略中央には、表示領域10aが四角形の領域として設けられており、か
かる形状に対応して、シール材107も略四角形に設けられている。従って、液晶パネル
100pは、表示領域10aとシール材107の外縁107e(第2基板20の外縁)と
の間に四角形の非表示領域10cを有している。
第1基板10において、非表示領域10cでは、第1基板10においてY方向の一方側
Y1に位置する辺10eに沿ってデータ線駆動回路101および複数の接続端子102が
形成されており、この辺10eに隣接する他の辺10g、10hの各々に沿って走査線駆
動回路104が形成されている。なお、接続端子102には、フレキシブル配線基板(図
示せず)が接続されており、第1基板10には、フレキシブル配線基板を介して外部制御
回路から各種電位や各種信号が入力される。
図3等を参照して詳しくは後述するが、第1基板10の一方面10sおよび他方面10
tのうち、第2基板20と対向する一方面10sの側において、表示領域10aには、画
素電極9aや、図2等を参照して後述する画素スイッチング素子30等がマトリクス状に
配列されている。従って、表示領域10aは、画素電極9aがマトリクス状に配列された
画素電極配列領域10pとして構成されている。かかる構成の第1基板10において、画
素電極9aの上層側には配向膜16が形成されている。
第1基板10の一方面10sの側において、表示領域10aより外側の非表示領域10
cのうち、表示領域10aとシール材107とに挟まれた四角枠状のダミー領域10b(
周辺領域)にはダミー画素電極9bが形成されている。
第2基板20の一方面20sおよび他方面20tのうち、第1基板10と対向する一方
面20sの側には共通電極21が形成されている。共通電極21は、第2基板20の略全
面あるいは複数の帯状電極として複数の画素100aに跨って形成されている。本形態に
おいて、共通電極21は、第2基板20の略全面に形成されている。
第2基板20の一方面20sの側には、共通電極21の下層側に遮光層29が形成され
、共通電極21の表面には配向膜26が積層されている。遮光層29は、表示領域10a
の外周縁に沿って延在する額縁部分29aとして形成されており、遮光層29の内周縁に
よって表示領域10aが規定されている。また、遮光層29は、隣り合う画素電極9aに
より挟まれた画素間領域に重なるブラックマトリクス部29bとしても形成されている。
液晶パネル100pにおいて、シール材107より外側には、第2基板20の一方面2
0sの側の4つの角部分に基板間導通用電極25が形成されており、第1基板10の一方
面10sの側には、第2基板20の4つの角部分(基板間導通用電極25)と対向する位
置に基板間導通用電極19が形成されている。本形態において、基板間導通用電極25は
、共通電極21の一部からなる。基板間導通用電極19には、定電位Vcomが印加されて
いる。基板間導通用電極19と基板間導通用電極25との間には、導電粒子を含んだ基板
間導通材19aが配置されており、第2基板20の共通電極21は、基板間導通用電極1
9、基板間導通材19aおよび基板間導通用電極25からなる基板間導通部190を介し
て第1基板10側に電気的に接続されている。このため、共通電極21は、第1基板10
の側から定電位Vcomが印加されている。シール材107は、略同一の幅寸法をもって第
2基板20の外周縁に沿って設けられているが、第2基板20の角部分と重なる領域では
基板間導通用電極19、25を避けて内側を通るように設けられている。
本形態において、液晶装置100は透過型液晶装置であり、画素電極9aおよび共通電
極21は、ITO(Indium Tin Oxide)膜やIZO(Indium Zinc Oxide)膜等の透光性
導電膜により形成されている。かかる透過型の液晶装置100では、例えば、第2基板2
0の側から入射した光が第1基板10の側から出射される間に変調されて画像を表示する
。また、液晶装置100が反射型の液晶装置である場合、共通電極21は、ITO膜やI
ZO膜等の透光性導電膜により形成され、画素電極9aは、アルミニウム膜等の反射性導
電膜により形成される。かかる反射型の液晶装置100では、第1基板10および第2基
板20のうち、第2基板20の側から入射した光が第1基板10で反射して出射される間
に変調されて画像を表示する。
液晶装置100は、モバイルコンピューター、携帯電話機等といった電子機器のカラー
表示装置として用いることができ、この場合、第2基板20等には、カラーフィルター(
図示せず)が形成される。また、液晶装置100は、電子ペーパーとして用いることがで
きる。また、液晶装置100では、使用する液晶層50の種類や、ノーマリホワイトモー
ド/ノーマリブラックモードの別に応じて、偏光フィルム、位相差フィルム、偏光板等が
液晶パネル100pに対して所定の向きに配置される。さらに、液晶装置100は、後述
する投射型表示装置(液晶プロジェクター)において、RGB用のライトバルブとして用
いることができる。この場合、RGB用の各液晶装置100の各々には、RGB色分解用
のダイクロイックミラーを介して分解された各色の光が投射光として各々入射されること
になるので、カラーフィルターは形成されない。
(第1基板10の電気的構成)
図2は、本発明を適用した液晶装置100の第1基板10の電気的構成を示す説明図で
あり、図2(a)、(b)は、第1基板10の回路や配線の平面的なレイアウトを示す説
明図、および画素の電気的構成を示す説明図である。なお、図2では、シール材107の
外縁107eを一点鎖線で示してあり、共通電位線LVcomについては太線で示してある
。また、図2では、表示領域10aに対してY方向に形成されたダミー領域10bについ
ては画素100aの図示を省略してある。また、以下の説明において、接続端子102を
介して第1基板10に入力される信号や電位に対応する配線については、「L」の後に信
号や電位を示すアルファベット記号を付与して説明する。例えば、信号名称である「クロ
ック信号CLX」に対応する配線について「クロック信号線LCLX」とする。また、接
続端子102に関しては、「T」の後に信号や電位を示すアルファベット記号を付与して
説明する。例えば、信号名称である「クロック信号CLX」に対応する接続端子102に
ついては「接続端子TCLX」とする。
図2(a)、(b)に示すように、液晶装置100において、第1基板10には複数の
画素100aがマトリクス状に配列された画素電極配列領域10pが設けられている。画
素電極配列領域10pのうち、図1(b)に示す額縁部分29aの内縁で囲まれた領域が
表示領域10aであり、表示領域10aの外側がダミー領域10bである。
第1基板10では、画素電極配列領域10pの内側に、Y方向(第1方向)に沿って延
在する複数本のデータ線6aと、X方向(第2方向)に沿って延在する複数本の走査線3
aとが形成されており、それらの交点に対応する位置に画素100aが構成されている。
複数の画素100aの各々には、TFT等のトランジスターからなる画素スイッチング素
子30、および画素電極9aが形成されている。画素スイッチング素子30のソースには
データ線6aが電気的に接続され、画素スイッチング素子30のゲートには走査線3aが
電気的に接続され、画素スイッチング素子30のドレインには、画素電極9aが電気的に
接続されている。
第1基板10において、表示領域10a(画素電極配列領域10p)より外側の非表示
領域10cには、走査線駆動回路104、データ線駆動回路101、サンプリング回路1
03、基板間導通用電極19、接続端子102等が構成されており、接続端子102から
走査線駆動回路104、データ線駆動回路101、サンプリング回路103、および基板
間導通用電極19に向けて複数の配線105が延在している。サンプリング回路103は
、複数本のデータ線6aにY方向の一方側Y1で電気的に接続しており、走査線駆動回路
104は、複数本の走査線3aにX方向で電気的に接続している。
各画素100aにおいて、画素電極9aは、図1を参照して説明した第2基板20に形
成された共通電極21と液晶層50を介して対向し、液晶容量50aを構成している。ま
た、各画素100aには、液晶容量50aで保持される画像信号の変動を防ぐために、液
晶容量50aと並列に保持容量55が付加されている。本形態では、保持容量55を構成
するために、複数の画素100aに跨って容量線5aが形成され、かかる容量線5aには
、共通電極21に印加される共通電位と同一の定電位Vcomが印加されている。なお、容
量線5aは、走査線3aに沿ってX方向に沿って延在している構成、およびデータ線6a
に沿ってY方向に沿って延在している構成のいずれを採用してもよい。
接続端子102は、共通電位線用、走査線駆動回路用、画像信号用、およびデータ線駆
動回路用の4つの用途に大きく分類される複数の接続端子群により構成されている。具体
的には、複数の接続端子102は、共通電位線LVcom用として接続端子TVcomを含み、
走査線駆動回路104用として接続端子TSPY、接続端子TVSSY、接続端子TVD
DY、接続端子TCLY、および接続端子TCLYINVを含んでいる。また、複数の接続
端子102は、画像信号VID1〜VID6用として接続端子TVID1〜TVID6を
含み、データ線駆動回路101用として、接続端子TVSSX、接続端子TSPX、接続
端子TVDDX、接続端子TCLX、接続端子TCLXINV、接続端子TENB1〜TE
NB4、および接続端子TVSSXを含んでいる。
データ線駆動回路101は、シフトレジスター回路101c、波形選択回路101b、
およびバッファー回路101aを備えている。データ線駆動回路101において、シフト
レジスター回路101cは、外部制御回路から接続端子102(接続端子TVSSX、T
VDDX)および配線105(配線LVSSX、LVDDX)を介して供給される負電源
VSSXおよび正電源VDDXを電源として用い、外部制御回路から接続端子102(接
続端子TSPX)および配線105(配線LSPX)を介して供給されるスタート信号S
PXに基づいて転送動作を開始する。シフトレジスター回路101cは、接続端子102
(接続端子TCLX、TCLXINV)、および配線105(配線LCLX、LCLXINV)
を介して供給されるクロック信号CLXおよび逆位相クロック信号CLXINVに基づき、
転送信号を波形選択回路101bへ出力する。波形選択回路101bは、「イネーブル回
路」とも称され、シフトレジスター回路101cから出力される転送信号のパルス幅を、
外部制御回路から接続端子102(接続端子TENB1〜TENB4)および配線105
(配線LENB1〜LENB4)を介して供給されるイネーブル信号ENB1〜ENB4
のパルス幅に制限することにより、後述のサンプリング回路103における各サンプリン
グ期間を規定する。より具体的には、波形選択回路101bは、シフトレジスター回路1
01cの各段に対応して設けられたNAND回路およびインバーター等により構成されて
おり、シフトレジスター回路101cより出力される転送信号がハイレベルとされており
、かつ、イネーブル信号ENB1〜ENB4のいずれかがハイレベルとされているときに
のみデータ線6aが駆動されるように時間軸上における電位の選択制御を行う。バッファ
ー回路101aは、このように波形の選択が行われた転送信号をバッファリングした後、
サンプリング回路駆動信号として、サンプリング回路駆動信号線109を介してサンプリ
ング回路103に供給する。
サンプリング回路103は、画像信号をサンプリングするためのサンプリングスイッチ
108を複数備えて構成されている。本形態において、サンプリングスイッチ108は、
TFT等のトランジスターからなる。サンプリングスイッチ108のドレインには、デー
タ線6aが電気的に接続され、サンプリングスイッチ108のソースには、配線106を
介して配線105(画像信号線LVID1〜LVID6)が接続され、サンプリングスイ
ッチ108のゲートには、データ線駆動回路101に接続されたサンプリング回路駆動信
号線109が接続されている。そして、接続端子102(接続端子TVID1〜VID6
)を介して配線105(画像信号線LVID1〜LVID6)に供給された画像信号VI
D1〜VID6は、データ線駆動回路101からサンプリング回路駆動信号線109を通
じてサンプリング回路駆動信号が供給されるのに応じ、サンプリング回路103によりサ
ンプリングされ、各データ線6aに画像信号S1、S2、S3、・・Snとして供給され
る。本形態において、画像信号S1、S2、S3、・・Snは、6相にシリアル−パラレ
ル展開された画像信号VID1〜VID6の各々に対応して、6本のデータ線6aの組に
対してグループ毎に供給される。なお、画像信号の相展開数に関しては、6相に限られる
ものでなく、例えば、9相、12相、24相、48相等、複数相に展開された画像信号が
、その展開数に対応した数を一組としたデータ線6aの組に対して供給される。
走査線駆動回路104は、構成要素としてシフトレジスター回路およびバッファー回路
を備えている。走査線駆動回路104は、外部制御回路から接続端子102(接続端子T
VSSY、TVDDY)および配線105(配線LVSSY、LVDDY)を介して供給
される負電源VSSYおよび正電源VDDYを電源として用い、同じく外部制御回路から
接続端子102(接続端子TSPY)および配線105(配線LSPY)を介して供給さ
れるスタート信号SPYに応じて、その内蔵シフトレジスター回路の転送動作を開始する
。また、走査線駆動回路104は、接続端子102(接続端子TCLY、TCLYINV)
および配線105(配線LCLY、LCLYINV)を介して供給されるクロック信号CL
Yおよび逆位相クロック信号CLYINVに基づいて、所定のタイミングで走査線3aに走
査信号をパルス的に線順次で印加する。
第1基板10には、4つの基板間導通用電極19を通過するように配線105(共通電
位線LVcom)が形成されており、基板間導通用電極19には、接続端子102(接続端
子TVcom)および配線105(共通電位線LVcom)を介して定電位Vcomが供給される
(画素100aの具体的構成)
図3は、本発明を適用した液晶装置100の画素100aの説明図であり、図3(a)
、(b)は、第1基板10において隣り合う複数の画素の平面図、および液晶装置100
のH−H′断面図である。なお、図3(a)では、各層を以下の線
下層側の遮光層8a=細くて長い破線
半導体層1a=細くて短い点線
走査線3a=太い実線
ドレイン電極4a=細い実線
データ線6aおよび中継電極6b=細い一点鎖線
容量線5a=太い一点鎖線
上層側の遮光層7aおよび中継電極7b=細い二点鎖線
画素電極9a=太い破線
で示してある。また、図3(a)では、互いの端部が平面視で重なり合う層については、
層の形状等が分かりやすいように、端部の位置をずらしてある。また、第1基板10に形
成されている膜等を説明する際、上層側とは基板本体10wとは反対側(第2基板20の
側、液晶層50の側)を意味し、下層側とは基板本体10wの側(第2基板20とは反対
側、液晶層50とは反対側)を意味する。また、第2基板20に形成されている膜等を説
明する際、上層側とは基板本体20wとは反対側(第1基板10の側、液晶層50の側)
を意味し、下層側とは基板本体20wの側(第1基板10とは反対側、液晶層50とは反
対側)を意味する。
図3(a)に示すように、第1基板10において第2基板20と対向する一方面10s
には、複数の画素100aの各々に画素電極9aが形成されており、隣り合う画素電極9
aにより挟まれた画素間領域に沿ってデータ線6aおよび走査線3aが形成されている。
本形態において、画素間領域は縦横に延在しており、走査線3aは画素間領域のうち、X
方向に沿って延在する第1画素間領域に沿って直線的に延在し、データ線6aは、Y方向
に沿って延在する第2画素間領域に沿って直線的に延在している。また、データ線6aと
走査線3aとの交差に対応して画素スイッチング素子30が形成されており、本形態にお
いて、画素スイッチング素子30は、データ線6aと走査線3aとの交差領域およびその
付近を利用して形成されている。第1基板10には容量線5aが形成されており、かかる
容量線5aには定電位Vcomが印加されている。本形態において、容量線5aは、走査線
3aおよびデータ線6aに重なるように延在して格子状に形成されている。画素スイッチ
ング素子30の上層側には遮光層7aが形成されており、かかる遮光層7aは、データ線
6aに重なるように延在している。画素スイッチング素子30の下層側には遮光層8aが
形成されており、かかる遮光層8aは、走査線3aと重なるように直線的に延びた主線部
分と、データ線6aと走査線3aとの交差部分でデータ線6aに重なるように延びた副線
部分とを備えている。
図3(b)に示すように、第1基板10は、石英基板やガラス基板等の透光性の基板本
体10wの液晶層50側の基板面(第2基板20と対向する一方面10s側)に画素電極
9a、画素スイッチング用の画素スイッチング素子30、および配向膜16等が構成され
ている。第2基板20は、石英基板やガラス基板等の透光性の基板本体20wの液晶層5
0側の基板面(第1基板10と対向する一方面20s)に遮光層29、共通電極21、お
よび配向膜26等が構成されている。
より具体的には、第1基板10において、基板本体10wの一方面10s側には、導電
性のポリシリコン膜、金属シリサイド膜、金属膜あるいは金属化合物膜等の導電膜からな
る下層側の遮光層8aが形成されている。本形態において、遮光層8aは、タングステン
シリサイド(WSi)等の遮光膜からなり、液晶装置100を透過した後の光が他の部材
で反射した際、かかる反射光が半導体層1aに入射して画素スイッチング素子30で光電
流に起因する誤動作が発生することを防止する。なお、遮光層8aを走査線として構成す
る場合もあり、この場合、後述するゲート電極3bと遮光層8aを導通させた構成とする
基板本体10wの一方面10s側において、遮光層8aの上層側には、シリコン酸化膜
等の透光性の絶縁膜12が形成されており、かかる絶縁膜12の表面側に、半導体層1a
を備えた画素スイッチング素子30が形成されている。画素スイッチング素子30は、デ
ータ線6aの延在方向に長辺方向を向けた半導体層1aと、半導体層1aの長さ方向と直
交する方向に沿って延在して半導体層1aの長さ方向の中央部分に重なるゲート電極3b
とを備えており、本形態において、ゲート電極3bは走査線3aの一部からなる。画素ス
イッチング素子30は、半導体層1aとゲート電極3bとの間に透光性のゲート絶縁層2
を有している。半導体層1aは、ゲート電極3bに対してゲート絶縁層2を介して対向す
るチャネル領域1gを備えているとともに、チャネル領域1gの両側にソース領域1bお
よびドレイン領域1cを備えている。本形態において、画素スイッチング素子30は、L
DD構造を有している。従って、ソース領域1bおよびドレイン領域1cは各々、チャネ
ル領域1gの両側に低濃度領域を備え、低濃度領域に対してチャネル領域1gとは反対側
で隣接する領域に高濃度領域を備えている。
半導体層1aは、ポリシリコン膜(多結晶シリコン膜)等によって構成されている。ゲ
ート絶縁層2は、半導体層1aを熱酸化したシリコン酸化膜からなる第1ゲート絶縁層2
aと、減圧CVD法により形成されたシリコン酸化膜からなる第2ゲート絶縁層2bとの
2層構造からなる。ゲート電極3bおよび走査線3aは、導電性のポリシリコン膜、金属
シリサイド膜、金属膜あるいは金属化合物膜等の導電膜からなる。
ゲート電極3bの上層側には、NSG、PSG、BSG、BPSG等のシリコン酸化膜
等からなる透光性の層間絶縁膜41が形成され、層間絶縁膜41の上層には、ドレイン電
極4aが形成されている。ドレイン電極4aは、導電性のポリシリコン膜、金属シリサイ
ド膜、金属膜あるいは金属化合物膜等の導電膜からなる。ドレイン電極4aは、半導体層
1aのドレイン領域1c(画素電極側ソースドレイン領域)と一部が重なるように形成さ
れており、層間絶縁膜41およびゲート絶縁層2を貫通するコンタクトホール41aを介
してドレイン領域1cに導通している。
ドレイン電極4aの上層側には、シリコン酸化膜等からなる透光性の絶縁膜49、およ
び透光性の誘電体層40が形成されており、かかる誘電体層40の上層側には容量線5a
が形成されている。誘電体層40としては、シリコン酸化膜やシリコン窒化膜等のシリコ
ン化合物を用いることができる他、アルミニウム酸化膜、チタン酸化膜、タンタル酸化膜
、ニオブ酸化膜、ハフニウム酸化膜、ランタン酸化膜、ジルコニウム酸化膜等の高誘電率
の誘電体層を用いることができる。容量線5aは、導電性のポリシリコン膜、金属シリサ
イド膜、金属膜あるいは金属化合物膜等の導電膜からなる。ここで、容量線5aは、誘電
体層40を介してドレイン電極4aと重なっており、保持容量55を構成している。
容量線5aの上層側には、シリコン酸化膜等からなる透光性の層間絶縁膜42が形成さ
れており、かかる層間絶縁膜42の上層側には、データ線6aと中継電極6bとが同一の
導電膜により形成されている。データ線6aおよび中継電極6bは、導電性のポリシリコ
ン膜、金属シリサイド膜、金属膜あるいは金属化合物膜等の導電膜からなる。本形態にお
いて、データ線6aおよび中継電極6bは、アルミニウム配線からなる。また、データ線
6aおよび中継電極6bは、アルミニウム層と、アルミニウム層の上層に積層された窒化
チタン層からなる。データ線6aは、層間絶縁膜42、絶縁膜49、層間絶縁膜41およ
びゲート絶縁層2を貫通するコンタクトホール42aを介してソース領域1b(データ線
側ソースドレイン領域)に導通している。中継電極6bは、層間絶縁膜42および絶縁膜
49を貫通するコンタクトホール42bを介してドレイン電極4aに導通している。
データ線6aおよび中継電極6bの上層側にはシリコン酸化膜等からなる透光性の層間
絶縁膜43が形成されており、かかる層間絶縁膜43の上層側には、遮光層7aおよび中
継電極7bが同一の導電膜によって形成されている。層間絶縁膜43の表面は平坦化され
ている。遮光層7aおよび中継電極7bは、導電性のポリシリコン膜、金属シリサイド膜
、金属膜あるいは金属化合物膜等の導電膜からなる。本形態において、遮光層7aおよび
中継電極7bは、アルミニウム配線からなる。また、本形態において、遮光層7aおよび
中継電極7bは、アルミニウム層と、アルミニウム層の上層に積層された窒化チタン層か
らなる。中継電極7bは、層間絶縁膜43を貫通するコンタクトホール43aを介して中
継電極6bに導通している。遮光層7aは、データ線6aと重なるように延在している。
なお、遮光層7aを容量線5aと導通させて、シールド層として利用してもよい。
遮光層7aおよび中継電極7bの上層側には、シリコン酸化膜等からなる透光性の層間
絶縁膜44が形成されており、かかる層間絶縁膜44の上層側にはITO膜等からなる画
素電極9aが形成されている。層間絶縁膜44には、層間絶縁膜44を貫通して中継電極
7bまで到達したコンタクトホール44aが形成されており、画素電極9aは、コンタク
トホール44aを介して中継電極7bに電気的に接続している。その結果、画素電極9a
は、中継電極7b、中継電極6bおよびドレイン電極4aを介してドレイン領域1cに電
気的に接続している。層間絶縁膜44の表面は平坦化されている。
画素電極9aの表面側には、ポリイミドや無機配向膜からなる配向膜16が形成されて
いる。本形態において、配向膜16は、SiOX(x<2)、SiO2、TiO2、MgO
、Al23、In23、Sb23、Ta25等の斜方蒸着膜(傾斜垂直配向膜/無機配向
膜)からなる。
なお、図1等に示すデータ線駆動回路101や走査線駆動回路104に用いられている
スイッチング素子や、図2に示すサンプリングスイッチ108は、画素スイッチング素子
30と略同様な構成を有している。
(第2基板20の構成)
第2基板20では、石英基板やガラス基板等の透光性の基板本体20w(透光性基板)
の液晶層50側の面(第1基板10に対向する一方面20s)には、遮光層29、シリコ
ン酸化膜等からなる絶縁膜28、およびITO膜等の透光性導電膜からなる共通電極21
が形成されており、かかる共通電極21を覆うように、ポリイミドや無機配向膜からなる
配向膜26が形成されている。本形態において、共通電極21はITO膜からなる。本形
態において、配向膜26は、配向膜16と同様、SiOX(x<2)、SiO2、TiO2
、MgO、Al23、In23、Sb23、Ta25等の斜方蒸着膜(傾斜垂直配向膜/
無機配向膜)である。かかる配向膜16、26は、液晶層50に用いた誘電異方性が負の
ネマチック液晶化合物を傾斜垂直配向させ、液晶パネル100pは、ノーマリブラックの
VAモードとして動作する。本形態では、配向膜16、26として、各種無機配向膜のう
ち、シリコン酸化膜(SiOX)の斜方蒸着膜が用いられている。
(定電位線LCcom等のレイアウト)
図4は、本発明を適用した液晶装置100の配線の説明図であり、図4(a)、(b)
、(c)は、共通電位線LVcomの断面図、共通電位と異なる電位を供給する配線の断面
図、および共通電位と異なる電位を供給する配線の変形例の断面図である。
再び図2において、接続端子TVcomは、接続端子102が配列されている領域の両側
端部に配置されており、共通電位線LVcomは、2つの接続端子TVcomから第1基板10
の外縁に沿って延在して4つの基板間導通用電極19に向けて延在する第1配線部分LV
com1を有している。また、共通電位線LVcomは、非表示領域10cにおいて表示領域1
0aの周りを全周にわたって囲むように表示領域10aに沿って延在する第2配線部分L
Vcom2と、第2配線部分と4つの基板間導通用電極19の各々とを接続する第3配線部分
LVcom3を有している。本形態において、第2配線部分LVcom2は、非表示領域10cの
うち、表示領域10aとシール材107の内縁107fとに挟まれたダミー領域10bで
延在している。
また、非表示領域10cでは、共通電位Vcomと異なる電位を供給する配線として、接
続端子TSPY、TVSSY、TVDDY、TCLY、TCLYINVと走査線駆動回路1
04とを結ぶ配線LSPY、LVSSY、LVDDY、LCLY、LCLYINVの一部や
、サンプリングスイッチ108のソースに接続された配線106の一部が延在している。
ここで、共通電位線LVcomは、図4(a)に示すように、層間絶縁膜43と層間絶縁
膜44との間に遮光層7aや中継電極7bと同層のアルミニウム配線として設けられてお
り、層間絶縁膜44の上側には画素電極9aが形成されている。本形態の液晶装置100
では、液晶層50の側から層間絶縁膜44(第1絶縁膜)、層間絶縁膜43(第2絶縁膜
)、層間絶縁膜42(第3絶縁膜)、および層間絶縁膜41(第4絶縁膜)が順に設けら
れており、共通電位線LVcomは、層間絶縁膜43(第2絶縁膜)と層間絶縁膜44(第
1絶縁膜)との間に設けられている。このため、共通電位線LVcomは、各種配線のうち
、最も液晶層50に近い位置に設けられている。
これに対して、配線LSPY、LVSSY、LVDDY、LCLY、LCLYINV、お
よび配線106は、図4(b)に示すように、層間絶縁膜42(第3絶縁膜)と層間絶縁
膜43(第2絶縁膜)との間に、データ線6aおよび中継電極6bと同層のアルミニウム
配線として設けられている。ここで、配線LSPY、LVSSY、LVDDY、LCLY
、LCLYINV、および配線106は、図4(c)に示すように、層間絶縁膜41(第4
絶縁膜)と層間絶縁膜42(第3絶縁膜)との間に容量線5aと同層に設けられることも
ある。いずれの場合でも、配線LSPY、LVSSY、LVDDY、LCLY、LCLY
INV、および配線106は、液晶層50からみたとき、共通電位線LVcomより遠い位置に
設けられている。なお、非表示領域10cでは、共通電位Vcomと異なる電位を供給する
配線として、データ線6aおよび走査線3aも延在している。但し、データ線6aは、層
間絶縁膜42(第3絶縁膜)と層間絶縁膜43(第2絶縁膜)との間に設けられ、走査線
3aは、層間絶縁膜41と基板本体10wとの間に設けられている。
(本形態の主な効果)
以上説明したように、本形態の液晶装置100では、表示領域10aとシール材107
の外縁107eとに挟まれた非表示領域10cで延在する配線のうち、共通電位線LVco
mが画素電極9aとの間に層間絶縁膜44(第1絶縁膜)を介在させるように設けられて
いる。これに対して、共通電位Vcomと異なる電位を供給する配線LSPY、LVSSY
、LVDDY、LCLY、LCLYINV、および配線106は、図4(b)に示す構成で
は、画素電極9aとの間に層間絶縁膜44(第1絶縁膜)および層間絶縁膜43(第2絶
縁膜)を介在させるように配置され、図4(c)に示す構成では、画素電極9aとの間に
層間絶縁膜44(第1絶縁膜)、層間絶縁膜43(第2絶縁膜)、および層間絶縁膜42
(第3絶縁膜)を介在させるように設けられている。このため、共通電位Vcom以外の電
位を供給する配線LSPY、LVSSY、LVDDY、LCLY、LCLYINV、および
配線106は、共通電位線LVcomより液晶層50から遠い位置に配置されている。従っ
て、液晶層50は、非表示領域10cにおいて、共通電位線LVcomの影響を受ける一方
、配線LSPY、LVSSY、LVDDY、LCLY、LCLYINV、および配線106
の影響を受けにくい。それ故、非表示領域10cでの液晶層50の配向を均一化すること
ができるので、配線LSPY、LVSSY、LVDDY、LCLY、LCLYINV、およ
び配線106の電位に起因する画像の品位の低下を抑制することができる。また、配線L
SPY、LVSSY、LVDDY、LCLY、LCLYINV、および配線106の電位が
液晶層50やシール材107に影響を及ぼしにくいので、シール材107からのイオン性
不純物の滲み出しや、滲み出したイオン性不純物が表示領域10aに侵入することを抑制
することができる。それ故、画像の品位の経時的な低下を抑制することができる。
また、共通電位線LVcomは、非表示領域10cにおいて表示領域10aを全周にわた
って囲むように表示領域10aに沿って延在している。しかも、共通電位線LVcomは、
非表示領域10cのうち、表示領域10aとシール材107の内縁107fとに挟まれた
領域で延在している。従って、表示領域10aの全周にわたって、非表示領域10cでの
液晶層50の配向を均一化することができる。
[他の実施の形態]
上記実施の形態では、共通電位線LVcomが非表示領域10cにおいて表示領域10a
を全周にわたって囲んだ構成であったが、非表示領域10cにおいて表示領域10aの外
縁に沿って延在しているが、表示領域10aを全周にわたって囲んでいない構成であって
もよい。
[電子機器への搭載例]
(投射型表示装置および光学ユニットの構成例)
図5は、本発明を適用した投射型表示装置(電子機器)および光学ユニットの概略構成
図である。
図5に示す投射型表示装置110は、観察者側に設けられたスクリーン111に光を照
射し、このスクリーン111で反射した光を観察する、いわゆる投影型の投射型表示装置
である。投射型表示装置110は、光源112を備えた光源部130と、ダイクロイック
ミラー113、114と、液晶ライトバルブ115〜117と、投射光学系118と、ク
ロスダイクロイックプリズム119(合成光学系)と、リレー系120とを備えており、
液晶装置100およびクロスダイクロイックプリズム119は、光学ユニット200を構
成している。
光源112は、赤色光R、緑色光G、および青色光Bを含む光を供給する超高圧水銀ラ
ンプで構成されている。ダイクロイックミラー113は、光源112からの赤色光Rを透
過させるとともに、緑色光G、および青色光Bを反射する構成となっている。また、ダイ
クロイックミラー114は、ダイクロイックミラー113で反射された緑色光Gおよび青
色光Bのうち青色光Bを透過させるとともに緑色光Gを反射する構成となっている。この
ように、ダイクロイックミラー113、114は、光源112から出射した光を赤色光R
と緑色光Gと青色光Bとに分離する色分離光学系を構成する。
ここで、ダイクロイックミラー113と光源112との間には、インテグレーター12
1および偏光変換素子122が光源112から順に配置されている。インテグレーター1
21は、光源112から照射された光の照度分布を均一化する構成となっている。また、
偏光変換素子122は、光源112からの光を、例えばs偏光のような特定の振動方向を
有する偏光にする構成となっている。
液晶ライトバルブ115は、ダイクロイックミラー113を透過して反射ミラー123
で反射した赤色光を画像信号に応じて変調する透過型の液晶装置である。液晶ライトバル
ブ115は、λ/2位相差板115a、第1偏光板115b、液晶装置100(赤色用液
晶パネル100R)、および第2偏光板115dを備えている。ここで、液晶ライトバル
ブ115に入射する赤色光Rは、ダイクロイックミラー113を透過しても光の偏光は変
化しないことから、s偏光のままである。
λ/2位相差板115aは、液晶ライトバルブ115に入射したs偏光をp偏光に変換
する光学素子である。また、第1偏光板115bは、s偏光を遮断してp偏光を透過させ
る偏光板である。そして、液晶装置100(赤色用液晶パネル100R)は、p偏光を画
像信号に応じた変調によってs偏光(中間調であれば円偏光又は楕円偏光)に変換する構
成となっている。さらに、第2偏光板115dは、p偏光を遮断してs偏光を透過させる
偏光板である。したがって、液晶ライトバルブ115は、画像信号に応じて赤色光Rを変
調し、変調した赤色光Rをクロスダイクロイックプリズム119に向けて出射する構成と
なっている。
なお、λ/2位相差板115a、および第1偏光板115bは、偏光を変換させない透
光性のガラス板115eに接した状態で配置されており、λ/2位相差板115a、およ
び第1偏光板115bが発熱によって歪むのを回避することができる。
液晶ライトバルブ116は、ダイクロイックミラー113で反射した後にダイクロイッ
クミラー114で反射した緑色光Gを画像信号に応じて変調する透過型の液晶装置である
。かかる液晶ライトバルブ116は、液晶ライトバルブ115と同様に、第1偏光板11
6b、液晶装置100(緑色用液晶パネル100G)、および第2偏光板116dを備え
ている。液晶ライトバルブ116に入射する緑色光Gは、ダイクロイックミラー113、
114で反射されて入射するs偏光である。第1偏光板116bは、p偏光を遮断してs
偏光を透過させる偏光板である。また、液晶装置100(緑色用液晶パネル100G)は
、s偏光を画像信号に応じた変調によってp偏光(中間調であれば円偏光又は楕円偏光)
に変換する構成となっている。そして、第2偏光板116dは、s偏光を遮断してp偏光
を透過させる偏光板である。したがって、液晶ライトバルブ116は、画像信号に応じて
緑色光Gを変調し、変調した緑色光Gをクロスダイクロイックプリズム119に向けて出
射する構成となっている。
液晶ライトバルブ117は、ダイクロイックミラー113で反射し、ダイクロイックミ
ラー114を透過した後でリレー系120を経た青色光Bを画像信号に応じて変調する透
過型の液晶装置である。かかる液晶ライトバルブ117は、液晶ライトバルブ115、1
16と同様に、λ/2位相差板117a、第1偏光板117b、液晶装置100(青色用
液晶パネル100B)、および第2偏光板117dを備えている。ここで、液晶ライトバ
ルブ117に入射する青色光Bは、ダイクロイックミラー113で反射してダイクロイッ
クミラー114を透過した後にリレー系120の後述する2つの反射ミラー125a、1
25bで反射することから、s偏光となっている。
λ/2位相差板117aは、液晶ライトバルブ117に入射したs偏光をp偏光に変換
する光学素子である。また、第1偏光板117bは、s偏光を遮断してp偏光を透過させ
る偏光板である。そして、液晶装置100(青色用液晶パネル100B)は、p偏光を画
像信号に応じた変調によってs偏光(中間調であれば円偏光又は楕円偏光)に変換する構
成となっている。さらに、第2偏光板117dは、p偏光を遮断してs偏光を透過させる
偏光板である。したがって、液晶ライトバルブ117は、画像信号に応じて青色光Bを変
調し、変調した青色光Bをクロスダイクロイックプリズム119に向けて出射する構成と
なっている。なお、λ/2位相差板117a、および第1偏光板117bは、ガラス板1
17eに接した状態で配置されている。
リレー系120は、リレーレンズ124a、124bと反射ミラー125a、125b
とを備えている。リレーレンズ124a、124bは、青色光Bの光路が長いことによる
光損失を防止するために設けられている。ここで、リレーレンズ124aは、ダイクロイ
ックミラー114と反射ミラー125aとの間に配置されている。また、リレーレンズ1
24bは、反射ミラー125a、125bの間に配置されている。反射ミラー125aは
、ダイクロイックミラー114を透過してリレーレンズ124aから出射した青色光Bを
リレーレンズ124bに向けて反射するように配置されている。また、反射ミラー125
bは、リレーレンズ124bから出射した青色光Bを液晶ライトバルブ117に向けて反
射するように配置されている。
クロスダイクロイックプリズム119は、2つのダイクロイック膜119a、119b
をX字型に直交配置した色合成光学系である。ダイクロイック膜119aは青色光Bを反
射して緑色光Gを透過する膜であり、ダイクロイック膜119bは赤色光Rを反射して緑
色光Gを透過する膜である。従って、クロスダイクロイックプリズム119は、液晶ライ
トバルブ115〜117の各々で変調された赤色光Rと緑色光Gと青色光Bとを合成し、
投射光学系118に向けて出射するように構成されている。
なお、液晶ライトバルブ115、117からクロスダイクロイックプリズム119に入
射する光はs偏光であり、液晶ライトバルブ116からクロスダイクロイックプリズム1
19に入射する光はp偏光である。このようにクロスダイクロイックプリズム119に入
射する光を異なる種類の偏光としていることで、クロスダイクロイックプリズム119に
おいて各液晶ライトバルブ115〜117から入射する光を合成できる。ここで、一般に
、ダイクロイック膜119a、119bはs偏光の反射トランジスター特性に優れている
。このため、ダイクロイック膜119a、119bで反射される赤色光R、および青色光
Bをs偏光とし、ダイクロイック膜119a、119bを透過する緑色光Gをp偏光とし
ている。投射光学系118は、投影レンズ(図示略)を有しており、クロスダイクロイッ
クプリズム119で合成された光をスクリーン111に投射するように構成されている。
(他の投射型表示装置)
投射型表示装置においては、光源部として、各色の光を出射するLED光源等を用い、
かかるLED光源から出射された色光を各々、別の液晶装置に供給するように構成しても
よい。
(他の電子機器)
本発明を適用した液晶装置100については、上記の電子機器の他にも、携帯電話機、
情報携帯端末(PDA:Personal Digital Assistants)、デジタルカメラ、カメラのフ
ァインダー、液晶テレビ、カーナビゲーション装置、テレビ電話、POS端末、タッチパ
ネルを備えた機器等の電子機器において直視型表示装置として用いてもよい。
1a・・半導体層、2・・ゲート絶縁層、3a・・走査線、5a・・容量線、6a・・デ
ータ線、7a・・遮光層、9a・・画素電極、10・・第1基板、10a・・表示領域、
10b・・ダミー領域、10c・・非表示領域、10p・・画素電極配列領域、16・・
配向膜、19・・基板間導通用電極、19a・・基板間導通材、20・・第2基板、21
・・共通電極、25・・基板間導通用電極、26・・配向膜、30・・画素トランジスタ
ー、40・・誘電体層、41・・層間絶縁膜(第4絶縁膜)、42・・層間絶縁膜(第3
絶縁膜)、43・・層間絶縁膜(第2絶縁膜)、44・・層間絶縁膜(第1絶縁膜)、5
0・・液晶層、55・・保持容量、100・・液晶装置、100a・・画素、100p・
・液晶パネル、101・・データ線駆動回路、102・・接続端子、104・・走査線駆
動回路、105、106・・配線、107・・シール材、107e・・外縁、107f・
・内縁、110・・投射型表示装置、190・・基板間導通部、LSPY、LVSSY、
LVDDY、LCLY、LCLYINV・・配線、LVcom・・共通電位線、LVID、LV
ID1〜LVID6・・画像信号線

Claims (6)

  1. 第1基板と、
    該第1基板に対向する第2基板と、
    前記第1基板と前記第2基板とを貼り合わせる枠状のシール材と、
    前記シール材で囲まれた領域に配置された液晶層と、
    前記第1基板と前記第2基板との間において前記シール材より外側で前記第1基板の基
    板間導通電極と前記第2基板の共通電極とを導通させる基板間導通部と、
    を有し、
    前記第1基板の前記第2基板と対向する面側に、表示領域と前記シール材の外縁とに挟
    まれた非表示領域で延在して前記基板間導通電極に共通電位を供給する共通電位線と、該
    共通電位線の前記第2基板側に設けられた第1絶縁膜と、該第1絶縁膜の前記第2基板側
    に設けられた画素電極と、を有し、
    前記非表示領域では、前記共通電位以外の電位を供給する配線が前記共通電位線に対し
    て前記第2基板とは反対側に設けられていることを特徴とする液晶装置。
  2. 前記共通電位線は、前記非表示領域において前記表示領域に沿って延在していることを
    特徴とする請求項1に記載の液晶装置。
  3. 前記共通電位線は、前記非表示領域において前記表示領域を全周にわたって囲むように
    延在していることを特徴とする請求項2に記載の液晶装置。
  4. 前記第1基板の前記第2基板と対向する面側に、前記共通電位線の前記第2基板とは反
    対側に設けられた第2絶縁膜と、該第2絶縁膜の前記第2基板とは反対側に設けられた第
    3絶縁膜と、を有し、
    前記配線は、前記非表示領域では前記第2絶縁膜と前記第3絶縁膜との間に設けられて
    いることを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載の液晶装置。
  5. 前記共通電位線および前記配線は、アルミニウム配線であることを特徴とする請求項1
    乃至4の何れか一項に記載の液晶装置。
  6. 請求項1乃至5の何れか一項に記載の液晶装置を備えていることを特徴とする電子機器
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